JP2007177321A - 基板上に金属層を堆積させる方法および基板のトポグラフィカルフィーチャを3次元で測定するための方法 - Google Patents
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- C23C16/56—After-treatment
Abstract
【解決手段】前駆体ガスは、直径約0.7mmのガス噴射システムの管状ノズル50を用いてサンプル上方に導入される。約8×1017mol/cm2sのガス流が用いられる。図2に例示される実施形態においては、2つのノズル50および60が存在し、2種類の異なる前駆体ガス55、65が基板上方に導入される。対象となる領域を走査する走査電子顕微鏡の電子ビーム70は、前駆体ガス55、65を活性化させるために用いられ、この結果、選択された領域40の基板のトポグラフィカルフィーチャ上に金属層が堆積される。
【選択図】図2
Description
金属錯体を含むガス流を基板の或る部分の上方に供給するステップと、
粒子ビームを用いてガスを活性化するステップと、
供給ステップおよび活性化ステップを一定時間停止するステップと、
供給ステップ、活性化ステップおよび停止ステップを含むサイクルを繰り返すステップとを含む。
領域のトポグラフィの第1の断面を測定デバイスに提示するステップと、
最初に、トポグラフィの第1の断面を2次元で測定するステップと、
領域のトポグラフィの新たな断面を測定デバイスに対し露出するために、粒子ビームを用いて基板の一つのスライスを除去するステップであって、新たな断面は前の断面に平行であるステップと、
トポグラフィの新たな断面を2次元でさらに測定するステップと、
トポグラフィカルフィーチャの3次元マップを作るために除去ステップおよびさらなる測定ステップを複数回実行するステップとを含む。
イオンビームおよび電子顕微鏡の電子ビームを含むデュアルビーム装置の真空チャンバ内に基板を設置するステップと、
有機白金錯体を含むガス流を基板の一部分の上方に供給するステップと、
電子ビームを用いてガスを活性化するステップと、
供給ステップおよび活性化ステップを一定時間停止するステップと、
供給ステップ、活性化ステップおよび停止ステップのサイクルを繰り返すステップと、
領域のトポグラフィの或る断面を走査電子顕微鏡に対し露出するために、イオンビームを用いて基板の一部分を除去するステップと、
走査電子顕微鏡に対し露出されたトポグラフィの断面を2次元で測定するステップと、
領域のトポグラフィの新たな断面を走査電子顕微鏡に対し露出するために、イオンビームを用いて基板のスライスを除去するステップと、
トポグラフィカルフィーチャの3次元マップを作るために除去ステップおよびさらなる測定ステップを複数回実行するステップとを含む。
第1の所定の位置における第1のフィーチャの2次元断面を測定するステップと、
第2の所定の位置における第1のフィーチャの2次元断面を測定するステップと、
測定ステップの結果に対して統計解析を実行するステップとを含み、
第1の位置および第2の位置における断面は実質的に平行である。
Claims (27)
- 基板上に金属層を堆積させるための方法であって、
金属錯体を含むガス流を基板の一部分の上方に供給するステップと、
粒子ビームを用いてガスを活性化するステップと、
供給ステップおよび活性化ステップを一定時間停止するステップと、
供給ステップ、活性化ステップ、および停止ステップを有するサイクルを繰り返すステップとを含む方法。 - 供給ステップ、活性化ステップ、および停止ステップを有するサイクルは、少なくとも5回繰り返される請求項1に記載の方法。
- 粒子ビームは電子ビームであり、少なくとも500V、または550V、好ましくは少なくとも700Vかつ5kV未満の電圧により加速される請求項1に記載の方法。
- 供給ステップおよび活性化ステップは、サイクルあたり1秒または10秒〜100秒の間、好ましくはサイクルあたり10秒〜40秒の間実行される請求項1に記載の方法。
- 一定時間は、5秒または20秒〜200秒の間、好ましくは40秒〜80秒の間である請求項1に記載の方法。
- 金属は白金であり、金属錯体は有機金属錯体(CH3C5H4)(CH3)3Ptである請求項1に記載の方法。
- さらに、ガスは、粒子ビームで活性化されたエッチャントガスである請求項1に記載の方法。
- 基板上に金属層を堆積させるための請求項1に記載の方法を用い、基板のトポグラフィカルフィーチャを測定するための方法。
- 基板のスライスを除去するために粒子ビームを用いるステップと、
基板のトポグラフィカルフィーチャを測定デバイスで測定するステップとを含む、
請求項8に記載の基板のトポグラフィカルフィーチャを測定するための方法。 - スライス上のトポグラフィカルフィーチャは透過型電子ビーム顕微鏡で測定される請求項9に記載の基板のトポグラフィカルフィーチャを測定するための方法。
- 基板の領域のトポグラフィカルフィーチャを3次元で測定するための方法であって、
領域のトポグラフィの第1断面を測定デバイスに提示するステップと、
最初に、トポグラフィの第1断面を2次元で測定するステップと、
領域のトポグラフィの新たな断面を測定デバイスに対し露出するために、粒子ビームを用いて基板のスライスを除去するステップであって、新たな断面は前の断面に平行であるステップと、
トポグラフィの新たな断面を2次元でさらに測定するステップと、
トポグラフィカルフィーチャの3次元マップを作るために除去ステップおよびさらなる測定ステップを複数回実行するステップとを含む方法。 - 粒子ビームはイオンビームである請求項11に記載の方法。
- イオンビームは、上部表面に対し実質的に直角でに基板に衝突する請求項12に記載の方法。
- イオンビームは、−150%〜+150%または−30%〜−100%のビームオーバーラップで基板上を走査される請求項12に記載の方法。
- イオンビームは、10m/s〜100m/sのレートで基板を走査される請求項12に記載の方法。
- 測定デバイスは走査型電子顕微鏡である請求項11に記載の方法。
- 請求項11に記載の方法により収集されるデータセット。
- 基板の上部表面の領域のトポグラフィカルフィーチャを3次元で測定するための方法であって、
イオンビーム源および電子顕微鏡の電子ビーム源を備えた装置のチャンバ内に基板を設置するステップと、
有機白金錯体を含むガス流を基板の一部分の上方に供給するステップと、
電子ビームを用いてガスを活性化するステップと、
供給ステップおよび活性化ステップを一定時間停止するステップと、
供給ステップ、活性化ステップ、および停止ステップのサイクルを繰り返すステップと、
領域のトポグラフィの断面を走査電子顕微鏡に対し露出するために、イオンビームを用いて基板の一部分を除去するステップと、
走査電子顕微鏡に対し露出されたトポグラフィの断面を2次元で測定するステップと、
領域のトポグラフィの新たな断面を走査電子顕微鏡に対し露出するために、イオンビームを用いて基板のスライスを除去するステップと、
