JP2007184341A - 半導体装置及び回路基板 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体チップのセンサからの信号配線に対する浮遊容量を低減して、センサの感度を向上させる。
【解決手段】センサが形成された第1半導体チップ3と、そのセンサの出力信号が入力されるインピーダンス変換器を備える第2半導体チップ4とが回路基板1に搭載されるとともに、該回路基板1に、第1半導体チップ3のセンサにバイアス電圧を印加するバイアス配線33と、センサの出力信号をインピーダンス変換器に伝送する信号配線36と、インピーダンス変換器の出力から分岐して信号配線36の近傍に配置されたガード配線39とが形成され、該ガード配線39と信号配線36との離間距離が、バイアス配線33と信号配線36との離間距離よりも小さくなっている。
【選択図】図2
【解決手段】センサが形成された第1半導体チップ3と、そのセンサの出力信号が入力されるインピーダンス変換器を備える第2半導体チップ4とが回路基板1に搭載されるとともに、該回路基板1に、第1半導体チップ3のセンサにバイアス電圧を印加するバイアス配線33と、センサの出力信号をインピーダンス変換器に伝送する信号配線36と、インピーダンス変換器の出力から分岐して信号配線36の近傍に配置されたガード配線39とが形成され、該ガード配線39と信号配線36との離間距離が、バイアス配線33と信号配線36との離間距離よりも小さくなっている。
【選択図】図2
Description
本発明は、音圧センサや圧力センサ等のセンサを組み込んだ半導体チップを備える半導体装置及び該半導体装置に使用される回路基板に関する。
従来、シリコンマイクや圧力センサ等の半導体装置では、音圧センサや圧力センサ等を組み込んだ半導体チップと、この半導体チップの駆動や出力処理のための回路を組み込んだ半導体チップとを回路基板上に並べて実装したものがある(例えば、特許文献1参照)。
これら半導体チップを回路基板に実装する方法としては、半導体チップを回路基板上にそれぞれダイボンドした後、これらの間をワイヤボンディングする方法、或いはバンプにより両半導体チップを回路基板上の印刷回路に接続するフリップチップ実装法がある。この場合、回路基板上の電気配線には、センサにバイアス電圧をかけるためのバイアス配線と、センサからの出力信号を処理回路に伝送する信号配線とが含まれる。
特表2004−537182号公報
これら半導体チップを回路基板に実装する方法としては、半導体チップを回路基板上にそれぞれダイボンドした後、これらの間をワイヤボンディングする方法、或いはバンプにより両半導体チップを回路基板上の印刷回路に接続するフリップチップ実装法がある。この場合、回路基板上の電気配線には、センサにバイアス電圧をかけるためのバイアス配線と、センサからの出力信号を処理回路に伝送する信号配線とが含まれる。
しかしながら、両半導体チップ間をワイヤボンディングによって接続する方法では、半導体チップからの信号配線と回路内外の接地電位との間に発生する浮遊容量により、センサの出力が低下する問題がある。回路基板の印刷回路上にフリップチップ実装する方法においても、回路内外の接地電位、並びに半導体チップへのバイアス電位との間に発生する浮遊容量を免れない。
特にセンサが静電容量型のシリコンマイク等のように、微小な容量変化を検出するものである場合、わずかな浮遊容量であっても、感度に大きく影響することになる。
本発明は半導体チップのセンサからの信号配線に対する浮遊容量を低減して、センサの感度を向上させることができる半導体装置及び該半導体装置に使用される回路基板を提供する。
特にセンサが静電容量型のシリコンマイク等のように、微小な容量変化を検出するものである場合、わずかな浮遊容量であっても、感度に大きく影響することになる。
本発明は半導体チップのセンサからの信号配線に対する浮遊容量を低減して、センサの感度を向上させることができる半導体装置及び該半導体装置に使用される回路基板を提供する。
本発明の半導体装置は、センサが形成された半導体チップと、そのセンサの出力信号が入力されるインピーダンス変換器とが回路基板に搭載されるとともに、前記回路基板に、前記半導体チップのセンサにバイアス電圧を印加するバイアス配線と、前記センサの出力信号を前記インピーダンス変換器に伝送する信号配線と、前記インピーダンス変換器の出力から分岐して前記信号配線の近傍に配置されたガード配線とが形成され、該ガード配線と前記信号配線との離間距離が、前記バイアス配線と前記信号配線との離間距離よりも小さいことを特徴とする。
