JP2007180355A - 磁気シールド用ブレード材及び磁気シールド簾体 - Google Patents

Abstract

【課題】性能の安定した開放型シールド構造を構築できる磁気シールド用ブレード材及び磁気シールド簾体を提供する。
【解決手段】長手方向と交差する矩形断面の短辺を板厚とする磁性板５の群を、それぞれ長手方向の曲げ剛性が磁性板５の撓みを抑える大きさの非磁性鞘10に装填してブレード材１の群を構成する。そのブレード材１の群を、各ブレード材１の磁性板５の長手方向中心軸Ｃが同一簾面Ｆ上に平行に並ぶように磁性板５の板厚方向に所定間隔ｄで簾状に重ねて支持部材20に梁状に支持することにより、磁気シールド簾体を構成する。好ましくは、鞘10の長手方向と交差する断面12に磁性板５が遊嵌可能な中空部を設け、その中空部14の内面に磁性板５を位置決めする位置決め突起15を設ける。更に好ましくは、鞘10を磁性板５の断面の異なる長辺にそれぞれ対向する一対の半割鞘10a、10bの接合体とする。
【選択図】 図３

Description

本発明は磁気シールド用ブレード材及び磁気シールド簾体に関し、とくに空気や光の透過性のある開放型磁気シールド構造に用いる磁気シールド用ブレード材及びそのブレード材を用いた磁気シールド簾体に関する。

最近の半導体関連施設・医療施設等では、EB（Electron Beam、電子ビーム）露光装置、EB描画機、MRI（Magnetic Resonance Imaging、磁気共鳴画像診断）装置、NMR（Nuclear Magnetic Resonance、核磁気共鳴）装置、SQUID（Superconducting QUantum Interference Device、超電導量子干渉素子）利用の生体磁気測定装置等の強磁気利用装置を使用することが増えており、強磁気利用装置を環境磁気ノイズから保護して正常な動作を保証するため又は強磁気利用装置の磁気的影響から周囲の人や機器を保護するため、磁気シールドルームに対する要求が高まっている。

従来の磁気シールドルームは、例えば特許文献１が開示するように、透磁率の高い方向性電磁鋼板、無方向性電磁鋼板、パーマロイ、軟磁性鋼板、アモルファス、液体急冷薄帯を結晶化させた微結晶磁性材料等の磁性材料板（以下、これらを纏めて単に磁性板ということがある）によりシールド対象空間の壁面を覆う構造（以下、密閉型シールド構造ということがある）を基本としている。しかし密閉型シールド構造は、磁性板の材料特性から期待されるようなシールド性能がなかなか得られず、しかも空気や光の透過性がないという問題点がある。

これに対し本発明者等は、簾状又はルーバー状に並べた磁性板の群（以下、磁気シールド簾体という）を用いて隙間のある磁気シールド構造（以下、開放型シールド構造ということがある）を開発し、特許文献２及び特許文献３に開示した。特許文献２の開放型シールド構造を、図６を参照して本発明の理解に必要な限度において説明する。図６（Ａ）は、例えば厚さ0.35mm、幅25mm、長さ300mmの８枚の短冊状磁性板５を、その長手方向中心軸Ｃが同一簾面Ｆ上にほぼ平行に並ぶように板厚方向に間隔ｄ＝30mmで重ねて形成した磁気シールド簾体６の一例を示す。例えば、各磁性板５の長手方向と直角方向における間隔ｄの断面積Saと磁性板５の断面積Sm及び磁性板５の比透磁率μsの積（Sm・μs）との割合（Sm・μs／Sa）を、（Sm・μs）／Sa＞１の範囲内において、間隔ｄ中の磁束密度が磁性板５中の磁束密度に比し十分小さくなるように選択する。

図６（Ａ）のような板厚方向間隔ｄを有する複数の磁気シールド簾体６は、各簾体６の磁性板５の長手方向端縁を接合することにより、図６（Ｂ）のような磁気的に連続した磁気シールド簾体６の列（以下、列状簾体ということがある）８を形成することができる。同図は、４つの簾体6a、6b、6c、6dをそれぞれ対応する磁性板５の端縁の重ね合わせにより縦列状に接合し、更にその一端側における磁性板５の未接合端縁を他端側の対応する磁性板５の未接合端縁と重ね合わせて接合することにより、磁気的に閉じた環状の列状簾体８（内容積280mm×280mm×280mm）とした例である。図中の符号９は磁性板５の端縁の重ね合わせ部を示す。

