JP2007183538A - 平板表示素子の製造装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の実施の形態に係る平板表示素子の製造装置は、基板上に有機物を塗布する装置と、基準面、前記基準面から凹んだ溝、前記基準面から突出した突出部を有するソフトモールドと、前記ソフトモールドとの接触により前記有機物に二重段差パターンを形成する装置とを含む。
【選択図】図6
Description
102、202 上部基板
104、204 ブラックマトリックス
106、206 カラーフィルタ
107、207 平坦化層
113、213 スペーサ
124a ソフトモールドの溝
131 基板
132b 薄膜パターン
133a エッチレジスト溶液
134、234 ソフトモールド
234b ソフトモールドの基準面
234c ソフトモールドの突出部
Claims (16)
- 基板上に有機物を塗布する装置と、
基準面、前記基準面から凹んだ溝、前記基準面から突出した突出部を有するソフトモールドと、
前記ソフトモールドとの接触により前記有機物に二重段差パターンを形成する装置と
を含むことを特徴とする平板表示素子の製造装置。 - 前記ソフトモールドは、自重により前記有機物と接触して前記有機物を成型することを特徴とする請求項1記載の平板表示素子の製造装置。
- 前記ソフトモールドの基準面は、前記二重段差パターンの第1面に対応し、前記突出部の高さは前記第1面と前記基板との間の厚さに対応し、前記溝の深さは前記二重段差パターンで前記第1面より高い第2面に対応することを特徴とする請求項1記載の平板表示素子の製造装置。
- 前記ソフトモールドとの接触後に前記有機物を焼付ける装置と、
前記有機物から前記ソフトモールドを分離させる装置と
をさらに備えることを特徴とする請求項1記載の平板表示素子の製造装置。 - 前記ソフトモールドは、ポリジメチルシロキサン(Poly dimethyl siloxane ; PDMS)、ポリウレタン(Polyurethane)、クロスリンクドノボラック樹脂(Cross-linked NovolacResin)のうち、少なくともいずれか1つを含むことを特徴とする請求項1記載の平板表示素子の製造装置。
- 前記平板表示素子は、液晶表示素子(LCD)、電界放出表示素子(FED)、プラズマディスプレイパネル(PDP)及び電界発光素子(EL)のうち、いずれか1つであることを特徴とする請求項1記載の平板表示素子の製造装置。
- 基板を部分的に露出させるためのホールを有する第1フォトレジストパターンを前記基板上に形成するステップと、
前記第1フォトレジストパターンのホールを通じて露出した基板の一部をエッチングして前記基板に溝を形成するステップと、
前記第1フォトレジストパターンを除去するステップと、
前記基板の溝から離隔した位置に第2フォトレジストパターンを形成するステップと、
前記第2フォトレジストパターンが形成された基板上にソフトモールド材料を塗布するステップと、
前記ソフトモールド材料を硬化させるステップと、
前記硬化されたソフトモールド材料と前記基板とを分離するステップと
を含むことを特徴とする平板表示素子の製造方法。 - 基板を部分的に露出させるためのホールを有する第1フォトレジストパターンを前記基板上に形成するステップと、
前記ホールから離隔した位置で前記第1フォトレジストパターン上に第2フォトレジストパターンを形成するステップと、
前記第1及び第2フォトレジストパターンが形成された基板上にソフトモールド材料を塗布するステップと、
前記ソフトモールド材料を硬化させるステップと、
前記硬化されたソフトモールド材料と前記基板とを分離するステップと
を含むことを特徴とする平板表示素子の製造方法。 - 基板上にセル領域を区画するブラックマトリックスを形成するステップと、
前記ブラックマトリックスにより区画されたセル領域にカラーフィルタを形成するステップと、
前記カラーフィルタ上に有機物を塗布するステップと、
基準面、前記基準面から凹んだ溝、前記基準面から突出した突出部を有するソフトモールドを前記有機物と接触させて前記基準面と対応する平坦化層を形成すると共に、前記平坦化層から突出したスペーサを形成するステップと
を含むことを特徴とする平板表示素子の製造方法。 - 前記ソフトモールドは自重により前記有機物と接触して前記有機物を成型することを特徴とする請求項9記載の平板表示素子の製造方法。
- 前記ソフトモールドの基準面は、前記平坦化層の表面剤の1面に対応し、前記突出部の高さは前記平坦化層の表面と前記基板との間の厚さに対応し、前記溝の深さは前記スペーサの高さに対応することを特徴とする請求項9記載の平板表示素子の製造方法。
- 前記カラーフィルタを形成するステップは、前記ブラックマトリックスを一部露出させると共に、前記ソフトモールドの突出部と対応する第1ホールを形成するステップを含むことを特徴とする請求項9記載の平板表示素子の製造方法。
- 前記平坦化層と前記スペーサを同時に形成するステップは、前記ソフトモールドの突出部を前記第1ホールを通じて露出したブラックマトリックスに接触させるステップと、
前記ソフトモールドを前記ブラックマトリックスが形成された基板から分離するステップと、
前記平坦化層を貫通すると共に、前記第1ホールと重畳されて前記ブラックマトリックスを露出させる第2ホールを形成するステップと
を含むことを特徴とする請求項12記載の平板表示素子の製造方法。 - 前記平坦化層の厚さは、前記第2ホールの深さと実質的に同一であることを特徴とする請求項13記載の平板表示素子の製造方法
- 前記平坦化層と前記スペーサを同時に形成するステップは、前記ソフトモールドの突出部を前記カラーフィルタと接触させるステップと、
前記ソフトモールドを前記カラーフィルタが形成された基板から分離するステップと、
前記平坦化層を貫通して前記カラーフィルタを一部露出させる第3ホールを形成するステップと
を含むことを特徴とする請求項9記載の平板表示素子の製造方法。 - 前記第3ホールの深さは前記突出部と厚さと実質的に同一であることを特徴とする請求項15記載の平板表示素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050133533A KR101157966B1 (ko) | 2005-12-29 | 2005-12-29 | 액정표시소자의 제조방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007183538A true JP2007183538A (ja) | 2007-07-19 |
JP4629615B2 JP4629615B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=38213922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006161357A Active JP4629615B2 (ja) | 2005-12-29 | 2006-06-09 | 液晶表示素子の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7858014B2 (ja) |
JP (1) | JP4629615B2 (ja) |
KR (1) | KR101157966B1 (ja) |
CN (1) | CN100498549C (ja) |
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- 2005-12-29 KR KR1020050133533A patent/KR101157966B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-06-09 JP JP2006161357A patent/JP4629615B2/ja active Active
- 2006-06-15 CN CNB2006100871722A patent/CN100498549C/zh active Active
- 2006-06-30 US US11/477,783 patent/US7858014B2/en active Active
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- 2010-10-08 US US12/901,256 patent/US8293161B2/en active Active
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JP4629615B2 (ja) | 2011-02-09 |
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KR20070070712A (ko) | 2007-07-04 |
KR101157966B1 (ko) | 2012-06-25 |
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CN100498549C (zh) | 2009-06-10 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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