つまり、インピーダンス変換器は、増幅率が1で、入力インピーダンスが高く、出力インピーダンスが低いので、該インピーダンス変換器の出力から分岐したガード配線は、電圧が信号配線における電圧変動にリアルタイムに追従して等しくなり、したがって、このガード配線と信号配線との間の容量は電気的には無視できることになる。また、このガード配線がバイアス配線よりも信号配線の近くに配置されているため、バイアス配線の電位や接地電位との間の電界はガード配線との間のものが支配的となり、信号配線への影響は小さくなるのである。
つまり、インピーダンス変換器は、増幅率が1で、入力インピーダンスが高く、出力インピーダンスが低いので、該インピーダンス変換器の出力から分岐したガード配線は、電圧が信号配線における電圧変動にリアルタイムに追従して等しくなり、したがって、このガード配線と信号配線との間の容量は電気的には無視できることになる。また、このガード配線がバイアス配線よりも信号配線の近くに配置されているため、バイアス配線の電位や接地電位との間の電界はガード配線との間のものが支配的となり、信号配線への影響は小さくなるのである。
ガード配線を信号配線の近傍に配置する場合、回路基板の厚さ方向から信号配線を挟む込む位置にガード配線を形成する、信号配線とバイアス配線との間に配置する、回路基板の表面と平行な平面内において信号配線を囲むように形成する、等の構成を採用することができる。
また、信号配線やガード配線を前記のように形成した回路基板に半導体チップをフリップチップ実装することにより、ワイヤボンドによる接続ワイヤのように空間に配置されるものに比べて、外部からの静電容量による影響を確実に低減することができる。
なお、インピーダンス変換器は、回路基板に組み込んでおいてもよいし、センサを形成した半導体チップと同様に、半導体チップに形成して回路基板に搭載するようにしてもよい。
また、信号配線やガード配線を前記のように形成した回路基板に半導体チップをフリップチップ実装することにより、ワイヤボンドによる接続ワイヤのように空間に配置されるものに比べて、外部からの静電容量による影響を確実に低減することができる。
なお、インピーダンス変換器は、回路基板に組み込んでおいてもよいし、センサを形成した半導体チップと同様に、半導体チップに形成して回路基板に搭載するようにしてもよい。
本発明の半導体装置によれば、インピーダンス変換器の出力から分岐したガード配線が信号配線周囲の電界を遮蔽するように配置されているので、信号配線に対する浮遊容量を低減して、センサの感度を向上させることができる。
この発明の各実施形態について図面を参照しながら説明する。
図1から図6は、本発明の第1の実施形態の半導体装置を示している。
この半導体装置は、図6に示すように、回路基板1の表面に、マイクセンサ(本発明に係るセンサ)2を形成した第1半導体チップ(本発明に係る半導体チップ)3と、第1半導体チップ3のマイクセンサ2に対する駆動及び出力信号の処理を行う回路を形成した第2半導体チップ4とが実装され、これら半導体チップ3・4の上方を覆うカバー5が回路基板1に取り付け固定された全体構成とされている。
図1から図6は、本発明の第1の実施形態の半導体装置を示している。
この半導体装置は、図6に示すように、回路基板1の表面に、マイクセンサ(本発明に係るセンサ)2を形成した第1半導体チップ(本発明に係る半導体チップ)3と、第1半導体チップ3のマイクセンサ2に対する駆動及び出力信号の処理を行う回路を形成した第2半導体チップ4とが実装され、これら半導体チップ3・4の上方を覆うカバー5が回路基板1に取り付け固定された全体構成とされている。
第1半導体チップ3は、静電容量の変化を利用して音響等を電気信号に変換する静電容量型のマイクセンサチップであり、図4に示すように、シリコン基板6の上に、音響等の圧力変動に応じて振動する薄膜のダイヤフラム7と、該ダイヤフラム7に間隔を空けて対向する平板状の固定電極8とが絶縁層9を介して相互に平行に設けられている。ダイヤフラム7の背部ではシリコン基板6が切り欠かれて空洞部10が形成されている。また、固定電極8には、ダイヤフラム7との間の空間11に連通する微細孔12が形成されている。この第1半導体チップ3は、音圧を受けてダイヤフラム7が図4の鎖線で示すように振動することにより、ダイヤフラム7と固定電極8との間の容量Csが変化し、その容量の変化を電気信号として取り出す構成とされる。
一方、第2半導体チップ4は、シリコン基板上に形成された集積回路であり、第1半導体チップ3のマイクセンサ2にバイアス電圧を印加するためのバイアス電圧発生回路(図示略)、マイクセンサ2からの出力信号が入力されるインピーダンス変換器15等の処理回路が備えられている。