トポグラフィカルフィーチャの3次元マップを作るために除去ステップおよびさらなる測定ステップを複数回実行するステップとを含む方法。 - 基板上の所定のタイプのフィーチャをキャラクタライズする方法であって、
第1の所与の位置における所定のタイプのフィーチャの第1の2次元断面を測定するステップと、
第2の所与の位置における所定のタイプのフィーチャの第2の2次元断面を測定するステップと、
測定結果に対して統計解析を実行するステップとを含み、
第1の位置および第2の位置における断面は、実質的に平行である方法。 - 第1および第2の2次元断面は、異なる個別のフィーチャのものである請求項19に記載の方法。
- 第1および第2の2次元断面は、同一の個別のフィーチャのものである請求項19に記載の方法。
- さらなる所与の位置においてフィーチャのさらなる断面をさらに測定するステップであって、第1の位置、第2の位置、およびさらなる位置における断面は、実質的に平行であり、かつ同一の個別フィーチャのものであるステップを含む、および/または、異なる個別フィーチャの断面を測定するステップを含む請求項19に記載の方法。
- コンピュータを制御するためのコンピュータプログラム製品であって、コンピュータ読取可能記録媒体と、該記録媒体に記録された請求項1に記載の方法を実行することをコンピュータに命令するための手段とを有するコンピュータプログラム製品。
- コンピュータを制御するためのコンピュータプログラム製品であって、コンピュータ読取可能記録媒体と、該記録媒体に記録された請求項10に記載の方法を実行することをコンピュータに命令するための手段とを含むコンピュータプログラム製品。
- コンピュータを制御するためのコンピュータプログラム製品であって、コンピュータ読取可能記録媒体と、該記録媒体に記録された請求項18に記載の方法を実行することをコンピュータに命令するための手段とを含むコンピュータプログラム製品。
- コンピュータを制御するためのコンピュータプログラム製品であって、コンピュータ読取可能記録媒体と、該記録媒体に記録された請求項19に記載の方法を実行することをコンピュータに命令するための手段とを含むコンピュータプログラム製品。
- 請求項1の方法に従ってコーティングされた基板の走査型電子顕微鏡写真。
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Related Child Applications (1)
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---|---|---|---|
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100891146B1 (ko) | 2007-07-30 | 2009-04-06 | 한국과학기술원 | 계층적 기공구조물 및 계층적 기공구조물을 이용한초소수성 및 초친수성 표면 제조방법 |
JP2012126113A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Tohoku Univ | 金属デポジションを用いたナノインプリント金型の製造方法 |
KR20190059527A (ko) * | 2017-11-23 | 2019-05-31 | 삼성전자주식회사 | 마스크 레이아웃의 보정 방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
WO2023084772A1 (ja) * | 2021-11-15 | 2023-05-19 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム装置の制御方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8709269B2 (en) * | 2007-08-22 | 2014-04-29 | Applied Materials Israel, Ltd. | Method and system for imaging a cross section of a specimen |
NL2004888A (en) * | 2009-06-29 | 2010-12-30 | Asml Netherlands Bv | Deposition method and apparatus. |
JP5813413B2 (ja) * | 2011-08-22 | 2015-11-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | シュリンク前形状推定方法およびcd−sem装置 |
US10950475B1 (en) | 2019-08-20 | 2021-03-16 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for processing a substrate using non-contact temperature measurement |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10163201A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Seiko Instr Inc | パターン形成方法及びその装置 |
JP2000133652A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 金属配線形成方法および金属配線形成装置 |
JP2003297814A (ja) * | 2002-04-01 | 2003-10-17 | Nec Corp | 薄膜形成方法および半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (43)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63266747A (ja) * | 1987-04-24 | 1988-11-02 | Nikon Corp | 試料像表示装置 |
JPH0471153A (ja) * | 1990-07-09 | 1992-03-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 走査型電子顕微鏡の断面プロファイル表示方法 |
US5703692A (en) * | 1995-08-03 | 1997-12-30 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Lens scatterometer system employing source light beam scanning means |
US5798529A (en) * | 1996-05-28 | 1998-08-25 | International Business Machines Corporation | Focused ion beam metrology |
