JP2000099702A - ラインセンサを用いた画像処理システム - Google Patents

ラインセンサを用いた画像処理システム

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JP2000099702A
JP2000099702A JP10270166A JP27016698A JP2000099702A JP 2000099702 A JP2000099702 A JP 2000099702A JP 10270166 A JP10270166 A JP 10270166A JP 27016698 A JP27016698 A JP 27016698A JP 2000099702 A JP2000099702 A JP 2000099702A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ラインセンサの画像取り込み速度を画像処理
速度に応じた速度とすることにより、画像が歪んだり、
惚けることを防止する。 【解決手段】 被検体22表面を照明する照明手段24
と、被検体22表面の像を撮像するラインセンサ26
と、ラインセンサ26に被検体22表面の像を結像する
光学系25と、照明手段24とラインセンサ26と光学
系25とを被検体22に対して相対的に移動させる移動
手段27と、ラインセンサ26の画像を画像処理する画
像処理手段28と、ラインセンサ26にクロック信号を
供給するクロック信号発生手段31とを有する。クロッ
ク信号発生手段31は移動手段27の移動速度と光学系
25の倍率と画像の処理速度との関係に基づいて最適な
クロック信号をラインセンサ26に供給するによって画
像取り込み速度を画像処理速度に応じて変更する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、プリント
基板のパターン上の欠陥検出を行うため、ラインセンサ
を用いて取り込んだ画像を画像処理することにより、被
検体の外観検査をおこなう画像処理システムに関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、従来のラインセンサを用いた画
像処理システムを示す。被検体2は搬送ベルト1上に載
置されており、搬送モーター3の駆動により移動する。
また、照明装置4、光学系5、ラインセンサ6はX−Y
ステージ7に一体となって組み込まれている。被検体2
が所定の検査位置まで搬送されると、搬送モーター3が
停止し、被検体2が検査位置に達した後、X−Yステー
ジ7が二次元的に移動する。これにより、ラインセンサ
6が被検体2に対して相対的に移動し、所望の検査範囲
の画像がメインCPU9の画像処理部8に取り込まれ、
画像処理部8が画像処理することにより被検体2表面の
欠陥検出を行う。
【0003】以上の動作は、メインCPU9によりコン
トロールされるものである。すなわち、X−Yステージ
7の移動はメインCPU9より指示を受けたX−Yステ
ージコントローラ10により制御され、ラインセンサ6
の画像取り込みタイミングは、ラインセンサクロックジ
ェネレータ11より供給されるクロック信号により制御
される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ラインセンサ6に供給
されるクロック信号と、X−Yステージ7の移動速度の
関係は、ラインセンサ6の撮像素子のサイズをx、光学
系5の倍率をmとした場合、被検体2表面での一画素あ
たりの大きさyは、y=m×x(式(1))と表され
る。
【0005】一方、ラインセンサ6のラインレート(時
間)を1とすると、X−Yステージ7の移動速度vは、
v=y/1(式(2))と表される。
【0006】又、ラインセンサ6のラインレート1は、
1ラインの画素数をa、画素のクロックレート(時間)
をcとすると、おおよそ1=c×a(式(3))と表さ
れる。
【0007】以上の式(1)、(2)、(3)からX−
Yステージ7の移動速度vは、v=(m×x)/(c×
a)(式(4))となる。
【0008】このようにラインセンサ6に供給されるク
ロック信号のクロックレートと、X−Yステージ7の移
動速度は一義的に決まるものであり、ラインセンサ6に
供給されるクロック信号のクロックレートを変更する場
合は、X−Yステージ7の移動速度も同時に変更する必