図６（Ｂ）の列状簾体８を、図８（Ａ）に示す環状コイル（例えばヘルムホルツ・コイル）Ｌの中央部に設置し、コイルＬの中央部に10〜100μTの一方向磁場Ｍを形成して列状簾体８の内側の磁気センサ34（例えばガウスメータ）で磁束密度Ｂを測定し、列状簾体８のシールド係数Ｓ（＝シールドがない場合の磁束密度B₀／シールドがある場合の磁束密度Ｂ）を算出した。また比較のため、厚さ0.35mmで幅及び長さが280mm×280mmの４枚の方形磁性板32a、32b、32c、32dにより図６（Ｃ）のような立方体形の密閉型磁気シールド体31を作製し、同様に環状コイルＬの中央部に設置して密閉型シールド体31のシールド係数Ｓを算出した。同図（Ｃ）の密閉型シールド体31に用いた磁性材料の重量は、同図（Ｂ）の列状簾体８で用いた磁性材料の重量とほぼ同じである。

表１は、10μT、50μT、100μTの一方向磁場Ｍに対する列状簾体８及び密閉型シールド体31のシールド係数Ｓを示す。表１は、10〜100μTの一方向磁場Ｍに対する列状簾体８のシールド係数Ｓが、密閉型シールド体31に比し２〜３倍程度高いことを示している。すなわち、図６（Ｂ）の列状簾体８は磁束漏洩が少なく、密閉型シールド構造より高いシールド性能と通気性・透光性とを同時に備えた開放型シールド構造ということができる。また、簾体６の磁性板５の板厚方向間隔ｄを磁性板５の幅より大きくすることにより、所要のシールド性能を得るために必要な磁性材料を密閉型シールドに比して節減し、高度な磁気シールド構造を経済的・効率的に構築できる利点もある。なお、図６（Ａ）の磁気シールド簾体６は各磁性板５を水平（横方向）に配置しているが、複数の磁性板５を垂直（縦方向）に配置して磁気シールド簾体６を構成することも可能である。また図６（Ｂ）の列状簾体８は、図８（Ａ）のように磁気シールドルームを環境磁気ノイズから保護する受動的シールドだけでなく、同図（Ｂ）のように磁気シールドルームからの磁気漏洩を防止する能動的シールドにも適用することができる。

図６（Ｂ）の列状簾体８を実際の磁気シールドルームに適用する場合は、図７（Ａ）に示すように、例えば厚さ0.35mm程度の磁性薄板７の複数枚を重畳した磁性板５を用いることができる。図示例の磁性板５は、磁性薄板７を重畳して断面積Smを拡大すると共に、各磁性薄板７の端縁を不揃いとして長手方向端面に凹凸を形成したものである。高いシールド性能の列状簾体８を形成するためには磁性板５の接合部からの磁束漏洩を小さく抑えることが重要であり、図７（Ｂ）のように磁性板５を凹凸端面の嵌合によって接合することで磁性板５の接合部からの磁束漏洩を極めて小さく抑えることができる。また凹凸端面付き磁性板５は、図示例のような直角向きだけでなく、シールドルームのシールド対象面の形状に応じて直線状又は任意の角度で接合することができる。

特開平９−１６２５８５号公報 特許第３６３３４７５号公報 国際公開第２００４／０８４６０３号パンフレット 平修二監修「現代材料力学」オーム社、平成５年１２月３０日、第１版第３０刷、４８−５５頁

しかし図６に示す磁気シールド簾体６は、比較的薄い短冊状磁性板５を固定梁（ビーム）状に支持しているため、固定梁の支点間の距離が大きくなると磁性体５が自重により撓み、磁性板５の板厚方向間隔ｄが広がるおそれがある。磁性板５の間隔ｄが設計値より広がると、前述した（Sm・μs）／Saが小さくなって磁気シールドルームの所望の性能が得られなくなる。磁性板５の支点の数を増やして撓みを防ぐことも可能であるが、支点の数を増やすと間隔ｄが塞がれるため通気性・透光性が低下してしまう。通気性・透光性の高い磁気シールド構造を経済的に構築できるという開放型シールド構造の利点を生かしつつシールド性能の品質を安定させるためには、できるだけ支点の数を増やさずに磁性板５の撓みを抑えてシールド性能の低下を防ぐことが有効である。

