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Technisches Gebiet
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Die Erfindung betrifft eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung und ein Steuerungsverfahren für eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung.
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Stand der Technik
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Eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung, wie ein Rasterelektronenmikroskop (REM), das ein hoch vergrößertes Bild erfasst, tastet eine Probe mit einem fokussierten Elektronenstrahl ab und detektiert von der Probe emittierte Sekundärelektronen.
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Die detektierten Sekundärelektronen werden als ein Videosignal einer Anzeige zugeführt, die mit einem zweidimensionalen Abtasten unter Verwendung eines Elektronenstrahls synchronisiert ist. Da in einem Fall, in dem die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung des Standes der Technik verwendet wird, ein Zustand einer Oberflächenstruktur der Probe mit einer hohen Vergrößerung beobachtet werden kann, wird die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung in einem breiten Industriebereich verwendet.
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In einem Fall, in dem ein Bild durch die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung beobachtet wird, sendet ein Benutzer anfangs einen Befehl zum Betreiben eines Vorrichtungshauptteils von einem Endgerät, wie einem Personal-Computer, an den Vorrichtungshauptteil. Der Vorrichtungshauptteil der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung empfängt den Befehl von dem Endgerät. Gemäß dem Inhalt des empfangenen Befehls detektiert der Vorrichtungshauptteil ein Bild (vergrößertes Bild) der Probe, während der Objektträger mit der darauf befestigten Probe bewegt wird, eine Stellung des Objektträgers geändert wird oder die Abtastmodi, in denen der Ladungsteilchenstrom von der Elektronenstrahlquelle ausgestrahlt wird, gewechselt werden.
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Der Vorrichtungshauptteil verwandelt das vergrößerte Bild der Probe in Bilddaten, wie ein Videosignal, und überträgt die Bilddaten durch eine Kommunikationsnetzwerkleitung von dem Vorrichtungshauptteil an ein Endgerät des Benutzers. Der Benutzer zeigt das Bild auf einem Endgerätbildschirm an und betrachtet das angezeigte Bild.
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Eine Leitung des sogenannten Ethernets (eingetragene Marke) wird als die Kommunikationsnetzwerkleitung, die den Vorrichtungshauptteil und das Endgerät des Benutzers verbindet, verwendet. Das Transmission Control Protocol (TCP) und das User Datagram Protocol (UDP) sind als das Kommunikationsprogramm bekannt, das Ethernet (eingetragene Marke) verwendet.
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TCP ist ein Übertragungsmodus, der Zuverlässigkeit anstatt eine Kommunikationsgeschwindigkeit priorisiert. Selbst in einem Fall, in dem beispielsweise ein beliebiger Fehler auftritt und Pakete fehlen, wird im TCP ein Mechanismus zum Erhöhen der Zuverlässigkeit bereitgestellt, wie in einem Fall, in dem die fehlenden Pakete nochmals übertragen werden. Im TCP ist die Kommunikationszuverlässigkeit hoch, jedoch ist eine Kommunikationsgeschwindigkeit relativ niedrig, da der Overhead eines Protokollprozesses groß ist.
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UDP ist ein Übertragungsmodus, der eine Kommunikationsgeschwindigkeit anstatt der Kommunikationszuverlässigkeit priorisiert. Beispielsweise werden in einem Fall, in dem Pakete fehlen, die fehlenden Pakete nicht nochmals im UDP übertragen. Da ein Protokollprozess einfach ist und dessen Overhead klein ist, ist es folglich möglich, die Hochgeschwindigkeitskommunikation im UDP auszuführen.
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In PTL1 werden die Übertragungsmodi in dem Elektronenmikroskop gewechselt, wobei eine Kapazität einer Kommunikationsnetzwerkleitung geändert wird. Folglich ist es möglich eine Aktualisierungsrate des Bilds in PTL1 sowohl in einem Fall, in dem die Leitungskapazität groß ist als auch in einem Fall, in dem die Leitungskapazität niedrig ist, zu erhöhen. Entgegenhaltungsliste
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Patentliteratur
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Kurzdarstellung der Erfindung
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Technisches Problem
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Die Erfinder der vorliegenden Anmeldung haben Bildübertragung intensiv untersucht, um die Nachverfolgbarkeit einer Objektträgerbewegung bei Erhöhung einer Kommunikationsfehlerrobustheit zu verbessern, und haben die folgende Erkenntnis abgeleitet.
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In der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung, die die Bildübertragung unter Verwendung von Ethernet (eingetragene Marke) ausführt, wird im Allgemein das eine hohe Zuverlässigkeit aufweisende TCP verwendet, um die Kommunikationsfehlerrobustheit zu erhöhen. Da jedoch der Overhead des Protokollprozesses groß ist, ist es schwierig eine Übertragungsgeschwindigkeit zu erfassen, die zum Übertragen des vergrößerten Bilds im TCP erforderlich ist.
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In einem Fall, in dem beispielsweise die erforderliche Übertragungsgeschwindigkeit nicht erfasst wird, ist die Anzeige des Bildes auf dem Endgerät nicht in der Lage, die Bewegung des Proben-Objektträgers ausreichend zu verfolgen, und die Zuverlässigkeit oder Nutzbarkeit der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung verschlechtert sich. In einem Fall, in dem eine für einen höheren Geschwindigkeitsstandard geeignete Hardware verwendet wird, ist es möglich, eine Übertragungsgeschwindigkeit zu erhöhen. Da jedoch die für den Hochgeschwindigkeitsstandard geeignete Hardware teuer ist, erhöhen sich die Kosten der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung.
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In einem Fall, in dem UDP anstatt TCP verwendet wird, ist es möglich, eine hohe Übertragungsgeschwindigkeit zu erfassen. Da sich jedoch Kommunikationsfehlerrobustheit verschlechtert, besteht eine Befürchtung, dass sich die Funktionsfähigkeit verschlechtern wird. Beispielsweise wurde ein Fall untersucht, in dem eine Abtastgeschwindigkeit so niedrig eingestellt ist, dass die Probe präzise untersucht wird und ein Bild langsam über ein paar Minuten hinweg abgetastet wird. In diesem Fall ist es in einem Fall, in dem ein beliebiger Kommunikationsfehler in einem Zustand auftritt, in dem das Bild auf dem Endgerät des Benutzers angezeigt wird und einige Pakete fehlen, notwendig, die Probe nochmals neu aufzunehmen, um ein vollständiges Bild zu erfassen. Der Grund dafür ist, dass die fehlenden Pakete im UDP nicht erneut übertagen werden und die in den fehlenden Paketen umfassten Bilddaten nicht auf dem Endgerätbildschirm angezeigt werden können.
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Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Nachverfolgbarkeit der Bewegung des Objektträgers und die Kommunikationsfehlerrobustheit zu verbessern.