これら第1半導体チップ3及び第2半導体チップ4は、その一表面に露出状態に外部接続用の端子が形成されており、これら端子が回路基板1の表面に向けられ、該回路基板1の表面に形成された印刷回路の端子に半田を介して直接接続される、いわゆるフリップチップ実装されている。
第1半導体チップ3には、図4に示すように、外部接続用の端子として、バイアス入力端子16、マイク信号出力端子17、及び内部の浮遊容量低減のためのガード端子18等が設けられている。
バイアス入力端子16は、マイクセンサ2を駆動するためのバイアス電圧が印加される端子であり、シリコン基板6とダイヤフラム7とに接続され、両者を同電位に維持するようになっている。マイク出力端子17は、マイクセンサ2の出力信号を外部に取り出すための端子であり、固定電極8に形成されている。ガード端子18は、絶縁層9内部のガード電極19に接続されており、該ガード電極19は、固定電極8とシリコン基板6との間に介在されている。
バイアス入力端子16は、マイクセンサ2を駆動するためのバイアス電圧が印加される端子であり、シリコン基板6とダイヤフラム7とに接続され、両者を同電位に維持するようになっている。マイク出力端子17は、マイクセンサ2の出力信号を外部に取り出すための端子であり、固定電極8に形成されている。ガード端子18は、絶縁層9内部のガード電極19に接続されており、該ガード電極19は、固定電極8とシリコン基板6との間に介在されている。
第2半導体チップ4にも、図5に示すように、前記バイアス電圧発生回路から第1半導体チップ3のマイクセンサ2にバイアス電圧を印加するためのバイアス出力端子21、マイクセンサ2からの出力信号をインピーダンス変換器15に入力するマイク信号入力端子22、第1半導体チップ3のガード端子18に接続されるガード端子23等が形成されている。このガード端子23は、インピーダンス変換器15の出力から分岐して形成されている。
インピーダンス変換器(バッファアンプ、電圧フォロア)15は、増幅率が1で、入力電圧に等しい電圧を出力するとともに、入力インピーダンスが高く出力インピーダンスが低いので、微弱なマイクの出力信号を強くして出力することができ、その出力は、マイク信号の出力変動に遅延することなくリアルタイムに追従させられるようになっている。図5において符号24はインピーダンス変換器15を経由したマイク信号の出力端子を示している。また、符号25は、インピーダンス変換器15の入力電圧調整用の抵抗を示す。
インピーダンス変換器(バッファアンプ、電圧フォロア)15は、増幅率が1で、入力電圧に等しい電圧を出力するとともに、入力インピーダンスが高く出力インピーダンスが低いので、微弱なマイクの出力信号を強くして出力することができ、その出力は、マイク信号の出力変動に遅延することなくリアルタイムに追従させられるようになっている。図5において符号24はインピーダンス変換器15を経由したマイク信号の出力端子を示している。また、符号25は、インピーダンス変換器15の入力電圧調整用の抵抗を示す。
これら半導体チップ3・4が搭載される回路基板1は多層印刷回路基板であり、その表面には、図1及び図2に示すように、表面又は内部層の印刷回路配線に接続された各種の基板側端子が形成され、各半導体チップ3・4の端子に半田30を介して接続されるようになっている。そのうち、第1半導体チップ3のバイアス入力端子16と第2半導体チップ4のバイアス出力端子21とに対応した位置に形成される基板側端子31・32間に、これらを接続するバイアス配線33が形成され、第1半導体チップ3のマイク信号出力端子17と第2半導体チップ4のマイク信号入力端子22とに対応した位置に形成される基板側端子34・35間に、これらを接続する信号配線36が形成され、両半導体チップ3・4のガード端子18・23とそれぞれ対応した位置に形成される基板側端子37・38間に、これらを接続するガード配線39が形成されている。
この場合、信号配線36は、回路基板1の内部層に形成されており、回路基板1表面の端子34・35にスルーホール40・41を介して接続されている。また、ガード配線39は、二つに分岐されて回路基板1の表面及び信号配線36よりも下層側(図1の例では回路基板1の裏面)にそれぞれ信号配線36と平行に形成されており、両ガード配線39によって信号配線36を上下に挟むようになっている。また、これらガード配線39は、スルーホール42により接続状態とされるとともに、図2及び図3に示すように、信号配線36の導体幅よりも大きい導体幅に設定されており、表面側のガード配線39には、信号配線36の基板側端子34・35を露出させる穴43・44が形成され、該穴43・44の中で端子34・35を囲むようにしている。
