JP2007183319A - 液滴吐出装置及び液滴吐出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明の課題は、ノズルから吐出する液滴重量のばらつきに起因する色むらやスジムラがなく、しかも塗布速度を低下することもない液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供することである。
【解決手段】インク滴を吐出する複数個のノズル開口を有するオリフィスプレートと、ノズル開口に対応したインク加圧室を形成するチャンバプレートと、インク加圧室の一部を形成する振動板と、振動板に固着された複数個の振動子とを有するインクジェットヘッドと、振動子に印加する駆動電圧を発生するインクジェットヘッド駆動部とを備え、インクジェットヘッド駆動部から複数種類の異なる波形の駆動パルスを発生し、これを振動子に印加して一つのノズル開口から液滴重量の異なる複数の液滴を吐出させるようにした。
【選択図】図３

Description

本発明はインクジェット方式による液滴吐出装置及び液滴吐出方法に関する。

一般にインクジェット方式によりパターンの描画を行う液滴吐出装置は、その装置の手軽さやパターンの形成し易さから、様々なパターンの形成用として応用開発が進められている。特に工業分野においては、従来フォトリソグラフィーで行われていた配線パターンの形成や、数多くの工程を経て製作されていた液晶のカラーフィルタやスペーサ塗布等の分野での利用の検討が進められている。

工業分野への適用例の一つである液晶パネルのカラーフィルタは、一般に現像・露光・エッチングといった数多くのフォトリソグラフィー工程をＲＧＢの３色で繰り返して作製しているため、多数の製造設備とプロセスを必要としていた。一方、インクジェット方式でカラーフィルタを作成する場合には、ＲＧＢの３色のインクを各インクジェットヘッドに充填し、必要な場所のみに、必要な量を塗布し硬化させるだけで製作が可能となる。

また、同じ液晶パネルの製作プロセスにおいて、２枚の透明基板を狭持するスペーサの形成用としても開発が進められている。液晶パネルの表示素子は、２枚のガラス基板の間隙を一定に保つために、従来はガラス基板上にスプレーによりスペーサ材を全面塗布していた。

しかしながらこの方法では、光を透過させるカラーフィルタ上にもスペーサが塗布されるため、光の透過が妨げられ、パネルの性能を低下させるという欠点がある。このスペーサの塗布をインクジェット方式で実施する場合、カラーフィルタ上の光を透過しないブラックマトリックス上の定点に、必要な量のみスペーサを配置することが可能となるため、コントラストの向上や材料利用率の向上などの性能及び製造コストの両面において利点がある。

このようにインクジェット方式を用いてスペーサ塗布を行う方法として、特許文献１（特開平１１−２４０８３）は、カラーフィルタのブラックマトリックス上に、スペーサを配置することによってコントラスト比の低下の少ない液晶パネルが形成する方式を提案している。

しかしながらインクジェット方式により液晶パネルのスペーサを形成する場合、１つのノズルで同一セルラインに液滴を塗布するため、ノズル間、つまりセルライン間で吐出液滴量に差が発生することがある。スペーサ塗布の場合、スペーサの個数は吐出液滴量に比例しているため、セルラインによってビーズの個数が異なることにより、２枚の透明基板を張り合わせた際にギャップに差が生じ、ライン上の色むらやスジムラが発生する場合がある。

一方、印刷を目的としたインクジェットプリンタの場合に、ノズル間の液滴吐出量に差があるとインク濃度差を生じ、スジムラが発生することがある。この対策として印刷時の隣接ノズルを散らすことにより、スジムラを解消するバンディング処理が用いられているが、この方法は、印刷品質を向上させる一方で、印刷速度を低下させるという欠点がある。

本発明は上記のような従来の問題を解決した液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供することを目的とする。具体的には、本発明は塗布速度を低下せずに、ノズルから吐出する液滴重量のばらつきに起因する色むらやスジムラの発生を防止し得る液滴吐出装置及び液滴吐出方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために本発明は、インク滴を吐出する複数個のノズル開口を有するオリフィスプレートと、前記ノズル開口に対応したインク加圧室を形成するチャンバプレートと、前記インク加圧室の一部を形成する振動板と、前記振動板に固着された複数個の振動子とを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドの前記振動子に印加する駆動電圧を発生するインクジェットヘッド駆動部とを備えた液滴吐出装置において、前記インクジェットヘッド駆動部は、複数種類の異なる波形の駆動パルスを発生する駆動パルス発生回路を備え、前記振動子に複数種類の駆動パルスを印加して一つのノズル開口から液滴重量の異なる複数の液滴を吐出させるようにしたことに一つの特徴を有する。