要がある。ここで、ラインセンサ6のクロックレート
は、画像処理部8への画像の転送速度に影響し、画像処
理部8の画像処理速度が画像の転送速度に対して遅い場
合には、ラインセンサ6のクロックレートを下げること
により画像処理部8への画像の転送速度を下げる必要が
ある。この場合には、上述したようにラインセンサ6の
クロックレートとX−Yステージ7の移動速度は一義的
な関係にあるため、X−Yステージ7の移動速度も変更
する必要がある。
【0009】一方、ラインセンサ6に供給されるクロッ
ク信号と、X−Yステージ7の移動速度が上述したよう
な関係にない場合、ラインセンサ6が取り込んだ画像は
走査方向に伸縮した歪んだ画像となったり、焦点が合っ
ていない惚けた画像となる。そして、このような画像を
もとにして画像処理を行うと、過度に欠陥検出を行った
り、逆に欠陥検出ができなかったりし、正確な画像処理
を行うことができない問題がある。
【0010】このような問題は、画像処理部8の画像処
理速度に応じて、あらかじめ低速での画像転送速度に設
定することにより解決できるが、この場合には、検査時
間が長くなる問題が発生する。
【0011】本発明は、このような従来の問題を考慮し
てなされたものであり、画像が歪んだり、惚けたりする
ことなく、画像処理能力(画像処理速度)に応じた最適
な画像取り込み速度を得ることができるラインセンサを
用いた画像処理システムを提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明は、被検体表面を照明する照明手段
と、被検体表面の像を撮像するラインセンサと、このラ
インセンサに被検体表面の像を結像する光学系と、前記
照明手段と前記ラインセンサと前記光学系とを前記被検
体に対して相対的に移動させる移動手段と、前記ライン
センサの画像を画像処理する画像処理手段と、前記ライ
ンセンサにクロック信号を供給するクロック信号発生手
段とを有し、前記クロック信号発生手段は前記移動手段
の移動速度と前記光学系の倍率と前記画像の処理速度と
の関係に基づいて最適なクロック信号をラインセンサに
供給することを特徴とする。
【0013】この発明では、移動手段の移動速度、光学
系の倍率、画像の処理速度との関係で決定したクロック
信号がラインセンサに供給されるため、画像処理速度に
応じた最適の画像取り込み速度をすることができ、画像
が歪んだり、惚けることがなくなる。
【0014】請求項2の発明は、前記クロック信号発生
手段は前記画像処理手段によって制御されることを特徴
とする。
【0015】請求項3の発明は、前記クロック信号発生
手段は前記移動手段により制御されることを特徴とす
る。
【0016】これらの発明では、クロック信号発生手段
と相互に関係する手段がクロック信号発生手段を制御す
るため、最適のクロック信号をラインセンサに供給する
ことができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態により具体的に説明する。なお、各実施の形態にお
いて、同一の要素は同一の符号を付して対応させてあ
る。
【0018】(実施の形態1)図1は本発明の実施の形
態1の基本構成を示す。プリント基板などの被検体22
は搬送ベルト21上に載置されており、搬送モーター2
3により移動する。ラインセンサ26は被検体22の表
面の像を撮像し、照明装置24は被検体22の表面を照
明し、光学系25は被検体22の表面の像をラインセン
サ26に結像させる。これらの照明装置24、光学系2
5及ラインセンサ26はX−Yステージ27に一体とな
って組み込まれている。
【0019】メインCPU29はシステム全体を制御す
るものであり、搬送モーター23のON/OFF制御、
X−Yステージコントローラー30に対する速度、加速
度の指示や移動指示等を出力する。また、メインCPU
29はラインセンサクロックジェネレータ31に対し
て、クロックの選択指示信号を出力する。
【0020】ラインセンサクロックジェネレータ31
は、メインCPU29からのクロックの選択指示信号に
応じてクロック信号を切り替え、ラインセンサ26にク
ロック信号を出力する。
【0021】ラインセンサ26により得られた画像信号
は、メインCPU29内に組み込まれている画像処理部
28に取り込まれ、画像処理されることにより、被検体
22表面の欠陥検出を行い、被検体22の良否範囲を行
