JP2007177320A - Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置の洗浄方法を提供する。
【解決手段】Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置のチャンバー内部を430℃以上の高温に維持した後、チャンバー内部にCl2を含むクリーニングガスを供給してチャンバー内部を洗浄するか、チャンバー内部を高温に維持し難い場合には、プラズマCl2を含むクリーニングガスを使用して薄膜蒸着装置を洗浄する方法。これにより、残留生成物及びパーチクルの発生なしにTiAlN及びこれと類似した膜質を蒸着する薄膜蒸着装置を効果的に洗浄できる。
【選択図】図3
【解決手段】Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置のチャンバー内部を430℃以上の高温に維持した後、チャンバー内部にCl2を含むクリーニングガスを供給してチャンバー内部を洗浄するか、チャンバー内部を高温に維持し難い場合には、プラズマCl2を含むクリーニングガスを使用して薄膜蒸着装置を洗浄する方法。これにより、残留生成物及びパーチクルの発生なしにTiAlN及びこれと類似した膜質を蒸着する薄膜蒸着装置を効果的に洗浄できる。
【選択図】図3
Description
本発明は、半導体製造装置の洗浄方法に係り、より詳細には、薄膜蒸着装置のチャンバーを乾式洗浄する方法に関する。
一般的に、半導体素子は、イオン注入工程、薄膜工程、拡散工程、写真工程、エッチング工程のような複数の単位工程を経て製造される。このような単位工程のうち薄膜工程は、半導体素子製造の再現性及び信頼性において改善が要求される必須工程である。
半導体素子の薄膜は、スパッタリング法、蒸気蒸着法、化学気相蒸着法、原子層蒸着法などによって半導体基板上に形成される。このような方法を行うための薄膜蒸着装置は、通常的にチャンバーと、チャンバー内部に各種ガスを供給するガスラインと、半導体基板を定着させるための基板ホルダー部と、を備える。
ところが、薄膜蒸着装置を利用して薄膜形成工程を進める間に、薄膜形成処理時に生成される反応生成物は、半導体薄膜の表面だけでなく、チャンバー内部の表面にも堆積(付着)されてしまう。半導体量産用薄膜蒸着装置は多くの半導体基板を処理するために、チャンバー内部に反応生成物が付着された状態で薄膜形成処理を続ければ、反応生成物が剥離されてパーチクルを発生させてしまう。このパーチクルは、蒸着工程の不良を引き起こし、半導体基板に付着されて半導体素子の収率を低下させる恐れがある。このために、一定時間または一定枚数の半導体基板蒸着工程が終了した後にはチャンバー内部を洗浄せねばならない。
従来技術による薄膜蒸着装置の洗浄方法のうち、チャンバーを大気中に露出させてチャンバーとその内部の構成要素それぞれを分離し、アルコールのような揮発性物質を使用してチャンバー及び各構成要素に蒸着された異物を洗浄した後、分離されたチャンバーを再締結するものがある。しかし、このような洗浄方法は、まだ体系的に定立されておらず、チャンバーの洗浄時間が長くなるために生産性が落ちるという問題点がある。
薄膜蒸着装置の洗浄方法のうち他のものは、腐食性ガスを利用してチャンバー内部の蒸着物を除去する乾式洗浄方法である。例えば、シリコン(Si)、シリコン酸化膜(SiOx)、シリコン窒化膜(SiNx)を蒸着する薄膜蒸着装置の洗浄のための洗浄ガスとして、CF4、C2F6、C3F8、C4F8及びSF6のような過フッ化化合物ガスまたはNF3をチャンバーに注入してこれら膜を除去する。そして、TiNを蒸着する薄膜蒸着装置の場合、ClF3を使用してチャンバーを洗浄するか、あるいは、NF3をリモートプラズマ方式でプラズマ化させたものを使用して洗浄する。
最近には、半導体素子の拡散防止膜や電極あるいは発熱体として使われるTiAlNの乾式洗浄方法が要求されている。TiAlN薄膜は、TiNと諸般特性は類似しているが、既存のTiNのようにClF3を使用するか、あるいはNF3、F2などフッ素を含有するガスを使用すれば、図1のようにAlF3という固体の残留物が残るので、効果的な洗浄がなされないという問題がある。図1は、Al−Fバイナリーシステムの相平衡を示すための温度によるギッブス自由エネルギーグラフである。他の洗浄ガスを使用しても、工程条件によって多量の残留生成物及びパーチクルが発生しやすいので、TiAlN及びこれと類似した膜質を蒸着する薄膜蒸着装置の効果的な乾式洗浄方法が必要である。
本発明が解決しようとする技術的課題は、Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置の乾式洗浄方法を提供することである。