本発明の他の特徴は、パルスの立下り部と、立上がり部との間の時間長が異なる複数の種類の駆動パルスを発生し得るように前記駆動パルス発生回路を構成したことにある。

本発明の他の特徴は、前記振動子に印加される３種類以上の波形の駆動パルスを発生するように前記駆動パルス発生回路を構成し、各駆動パルスに応じて異なる重量の液滴を吐出させるようにしたことにある。

本発明の他の特徴は、同一ラインにおける隣接するノズル開口から、重量の異なる液滴を吐出させると共に、異なる液滴の重量の比率を１．３以下に選定したことにある。

本発明の他の特徴は、前記ノズル開口から液滴重量は異なり、吐出速度は同じ液滴を吐出するようにしたことにある。

本発明の他の特徴は、インク滴を吐出する複数個のノズル開口を有するオリフィスプレートと、前記ノズル開口に対応したインク加圧室を形成するチャンバプレートと、前記インク加圧室の一部を形成する振動板と、前記振動板に固着された複数個の振動子とを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドの前記振動子に印加する駆動電圧を発生するインクジェットヘッド駆動部とを備えた液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する方法において、前記インクジェットヘッド駆動部から異なる複数の波形の駆動パルスを前記振動子に印加し、複数の異なる重量の液滴を対象物に吐出するステップを有することにある。

本発明の他の特徴は、インク滴を吐出する複数個のノズル開口を有するオリフィスプレートと、前記ノズル開口に対応したインク加圧室を形成するチャンバプレートと、前記インク加圧室の一部を形成する振動板と、前記振動板に固着された複数個の振動子とを有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドの前記振動子に印加する駆動電圧を発生するインクジェットヘッド駆動部とを備えた液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する方法において、前記インクジェットヘッド駆動部から第１の波形の駆動パルスを前記振動子に印加して第１の重量の液滴を対象物に吐出するステップと、前記インクジェット駆動部から第１の波形とは異なる第２の波形をした駆動パルスを前記振動子に印加して第２の重量の液滴を対象物に吐出するステップと、前記インクジェットヘッド駆動部から第３の波形の駆動パルスを前記振動子に印加して第３の重量の液滴を対象物に吐出するステップを有することにある。

本発明の他の特徴は、前記対象物は液晶パネルのガラス基板であり、吐出した液滴によりスペーサを形成することにある。

本発明の他の特徴は、以下の説明により更に明瞭に理解される。

本発明によれば次の効果が得られる。

（１）インクジェットヘッドのノズル間の吐出液滴重量のばらつきに起因する塗布むらを塗布速度を低下させることなく防止することが可能である。

（２）インクジェット方式を用いてスペーサやカラーフィルタ等の液晶製造プロセスを実現することが可能となり、高品質の液晶パネルを低コストで製造することが可能になる。

以下本発明に係る液滴吐出装置の構成を説明し、次に、その装置におけるインクジェットヘッドの構成、インクジェットヘッド駆動部の構成、液滴吐出方法の順に説明する。

（１）液滴吐出装置の装置構成
図１は本発明に係る液滴吐出装置の装置構成を示す概略斜視図である。同図において、１はビーズスペーサを塗布するガラス基板で、基板ホルダ２に保持されている。ガラス基板１の上部にスペーサを塗布するための記録ヘッド部３が取付けられている。記録ヘッド部３には複数のノズルを有するインクジェットヘッド及びインクジェットヘッドを駆動するための駆動装置が格納されている。

記録ヘッド部３は、Ｘ及びＺ方向に稼動可能なＸガイド４及びＺガイド５に取付けられており、更に基板ホルダ２はＹ方向に駆動できるように構成されている。このため、インクジェットヘッド駆動装置からの信号により、任意の距離からガラス基板１上の任意の位置にスペーサ溶液を塗布することができる。なお、スペーサ溶液は、溶液供給パイプ６を通して、図示されていないスペーサ溶液タンクより連続的に供給される。また、ガラス基板１の交換時や、装置休止時には、記録ヘッド部３は溶液の乾燥防止のためにヘッド保全部７に移動し、表面のクリーニング及びキャップ、場合によっては古い溶液を廃棄するためのダミー吐出等の操作が行われる。