う。
【0022】以上のように構成された実施の形態では、
搬送ベルト21上に載置された被検体22が所定の検査
位置まで搬送されると、搬送モーター23が停止する。
被検体22が検査位置に達した後、あらかじめメインC
PU29で設定されている被検体22の検査エリアに基
づく検査パターンより、メインCPU29からX−Yス
テージコントローラ30に対して、速度指示、移動指示
が出力される。同時にメインCPU29はX−Yステー
ジコントローラ30に指示した速度に対応するクロック
の選択指示信号をラインセンサクロックジェネレータ3
1に対して出力する。
【0023】図2はメインCPU29からラインセンサ
クロックジェネレータ31にクロックの選択指示信号を
出力するハード構成を示す。メインCPUでは図2に示
すように、3ビットのパラレル出力ポート41が割り当
てられており、ラインセンサクロックジェネレータ31
では、パラレル出力ポート41に対応する3ビットのパ
ラレル入力ポート42が割り当てられている。クロック
選択指示信号はメインCPU29に設けられたトランジ
スタ43から各パラレル出力ポート41に送出される。
一方、ラインセンサクロックジェネレータ31において
は、フォトカプラ44が各パラレル入力ポート42に接
続されている。各フォトカプラ44にはアンプ45が接
続されておりクロック選択信号がアンプ45を介してラ
インセンサ26に出力される。
【0024】このような構成では、8通りの速度パター
ンを用意し、上述した式(4)の関係が成り立つような
8通りのクロック信号をラインセンサクロックジェネレ
ータ31に用意することにより、画像転送速度の選択を
行うことができる。
【0025】このようにしてラインセンサクロックジェ
ネレータ31がメインCPU29より選択されたクロッ
ク信号を、ラインセンサ26に対して出力した後、X−
Yステージコントローラ30はX−Yステージ27がメ
インCPU29より指示された速度で、指示された量の
移動を行うための駆動信号をX−Yステージ27に対し
て出力する。X−Yステージ27が移動することによ
り、ラインセンサ26が被検体22に対して相対的に移
動し、所望の検査範囲の画像が1ライン毎に画像処理部
28に取り込まれ、画像処理部28は所定の領域の画像
を取り込む毎に画像処理を行い、被検体22表面の欠陥
検出を行う。
【0026】このような一連の画像処理動作の中で、被
検体22表面に検出される欠陥が多数存在した場合、あ
る所定の領域の画像処理に要する時間が欠陥が少ない場
合に比べて多くなることが考えられる。これを放置する
と、画像処理速度に対して画像転送速度が上回り、画像
処理できなくなる領域がでてくる可能性がある。この場
合、メインCPU29はX−Yステージコントローラ3
0に対して出される速度指示を、それまでよりも低速に
設定すると同時に、ラインセンサクロックジェネレータ
31に対して出力されるクロックの選択指示信号を、新
たな速度に対応するクロックの選択指示信号に設定す
る。これにより、取り込まれる画像が歪んだり、惚けた
りすることなく、画像の転送速度を下げることができ
る。
【0027】従って、この実施の形態では、画像が歪ん
だり惚けたりすることなく、しかも検査速度を大幅に下
げることなく、画像処理速度に応じた最適な画像取り込
み速度とすることができる。
【0028】(実施の形態2)図3は本発明の実施の形
態2を示す。この実施の形態では実施の形態1に比べて
ラインセンサクロックジェネレータ31に対するクロッ
クの選択指示信号の与えかたのみが異なるものである。
【0029】この実施の形態では、ラインセンサクロッ
クジェネレータ31に対するクロックの選択指示信号
は、メインCPU29aから与えるものではなく、X−
Yステージコンロトーラ30aから与えられる。このた
め、X−Yステージコントローラ30aには、図2に示
す3ビットのパラレル出力ポート41が設けられ、この
パラレル出力ポート41からラインセンサクロックジェ
ネレータ31に対してクロックの選択指示信号が出力さ
れる。
【0030】この実施の形態では、実施の形態1と同様
の理由により、画像転送速度を低速にする必要が生じた
場合、メインCPU29aはX−Yステージコントロー
ラ30aに対して出される速度指示を、それまでより低
速に設定する。そして、X−Yステージコントローラ3
0aはラインセンサクロックジェネレータ31に対して