前記技術的課題を達成するための本発明の一態様は、Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置の乾式洗浄方法であって、前記薄膜蒸着装置のチャンバー内部を430℃以上の高温に維持するステップと、前記チャンバー内部にCl2を含むクリーニングガスを供給して前記チャンバー内部を洗浄するステップと、を含むことである。
前記技術的課題を達成するための本発明の他の態様も、Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置の乾式洗浄方法であって、前記薄膜蒸着装置のチャンバー内部に前記チャンバー洗浄のためのプラズマCl2を含むクリーニングガスを供給して前記チャンバー内部を洗浄するステップと、を含むことである。
ここで、前記プラズマCl2は、リモートプラズマ方式によってCl2ガスをプラズマ化して得るか、前記チャンバー内にダイレクトプラズマが印加された状態でCl2ガスを供給して得ることができる。
本発明による方法において、前記クリーニングガスを流入させる前に前記チャンバー内部及びガスラインをパージするステップをさらに含む。前記洗浄ステップ後に前記チャンバー内部に残留するクリーニングガスを除去するために、前記チャンバー内部をパージするステップをさらに含むか、Ar、N2及びH2からなる群から選択された少なくともいずれか一つのプラズマで前記チャンバー内部を処理するステップをさらに含むことができる。
本発明による方法は、特に、前記Al含有金属窒化膜は、TiAlN及びTaAlNのうちいずれか一つである場合に効果的である。
本発明によれば、半導体素子の拡散防止膜や電極あるいは発熱体として使われるTiAlNのように、Al含有金属窒化膜あるいはこれと類似した膜を蒸着する薄膜蒸着装置の効果的な乾式洗浄が可能である。すなわち、残留生成物及びパーチクルの発生なしに効果的に薄膜蒸着装置のチャンバーを洗浄することができる。これを通じて、薄膜蒸着装置の効果的な量産運用が可能になる。これにより、Al含有金属膜またはAl含有金属窒化膜を持つ半導体素子の生産性を向上させることができる。
以下、添付された図面を参照して本発明をさらに詳細に説明する。後述する実施例は色々な他の形態に変形され、本発明の範囲が後述する実施例に限定されるものではない。本発明の実施例は、当業者に本発明をさらに完全に説明するために提供されるものである。
まず、本発明による洗浄方法は、図2のような薄膜蒸着装置の洗浄に利用できる。
図2の薄膜蒸着装置100は、チャンバー10内のウェーハブロック12上に載置されたシリコンウェーハ、またはLCD用ガラス基板のような半導体基板w上にAl含有金属膜あるいはAl含有金属窒化膜の薄膜を蒸着するためのものである。ここで、Al含有金属膜は、例えばAl膜であり、Al含有金属窒化膜は、例えばTiAlNまたはTaAlN膜である。
薄膜蒸着装置100は、薄膜蒸着が進むチャンバー10と、ガスラインを通じてチャンバー10にソースガス、不活性ガス及びクリーニングガスを供給するガス供給装置20と、を備える。本発明による洗浄方法において、クリーニングガスは、Cl2あるいはプラズマCl2を含む。したがって、本発明による洗浄方法を実施するためにガス供給装置20を通じて、Cl2あるいはプラズマCl2を含むクリーニングガスを供給すればよい。この時、プラズマCl2は、リモートプラズマ方式によってCl2ガスをプラズマ化して得るか、チャンバー10内にダイレクトプラズマが印加された状態でCl2ガスを供給して得ることができる。したがって、図示されていないが、チャンバー10の外部にはリモートプラズマ発生器またはダイレクトプラズマ発生器が備わる。印加されるプラズマは、50〜2000Wのパワーに300〜500KHzの低周波及び/または13。56MHz〜21。12MHzの高周波でありうる。
チャンバー10は、その内部の上部に設置されて各種ガスが噴射されるシャワーヘッド11と、シャワーヘッド11の下部に設置されて半導体基板wが載置されるウェーハブロック12と、ウェーハブロック12の外周に設置されてソース、不活性ガス及び反応副産物の円滑かつ均一なポンピングのためのポンピングバッフル13と、シャワーヘッド11の外周に不活性ガスを噴射するガスカーテンブロック14と、を備える。
ウェーハブロック12の内部にはヒータ12aが内蔵されており、ヒータ12aは、載置されている半導体基板wを200℃〜700℃範囲で加熱させる。ガスカーテンブロック14は、不活性ガスを半導体基板wのエッジ側に噴射してその半導体基板wのエッジの組成変化を調節し、またチャンバー10、詳細にはポンピングバッフル13の内壁がソースによって汚れることを最小化する。
次いで、図2の薄膜蒸着装置100のチャンバー10を洗浄する方法の実施例について説明する。
〔第1実施例〕
図3は、本発明による薄膜蒸着装置の洗浄方法の第1実施例を示すフローチャートである。