また図６のような磁気シールド簾体６は、複数の磁性板５の長手方向中心軸Ｃを相互に位置合わせしながら所定板厚方向間隔ｄで並べる必要があるため、施工に手間がかかると共に、作業者によって施工品質にバラツキが生じ得る問題点もある。この施工品質のバラツキも、磁性板５の撓みと同様に、磁気シールドルームの性能を低下させる原因となる。開放型シールド構造の性能品質を安定させるためには、磁性板５の撓みを抑えると共に、磁気シールド簾体６の施工品質のバラツキを防止することが有効である。

そこで本発明の目的は、性能品質の安定した開放型シールド構造を構築できる磁気シールド用ブレード材及び磁気シールド簾体を提供することにある。

図１及び図２の実施例を参照するに、本発明による磁気シールド用ブレード材は、長手方向と交差する断面が矩形の磁性板５を、長手方向の曲げ剛性が磁性板５の撓みを抑える大きさの非磁性鞘10に装填してなるものである。好ましくは、鞘10の長手方向と交差する断面12に磁性板５が遊嵌可能な中空部を設け、その中空部14の内面に磁性板５を位置決めする位置決め突起15を設ける。更に好ましくは、鞘10を磁性板５の断面の異なる長辺にそれぞれ対向する一対の半割鞘10a、10bの接合体とする。

また図３の実施例を参照するに、本発明による磁気シールド簾体は、長手方向と交差する矩形断面の短辺を板厚とする磁性板５の群をそれぞれ長手方向の曲げ剛性が磁性板５の撓みを抑える大きさの非磁性鞘10に装填したブレード材１の群、及びブレード材１の各々を各磁性板５の長手方向中心軸Ｃが同一簾面Ｆ上に平行に並ぶように板厚方向に所定間隔ｄで簾状に重ねて梁状に支持する支持部材20を備えてなるものである。

好ましくは、図１及び図２に示すように、各ブレード材１の鞘10の長手方向と交差する断面12にそのブレード材１の磁性板５が遊嵌可能な中空部を設け、その中空部の内面に磁性板５を位置決めする位置決め突起15を設ける。更に好ましくは、鞘10を磁性板５の断面の異なる長辺にそれぞれ対向する一対の半割鞘10a、10bの接合体とする。図示例のように、各ブレード材１の鞘10の外側表面上の所定部位に鞘10の長手方向に延びる凹入溝16を設け、その凹入溝16によりブレード材１の各々を芯合わせることができる。

本発明は、長手方向と交差する断面が矩形の磁性板５を長手方向の曲げ剛性が磁性板５の撓みを抑える大きさの非磁性鞘10に装填してブレード材１を構成し、そのブレード材１の群を各ブレード材１の磁性板５の長手方向中心軸Ｃが同一簾面Ｆ上に平行に並ぶように所定間隔ｄで簾状に重ねて支持することにより磁気シールド簾体６を構成するので、次の顕著な効果を奏する。

（イ）磁性板５を曲げ剛性が大きい非磁性鞘10に装填してブレード材１とすることにより、磁性板５の撓みを小さく抑え、磁気シールド簾体６の性能品質を安定させることができる。
（ロ）磁性板５の撓みを小さく抑えることにより、従来の磁気シールド簾体６に比し支持部材（支点）の間隔を広げ、磁気シールド簾体６の通気性・透光性を高めることができる。
（ハ）非磁性鞘10の中空部に磁性板５を遊嵌させて位置決めすることにより、非磁性鞘10を用いて複数の磁性板５の長さ方向中心軸Ｃを容易に位置合わせすることができ、磁気シールド簾体６の施工品質のバラツキを防止することができる。

（ニ）非磁性鞘10を一対の半割鞘10a、10bの接合体とすることにより、非磁性鞘10に対する磁性板５の装填作業の効率向上を図ることができる。
（ホ）非磁性鞘10の外側表面上の所定部位に鞘10の長手方向に延びる凹入溝16を形成することにより、その凹入溝16を利用して複数のブレード材１の芯合わせの容易化を図ることができる。
（ヘ）非磁性鞘10の表面にカーブをつけることにより、ブレード材１の強度を更に増大させることができる。
（ト）非磁性鞘10を光反射性の材質とした場合でも、非磁性鞘10の表面に細かな溝を設けることにより、光の照り返しを小さく抑えることができる。