出されるクロックの選択指示信号を、新たな速度に対応
するクロックの選択指示信号に設定する。また、X−Y
ステージコントローラ30aは本来の機能に従って駆動
信号をX−Yステージ27に対して出力する。
【0031】このような実施の形態においても、実施の
形態1と同様に、画像が歪んだり惚けたりすることな
く、また、検査速度を大幅に下げることなく、画像処理
速度に応じた最適な画像取り込み速度をすることができ
る。
【0032】特に、この実施の形態では、X−Yステー
ジコントローラ30aがラインセンサクロックジェネレ
ータ31に対してクロックの選択指示信号を出すため、
メインCPU29aはX−Yステージコントローラ30
aに対して速度指示だけで速度変更が可能となる。この
ため、実施の形態1に比べて、画像処理速度に応じた最
適な画像取り込み速度をさらに容易に設定することがで
きる。
【0033】本発明は以上の実施の形態に限定されるも
のではなく、種々変更が可能である。実施の形態1及び
2では、照明装置24、光学系25、ラインセンサ26
がX−Yステージ27に組み付けられて被検体22に対
して移動しているが、被検体22をX−Yステージ27
に取り付けて相対的に移動するようにしても良い。ま
た、ラインセンサクロックジェネレータへのクロック選
択信号は、例えばRS232CやGP−1Bなどの汎用
の通信を用いて出力するようにして良い。
【0034】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
移動手段の移動速度、光学系の倍率、画像の処理速度と
の関係で決定したクロック信号がラインセンサに供給さ
れるため、画像処理速度に応じた最適の画像取り込み速
度をすることができ、画像が歪んだり、惚けることがな
くなる。
【0035】また、本発明によれば、クロック信号発生
手段と相互に関係する手段がクロック信号発生手段を制
御するため、最適のクロック信号をラインセンサに供給
することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の構成を示す斜視図であ
る。
【図2】ラインセンサクロックジェネレータにクロック
信号を出力するための回路図である。
【図3】実施の形態の構成を示す斜視図である。
【図4】従来の画像処理システムの構成を示す斜視図で
ある。
【符号の説明】
21 搬送ベルト 22 被検体 24 照明装置 25 光学系 26 ラインセンサ 27 X−Yステージ 28 画像処理部 29 メインCPU 30 X−Yステージコントローラ 31 ラインセンサクロックジェネレータ
フロントページの続き Fターム(参考) 2G051 AA65 AB02 AC15 CA03 CB01 CD04 CD07 DA01 DA07 EA11 EA14 EA25 5B047 AA12 BA01 BB02 CA06 CB07 CB10 CB30 5B057 AA03 BA02 DA03 5C054 CC03 CF07 EA01 EB02 HA05

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検体表面を照明する照明手段と、 被検体表面の像を撮像するラインセンサと、 このラインセンサに被検体表面の像を結像する光学系
    と、 前記照明手段と前記ラインセンサと前記光学系とを前記
    被検体に対して相対的に移動させる移動手段と、 前記ラインセンサの画像を画像処理する画像処理手段
    と、 前記ラインセンサにクロック信号を供給するクロック信
    号発生手段とを有し、 前記クロック信号発生手段は前記移動手段の移動速度と
    前記光学系の倍率と前記画像の処理速度との関係に基づ
    いて最適なクロック信号をラインセンサに供給すること
    を特徴とするラインセンサを用いた画像処理システム。
  2. 【請求項2】 前記クロック信号発生手段は前記画像処
    理手段によって制御されることを特徴とする請求項1記
    載のラインセンサを用いた画像処理システム。
  3. 【請求項3】 前記クロック信号発生手段は前記移動手
    段により制御されることを特徴とする請求項1記載のラ
    インセンサを用いた画像処理システム。
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