（２）インクジェットヘッド
図２は、本発明に係るインクジェットヘッドのノズル部の構成の一実施例を示す断面図である。１０１はノズル開口部となるオリフィスで、オリフィルプレート１１３に列状に形成されている。１０２はインク加圧室で、各オリフィス１０１に対応した位置に、加圧室プレート１１２により形成されている。１０７はリストリクタで共通インク供給管１０８とインク加圧室１０２とを連結し、加圧室１０２へのインク流入を制御する。このリストリクタ１０７はリストリクタプレート１１１により形成される。なお、リストリクタプレート１１１と加圧室プレート１１２はチャンバープレートと称される。

共通インク供給路１０８は、フィルタプレート１１６に形成されたフィルタを介して、ハウジング１１５内のインク供給路に連通している。圧電素子（振動子）１０４はその一方の端部が圧電素子固定板１０６に固定され、他方の端部はシリコン接着剤等の弾性を有する接着剤１１０により振動板１０３に連結されている。振動板１０３は、これを補強する支持板１１４に形成されている。また圧電素子（振動子）１０４には信号入力端子１０５ａ及び１０６ｂが取り付けられる。

振動板１０３、リストリクタプレート１１１、加圧室プレート１１２、支持板１１４は、例えばステンレス材から作られ、オリフィスプレート１１３はニッケル材或いはステンレス材から作られている。また、圧電素子固定板１０６は、セラミックス、ポリイミドなどの絶縁物から作られている。

インクは、上流から下流へ向かって、共通インク供給管１０８の途中で，フィルタ１０９を通過して、リストリクタ１０７、加圧室１０２、オリフィス１０１の順に流れる。圧電素子１０４は信号入力端子１０５ａと１０５ｂの間に電位差が印加されたときに伸縮し、信号入力端子１０５ａと１０５ｂ間に電位差が無くなれば伸縮前の形に戻る。この圧電素子１０４の変形によって、加圧室１０２内のインクに圧力が加わり、オリフィス１０１からインクが吐出する。

（３）インクジェットヘッド駆動部
インクジェットヘッド駆動部は、図３に示すように駆動パルス発生回路３００とスイッチング回路４００よりなる。駆動パルス発生回路３００は、圧電素子１０４を駆動するパルスを発生する駆動パルス発生回路３０１と、スイッチ回路４００のスイッチ群４０１を制御するパルスを発生するスイッチ制御パルス発生回路３０２を備える。タイミング信号発生回路３０３は駆動パルス及びスイッチ制御パルスの生成に必要なタイミング信号を供給する。

上記駆動パルス発生回路３０１は、例えば図４−１，４−２，４−３に示すような異なる波形の複数種類のパルス信号を発生するように構成されている。図４−１は圧電素子駆動パルス発生回路３０１により発生される第１のパルスの出力波形ａを示す。このパルス波形の区間Ａ，Ｂ１において、インク加圧室１０２（図２）内へのインクの吸い込みが行なわれ、区間Ｃにおいて、インク加圧室１０２が加圧されてインク滴を吐出する。

Ａ及びＣの傾斜角度は、圧電素子１０４の固有振動数の整数倍にすることにより、余計な振動を発生させることなく、安定した液滴の吐出が可能となる。またＢの長さを変えることにより、液滴の重量や速度を変化させることが可能である。

図４−２は駆動パルス発生回路３０１により発生される第２のパルス波形ｂを示し、区間ＢがＢ２＞Ｂ１の関係にある。更に、図４−３は駆動パルス発生回路３０１により発生される第３のパルス波形ｃを示し、区間ＢがＢ３＞Ｂ２の関係にある。

圧電素子駆動パルス発生回路３０１は、図示しない上位装置（例えば、パーソナルコンピュータ）からの入力データと、タイミング信号発生回路３０３からのタイミング信号をもとに、図４−１，４−２，４−３に示した駆動パルスａ，ｂ，ｃを発生する。