図１及び図２は、長手方向中心軸Ｃと交差する断面が矩形の磁性板５を非磁性鞘10に装填した本発明の磁気シールド用ブレード材１の実施例を示す。磁性板５は、図６に示す磁気シールド簾体６の磁性板５と同様に、矩形断面の短辺を板厚ｗとし長辺を板幅ｔとした所要長さのものである。磁性板５の板厚ｗ及び板幅ｔは、図６の場合と同様に簾体６に与えるシールド性能に応じて、磁性板５の断面積Sm及び比透磁率μsの積（Sm・μs）が間隔ｄの断面積Saより大きくなるように選択する。磁性板５の長さは適当に選択できるが、図示例のように複数枚（図示例では３枚）の磁性薄板７を板厚方向に重畳して長手方向端面に凹凸が形成された磁性板５とし、その凹凸端面により複数の磁性板５を中心軸Ｃ方向に直列に接合して適当な長さとすることにより、磁性板５の中心軸Ｃ方向の接合部からの磁束漏洩を小さく抑えることが望ましい。必要に応じて磁性板５の中心軸Ｃを曲線とし、ブレード材１を曲線状としてもよい。

磁性板５を非磁性鞘10に装填することにより、ブレード材１の長手方向の曲げ剛性を磁性板５の撓みを抑える大きさとする。一般に梁（ビーム）は、その長手方向軸線Ｃと直角向きの曲げモーメントＭを受けると曲がりを生じるが、梁の中立面（伸縮しない長手方向軸を含む面）の曲率１／ρと曲げモーメントＭとの間には、梁の縦弾性係数（ヤング率）Ｅと断面慣性モーメント（断面二次モーメント）Ｉとを用いて(1)式の関係があることが知られている（非特許文献１参照）。(1)式においてＥＩは、曲げ（曲率１／ρ）に対する変形抵抗の大きさを示すパラメータであり、曲げ剛性（flexural rigidity）と呼ばれる。磁性板５自体の曲げ剛性ＥＩが比較的小さく、梁状に支持したときに自重（荷重）による曲げモーメントＭを受けて撓む場合であっても、磁性板５を非磁性鞘10に装填して曲げ剛性ＥＩを大きくすることにより、梁状に支持した場合でも磁性板５及び非磁性鞘10の自重（荷重）に抗して撓みにくいブレード材１とすることができる。
［数１］
１／ρ＝Ｍ／（ＥＩ） …………………………………… (1)

好ましくは、非磁性鞘10の長手方向と交差する断面12を磁性板５が遊嵌可能な中空形状とし、断面慣性モーメントＩを大きくすることによりブレード材１の長手方向の曲げ剛性ＥＩを大きくする。一般に梁の断面慣性モーメントＩは、断面積が同じであれば、円形や正方形の断面形状よりもＩ形や中空の断面形状の方が大きくなることが知られている（非特許文献１参照）。非磁性鞘10を中空断面とし、その中空部14に磁性板５を遊嵌させることにより、ブレード材１の荷重の増加を小さく抑えつつブレード材１の曲げ剛性ＥＩを大きくすることができる。例えば図２のように非磁性鞘10の断面を磁性板５とほぼ相似形の中空部14を有する矩形とし、簡易な断面形状とすることで製造コストを低く抑える。あるいは図１のように、非磁性鞘10の断面を中空の円弧形又は楕円弧形とし、鞘10の表面にカーブをつけて鉛直方向の応力を分散させることによりブレード材１の強度を増大させる。

更に好ましくは、非磁性鞘10の中空部14の周壁内面に磁性板５を位置決めするための位置決め突起15、15を設け、位置決め突起15、15により磁性板５を中空部14内の所定位置に位置決めする。磁性板５の施工に比して非磁性鞘10の施工は比較的容易であり、複数の非磁性鞘10を相互に位置合わせしながら並べたうえで各非磁性鞘10の中空部14に磁性板５を位置決めすることにより、複数の磁性板５の長手方向中心軸Ｃを比較的容易に位置合わせすることが可能となり、開放型シールド構造の施工品質のバラツキを防止することができる。また、図示例のように磁性薄板７の複数枚が重畳された磁性板５を用いる場合は、位置決め突起15により各磁性薄板７の長手方向中心軸Ｃの位置ずれを防止することができる。ただし、本発明で用いる非磁性鞘10は長手方向の曲げ剛性が磁性板５の撓みを抑える大きさのものであれば足り、中空断面形状のものに限定されない。