US5880838A (en) * | 1996-06-05 | 1999-03-09 | California Institute Of California | System and method for optically measuring a structure |
JP3081990B2 (ja) * | 1996-06-20 | 2000-08-28 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | イオンビーム加工装置 |
US5963329A (en) * | 1997-10-31 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines |
JPH11201919A (ja) * | 1998-01-16 | 1999-07-30 | Toshiba Corp | パターン検査装置およびその方法ならびにパターン検査処理プログラムを記録した記録媒体 |
JP3816660B2 (ja) * | 1998-03-16 | 2006-08-30 | 株式会社東芝 | パターン評価方法及びパターン評価装置 |
US6429943B1 (en) * | 2000-03-29 | 2002-08-06 | Therma-Wave, Inc. | Critical dimension analysis with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
US6689519B2 (en) * | 2000-05-04 | 2004-02-10 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for lithography process control |
JP2002062123A (ja) * | 2000-08-22 | 2002-02-28 | Fujitsu Ltd | 荷電ビーム測長装置及び測長方法 |
US6753961B1 (en) * | 2000-09-18 | 2004-06-22 | Therma-Wave, Inc. | Spectroscopic ellipsometer without rotating components |
IL138552A (en) * | 2000-09-19 | 2006-08-01 | Nova Measuring Instr Ltd | Measurement of transverse displacement by optical method |
US6768983B1 (en) * | 2000-11-28 | 2004-07-27 | Timbre Technologies, Inc. | System and method for real-time library generation of grating profiles |
US6515744B2 (en) * | 2001-02-08 | 2003-02-04 | Therma-Wave, Inc. | Small spot ellipsometer |
US6819426B2 (en) * | 2001-02-12 | 2004-11-16 | Therma-Wave, Inc. | Overlay alignment metrology using diffraction gratings |
US6699624B2 (en) * | 2001-02-27 | 2004-03-02 | Timbre Technologies, Inc. | Grating test patterns and methods for overlay metrology |
CN1261736C (zh) * | 2001-03-02 | 2006-06-28 | 安格盛光电科技公司 | 利用散射测量的线路轮廓不对称测量法 |
US6704661B1 (en) * | 2001-07-16 | 2004-03-09 | Therma-Wave, Inc. | Real time analysis of periodic structures on semiconductors |
EP1419418A4 (en) * | 2001-07-27 | 2006-11-29 | Fei Co | ELECTRON BEAM PROCESSING |
US6785638B2 (en) * | 2001-08-06 | 2004-08-31 | Timbre Technologies, Inc. | Method and system of dynamic learning through a regression-based library generation process |
US7061615B1 (en) * | 2001-09-20 | 2006-06-13 | Nanometrics Incorporated | Spectroscopically measured overlay target |
US6608690B2 (en) * | 2001-12-04 | 2003-08-19 | Timbre Technologies, Inc. | Optical profilometry of additional-material deviations in a periodic grating |
US6772084B2 (en) * | 2002-01-31 | 2004-08-03 | Timbre Technologies, Inc. | Overlay measurements using periodic gratings |
US6813034B2 (en) * | 2002-02-05 | 2004-11-02 | Therma-Wave, Inc. | Analysis of isolated and aperiodic structures with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
US7061627B2 (en) * | 2002-03-13 | 2006-06-13 | Therma-Wave, Inc. | Optical scatterometry of asymmetric lines and structures |
US6721691B2 (en) * | 2002-03-26 | 2004-04-13 | Timbre Technologies, Inc. | Metrology hardware specification using a hardware simulator |
US6928628B2 (en) * | 2002-06-05 | 2005-08-09 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Use of overlay diagnostics for enhanced automatic process control |