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Lösung des Problems
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Die vorliegende Erfindung betrifft das Umschalten zwischen mehreren Bildübertragungseinheiten in Abhängigkeit eines Zustands eines Objektträgers und die geschaltete Bildübertragungseinheit zu verwenden. Eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst eine Elektronenstrahlquelle, die eine Probe auf einem Objektträger mit einem Ladungsteilchenstrahl bestrahlt; einen Objektträger-Treiber, der den Objektträger ansteuert; einen Detektor, der von der Probe emittierte Ladungsteilchen detektiert; eine erste Bildübertragungseinheit, die als Bilddaten ein Signal von dem Detektor unter Verwendung eines ersten Bildübertragungsprotokolls überträgt; eine zweite Bildübertragungseinheit, die als Bilddaten ein Signal von dem Detektor unter Verwendung eines zweiten Bildübertragungsprotokolls überträgt; eine Schalteinheit, die basierend auf einem Zustand des Objektträgers zwischen der ersten Bildübertragungseinheit und der zweiten Bildübertragungseinheit umschaltet und die geschaltete Bildübertragungseinheit verwendet; und ein Endgerät, das die von einer von der ersten Bildübertragungseinheit und der zweiten Bildübertragungseinheit empfangenen Bilddaten über ein Kommunikationsnetzwerk anzeigt.
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Das erste Bildübertragungsprotokoll kann ein Protokoll sein, dessen Zuverlässigkeit höher als die Zuverlässigkeit des zweiten Bildübertragungsprotokolls ist, und die Schalteinheit wählt die erste Bildübertragungseinheit in einem Fall, in dem bestimmt wird, dass der Zustand des Objektträgers ein Zustand ist, in dem der Objektträger stoppt.
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Das zweite Bildübertragungsprotokoll kann ein Protokoll sein, dessen Übertragungsgeschwindigkeit höher als eine Übertragungsgeschwindigkeit des ersten Bildübertragungsprotokolls ist, und die Schalteinheit kann die zweite Bildübertragungseinheit in einem Fall wählen, in dem bestimmt wird, dass der Zustand des Objektträgers ein Zustand ist, in dem sich der Objektträger bewegt. Vorteilhafte Wirkungen der Erfindung
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Da gemäß der vorliegenden Erfindung das Umschalten zwischen der ersten Bildübertragungseinheit und der zweiten Bildübertragungseinheit basierend auf dem Zustand des Objektträgers ausgeführt wird und die geschaltete Bildübertragungseinheit verwendet wird, ist es möglich, das Bild zu übertragen, während die Eigenschaften des ersten Bildübertragungsprotokolls und die Eigenschaften des zweiten Bildübertragungsprotokolls genutzt werden.
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In einem Fall, in dem die erste Bildübertragungseinheit, die das eine hohe Zuverlässigkeit aufweisende erste Bildübertragungsprotokoll verwendet, in einem Zustand gewählt wird, in dem der Objektträger stoppt, ist es möglich, ein präzises Bild mit einer niedrigen Abtastgeschwindigkeit mit hoher Zuverlässigkeit an das Bedien-Endgerät zu übertragen. In einem Fall, in dem die zweite Bildübertragungseinheit, die das eine hohe Übertragungsgeschwindigkeit aufweisende zweite Übertragungsprotokoll verwendet, in einem Zustand gewählt wird, in dem sich der Objektträger bewegt, ist es möglich, das Bild an das Bedien-Endgerät zu übertragen, während die Bewegung des Objekträgers verfolgt wird.
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Kurze Beschreibung der Zeichnungen
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1 ist ein Diagramm, das die Gesamtkonfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung gemäß Ausführungsform 1 zeigt.
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2 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess zeigt.
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3 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Prozess des Umschaltens zwischen Bildübertragungsmodi zeigt.
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4 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Prozess des Wählens eines Abtastmodus zeigt.
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5 ist ein Ablaufdiagramm eines Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess in einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung nach Ausführungsform 2.
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6 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Prozess des Umschaltens zwischen den Bildübertragungsmodi in einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung nach Ausführungsform 3 zeigt.
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7 ist ein Diagramm, das die Gesamtkonfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung nach Ausführungsform 4 zeigt.
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8 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess zeigt.
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9 ist ein Diagramm, das die Gesamtkonfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung nach Ausführungsform 5 zeigt.
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10 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess zeigt.
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11 ist ein Diagramm, das die Gesamtkonfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung gemäß Ausführungsform 6 zeigt.
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12 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess zeigt.
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Beschreibung der Ausführungsformen
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Nachfolgend werden Ausführungsformen der Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Wie nachstehend beschrieben wird, umfasst eine Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1 gemäß der Ausführungsform einer erste Bildübertragungseinheit 20, die ein Bild durch Verwenden eines Bildübertragungsmodus (zum Beispiel TCP), der Zuverlässigkeit priorisiert, überträgt, und eine zweite Bildübertragungseinheit 21, die ein Bild durch Verwenden eines Bildübertragungsmodus (zum Beispiel UDP), der eine Geschwindigkeit priorisiert, überträgt. Die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1 umfasst eine Schalteinheit 23, die zwischen den Bildübertragungseinheiten 20 und 21 gemäß einer vorab eingestellten vorbestimmten Bedingung umschaltet.
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Die Schalteinheit 23 bestimmt einen Zustand eines Objektträgers 13 und wählt eine beliebige von der ersten Bildübertragungseinheit 20 und der zweiten Bildübertragungseinheit 21 basierend auf dem Bestimmungsergebnis aus. Die Schalteinheit 23 kann zwischen den Bildübertragungseinheiten 20 und 21 unter Berücksichtigung eines Abtaststeuerbefehls oder einer Aktualisierungsfrequenz (Abtastgeschwindigkeit) eines Abtastmodus umschalten.
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Gemäß der vorliegenden Ausführungsform mit der vorgenannten Konfiguration ist es möglich, die Fehlerrobustheit zum Zeitpunkt des Übertragens des Bildes durch Auswählen der ersten Bildübertragungseinheit 20 zu erhöhen, und es ist möglich, die Nachverfolgbarkeit der Bewegung des Objektträgers 13 durch Auswählen der zweiten Bildübertragungseinheit 21 zu verbessern. Als ein Ergebnis ist es in der vorliegenden Ausführungsform möglich, die Zuverlässigkeit und Nutzbarkeit mit relativ niedrigen Kosten ohne Verwenden von teurer Hardware zu verbessern.
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Ausführungsform 1
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Ausführungsform 1 wird mit Bezug auf die 1 bis 4 beschrieben. Anfangs wird die Gesamtkonfiguration der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1 mit Bezug auf 1 beschrieben.
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Beispielsweise umfasst die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1 einen Vorrichtungshauptteil 10 und einen Client-Personalcomputer 50, und der Vorrichtungshauptteil 1 und der Client-Personalcomputer 50 sind über eine Kommunikationsnetzwerkleitung 30, wie ein Ethernet (eingetragene Marke) verbunden.
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Der Client-Personalcomputer 50 ist ein Endgerät, das den Vorrichtungshauptteil 10 bedient und ist ein Beispiel eines „Bedien-Endgeräts”. Der Client-Personalcomputer 50 kann benachbart zu dem Vorrichtungshauptteil 10 angeordnet sein oder kann an einer von dem Vorrichtungshauptteil 10 entfernten Stelle angeordnet sein. Nachfolgend wird der Personalcomputer mit „PC” abgekürzt. Anfangs wird die Konfiguration des Client-PCs 50 beschrieben.