図示例の非磁性鞘10は、磁性板５の矩形断面の異なる長辺（板幅方向）と対向する一対の半割鞘10a、10bを磁性板５の矩形断面の短辺方向（板厚方向）に接合させることにより中空断面を形成し、両半割鞘10a、10bの間に磁性板５を保持したものである。各半割鞘10a、10bの半割断面12a、12bにはそれぞれ板幅方向の両端部に磁性板５の板厚方向に突出する接合突起17、17が設けられ、接合突起17、17を相互に突合せることで磁性板５が遊嵌可能な中空部14を形成する。図２のように接合突起17の先端に適当な接合機構を設けるか、接合突起17の先端を適当な接着剤等で接合することできる。荷重の増加を小さく抑えるため、半割鞘10a、10bの中空部14の周壁の幅は、長手方向の曲げ剛性ＥＩが磁性板５の撓みを抑えることができる範囲内において極力薄くすることが望ましい。一対の半割鞘10a、10bを用いて中空形状の非磁性鞘10を構成することにより、施工品質のバラツキ防止だけでなく、非磁性鞘10に磁性板５を装填する作業の効率向上も図ることもできる。

非磁性鞘10は金属製、合成樹脂性、木製等の適当な非磁性材質製とすることができるが、できるだけ縦弾性係数（ヤング率）Ｅの大きい材質を選択してブレード材１の長手方向の曲げ剛性ＥＩを大きくすることが好ましい。例えば非磁性鞘10をアルミ製とする。アルミ等の光反射性材質を用いる場合は、図１（Ｂ）に示すように、非磁性鞘10の外側表面に細かな溝18を設けて光の照り返しを小さく抑えることが望ましい。外側表面の細かな溝18は、ブレード材１の意匠性を向上させる効果も果たす。

望ましくは、図示例のように非磁性鞘10の外側表面の所定部位に鞘10の長手方向に延びる凹入溝16を形成し、その凹入溝16を利用して複数の非磁性鞘10の相互位置合わせの容易化を図る。図示例では、一対の半割鞘10a、10bの断面12a、12bの板幅方向両端にそれぞれ接合突起17より板幅方向へ突出する庇部13を設け、接合突起17、17を相互に突合せたときに、両半割鞘10a、10bの庇部13、13と接合突起17、17とにより磁性板５の矩形断面の短辺と対向する部位に凹入溝16を形成している。ただし、凹入部16を形成する部位は図示例に限定されない。また、凹入部16に代えて、非磁性鞘10の外側表面に長手方向に延びる凸出筋を設けて複数の非磁性鞘10を相互に位置合わせすることも可能である。

図３は、図１の磁気シールド用ブレード材１の群を用いた本発明の磁気シールド簾体６の実施例を示す。図示例の簾体６は、各ブレード材１の長手方向と直交する方向の支持部材20を有し、その支持部材20によりブレード材１の群を各ブレード材１の磁性板５の長手方向中心軸Ｃが同一簾面Ｆ上に平行に並ぶように所定間隔ｄで簾状に重ねて支持したものである。簾体10を構成する各ブレード材１及び磁性板５は同じ形状とすることが望ましい。ただし、各ブレード材１は磁性板５の長手方向中心軸Ｃが同一簾面Ｆ上にあれば足り、中心軸Ｃの回りの角度位置はブレード材１毎に異なっていてもよい。

簾体６における各ブレード材１の間隔ｄは、図６の場合と同様に簾体６に与えるシールド性能に応じて（Sm・μs／Sa）＞１となるように選択する。（Sm・μs／Sa）＞１とすることにより、ブレード材１中の磁束の通りやすさ（磁性板のパーミアンス）を間隔ｄ中の磁束の通りやすさ（間隔のパーミアンス）より大きくし、間隔ｄにおける磁束密度を低減して簾体６にシールド性能を与えることができる。好ましくは簾体６のブレード材１の間隔ｄを磁性板５の幅ｔより大きくし、通気性・透光性を高めると共に、シールド性能を得るために必要な磁性材料を節減する。高いシールド性能と高い通気性・透光性とを同時に得るためには（Sm・μs／Sa）と間隔ｄとを共に十分大きくすることが望ましい。簾体６における各ブレード材１の間隔ｄは全て同じである必要はなく、ブレード材１の位置によって間隔ｄが相違してもよい。