図3は、本発明による薄膜蒸着装置の洗浄方法の第1実施例を示すフローチャートである。
まず、図3のステップs1のように、薄膜蒸着装置100のチャンバー10内部を430℃以上の高温に維持する。例えば、シャワーヘッド11、ウェーハブロック12など乾式洗浄の対象となる部分の温度を430℃以上の高温に維持する。
その後、選択的なステップs2のように、チャンバー10内部及びガスラインをパージする。これは、チャンバー10内部及びガスラインに残留ガスがある場合、後続的にクリーニングガスの供給時に激しい反応が発生するか、多量のパーチクルを発生させうるので、これを予防するためである。このような問題のない場合にはこのパージステップs2は省略できる。パージガスは不活性ガス、例えば、ArまたはN2を利用できる。
もちろん、ステップs1とステップs2との順序を逆にして行ってもよい。
次いで、ステップs3のようにチャンバー10内部にCl2を含むクリーニングガスを供給してチャンバー10内部を洗浄する。この時、チャンバー10内部の圧力は2Torr程度に維持でき、クリーニングガスの流量は500sccm程度とすることができる。洗浄ステップs3の時間はチャンバー10の汚染程度によって変わるが、3ないし20分程度が適当である。
薄膜蒸着装置100がTiAlN膜を蒸着する装置である場合を例とすれば、TiAlNの主要構成成分であるTi及びAlは、図4及び図5に提示したグラフのようにCl2と反応して安定したガス反応生成物を発生させる。図4は、Ti−Clバイナリーシステムの相平衡を示すための温度によるギッブス自由エネルギーグラフであり、図5は、Al−Clバイナリーシステムの相平衡を示すための温度によるギッブス自由エネルギーグラフである。
このような反応は、図4及び図5に図示したように、TiCl4(g)及びAlCl3(g)の化学反応性が強いために、安定的になされうる。しかし、注意すべき点は、AlCl3の場合には、約430℃付近の温度以下ではAlと反応してAlCl3(s)を残すということである。したがって、本発明による洗浄方法では、ステップs1のようにチャンバー10内部を430℃以上の高温に維持してこれを予防する。したがって、本発明によれば、Cl2を利用して残留生成物なしにチャンバー内部に付着されたTiAlN膜のようなAl含有金属窒化膜を除去できる。一方、チャンバー10内部温度の上限はあまり制限がなく、洗浄効率を考慮すれば高温であるほど有利であるが、エネルギー的観点及びチャンバー10内部部材の耐熱性などを考慮して適正な温度とする。チャンバー10内部温度の上限は当業者ならば適当に選択できる。
洗浄ステップs3の反応が終われば、チャンバー10内部に残留するCl成分クリーニングガスを除去するステップs4を行う。例えば、チャンバー10内部を長時間パージするか、H2などのCl2を除去できるガスのプラズマあるいはスパッタリング効果があるAr、N2など反応性はないが、スパッタリング効果があるガスのプラズマを使用してチャンバー10内部を処理する。
〔第2実施例〕
図6は、本発明による薄膜蒸着装置の洗浄方法の第2実施例を示すフローチャートである。
図6は、本発明による薄膜蒸着装置の洗浄方法の第2実施例を示すフローチャートである。
前の第1実施例の説明のように、Cl2を使用すれば、TiAlNのようなAl含有金属窒化膜を除去できるが、約430℃付近の温度以下ではAlと反応して残留生成物であるAlCl3(s)を誘発するので、チャンバー10内部を430℃以上の高温に維持することが重要である。しかし、やむをえない理由でチャンバー10内部を430℃以上上昇させない場合には、本実施例のようにプラズマCl2を含むクリーニングガスを使用する。
まず、図6のステップs11のようにチャンバー10内部及びガスラインをパージする。これは、チャンバー10内部及びガスラインに残留ガスがある場合、後続的にクリーニングガスの供給時に激しい反応が発生するか、多量のパーチクルを発生させうるので、これを予防するためである。このような問題のない場合には、このパージステップs11は省略できる。
次いで、ステップs12のようにチャンバー10内部にプラズマCl2を含むクリーニングガスを供給してチャンバー10内部を洗浄する。プラズマCl2は、リモートプラズマ方式によってCl2ガスをプラズマ化して得るか、チャンバー10内にダイレクトプラズマが印加された状態でCl2ガスを供給して得ることができる。このように、プラズマを利用してCl2を化学的に活性化させれば、チャンバー10の温度を高温に維持できなくても残留生成物の発生を防止できる。
洗浄ステップs12の反応が終われば、チャンバー10内部に残留するCl成分のクリーニングガスを除去するステップs13を行う。例えば、チャンバー10内部を長時間パージするか、H2などのCl2を除去できるガスのプラズマあるいはスパッタリング効果があるAr、N2など反応性はないが、スパッタリング効果があるガスのプラズマを使用してチャンバー10内部を処理する。