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Beispielsweise umfasst der Client-PC 50 eine Kommunikationsschnittstelle 51, einen PC-Hauptteil 52, eine Informationseingabeeinheit 53, eine Informationsausgabeeinheit 54 und eine externe Speichervorrichtung 55.
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Die Kommunikationsschnittstelle 51 ist eine Schaltung zum Ausführen einer Kommunikation über die Kommunikationsnetzwerkleitung 30. Beispielsweise ist der PC-Hauptteil 52 eine Computervorrichtung, die einen Mikroprozessor, einen Cache-Speicher, einen Hauptspeicher und eine Eingabe- und Ausgabe-Schnittstelle umfasst.
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Die Informationseingabeeinheit 53 ist eine Vorrichtung zum Ausgeben einer Anweisung an den Vorrichtungshauptteil 10. Die Informationseingabeeinheit 53 kann beispielsweise eine Tastatur, ein Touchpanel, eine Maus, eine Steuerkugel und eine Spracheingabevorrichtung sein. Die Informationseingabeeinheit 54 ist eine Vorrichtung zum Ausgeben von den von dem Vorrichtungshauptteil 10 empfangenen Bilddaten. Die Informationsausgabeeinheit 54 kann beispielsweise eine Anzeige oder ein Drucker sein.
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Die externe Speichervorrichtung 55 ist beispielsweise eine Vorrichtung zum Speichern von in dem Vorrichtungshauptteil 10 aufgenommenen Bilddaten und ist eine Festplatte oder eine Flash-Speichervorrichtung.
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Die Konfiguration des Vorrichtungshauptteils 10 wird beschrieben. Der Vorrichtungshauptteil 10 umfasst beispielsweise eine Elektronenkanone 11, einen Spiegel 12, den Objektträger 13, einen Objektträger-Treiber, eine Steuerung 15, einen Detektor 16, eine Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17, die erste Bildübertragungseinheit 20, die zweite Bildübertragungseinheit 21, eine Kommunikationsschnittstelle 22, die Bildübertragungsmodus-Schalteinheit 23 und eine Abtastmodus-Schalteinheit 24.
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Die in 1 gezeigte Konfiguration umfasst durch eine Hardware verwirklichte Vorrichtungen und weist durch eine Software verwirklichte Funktionen auf. Beispielsweise werden die Elektronenkanone 11, der Spiegel 12, der Objektträger 13, der Objektträger-Treiber 14, der Detektor 16 und die Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 durch eine Hardware verwirklicht. Im Gegensatz dazu sind beispielsweise die erste Bildübertragungseinheit 20, die zweite Bildübertragungseinheit 21, die Bildübertragungsmodus-Schalteinheit 23 und die Abtastmodus-Schalteinheit 24 durch Software verwirklichte Funktionen. Die Steuerung 15 und die Kommunikationsschnittstelle 22 werden durch die Hardware in Zusammenarbeit mit der Software verwirklicht. Die vorstehende Beschreibung ist lediglich ein Beispiel und die durch Hardware verwirklichten Vorrichtungen können durch Software verwirklicht werden, oder die durch Software verwirklichten Funktionen können durch Hardware-Schaltungen verwirklicht werden.
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Die Elektronenkanone 11 ist ein Beispiel einer „Elektronenstrahlquelle” und bestrahlt eine auf dem Objektträger 13 befestigte Probe SAMP mit einem Elektronenstrahl als ein Beispiel eines „Ladungsteilchenstrahls”. Der Spiegel 12 steuert eine Anwendungsrichtung oder einen Brennpunkt des Elektronenstrahls.
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Der Objektträger 13 ist ein beweglicher Objektträger, auf dem verschiedene Proben befestigt sind. De Objektträger 13 kann sich beispielsweise in einer X-Richtung und einer Y-Richtung um einen vorbestimmten Betrag bewegen und kann in Bezug auf eine XY-Ebene geneigt sein. Der Objektträger-Treiber 14 ist eine Vorrichtung, die die Bewegung (einschließlich einer Stellungsänderung) des Objektträgers 13 steuert.
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Die Steuerung 15 ist eine Vorrichtung, die den Gesamtarbeitsablauf des Vorrichtungshauptteils 10 steuert. Die Steuerung 15 ändert den Abtastmodus oder steuert die Bewegung des Objektträgers 13 gemäß einer Anweisung (Befehl) von dem Client-PC 50. Die Steuerung 15 umfasst zum Beispiel einen Mikroprozessor, einen Speicher, eine Eingabe- und Ausgabe-Schaltung und eine Zusatzspeichervorrichtung (jeweils nicht gezeigt).
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Der Detektor 16 ist eine Vorrichtung, die Sekundärelektronen oder von der Probe durch Bestrahlung der Probe mit dem Elektronenstrahl emittierte Reflexionselektronen detektiert. Die Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 ist eine Vorrichtung, die eine Bewegungsgeschwindigkeit des Objektträgers 13 misst. In diesen Zeichnungen wird die Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 als eine „Geschwindigkeitsmesseinheit 17” abgekürzt.
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Die erste Bildübertragungseinheit 20 überträgt Bilddaten durch Verwenden des TCP, welches ein Beispiel eines „ersten Bildübertragungsprotokolls” ist. Die erste Bildübertragungseinheit 20 überträgt aus einem Detektionssignal des Detektors 16 erfasste Bilddaten durch die Kommunikationsschnittstelle 22 an den Client-PC 50 und die Kommunikationsnetzwerkleitung 30. TCP ist ein verbindungsorientiertes Protokoll.
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Die zweite Bildübertragungseinheit 21 überträgt Bilddaten durch Verwenden des UDP, welches ein Beispiel eines „zweiten Bildübertragungsprotokolls” ist. Die zweite Bildübertragungseinheit 21 überträgt aus einem Detektionssignal des Detektors 16 erfasste Bilddaten durch die Kommunikationsschnittstelle 22 und die Kommunikationsnetzwerkleitung 30 an den Client-PC 50. UDP ist ein verbindungsloses Protokoll.
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In diesem Beispiel wird in dem Verbindungsprotokoll ein Kommunikationspfad mit einem Kommunikationspartner hergestellt, bevor die Kommunikation beginnt, und es wird immer eine Testantwort von dem Kommunikationspartner empfangen, wenn Daten an den Kommunikationspartner gesendet werden. Folglich hat das TCP, welches das Verbindungsprotokoll ist, eine Zuverlässigkeit, die höher als diejenige des UDP ist, welches das verbindungslose Protokoll ist.
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Im Gegensatz dazu wird in dem verbindungslosen Protokoll ein Kommunikationspfad mit einem Kommunikationspartner nicht hergestellt bevor die Kommunikation beginnt, und Daten werden einseitig an den Kommunikationspartner gesendet. In dem verbindungslosen Protokoll wird keine Testantwort von dem Kommunikationspartner empfangen. Folglich ist es im Vergleich zum TCP, welches das Verbindungsprotokoll ist, möglich, den Overhead zu reduziere, und daher ist es möglich, die Kommunikationsgeschwindigkeit im UDP, welches das verbindungslose Protokoll ist, zu erhöhen.