またスイッチ制御パルス発生回路３０２は上位装置からの入力データとタイミング発生回路３０３からのタイミング信号をもとにスイッチ群４０１を制御するパルス信号を発生する。スイッチ群４０１のスイッチング素子を選択的にオンにすると、このスイッチング素子に接続された圧電素子１０４の個別電極は、選択的に接地される。一方、圧電素子１０４の共通電極には圧電素子駆動パルス波形発生回路３０１からパルス信号が印加されるので、選択された圧電素子１０４にはそのパルス信号が印加されることになる。従って選択された圧電素子１０４に対応するノズルより記録媒体に向けてインク滴を吐出する。

（４）液滴吐出方法
次に本発明に係る液滴吐出装置を用いて液滴を吐出布する液滴吐出方法を、一例としてガラス基板にスペーサを塗布する場合を例にとって説明する。

液晶パネルは、図５に示すようにＲＧＢの３色のカラーフィルタセル２０４を形成されたカラーフィルタ基板２０２と、各セルに電気信号を送るＴＦＴ基板の２枚のガラス基板を有し、スペーサ２０３は２枚のガラス基板の間隙を一定に保持する役目を有する。２枚のガラス基板間には液晶が注入されており、ギャップにムラが発生すると液晶パネルの明るさにムラが発生し、品質の低下の原因となるのでギャップは一様に一定でなければならない。本実施例では次の手順に従ってカラーフィルタ基板２０２の定点に周期的にスペーサを塗布する。

（４．１）溶液の生成
最初に、スペーサとなる溶液を作る。スペーサは一般的には３〜４μｍの樹脂の球形粒子であり、粒子径は液晶パネルの方式やサイズによって決定される。また、スペーサはインクジェットで吐出するために、溶剤に分散されており、安定吐出が可能なように粘度が１０ｍＰａ・ｓ程度に調整されている。本実施例では、水とエチレングリコールを混合し上記の粘度に調整し、３．５μｍのスペーサを１．２％分散させた溶液を用いた。

（４．２）インクジェットヘッド配置の設定
本実施例ではカラーフィルタ基板２０２に形成するスペーサ２０３の間隔をセル２０４のピッチと等しくした。図５に示すように、スペーサ２０３は隣接するセル領域２０４の間に周期的に形成される。このセル領域２０４の間隔、つまりセルピッチはフィルタの仕様により例えば１７０μｍに設定される。

一方、図３に示すようにインクジェットヘッド２０１には多数のオリフィス１０１が列状に形成されている。ここでは、説明の便宜上、丸印の中の数字でノズル番号を表している。各ノズル間の間隔、つまりノズルピッチはインクジェットヘッド２０１の設計により決定され、例えば３３８μｍに設計される。

このようにセルピッチとノズルピッチとは通常等しくないので、これを整合させるために図５に示すようにインクジェットヘッド２０１をカラーフィルタ基板２０２に対して傾斜して配置する。

本実施例では塗布セルピッチ１７０μｍに対し、ノズルピッチ３３８μｍのインクジェットヘッド２０１を使用しているため、カラーフィルタ基板２０２の送り方向に対し、インクジェットヘッド２０１を３０．１°傾斜して配置した。

（４．３）波形ａ，ｂ，ｃによる液滴吐出
本実施例では図４−１、４−２、４−３に示すように、３種類の波形ａ，ｂ，ｃの電圧を各ノズルに対応する圧電素子１０４に印加して、同じノズルから順次３種類の重量の液滴が吐出されるように制御する。

すなわち最初に圧電素子駆動パルス発生回路３０４で波形ａ（図４−１）のパルスを発生してこれを圧電素子１０４に印加して、波形ａに相当する重量の液滴を吐出する。次に、同じノズルに対応する圧電素子１０４に波形ｂ（図４−２）のパルスを印加して波形ｂに相当する重量の液滴を形成する。更に同じノズルに対応する圧電素子１０４に波形ｃ（図４−３）のパルスを印加しこの波形ｃに相当する重量の液滴を吐出する。

このように一つのノズルから液滴重量の異なる複数の液滴を連続して吐出してスペーサを形成することによりノズル間の液滴重量の差を見かけ上分散することが可能となり、従来に比べて一様なスペーサを形成することが可能となる。

図６は本発明方法により形成されたスペーサ２０３の一例を示す。インクジェットヘッドはセルに対して角度を持って傾斜に配置されているため、セルへの吐出タイミングは各ノズルによって異なる。従って、各ノズルの吐出タイミングが来た時点で、例えばノズル番号１，４，７・・・にはパルスａを印加し、ノズル番号２，５，８・・・にはパルスｂを印加し、更にノズル番号３，６，９・・・にはパルスｃを印加してそれぞれのパルスに対応した液滴重量のスペーサを形成する。各ノズルには順次ａ，ｂ，ｃのパルスが印加されるように設定することによって同一セルライン及び隣接セルにおいて、液滴重量が異なるドットを形成できる。