〔実験例〕
下記の表1は、本発明の第1実施例のようにCl2を利用してTiAlNを除去した結果を示したものである。チャンバー内部の圧力は2Torrであり、クリーニングガスであるCl2の流量は500sccmであった。Cl2供給時間は3ないし20分とした。
下記の表1は、本発明の第1実施例のようにCl2を利用してTiAlNを除去した結果を示したものである。チャンバー内部の圧力は2Torrであり、クリーニングガスであるCl2の流量は500sccmであった。Cl2供給時間は3ないし20分とした。
前記表1で分かるように、チャンバーの温度を430℃以上に維持してCl2処理する場合(サンプル番号2ないし6)には、チャンバー内部に付着されたTiAlN薄膜がほとんど除去されたということが分かる。この時、高温ではほぼ完全にTiAlNが除去されるが(サンプル番号2ないし6)、430℃以下では残留AlCl3(s)が微量残留した(サンプル番号1)。
以上では本発明の望ましい実施例について説明したが、本発明は前記した実施例に制限されず、特許請求の範囲と発明の詳細な説明及び図面の範囲内で色々と変形して実施することが可能であり、これも本発明の範囲に属するということは当然である。
本発明は、薄膜蒸着装置の関連技術分野に好適に用いられる。
10 チャンバー
11 シャワーヘッド
12 ウェーハブロック
12a ヒータ
13 ポンピングバッフル
14 ガスカーテンブロック
20 ガス供給装置
100 薄膜蒸着装置
11 シャワーヘッド
12 ウェーハブロック
12a ヒータ
13 ポンピングバッフル
14 ガスカーテンブロック
20 ガス供給装置
100 薄膜蒸着装置
Claims (11)
- Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置の乾式洗浄方法であって、
前記薄膜蒸着装置のチャンバー内部を430℃以上の高温に維持するステップと、
前記チャンバー内部にCl2を含むクリーニングガスを供給して前記チャンバー内部を洗浄するステップと、を含む洗浄方法。 - Al含有金属膜及びAl含有金属窒化膜を蒸着する薄膜蒸着装置の乾式洗浄方法であって、
前記薄膜蒸着装置のチャンバー内部に前記チャンバー洗浄のためのプラズマCl2を含むクリーニングガスを供給して前記チャンバー内部を洗浄するステップと、を含む洗浄方法。 - 前記プラズマCl2は、リモートプラズマ方式によってCl2ガスをプラズマ化して得ることを特徴とする請求項2に記載の洗浄方法。
- 前記プラズマCl2は、前記チャンバー内にダイレクトプラズマが印加された状態でCl2ガスを供給して得ることを特徴とする請求項2に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄ステップ後に前記チャンバー内部に残留するクリーニングガスを除去するために、前記チャンバー内部をパージするステップをさらに含むことを特徴とする請求項1ないし4のうちいずれか1項に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄ステップ後に前記チャンバー内部に残留するクリーニングガスを除去するために、Ar、N2及びH2からなる群から選択された少なくともいずれか一つのプラズマで前記チャンバー内部を処理するステップをさらに含むことを特徴とする請求項1ないし4のうちいずれか1項に記載の洗浄方法。
- 前記Al含有金属窒化膜は、TiAlN及びTaAlNのうちいずれか一つであることを特徴とする請求項1ないし4のうちいずれか1項に記載の洗浄方法。
- 前記クリーニングガスを流入させる前に前記チャンバー内部及びガスラインをパージするステップをさらに含むことを特徴とする請求項1ないし4のうちいずれか1項に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄ステップ後に前記チャンバー内部に残留するクリーニングガスを除去するために、前記チャンバー内部をパージするステップをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の洗浄方法。
- 前記洗浄ステップ後に前記チャンバー内部に残留するクリーニングガスを除去するために、Ar、N2及びH2からなる群から選択された少なくともいずれか一つのプラズマで前記チャンバー内部を処理するステップをさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の洗浄方法。
- 前記Al含有金属窒化膜は、TiAlN及びTaAlNのうちいずれか一つであることを特徴とする請求項8に記載の洗浄方法。
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