図示例では、一対の支持部材20上にそれぞれ、各ブレード材１の外側表面上に設けた凹入溝16と嵌合する支持突起21の列を所定間隔（ｄ＋ｗ）で設けている。例えば、一対の支持部材20を対応する支持突起21がそれぞれ同じ高さとなるように所要間隔で垂直に立設し、その対応する支持突起21に各ブレード材１の凹入溝16を嵌合させることにより、複数のブレード材１の長手方向中心軸Ｃを同一簾面Ｆ上に位置合わせする。なお、図示例ではブレード材１の板幅方向両側にそれぞれ支持部材20を配置してブレード材１を板幅方向両側から支持しているが、支持部材20はブレード材１の板幅方向片側に配置するだけでも足りる。また、図示例では一対の支持部材20により各ブレード材１を固定梁状に支持しているが、ブレード材１の曲げ剛性を十分大きくすることにより、本発明では各ブレード材１を片持梁状に支持することも可能である。

図示例のように磁性板５を非磁性鞘10に装填して曲げ剛性の大きなブレード材１とすることにより、磁性板５の撓みを小さく抑え、磁気シールド簾体６のシールド性能を安定させることができる。また、非磁性鞘10を利用して複数の磁性板５の長手方向中心軸Ｃを容易に芯合わせすることが可能であり、作業者による芯合わせの品質のバラツキをなくし、品質のバラツキによるシールド性能の低下も小さく抑えることができる。しかも、曲げ剛性の大きなブレード材１を用いることにより、図６のように鞘10なしの磁性板５を用いた磁気シールド簾体６に比して支持部材20の間隔を広げることが可能となり、磁気シールド簾体６の通気性・透光性を高めることができる。

こうして、本発明の目的である「性能品質の安定した開放型シールド構造を構築できる磁気シールド用ブレード材及び磁気シールド簾体」の提供が達成できる。

図４は、磁気シールド簾体６におけるブレード材１の板厚方向間隔ｄを容易に調節可能とした本発明の磁気シールド簾体６の実施例を示す。図示例の支持部材20は各ブレード材１の長手方向と直交する方向のレール部23を有し、そのレール部23に各ブレード材１の外側表面上に設けた凹入溝16と嵌合する支持突起21を滑動自在に取り付け、滑動自在な支持突起21に各ブレード材１の凹入溝16を嵌合させて磁気シールド簾体６を構成する。支持突起21を滑動自在とすることにより、磁気シールドルームの施工現場毎に応じて支持突起21の位置を調節して磁気シールド簾体６のブレード材１の板厚方向間隔ｄを調整することができ、磁気シールドルームの施工の容易化に貢献することができる。

また図示例では、支持部材20を断面Ｔ字型の帯状部材20a、20bの脚部を付き合わせたものとし、その一対の帯状部材20a、20bにより透明パネル25を磁気シールド簾体６と平行に支持している（図３も参照）。すなわち図示例の支持部材20によれば、一対の透光パネル25と磁気シールド簾体６とからなる開放型シールド構造が構築できる。例えば、導電メッシュ又は導電性フィルム26が挟み込まれた透明パネル25を組み合わせることにより、磁気シールド性能と電波シールド性能と透光性とを同時に備えたシールドルームを構築できる。また、透明パネル25を鉛入りとすることにより、放射線のシールド性能を備えたシールドルームを構築することも可能である。

図５は、支持部材20としてステンレス角パイプを用いた本発明の磁気シールド簾体６の実施例を示す。図示例では、支持部材20の片側（裏側）側面に複数のブレード材１をビス22により結合して磁気シールド簾体６を支持すると共に、反対側（表側）側面に断面Ｔ字型の帯状部材20a、20bの対をビス22により結合し、図４の場合と同様に導電メッシュ又は導電性フィルム26が挟み込まれた透明パネル25を磁気シールド簾体６と平行に支持している。支持部材20をステンレス角パイプとすることにより、複数のブレード材１の重量を支えるに十分な強度を得ることができる。また角パイプは、表側と裏側とにそれぞれ帯状部材20a、20bとブレード材１とをビス留めできる利点がある。