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Es wird bevorzugt, dass Bilddaten, deren Datenmenge pro Kommunikation groß ist, wie etwa Bilddaten, die eine große Vergrößerung aufweisen oder Bilddaten mit einer niedrigen Abtastgeschwindigkeit, unter Verwendung von TCP gesendet werden. Selbst in einem Fall, in dem einige Pakete aufgrund eines beliebigen Fehlers verloren gehen, ist es möglich, nur die verlorenen Pakete (fehlenden Pakete) erneut in dem TCP zu senden. Im Gegensatz dazu ist es in einem Fall, in dem die Bilddaten, deren Datenmenge pro Kommunikation groß ist, unter Verwendung des UDP gesendet werden und einige Pakete aufgrund eines Kommunikationsfehlers verloren gehen, erforderlich, die gesamten Daten erneut zu senden. Die verlorenen Pakete können in dem UDP nicht erneut gesendet werden. Folglich ist das UDP dazu geeignet, Bilddaten zu senden, deren Datenmenge pro Kommunikation in einer kurzen Zeit relativ klein ist.
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Die Kommunikationsschnittstelle 22 ist eine Schaltung, die eine Kommunikation über die Kommunikationsnetzwerkleitung 30 ausführt. Die Bildübertragungsmodus-Schalteinheit 23, die ein Beispiel der „Schalteinheit” ist, wählt basierend auf dem Zustand des Objektträgers 13 eine von der ersten Bildübertragungseinheit 20 und der zweiten Bildübertragungseinheit 21. In der folgenden Beschreibung kann die Bildübertragungsmodus-Schalteinheit 23 auch als die Schalteinheit 23 bezeichnet werden. Ein Fall, in dem das Umschalten zwischen der ersten Bildübertragungseinheit 20 und der zweiten Bildübertragungseinheit 21 ausgeführt wird, kann als ein Fall ausgedrückt werden, in dem die Bildübertragungseinheit ausgewählt wird.
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Obwohl beispielsweise nachfolgend ein Auswahlkriterium beschrieben wird wählt die Schalteinheit 23 die erste Bildübertragungseinheit 20 in einem Fall, in dem eine Kommunikation mit hoher Zuverlässigkeit gefordert ist, und wählt die zweite Bildübertragungseinheit 21 in einem Fall, in dem eine Kommunikation mit hoher Geschwindigkeit gefordert ist.
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Die Abtastmodus-Schalteinheit 24 wählt einen Abtastmodus, der tatsächlich verwendet werden soll, aus einem von der Steuerung 15 ausgegebenen Abtastmodus und eine in der Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 gemessene Objektträgergeschwindigkeit. Ein Beispiel des Verfahrens des Auswählens des Abtastmodus wird nachfolgend beschrieben.
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2 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess zeigt. Der vorliegende Prozess wird beispielsweise regelmäßig oder bei einem vorbestimmten Anlass durch die Schalteinheit 23 ausgeführt.
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Die Schalteinheit 23 erfasst die Objektträgergeschwindigkeit von der Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 (S10). Die Objektträgergeschwindigkeit ist eine Geschwindigkeit des Objektträgers 13, dessen Position oder Stellung durch den Objektträger-Treiber 14 geändert wird.
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Die Schalteinheit 23 bestimmt, ob die Objektträgergeschwindigkeit Null ist (S11). In einem Fall, in dem bestimmt wird, dass die Objektträgergeschwindigkeit Null ist (S11: JA), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 ein Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S12). Im Gegensatz dazu bestimmt die Schalteinheit 23 in einem Fall, in dem bestimmt wird, dass die Objektträgergeschwindigkeit nicht Null ist (S11: NO), dass der Zustand des Objektträgers 13 ein Zustand ist, dem sich „der Objektträger bewegt” (S13).
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Wie nachfolgend beschrieben wird die Auswahl der Bildübertragungseinheit oder das Umschalten zwischen den Abtastmodi abhängig von dem Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands ausgeführt. Um beispielsweise zu verhindern, dass die Auswahl das Umschalten häufig ausgeführt wird, darf das Bestimmungsergebnis in einem vorbestimmten Fall nicht geändert werden. Nachdem beispielsweise der Zustand von dem Zustand, in dem sich „der Objektträger bewegt” in den Zustand, in dem „der Objektträger stoppt” umgeschaltet wird, wird der Zustand selbst in einem Fall, in dem die Objektträgergeschwindigkeit nicht Null ist, nicht in den Zustand zurückversetzt, in dem sich ”der Objektträger bewegt”, bevor ein Objektträger-Antriebsbefehl von dem Client-PC 50 eingegeben wird.
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Die vorliegende Ausführungsform ist nicht auf einem Fall beschränkt, in dem in einem Fall, in dem die durch die Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 gemessene Objektträgergeschwindigkeit Null ist, bestimmt wird, dass „der Objektträger stoppt”. Es kann in einem Fall, in dem die Objektträgergeschwindigkeit auf einen Schwellenwert des Stoppens verringert wird, bestimmt werden, dass „der Objektträger stoppt”, um zu einem früheren Zeitpunkt zu bestimmen, dass „der Objektträger stoppt”, wobei eine zum Ausführen des Umschaltens zwischen den Bildübertragungseinheiten 20 und 21 oder den Abtastmodi erforderliche Zeit berücksichtigt wird. Folglich ist es möglich, das Umschalten zwischen den Bildübertragungseinheiten oder den Abtastmodi zu beenden, bevor der Objektträger 13 tatsächlich stoppt oder nahezu zur gleichen Zeit, wenn der Objektträger stoppt. Folglich ist es möglich, die Probe weiterhin relativ reibungslos aufzunehmen, und die Nutzbarkeit der Ladungsträgerstrahlvorrichtung 1 wird verbessert.
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In diesem Beispiel ist der Schwellenwert für ein Stoppen ein Referenzwert, der bereitgestellt wird, um zu bestimmen, dass der Objektträger 13 stoppt. Beispielsweise kann ein Wert, der ungefähr 10% der höchsten Bewegungsgeschwindigkeit des durch den Objektträger-Treiber 14 angesteuerten, sich bewegenden Objektträgers 13 beträgt, als der Schwellenwert für das Stoppen eingestellt werden. 10% ist ein Beispiel und ist nicht darauf beschränkt. In einem Fall, in dem eine Zeit, ab der bestimmt wird, dass „der Objektträger stoppt”, bis dann, wenn der Objektträger 13 tatsächlich stoppt, ungefähr gleich einer Zeit ist, ab der bestimmt wird, dass „der Objektträger stoppt”, bis dann, wenn das Umschalten zwischen den Bildübertragungseinheiten 20 und 21 oder den Abtastmodi beendet ist, ist es möglich, eine Wartezeit, ab der der Objektträgerzustand bestimmt wird, bis dann, wenn das Umschalten zwischen den Bildübertragungseinheiten oder den Abtastmodi beendet ist, zu eliminieren. Die Nutzbarkeit der durch einen Benutzer verwendeten Ladungsteilchenstrahlvorrichtung wird verbessert, indem einfach die Wartezeit reduziert wird, auch wenn die Wartezeit nicht vollständig gestrichen wird.