このようにしてカラーフィルタ基板２０２上にスペーサ２０３を塗布し、液晶パネルを組み立てて点灯試験を実施したところ、従来のインクジェット法で塗布を行った際に見られた塗布方向に平行なスジムラは見られなかった。

すなわち、従来の塗布方法では、同一セルラインを一つのノズルで、同じ波形のパルスで塗布するために、ノズル間の液滴重量バラツキが、スペーサの個数にそのまま反映され、セルによってギャップの高低が顕著に表れ、図６に示すような一定方向のスジムラ２０６が液晶パネル２０５に発生するが、本発明によれば、同一セルラインを一つのノズルで複数の液滴重量で塗布し、隣接ノズルの塗布にも故意に液滴重量を変えているため、同一セルの前後及び隣接セルのギャップにランダムな高低差が生じて、一定方向のスジムラの発生がなくなることが確認できた。

なお、本発明者の実験によると、前述の波形ａ，ｂ，ｃにより一つのノズルから異なる重量の液滴を吐出させてノズル間の液滴重量の差を分散させる場合、波形ａ，ｂ，ｃにより形成される液滴重量の比率が大き過ぎると効果が少ないことが見出された。実験では重量の比率が１．３以下の範囲で特に効果が大きいことが判明した。

（５）変形例
以上、本発明の実施例について説明したが、本発明の基本的な考え方を逸脱しない範囲で種々の変形をすることは容易であり、それらの変形も本発明の範囲に入る。

例えば、本実施例では駆動パルス波形の区間Ｂの時間を変えることにより液滴重量を変化させたが、駆動電圧の大きさＶｅを変えたり、駆動パルスの形状を変化させることにより重なる重量の液滴を吐出することも可能である。

また駆動電圧の大きさや波形を変えて吐出する液滴の重量を変化させながら液滴の吐出速度を一定にすることもできる。この場合は液滴の着地位置のバラツキ精度を変えずにノズル間の液滴重量の差を分散することが可能となる。

また上記実施例では一つのノズルから３種類の異なる重量の液滴を吐出できるようにしたが、２個又は４個以上の異なる重量の液滴を吐出させるようにしてもよい。

更に、本発明を液晶パネルの製造プロセスに適用する場合、カラーフィルタ基板のセルサイズやピッチ及びインクジェットヘッドのノズル数や角度は任意に設定することができる。また上記実施例はカラーフィルタ基板にスペーサを形成する場合を例にとって説明したが、カラーフィルタの形成等にも適用することが可能である。

また上記本実施例ではスペーサの塗布について述べたが、同様の塗布方法を行うカラーフィルタの製造方法においても利用可能である。

本発明に係る液滴吐出装置の概略構成図である。 本発明液滴吐出装置におけるインクジェットヘッドの一実施例を示す構成図である。 本発明液滴吐出装置におけるインクジェットヘッド駆動部の一実施例を示す構成図である。 インクジェットヘッド駆動部により発生する駆動電圧の波形図である。 インクジェットヘッド駆動部により発生する駆動電圧の波形図である。 インクジェットヘッド駆動部により発生する駆動電圧の波形図である。 本発明装置を用いてスペーサを形成する方法を説明する説明図である。 本発明装置を用いてスペーサを形成する方法を説明する説明図である。 従来のインクジェット塗布方法で製作された液晶パネルのスジムラの説明図である。

符号の説明

１：ガラス基板、 ２：基板ホルダ、 ３：記録ヘッド部、
４：Ｘガイド、 ５：Ｚガイド、 ６：溶液供給パイプ、
７：ヘッド保全部、 １０１：オリフィス、 １０２：加圧室、
１０３：振動板、 １０４：圧電素子、 １０５ａ，１０５ｂ：信号入力端子、
１０６：圧電素子固定基板、 １０７：リストラクタ、
１０８：共通インク供給路、 １０９：フィルタ、 １１０：接着剤、
１１１：リストラクタプレート、 １１２：加圧室プレート、
１１３：オリフィスプレート、 １１４：支持板、
１１５：共通インク供給部材、 １１６：フィルタプレート、
２０１：インクジェットヘッド、 ２０２：カラーフィルタ基板、
２０３：スペーサ、 ２０４：セル、 ２０５：液晶パネル、
２０６：スジムラ、 ３００：駆動パルス発生回路、
３０１：圧電素子駆動パルス発生回路、 ３０２：スイッチ制御パルス発生回路、
３０３：タイミング信号発生回路、 ４００：スイッチング回路、
４０１：スイッチ群