一方、バイアス配線33は、図2及び図3に示すように回路基板1の表面に形成されている。そして、この図3に明らかなように、ガード配線39は信号配線36の近傍に配され、該ガード配線39と信号配線36との離間距離が、バイアス配線33と信号配線36との離間距離よりも小さく設定されている。
一方、バイアス配線33は、図2及び図3に示すように回路基板1の表面に形成されている。そして、この図3に明らかなように、ガード配線39は信号配線36の近傍に配され、該ガード配線39と信号配線36との離間距離が、バイアス配線33と信号配線36との離間距離よりも小さく設定されている。
なお、第1半導体チップ3が搭載される部分には、回路基板1の表面を切欠してなる凹部45が形成されており、該凹部45に図1に示すように第1半導体チップ3のダイヤフラム7が対向させられている。一方、回路基板1の上から両半導体チップ3・4を覆うカバー5は、導電性材料によって形成されるとともに、図6に示すように、両半導体チップ3・4の周囲に空間を形成する大きさに形成されており、その内部空間46を外部に連通させる貫通孔47が形成されている。
このように構成された半導体装置において、第1半導体チップ3のバイアス入力端子16からマイクセンサ2にバイアス電圧を印加した状態としておき、カバー5の貫通孔47を介して第1半導体チップ3のマイクセンサ2に到達した音圧によってダイヤフラム7が振動すると、そのダイヤフラム7の変位をマイク信号出力端子17から電気信号として取り出し、そのマイク信号を第2半導体チップ4のインピーダンス変換器15により出力するようになっている。
この場合、両半導体チップ3・4間でマイク信号の入出力端子17・22を接続している信号配線36は、その上下をガード配線39によって挟まれた状態とされ、そのガード配線39は、増幅率が1のインピーダンス変換器15の出力から分岐されているものであるから、信号配線36のマイク信号に対して全く同じ電位となっている。つまり、信号配線36を伝送されるマイク信号は、音圧の大きさに応じて電圧が変動した信号となるが、インピーダンス変換器15を経由した出力も入力と同じ変動状態となっており、したがって、このインピーダンス変換器15の出力から分岐したガード配線39の電圧も信号配線36と同じレベル、同じ周期で変動し、両者間に電位差が生じないようになっている。このため、信号配線36の周囲の電界は、図3に電気力線を示したように、バイアス配線33とガード配線39との間でのものが支配的となり、バイアス配線33と信号配線36との間では極めて弱いものとなる。
したがって、信号配線36とガード配線39との間の容量C1は両者が同電位であるから電気的には無視できることになり、信号配線36とバイアス配線33との間の容量C2もほとんど0に近くなる。また、このガード配線39によって、信号配線36は、回路基板1の外部との間でも静電遮蔽されることになり、ガード配線39の導体幅が大きいので、広い範囲からの電界を遮蔽することができる。図5のC3はガード配線39とグランドとの間の容量を示しており、この容量C3は信号配線36には影響しない。したがって、信号配線36に対する回路基板1内外の接地電位やバイアス配線39の電位との間での浮遊容量の影響が少なくなり、ダイヤフラム7と固定電極8との間の静電容量Csの変化を高精度に捉えることができる。
なお、第1半導体チップ3のマイクセンサ2におけるガード電極19も、図4に示すように固定電極17とシリコン基板6との間に介在され、これらの間の容量を固定電極17とガード電極19との間の容量C4と、ガード電極19とシリコン基板6との間の容量C5とに分けるようにしており、ガード電極19がインピーダンス変換器15の出力から分岐して接続されているので、固定電極17との間の容量C4は電気的に無視できるとともに、ガード電極19とシリコン基板6との間の容量C5はマイク出力信号に影響することはなく、したがって、マイク出力信号を高精度に取り出すことができるようになっている。
図7から図9は本発明の第2実施形態を示している。
この第2実施形態は、回路基板における信号配線及びガード配線の配置が、図1から図6の第1実施形態と異なるものであり、各構成要素には第1実施形態と同一符号を付しておく。
この実施形態では、両半導体チップ3・4間の信号配線36、バイアス配線33及びガード配線39のいずれもが回路基板1の表面上に並んで形成されるとともに、ガード配線39が、回路基板1の表面上で信号配線36の回りを囲むように形成されたものである。このため、ガード配線39の一部が信号配線36とバイアス配線33との間に介在することになり、ガード配線39と信号配線36との離間距離が、バイアス配線33と信号配線36との離間距離よりも小さくされる。