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3 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Prozess des Umschaltens zwischen den Bildübertragungseinheiten 20 und 21 zeigt. Der vorliegende Prozess wird regelmäßig oder bei einem vorbestimmten Anlass durch die Schalteinheit 23 ausgeführt.
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Die Schalteinheit 23 erfasst das Bestimmungsergebnis des in 2 beschriebenen Objektträgerzustand-Bestimmungsprozess (S20) und bestimmt, ob der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S21). In einem Fall, in dem das Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S21: JA), wählt die Schalteinheit 23 die erste Bildübertragungseinheit 20 aus (S22). Im Gegensatz dazu wählt die Schalteinheit 23 in einem Fall, in dem das Bestimmungsergebnis des Objektträgers nicht der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S21: NEIN), das heißt, in einem Fall, in dem sich „der Objektträger bewegt”, die zweite Bildübertragungseinheit 21 (S23).
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4 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Prozess des Auswählens des Abtastmodus zeigt. Der vorliegende Prozess wird regelmäßig oder bei einem vorbestimmten Anlass durch die Abtastmodus-Schalteinheit 24 ausgeführt. Wie in 1 gezeigt empfängt die Abtastmodus-Schalteinheit 24 die Eingaben von der Steuerung 15 und der Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17, bestimmt den Abtastmodus und sendet den bestimmten Abtastmodus an die Elektronenkanone 11. Die Elektronenkanone 11 bestrahlt die Probe mit dem Elektronenstrahl gemäß dem empfangenen Abtastmodus.
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Die Abtastmodus-Schalteinheit 24 erfasst das Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess (S30) und bestimmt, ob der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S31).
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In einem Fall, in dem das Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S31: JA), wählt die Abtastmodus-Schalteinheit 24 den von der Steuerung 15 ausgegebenen Abtastmodus (S32). Im Gegensatz dazu wählt die Abtastmodus-Schalteinheit 24 in einem Fall, in dem das Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustand nicht der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S31: NEIN), das heißt, in einem Fall, in dem sich der Objektträger 13 bewegt, einen vorab bereitgestellten Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers (S33).
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Der Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers ist ein geeigneter Abtastmodus, der dem Benutzer erlaubt, nach einer Beobachtungs-Zielstelle der Probe zu suchen, während der Objektträger 13 über den Client-PC 50 bewegt wird. Es wird bevorzugt, dass der Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers ein Modus ist, in dem auf einer Anzeige anzuzeigende Bilder mit vorbestimmten Werten aktualisiert werden, bei denen die Bilder durch die Augen eines Betrachters (Benutzers) als ein bewegtes Bild gesehen werden. Das heißt, der Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers ist ein Modus, in dem Bilder relativ reibungslos derart aktualisiert werden, dass der Benutzer die Beobachtungs-Zielstelle in einer kurzen Zeit finden kann.
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Da in einem Fall, in dem ein präzises Bild durch Verringern der Abtastgeschwindigkeit erzeugt wird, die zum Erzeugen eines Bildes gebrauchte Zeit lang wird, braucht der Benutzer eine lange Zeit, um die Beobachtungszielstelle auf der Probe zu finden. In der vorliegenden Ausführungsform wählt der Benutzer in einem Fall, in dem sich der Objektträger 13 bewegt, den Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers unabhängig von der Ausgabe von der Steuerung 15 und findet mühelos die Beobachtungs-Zielstelle.
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In einem Fall, in dem sich der Objektträger 13 bewegt und die Abtastgeschwindigkeit verringert ist, kann das Bild nicht vervollständigt werden, da sich der Objektträger 13 bewegt, bevor die Erzeugung des Bildes abgeschlossen ist. Der Benutzer muss die Beobachtungs-Zielstelle während des Betrachtens eines unvollständigen Bildes finden, und somit verschlechtert sich die Nutzbarkeit. In der vorliegenden Ausführungsform wird der Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers vorbereitet, und die Ausgabe aus der Steuerung 15 wird in einem Fall ignoriert, in dem sich der Objektträger 13 bewegt, und es wird der Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers gewählt.
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Da in der vorliegenden Ausführungsform mit der obengenannten Konfiguration die für den Zustand (Stoppen/Bewegen) des Objektträgers 13 geeignete Bildübertragungseinheit 20 oder 21 gewählt wird, ist es möglich, sowohl die Zuverlässigkeit als auch die Nachverfolgbarkeit der Objektträgerbewegung zu verbessern.
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In der vorliegenden Ausführungsform wird die Bildübertragungseinheit 20 oder 21 ausgewählt, und der Abtastmodus wird ebenfalls abhängig vom Zustand des Objektträgers 13 geschaltet. In der vorliegenden Ausführungsform wird in einem Fall, in dem sich der Objektträger bewegt, der Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers gewählt (S33) und es wird ferner die zweite Bildübertragungseinheit 21 gewählt, sodass die Bilder während der Nachverfolgung der Bewegung des Objektträgers 13 aktualisiert werden. Da in dem Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers die Abtastgeschwindigkeit hoch ist, ist eine hohe Übertragungsgeschwindigkeit erforderlich, um ein in dem Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers erfasstes Bild zu dem Client-PC 50 zu übertragen. Es ist notwendig, Bilddaten von dem Vorrichtungshauptteil 10 in kurzer Zeit zu dem Client-PC 50 zu übertragen.
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Unterdessen ist in einem Fall, in dem das in dem Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers erfasste Bild übertragen wird, die Zuverlässigkeit nicht besonders erforderlich. Das heißt, in einem Fall, in dem im Abtastmodus zum Bewegen des Objektträgers erfasste Bilddaten übertragen werden, besteht trotzdem, dass einige Pakete fehlen, eine geringe Notwendigkeit, die fehlenden Pakete erneut zu senden. Der Grund hierfür ist, dass obwohl das Bild aufgrund von einigen fehlenden Paketen nicht vollständig ist, die nächsten Bilddaten sofort an den Client-PC 50 gesendet werden.
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Da die Bilder eines nach dem anderen mit dem letzten Bild auf der Anzeige des Client-PC 50 überschrieben werden, besteht wenig Notwendigkeit, die fehlenden Pakete erneut zu senden. Folglich wird in der vorliegenden Ausführungsform in einem Fall, in dem sich der Objektträger bewegt, die Kommunikationsgeschwindigkeit (die Nachverfolgbarkeit der Objektträgerbewegung höher priorisiert als die Zuverlässigkeit (Bildqualität) der Kommunikation.
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Unterdessen besteht in einem Fall, in dem der Objektträger 13 stoppt, eine hohe Wahrscheinlichkeit, dass der Benutzer die Beobachtungs-Zielstelle betrachten wird, während er sich Zeit dafür nimmt. Mit anderen Worten, in einem Fall, in dem der Benutzer die Beobachtungs-Zielstelle findet, stoppt der Benutzer den Objektträger 13 und zeigt ein präzises Bild auf der Anzeige des Client-PCs 50 an. Der Benutzer versucht, ein präzises Bild der Beobachtungs-Zielstelle durch Verringern der Abtastgeschwindigkeit (durch Verringern einer Bildaktualisierungsfrequenz) zu erfassen.