Claims (11)

1. インク滴を吐出する複数個のノズル開口を有するオリフィスプレートと、前記ノズル開口に対応したインク加圧室を形成するチャンバプレートと、前記インク加圧室の一部を形成する振動板と、前記振動板に固着された複数個の振動子とを有するインクジェットヘッドと、
   前記インクジェットヘッドの前記振動子に印加する駆動電圧を発生するインクジェットヘッド駆動部とを備えた液滴吐出装置において、
   前記インクジェットヘッド駆動部は、複数種類の異なる波形の駆動パルスを発生する駆動パルス発生回路を備え、前記振動子に複数種類の駆動パルスを印加して一つのノズル開口から液滴重量の異なる複数の液滴を吐出させることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 請求項１において、前記駆動パルス発生回路は、パルスの立下り部と、立上がり部との間の時間長が異なる複数の種類の駆動パルスを発生することを特徴とする液滴吐出装置。
3. 請求項１において、前記駆動パルス発生回路は、前記振動子に印加される駆動パルスの波形が３種類以上のパルスを発生し、各駆動パルスに応じて異なる重量の液滴を吐出させるようにしたことを特徴とする液滴吐出装置。
4. 請求項３において、同一列の隣接するノズル開口から吐出する液滴の重量が互いに異なるようにしたことを特徴とする液滴吐出装置。
5. 請求項３又は４において、前記駆動パルス発生回路は、異なる液滴の重量の比率が１．３以下の液滴を吐出するような駆動パルス波形を発生することを特徴とする液滴吐出装置。
6. 請求項３又は４において、前記駆動パルス発生回路は、前記ノズル開口から吐出する液滴の重量は異なり、吐出速度は同じ液滴を吐出するパルス波形を発生することを特徴とする液滴吐出装置。
7. インク滴を吐出する複数個のノズル開口を有するオリフィスプレートと、前記ノズル開口に対応したインク加圧室を形成するチャンバプレートと、前記インク加圧室の一部を形成する振動板と、前記振動板に固着された複数個の振動子とを有するインクジェットヘッドと、
   前記インクジェットヘッドの前記振動子に印加する駆動電圧を発生するインクジェットヘッド駆動部とを備えた液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する方法において、
   前記インクジェットヘッド駆動部から、異なる複数の波形の駆動パルスを前記振動子に印加し、複数の異なる重量の液滴を対象物に吐出するステップを有することを特徴とする液滴吐出方法。
8. インク滴を吐出する複数個のノズル開口を有するオリフィスプレートと、前記ノズル開口に対応したインク加圧室を形成するチャンバプレートと、前記インク加圧室の一部を形成する振動板と、前記振動板に固着された複数個の振動子とを有するインクジェットヘッドと、
   前記インクジェットヘッドの前記振動子に印加する駆動電圧を発生するインクジェットヘッド駆動部とを備えた液滴吐出装置を用いて液滴を吐出する方法において、
   前記インクジェットヘッド駆動部から第１の波形の駆動パルスを前記振動子に印加して第１の重量の液滴を対象物に吐出するステップと、前記インクジェット駆動部から第１の波形とは異なる第２の波形をした駆動パルスを前記振動子に印加して第２の重量の液滴を対象物に吐出するステップと、前記インクジェットヘッド駆動部から第３の波形の駆動パルスを前記振動子に印加して第３の重量の液滴を対象物に吐出するステップを有する液滴吐出方法。
9. 請求項８において、第１、第２、第３の液滴の重量の比は１．３以下であることを特徴とする液滴吐出方法。
10. 請求項７又は８において、前記対象物は液晶パネルのガラス基板であり、吐出した液滴によりスペーサを形成することを特徴とする液滴吐出方法。
11. 請求項７又は８において、同一列の隣接するノズル開口から吐出する液滴の重量が互いに異なるようにしたことを特徴とする液滴吐出方法。
    

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