そして、このガード配線39は、インピーダンス変換器15(等価回路は第1実施形態のものと同じであるので図5を参照)の出力から分岐されて信号配線36と同電位であるので、これらの間の容量は電気的には無視できることになる。図9に各配線間の電気力線を示したように、信号配線36の周辺の電界はバイアス配線33とガード配線39との間のものが支配的となり、信号配線36とバイアス配線33との間は極めて弱いものとなる。一方、ガード配線39とバイアス配線33との間に生じる浮遊容量は信号配線36への影響はないので、マイク信号の精度を損なうことにはならない。また、このガード配線39は信号配線36を囲むように配置されているため、外部からの電界も遮蔽することができる。
この第2実施形態は、回路基板における信号配線及びガード配線の配置が、図1から図6の第1実施形態と異なるものであり、各構成要素には第1実施形態と同一符号を付しておく。
この実施形態では、両半導体チップ3・4間の信号配線36、バイアス配線33及びガード配線39のいずれもが回路基板1の表面上に並んで形成されるとともに、ガード配線39が、回路基板1の表面上で信号配線36の回りを囲むように形成されたものである。このため、ガード配線39の一部が信号配線36とバイアス配線33との間に介在することになり、ガード配線39と信号配線36との離間距離が、バイアス配線33と信号配線36との離間距離よりも小さくされる。
そして、このガード配線39は、インピーダンス変換器15(等価回路は第1実施形態のものと同じであるので図5を参照)の出力から分岐されて信号配線36と同電位であるので、これらの間の容量は電気的には無視できることになる。図9に各配線間の電気力線を示したように、信号配線36の周辺の電界はバイアス配線33とガード配線39との間のものが支配的となり、信号配線36とバイアス配線33との間は極めて弱いものとなる。一方、ガード配線39とバイアス配線33との間に生じる浮遊容量は信号配線36への影響はないので、マイク信号の精度を損なうことにはならない。また、このガード配線39は信号配線36を囲むように配置されているため、外部からの電界も遮蔽することができる。
1…回路基板、2…マイクセンサ(センサ)、3…第1半導体チップ(半導体チップ)、4…第2半導体チップ、5…カバー、7…ダイヤフラム、16…バイアス入力端子、17…マイク信号出力端子、18…ガード端子、21…バイアス出力端子、22…マイク信号入力端子、23…ガード端子、33…バイアス配線、36…信号配線、39…ガード配線。
Claims (6)
- センサが形成された半導体チップと、そのセンサの出力信号が入力されるインピーダンス変換器とが回路基板に搭載されるとともに、
前記回路基板に、前記半導体チップのセンサにバイアス電圧を印加するバイアス配線と、前記センサの出力信号を前記インピーダンス変換器に伝送する信号配線と、前記インピーダンス変換器の出力から分岐して前記信号配線の近傍に配置されたガード配線とが形成され、該ガード配線と前記信号配線との離間距離が、前記バイアス配線と前記信号配線との離間距離よりも小さいことを特徴とする半導体装置。 - 前記ガード配線が、前記回路基板の厚さ方向から前記信号配線を挟む込む位置に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ガード配線の少なくとも一部が、前記信号配線と前記バイアス配線との間に配されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記ガード配線が、前記回路基板の表面と平行な平面内において、前記信号配線を囲むように形成されていることを特徴とする請求項1又は3に記載の半導体装置。
- 前記半導体チップは、その一表面に外部接続用端子が形成され、その外部接続用端子が前記回路基板表面に向けられ、該回路基板上にフリップチップ実装されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の半導体装置。
- センサを備えた半導体チップが搭載される回路基板であって、
前記センサの出力信号が入力されるインピーダンス変換器と、前記センサにバイアス電圧を印加するバイアス配線と、前記センサの出力信号を前記インピーダンス変換器に伝送する信号配線と、前記インピーダンス変換器の出力から分岐して前記信号配線の近傍に配置されたガード配線とが形成され、該ガード配線と前記信号配線との離間距離が、前記バイアス配線と前記信号配線との離間距離よりも小さいことを特徴とする回路基板。
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