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In diesem Fall wird über die Kommunikationsnetzwerkleitung 30 eine große Datenmenge von Bilddatenelementen von dem Vorrichtungshauptteil 10 an den Client-PC 50 gesendet. In einem Fall, in dem einige Pakete der großen Menge an Bilddatenelemente fehlen, bestehen Bedenken, dass der Benutzer die Beobachtungs-Zielstelle nicht ausreichend beobachten kann, da ein Bild eines Bereichs, der den fehlenden Paketen entspricht, fehlt. In dem Kommunikationsprotokoll, dass die Funktion des erneuten Sendens der fehlenden Pakete nicht aufweist, ist es notwendig, die gesamte große Menge an Bilddatenelementen von dem Vorrichtungshauptteil 10 noch einmal an den Client-PC 50 zu senden, und die Nutzbarkeit verschlechtert sich.
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In der vorliegenden Ausführungsform wird in einem Fall, in dem der Objektträger 13 stoppt, die Bildübertragungseinheit 20 gewählt, die die Zuverlässigkeit der Kommunikation priorisiert. Folglich wird selbst in einem Fall, in dem während einer präzisen Beobachtung einige Pakete fehlen, die Nutzbarkeit der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung durch den Benutzer verbessert, da nur die fehlenden Pakete erneut von dem Vorrichtungshauptteil 10 an den Client-PC 50 gesendet werden.
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Ausführungsform 2
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Ausführungsform 2 wird mit Bezug auf 5 beschrieben. Die die vorliegende Ausführungsform umfassenden Ausführungsformen entsprechen Modifikationsbeispielen der ersten Ausführungsform. Es wird hauptsächlich ein Unterschied zur Ausführungsform 1 beschrieben.
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In Ausführungsform 1 wurde beschrieben, dass basierend auf der durch die Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 detektierten Objektträgergeschwindigkeit bestimmt wird, ob der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem der Objektträger stoppt oder nicht (ob der Objektträger stoppt oder ob sich der Objektträger bewegt). Im Gegensatz dazu wird in der vorliegenden Ausführungsform der Zustand des Objektträgers 13 basierend auf einem von der Steuerung 15 oder dem Client-PC ausgegebenen Objektträger-Ansteuerbefehl bestimmt.
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5 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. In der vorliegenden Ausführungsform kann die Schalteinheit 23 durch die Kommunikationsschnittstelle 22 den von der Steuerung 15 an den Objektträger-Treiber 14 ausgegebenen Ansteuerbefehl oder den von dem Client-PC 50 an den Objektträger-Treiber 1 ausgegebenen Ansteuerbefehl detektieren.
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Die Schalteinheit 23 gemäß der vorliegenden Ausführungsform führt den Prozess von 5 regelmäßig oder bei einem vorbestimmten Anlass aus. Die Schalteinheit 23 erfasst die Objektträgergeschwindigkeit basierend auf dem detektierten Objektträgerbefehl (S40). In einem Fall, in dem beispielsweise der Objektträger-Ansteuerbefehl eine Bewegung anzeigt, kann bestimmt werden, dass sich der Objektträger 13 bewegt. Folglich kann der Schritt S40 erneut angeben, dass „detektiert wird, ob sich der Objektträger basierend auf dem Objektträger-Ansteuerbefehl bewegt oder nicht”.
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Die Schalteinheit 23 bestimmt, ob die Objektträgergeschwindigkeit Null ist (S41) oder nicht. Ähnlich wie bei dem in 2 beschriebenen Prozess, bestimmt die Schalteinheit 23 in einem Fall, in dem bestimmt wird, dass die Objektträgergeschwindigkeit Null ist (S41: JA), dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S42). In einem Fall, in dem bestimmt wird, dass die Objektträgergeschwindigkeit nicht Null ist (S41: NEIN), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand „der Objektträger bewegt sich” ist (S13).
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Die eine solche Konfiguration aufweisende vorliegende Ausführungsform demonstriert ebenfalls dieselben operativen Wirkungen wie diejenigen von Ausführungsform 1. Da in der vorliegenden Ausführungsform der Zustand des Objektträgers 13 basierend auf dem von der Steuerung 15 oder dem Client-PC 50 ausgegebenen Objektträger-Ansteuersignal geschätzt wird, ist es nicht nötig, die durch die Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 detektierte Objektträgergeschwindigkeit zu empfangen. Demzufolge ist die Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 für nur einen Mechanismus zum Bestimmen des Objektträgerzustands nicht nötig.
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Ausführungsform 3
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Ausführungsform 3 wird mit Bezug auf 6 beschrieben. In der vorliegenden Ausführungsform wird die Bildübertragungseinheit basierend auf dem Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands, der Abtastgeschwindigkeit und einem Betriebsbefehl von den Client-PC 50 geschaltet. Die Schalteinheit 23 führt den in 6 gezeigten Prozess regelmäßig oder bei einem vorbestimmten Anlass durch.
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Die Schalteinheit 23 erfasst das Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess (S50) und bestimmt, ob der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, dem „der Objektträger stoppt” (S51) oder nicht. In einem Fall, in dem das Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S51: JA), bestimmt die Schalteinheit 23, ob die von der Steuerung 15 ausgegebene Abtastgeschwindigkeit, die in dem Abtastmodus erforderlich ist, gleich groß oder größer als ein vorbestimmter Wert ist oder nicht (S52). In einem Fall, in dem die durch die Steuerung 15 geforderte Abtastgeschwindigkeit kleiner als der vorbestimmte Wert ist (S52: NEIN), wählt die Schalteinheit 23 die erste Bildübertragungseinheit 20 (S53).
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Im Gegensatz dazu, wählt die Schalteinheit 23, selbst in einem Fall, in dem der Objektträger 13 stoppt (S51: JA), die zweite Bildübertragungseinheit 21 (S54) in einem Fall, in dem die durch die Steuerung 15 geforderte Abtastgeschwindigkeit gleich groß oder größer als der vorbestimmte Wert ist (S52: JA). In einem Fall, in dem das Bestimmungsergebnis des Objektträgerzustands nicht der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S51: NEIN), das heißt, in einem Fall, in dem sich „der Objektträger bewegt”, wählt die Schalteinheit 23 ebenfalls die zweite Bildübertragungseinheit 21, ähnlich wie bei der Beschreibung von Ausführungsform 1 (S54).
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In einem Fall, in dem die zweite Bildübertragungseinheit 21 gewählt wird, bestimmt die Schalteinheit, ob eine Anweisung zum Stoppen des Abtastens von dem Client-PC 50 wird oder nicht (S55). In einem Fall, in dem die Anweisung zum Stoppen des Abtastens nicht empfangen wird (S55: NEIN), wird der vorliegende Prozess beendet. Nachdem eine vorbestimmte Zeit abläuft oder in einem Fall, in dem ein vorbestimmter Anlass auftritt, führt die Schalteinheit 23 den vorliegenden Prozess wieder aus.
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In einem Fall, in dem die zweite Bildübertragungseinheit 21 gewählt wird und detektiert wird, dass die Anweisung zum Stoppen des Abtastens von dem Client-PC 50 empfangen wird (S55: JA), geht der Ablauf weiter zu Schritt S53 und die Schalteinheit 23 schaltet von der zweiten Bildübertragungseinheit 21 zur ersten Bildübertragungseinheit 20 um.