US7046376B2 (en) * | 2002-07-05 | 2006-05-16 | Therma-Wave, Inc. | Overlay targets with isolated, critical-dimension features and apparatus to measure overlay |
US6919964B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-07-19 | Therma-Wave, Inc. | CD metrology analysis using a finite difference method |
SG120958A1 (en) * | 2002-11-01 | 2006-04-26 | Asml Netherlands Bv | Inspection method and device manufacturing method |
JP2004251829A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 測長機能を備えた走査形電子顕微鏡およびそれを使用した測長方法 |
US7068363B2 (en) * | 2003-06-06 | 2006-06-27 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems for inspection of patterned or unpatterned wafers and other specimen |
US7061623B2 (en) * | 2003-08-25 | 2006-06-13 | Spectel Research Corporation | Interferometric back focal plane scatterometry with Koehler illumination |
US6958476B2 (en) * | 2003-10-10 | 2005-10-25 | Asml Netherlands B.V. | Methods to improve resolution of cross sectioned features created using an ion beam |
JP4262592B2 (ja) * | 2003-12-26 | 2009-05-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン計測方法 |
JP4129439B2 (ja) * | 2004-02-12 | 2008-08-06 | 株式会社東芝 | 画像処理方法および画像処理装置 |
US7094616B2 (en) * | 2004-03-04 | 2006-08-22 | International Business Machines Corporation | High resolution cross-sectioning of polysilicon features with a dual beam tool |
JP4262125B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2009-05-13 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン測定方法 |
US7791727B2 (en) * | 2004-08-16 | 2010-09-07 | Asml Netherlands B.V. | Method and apparatus for angular-resolved spectroscopic lithography characterization |
US20060109463A1 (en) * | 2004-11-22 | 2006-05-25 | Asml Netherlands B.V. | Latent overlay metrology |
US7453577B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-11-18 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and method for inspecting a patterned part of a sample |
-
2005
- 2005-10-25 US US11/257,388 patent/US20070093044A1/en not_active Abandoned
-
2006
- 2006-10-24 JP JP2006289077A patent/JP2007177321A/ja active Pending
-
2010
- 2010-07-05 JP JP2010153269A patent/JP2010230686A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10163201A (ja) * | 1996-11-28 | 1998-06-19 | Seiko Instr Inc | パターン形成方法及びその装置 |
JP2000133652A (ja) * | 1998-10-27 | 2000-05-12 | Mitsubishi Electric Corp | 金属配線形成方法および金属配線形成装置 |
JP2003297814A (ja) * | 2002-04-01 | 2003-10-17 | Nec Corp | 薄膜形成方法および半導体装置の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100891146B1 (ko) | 2007-07-30 | 2009-04-06 | 한국과학기술원 | 계층적 기공구조물 및 계층적 기공구조물을 이용한초소수성 및 초친수성 표면 제조방법 |
JP2012126113A (ja) * | 2010-12-17 | 2012-07-05 | Tohoku Univ | 金属デポジションを用いたナノインプリント金型の製造方法 |
KR20190059527A (ko) * | 2017-11-23 | 2019-05-31 | 삼성전자주식회사 | 마스크 레이아웃의 보정 방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
KR102570888B1 (ko) | 2017-11-23 | 2023-08-28 | 삼성전자주식회사 | 마스크 레이아웃의 보정 방법 및 이를 이용한 반도체 소자의 제조방법 |
WO2023084772A1 (ja) * | 2021-11-15 | 2023-05-19 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 荷電粒子ビーム装置、及び荷電粒子ビーム装置の制御方法 |
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Publication number | Publication date |
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