図示例の磁気シールド簾体６は、ブレード材１の非磁性鞘10を一対の半割鞘10a、10bの接合体としている。このような磁気シールド簾体６を施工する場合は、先ずブレード材１の一方（下半分）の半割鞘10aをビス22により支持部材20に固定する。このとき磁性板５はまだ装填されていないので、例えば半割鞘10aの接合突起に設けたビス孔にビス22を貫通させてビス留め作業を行うことができ、支持部材20の側面（裏側側面）に複数の半割鞘10aを芯合わせしながら所定間隔で固定することができる。複数の半割鞘10aを支持部材20にしっかりと固定したのち、各半割鞘10aの上に磁性板５を載置し、さらに他方（上半分）の半割鞘10bを上から押えるように半割鞘10aと噛み合わせて磁性板５を半割鞘10a、10b内に装填する。こうして複数の磁性板５の長手方向中心線Ｃが相互に位置合わせされた磁気シールド簾体６を比較的容易に施工することができ、施工品質のバラツキも防止できる。

本発明の磁気シールド用ブレード材の一実施例の説明図である。 本発明の磁気シールド用ブレード材の他の実施例の説明図である。 本発明のブレード材を用いた磁気シールド簾体の一実施例の説明図である。 本発明のブレード材を用いた磁気シールド簾体の他の実施例の説明図である。 本発明のブレード材を用いた磁気シールド簾体の更に他の実施例の説明図である。 従来の磁気シールド簾体を用いた開放型シールド構造の説明図である。 従来の磁気シールド簾体を構成する磁性板の一例の説明図である。 磁気シールド簾体のシールド性能計測方法の説明図である。

符号の説明

１…ブレード材 ５…磁性材料板（磁性板）
６…磁気シールド簾体 ７…磁性材料薄板（磁性薄板）
８…列状簾体 ９…重ね合わせ部分
10…非磁性鞘 10a、10b…反割鞘
12…鞘の断面 13…庇部
14…中空部 15…位置決め突起
16…凹入溝 17…接合突起
18…照り返し防止溝 20…支持部材
21…支持突起 22…ビス
23…レール部 25…透光パネル
26…導電メッシュ又は導電性フィルム
27…ゴムパッキン
31…密閉型磁気シールド体 32…方形磁性板
34…磁気センサ
ｗ…磁性板の板厚 Ｒ…材料板の長手方向中心軸
Ｆ…簾面 ｄ…材料板の板厚方向間隔
Ｉ…電流 Ｌ…電流担体（コイル）
Ｍ…磁場 Ｓ…シールド係数

Claims (8)

1. 長手方向と交差する断面が矩形の磁性板を、長手方向の曲げ剛性が前記磁性板の撓みを抑える大きさの非磁性鞘に装填してなる磁気シールド用ブレード材。
2. 請求項１のブレード材において、前記鞘の長手方向と交差する断面に前記磁性板が遊嵌可能な中空部を設け、前記中空部の内面に前記磁性板を位置決めする位置決め突起を設けてなる磁気シールド用ブレード材。
3. 請求項２の簾体において、前記鞘を前記磁性板断面の異なる長辺にそれぞれ対向する一対の半割鞘の接合体としてなる磁気シールド用ブレード材。
4. 請求項１から３の何れかのブレード材において、前記鞘の外側表面上の所定部位に当該鞘の長手方向に延びる凹入溝を形成してなる磁気シールド用ブレード材。
5. 長手方向と交差する矩形断面の短辺を板厚とする磁性板の群をそれぞれ長手方向の曲げ剛性が当該磁性板の撓みを抑える大きさの非磁性鞘に装填したブレード材の群、及び前記ブレード材の各々を各磁性板の長手方向中心軸が同一簾面上に平行に並ぶように前記板厚方向に所定間隔で簾状に重ねて梁状に支持する支持部材を備えてなる磁気シールド簾体。
6. 請求項５の簾体において、前記各ブレード材の鞘の長手方向と交差する断面に当該ブレード材の磁性板が遊嵌可能な中空部を設け、前記中空部の内面に磁性板を位置決めする位置決め突起を設けてなる磁気シールド簾体。
7. 請求項６の簾体において、前記各ブレード材の鞘を当該ブレード材の磁性板断面の異なる長辺にそれぞれ対向する一対の半割鞘の接合体としてなる磁気シールド簾体。
8. 請求項５から７の何れかの簾体において、前記各ブレード材の鞘の外側表面上の所定部位に当該鞘の長手方向に延びる凹入溝を形成し、前記凹入溝により前記ブレード材の各々を芯合わせしてなる磁気シールド簾体。

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