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In diesem Beispiel wird der Grund beschrieben, warum der Schritt S52 abzweigt. In einem Fall, in dem die durch die Steuerung 15 angewiesene Abtastgeschwindigkeit gleich groß oder größer als der vorbestimmte Wert ist, das heißt, in einem Fall, in dem die Bildaktualisierungsfrequenz gleich groß oder größer als der vorbestimmte Wert ist, kann eine erforderliche Übertragungsgeschwindigkeit nicht einfach durch Verwenden der ersten Bildübertragungseinheit 20 erfasst werden. Mit anderen Worten, der vorbestimmte Wert in Schritt S52 ist ein Wert, bei dem es möglich ist zu bestimmen, dass eine erforderliche Kommunikationsgeschwindigkeit nicht einfach durch Verwenden der ersten Bildübertragungseinheit 20 erfasst wird. In diesem Fall (S52: JA) wird die zweite Bildübertragungseinheit 21 gewählt, um eine Kommunikationsgeschwindigkeit sicherzustellen, die mit der Abtastgeschwindigkeit übereinstimmt (S54).
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Es wird der Grund beschrieben, warum das Umschalten von der zweiten Bildübertragungseinheit 21 zu der ersten Bildübertragungseinheit 20 in einem Fall ausgeführt wird, in dem das Abtasten gestoppt wird. In einem Fall, in dem der Betriebsbefehl von dem Client-PC 50 ein Abtast-Stoppbefehl ist (S55: JA), wird die erste Bildübertragungseinheit 20, die eine Funktion der erneuten Paketsendung aufweist, gewählt, sodass die letzte Bildübertragung, bevor das Abtasten gestoppt wird, folgt. In einem Fall, in dem zum Zeitpunkt des Übertragens der letzten Bilddaten, bevor das Abtasten gestoppt wird, einige Pakete fehlen, bestehen Bedenken, da ein vollständiges Bild nicht auf der Anzeige des Client-PCs 50 angezeigt werden kann, dass der Benutzer nicht in der Lage sein wird, die Probe ausreichend zu beobachten. Die Schalteinheit 23 wählt die erste Bildübertragungseinheit 20, die in der Lage ist, nur die fehlenden Pakete erneut zu senden, und in der Lage ist, das Bild mit hoher Zuverlässigkeit von dem Vorrichtungshauptteil 10 zu dem Client-PC 50 zu übertragen.
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Die eine solche Konfiguration aufweisende vorliegende Ausführungsform demonstriert dieselben operativen Wirkungen wie diejenigen der Ausführungsform 1. In der vorliegenden Ausführungsform ist es in einem Fall, in dem die Abtastgeschwindigkeit gleich groß oder größer als der vorbestimmte Wert ist, obwohl der Objektträger 13 stoppt, möglich, das Bild auf der Anzeige gemäß der Aktualisierungsfrequenz des Bildes anzuzeigen, da die zweite Bildübertragungseinheit 21 gewählt wird.
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In der vorliegenden Ausführungsform wird selbst in einem Fall, in dem die zweite Bildübertragungseinheit 21 verwendet wird, das letzte Bild zum Zeitpunkt des Stoppens der Abtastung unter Verwendung der eine hohe Zuverlässigkeit aufweisenden ersten Bildübertragungseinheit 20 an den Client-PC gesendet. Folglich ist es in der vorliegenden Ausführungsform möglich, eine hohe Bildaktualisierungsfrequenz zu bewältigen, während die Zuverlässigkeit der Bildübertragung beibehalten wird, und die Nutzbarkeit wird verbessert.
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Ausführungsform 4
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Ausführungsform 4 wird mit Bezug auf die 7 und 8 beschrieben. In der vorliegenden Ausführungsform bestimmt die Schalteinheit 23 den Objektträgerzustand basierend auf dem von der Steuerung 15 in den Objektträger-Treiber 14 eingegeben Objektträger-Ansteuerbefehl. Es wurde in Ausführungsform 2 beschrieben, dass der Objektträgerzustand basierend auf dem von der Steuerung 15 oder dem Client-PC 50 ausgegebenen Ansteuerbefehl bestimmt wird. Im Gegensatz dazu wird in der vorliegenden Ausführungsform der Zustand des Objektträgers 13 basierend auf einem von der Steuerung 15 ausgegeben Objektträger-Beschleunigungsbefehl oder Verzögerungsbefehls und einem Bewegungszustand des Objektträgers 13 bei einer konstanten Geschwindigkeit bestimmt.
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7 zeigt die Gesamtkonfiguration einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1A gemäß der vorliegenden Ausführungsform. Ein Unterschied zwischen der Konfiguration von 7 und der Konfiguration von 1 besteht darin, dass der von der Steuerung 15 in den Objektträger-Treiber 14 eingegebene Objektträger-Ansteuerbefehl auch in die Schalteinheit 23 in der in 7 gezeigten vorliegenden Ausführungsform eingegeben wird. In der in 7 gezeigten Ausführungsform ist die in 1 beschriebene Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit 17 entfernt.
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8 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. Der vorliegende Prozess wird regelmäßig oder bei einem vorbestimmten Anlass durch die Schalteinheit 23 ausgeführt. Die Schalteinheit 23 überwacht den von der Steuerung 15 in den Objektträger-Treiber 14 eingegebenen Objektträger-Ansteuerbefehl (S60) und bestimmt, ob weder der Beschleunigungsbefehl noch der Verzögerungsbefehl von der Steuerung 15 ausgegeben wird oder nicht (S61). In einem Fall, in dem bestimmt wird, dass weder der Beschleunigungsbefehl noch der Verzögerungsbefehl von der Steuerung 15 ausgegeben wird (S61: JA), bestimmt die Schalteinheit 23, ob sich der Objektträger 13 nicht mit der konstanten Geschwindigkeit bewegt (S62). Die Schalteinheit 23 kann basierend auf der ausgegebenen Zeit und der Art des von der Steuerung 15 ausgegeben Objektträger-Ansteuerbefehls schätzen, ob sich der Objektträger 13 mit der konstanten Geschwindigkeit bewegt der nicht.
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In einem Fall, in dem bestimmt wird, dass der Objektträger 13 sich nicht mit der konstanten Geschwindigkeit bewegt (S62: JA), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S63). In einem Fall, in dem einer von dem Beschleunigungsbefehl und dem Verzögerungsbefehl von der Steuerung 15 in den Objektträger 14 eingegeben wird (S61: NEIN) oder in einem Fall, in dem sich der Objektträger 13 mit der konstanten Geschwindigkeit bewegt (S62: NEIN), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem sich „der Objektträger bewegt” (S64). Die eine solche Konfiguration aufweisende vorliegende Ausführungsform demonstriert ebenfalls dieselben operativen Wirkungen wie diejenigen von Ausführungsform 1.
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Ausführungsform 5
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Ausführungsform 5 wird mit Bezug auf die 9 und 10 beschrieben. In einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1B gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird der Objektträgerzustand basierend auf dem von dem Client-PC 50 eingegebenen Ansteuerbefehl bestimmt. Es wurde in Ausführungsform 2 beschrieben, dass der Objektträgerzustand basierend auf dem von der Steuerung 15 oder dem Client-PC 50 ausgegebenen Objektträger-Ansteuerbefehl bestimmt wird. Es wurde in Ausführungsform 4 beschrieben, dass der Zustand des Objektträgers 13 basierend auf dem von der Steuerung 15 ausgegebenen Objektträger-Beschleunigungsbefehl oder Verzögerungsbefehl und dem Bewegungszustand des Objektträgers 13 bei der konstanten Geschwindigkeit bestimmt wird. Es wird in der vorliegenden Ausführungsform beschrieben werden, dass der Zustand des Objektträgers 13 basierend auf dem Betriebsbefehl von dem Client-PC 50 bestimmt wird.
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9 zeigt die Gesamtkonfiguration der Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1B gemäß der vorliegenden Ausführungsform. In der vorliegenden Ausführungsform ist die Schalteinheit 23 mit der Kommunikationsschnittstelle 22 verbunden. Die Schalteinheit 23 kann durch die Kommunikationsschnittstelle 22 einen von dem Client-PC 50 in die Steuerung 15 eingegebenen Befehl überwachen.
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10 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. Die Schalteinheit 23 überwacht den von dem Client-PC 50 in den Vorrichtungshauptteil 10 eingegebenen Betriebsbefehl (als eine Betriebseingabe bezeichnet) durch die Kommunikationsschnittstelle 22 (S70). Der Betriebsbefehl ist ein Befehl zum Anweisen, dass sich der Objektträger 13 bewegen soll, und ist der Objektträger-Ansteuerbefehl.
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Die Schalteinheit 23 bestimmt, ob der Betriebsbefehl nicht von dem Client-PC 50 eingegeben wird. (S71). In einem Fall, in dem der Betriebsbefehl nicht eingegeben wird (S71: JA), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S72). In einem Fall, in dem der Betriebsbefehl von dem Client-PC 50 eingegeben wird (S71: NEIN), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem sich „der Objektträger bewegt”.
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Die eine solche Konfiguration aufweisende vorliegende Ausführungsform demonstriert ebenfalls dieselben operativen Wirkungen wie diejenigen der Ausführungsform 1. Da in der vorliegenden Ausführungsform der Objektträgerzustand basierend auf dem von dem Client-PC 50 eingegebenen Betriebsbefehl bestimmt wird, ist es möglich, den Zustand des Objektträgers früher zu bestimmen als in einem Fall, in dem der Objektträgerzustand basierend auf einer aktuellen Bewegungsgeschwindigkeit des Objektträgers 13 bestimmt wird. Folglich ist es möglich, frühzeitig anzuweisen, dass das Umschalten zwischen den Bildübertragungseinheiten 20 und 21 ausgeführt werden soll, und es ist möglich, die Nutzbarkeit durch Reduzieren der Wartezeit, bis das Umschalten abgeschlossen ist, zu verbessern.
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Ausführungsform 6
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Ausführungsform 6 wird mit Bezug auf die 11 und 12 beschrieben. Die vorliegende Ausführungsform ist die Kombination aus Ausführungsform 4 und Ausführungsform 5. Das heißt, in einer Ladungsteilchenstrahlvorrichtung 1C gemäß der vorliegenden Ausführungsform wird der Zustand des Objektträgers 13 basierend auf sowohl dem von der Steuerung 15 ausgegebenen Objektträger-Ansteuerbefehls und dem von dem Client-PC 50 ausgegebenen Betriebsbefehl (dem Objektträger-Ansteuerbefehl des Client-PCs) bestimmt.
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12 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Objektträgerzustands-Bestimmungsprozess gemäß der vorliegenden Ausführungsform zeigt. Der vorliegende Prozess wird regelmäßig oder bei einem vorbestimmten Anlass durch die Schalteinheit 23 ausgeführt
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Die Schalteinheit 23 überwacht den von dem Client-PC 50 in den Vorrichtungshauptteil 10 eingegebenen Betriebsbefehl (S80). Die Schalteinheit 23 bestimmt, ob der Betriebsbefehl von dem Client-PC 50 nicht eingegeben wird (S81).
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In einem Fall, in dem der Betriebsbefehl nicht eingegeben wird (S81: JA), überwacht die Schalteinheit 23 den von der Steuerung 15 in Objektträger-Treiber 14 eingegebenen Objektträger-Ansteuerbefehl (S82) und bestimmt, ob weder der Beschleunigungsbefehl noch der Verzögerungsbefehl von der Steuerung 15 eingegeben wird oder nicht (S83).
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In einem Fall, in dem bestimmt wird, dass weder der Beschleunigungsbefehl noch der Verzögerungsbefehl von der Steuerung 15 ausgegeben wird (S83: JA), bestimmt die Schalteinheit 23, ob der Objektträger 13 sich nicht mit der konstanten Geschwindigkeit bewegt (S84). In einem Fall, in dem bestimmt wird, dass der Objektträger 13 sich nicht mit der konstanten Geschwindigkeit bewegt (S84: JA), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem „der Objektträger stoppt” (S85).
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In jedem Fall, in dem der Betriebsbefehl von dem Client-PC 50 eingegeben wird (S81: NEIN), einem Fall, in dem einer von dem Beschleunigungsbefehl und dem Verzögerungsbefehl von der Steuerung 15 in den Objektträger-Treiber 14 eingegeben wird (S83: NEIN), und einem Fall, in dem sich der Objektträger 13 mit der konstanten Geschwindigkeit bewegt (S84: NEIN), bestimmt die Schalteinheit 23, dass der Zustand des Objektträgers 13 der Zustand ist, in dem sich „der Objektträger bewegt” (S86). Die eine solche Konfiguration aufweisende vorliegende Ausführungsform demonstriert ebenfalls dieselben operativen Wirkungen wie diejenigen der Ausführungsform 1, Ausführungsform 4 und Ausführungsform 5.
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Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsformen beschränkt. Es sollte von den Fachleuten verstanden werden, dass die oben beschriebenen Ausführungsformen in verschiedener Form ergänzt oder geändert werden können, ohne vom Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Beispielsweise ist die Ladungsteilchenstrahlvorrichtung nicht auf das Rasterelektronenmikroskop (REM) beschränkt, und es kann eine andere Vorrichtung verwendet werden.
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Bezugszeichenliste
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- 1, 1A, 1B, 1C
- Ladungsteilchenstrahlvorrichtung
- 10
- Vorrichtungshauptteil
- 11
- Elektronenkanone
- 12
- Spiegel
- 13
- Objektträger
- 14
- Objektträger-Treiber
- 15
- Steuerung
- 16
- Detektor
- 17
- Objektträgergeschwindigkeits-Messeinheit
- 20
- Erste Bildübertragungseinheit
- 21
- Zweite Bildübertragungseinheit
- 22
- Kommunikationsschnittstelle
- 23
- Bildübertragungsmodus-Schalteinheit
- 24
- Abtastmodus-Schalteinheit
- 30
- Kommunikationsnetzwerkleitung
- 50
- Client-PC
