JP2007171722A - 偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡 - Google Patents
偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】回転ステージに容易に装着でき、試料板をX軸方向及びY軸方向に簡便に移動させることができ、安価に製造することのできる偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡を提供する。
【解決手段】固定手段によって回転ステージに固定される外箱と、外箱内に収納されてこの外箱内をX軸方向に摺動するスライダーと、外箱に取り付けられ、X軸方向に延びたねじを移動させてスライダーをX軸方向に駆動するX軸ステップモーターと、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動し、Y軸方向に延びたねじを移動させるY軸ステップモーターと、試料板を保持し、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動するものであって、Y軸ステップモーターによって、Y軸方向に駆動されて試料板をX軸方向及びY軸方向に駆動する試料ホルダーとを備える。
【選択図】図3
【解決手段】固定手段によって回転ステージに固定される外箱と、外箱内に収納されてこの外箱内をX軸方向に摺動するスライダーと、外箱に取り付けられ、X軸方向に延びたねじを移動させてスライダーをX軸方向に駆動するX軸ステップモーターと、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動し、Y軸方向に延びたねじを移動させるY軸ステップモーターと、試料板を保持し、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動するものであって、Y軸ステップモーターによって、Y軸方向に駆動されて試料板をX軸方向及びY軸方向に駆動する試料ホルダーとを備える。
【選択図】図3
Description
本発明は、偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡に関する。
偏光顕微鏡用メカニカルステージは、国際地質学連合によって定められた岩石の分類作業や、岩石的研究に必須の機器である。
特許文献1には、広域に被検体が存在するあるいは存在する可能性のあるプレパラート等を、顕微鏡の倍率に応じた部分区間単位で連続的にあるいは若干のオーバラップをもたせた所定の間隔で、かつ二次元的に移動させて所望の顕微鏡域の全域を自動的に掃引すると共に、前記プレパラート等の任意の位置で停止、再起動が可能であり、前記プレパラート等の顕微鏡部位の位置を座標表示する表示装置を備え、前期プレパラート等の特定部位の位置を記憶して該特定部位を検鏡位置に自動的にセットする機能を有する自動掃引装置を備えたことを特徴とする自動掃引装置付顕微鏡が記載されている。
特許文献2には、広域に被検体が存在するあるいは存在する可能性のある容器を保持するホルダと、前記容器の検鏡部位の位置を検出するための位置検出容器と、モータで駆動される場合に接続され、手動操作で駆動される場合にきられる電磁クラッチを含み、前記ホルダーを顕微鏡の対物レンズ下で2次元的に移動させる移動機構と、前記移動機構を駆動するモータと、前記移動機構を手動操作で駆動するための手動操作部材を含む駆動装置と、前記検鏡部位の位置を表示する位置表示装置と、前記磁気クラッチを着脱するための切替スイッチを含み前記モータ、電磁クラッチ、位置検出器および前記位置表示装置を制御する制御装置とから構成されることを特徴とする自動掃引装置付顕微鏡に記載されている。
全世界で、これまで使用されてきた英国製偏光顕微鏡用メカニカルステージ(この製造会社の独占状態であった)の製造が数年前に中止され、この種の機器の利用が困難になっている。偏光顕微鏡用メカニカルステージはさほど高価ではなく、基本的機器であった。世界の岩石学の研究室では、この機器の代替として、極めて高額な画像解析装置を導入したり、高価な分析装置を使用したりしている。研究レベルではこのような代替でも研究に支障がでることはないが、岩石学の基本技術を教育するために使用することはできない。そこで、安価に同等品を製造できれば、再び多くの学生の使用が可能となり、教育が効果的に行えることとなる。
特許文献1,2に示してある顕微鏡は生物顕微鏡で、試料ステージが回転しないもので、かなりギアが多くなっている。また、従来品はスプリングコイルの力を利用して、電磁スイッチで一方向に進行させるもので、Y軸方向については手動であった。X軸のリミッターに到着すると、手動でスプリングコイルを引く操作が必要であった。X軸とY軸のステップ間隔の選択は制限されており、それらの組み合わせには熟練を要した。
本発明は、かかる点に鑑みて、回転ステージに容易に装着でき、試料板をX軸方向及びY軸方向に簡便に組み合わせ移動させることができ、安価に製造することのできる偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡を提供することを目的とする。
本発明は、X軸方向及びY軸方向に試料板を移動させる偏光顕微鏡用メカニカルステージにおいて、固定手段によって回転ステージに固定される外箱と、外箱内に収納されてこの外箱内をX軸方向に摺動するスライダーと、外箱に取り付けられ、X軸方向に延びたねじを移動させてスライダーをX軸方向に駆動するX軸ステップモーターと、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動し、Y軸方向に延びたねじを移動させるY軸ステップモーターと、試料板を保持し、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動するものであって、Y軸ステップモーターによって、Y軸方向に駆動されて試料板をX軸方向及びY軸方向に駆動する試料ホルダーと、を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。
本発明は、更に、スライダーは、並行配置、離間配置で、2つのロッドで結合された2つの部材からなり、一方の部材が、X軸ステップモーターによって摺動されることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。
本発明は、更に、スライダーは、他方の部材に一体化され試料ホルダーに設けられた凸状の摺動部を収納する収納部を有することを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。
本発明は、更に、外箱にはスライダーのX軸方向の摺動量を示す計測部を形成され、試料ホルダーのY軸方向の摺動量を示す計測部が形成されていることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージを提供する。
本発明は、更に、前記偏光顕微鏡用メカニカルステージを備え、スライダーをX軸方向及びY軸方向に移動させるX軸ステップモーターおよびY軸ステップモーターから構成される移動駆動装置を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡を提供する。
本発明によれば、回転ステージに容易に装着でき、回転に影響されることなく(回転を邪魔することなく)、試料板をX軸方向及びY軸方向に簡便に組み合わせ移動させることができ、安価に製造することのできる偏光顕微鏡用メカニカルステージ及びこれを備えた偏光顕微鏡を提供することができる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図1は、本発明の実施例である偏光顕微鏡の全体構成を示す図である。
図1において、100は偏光顕微鏡であり、偏光顕微鏡100は、周知のように基台2上に凹面鏡又は光源3を備え、対物レンズ4、接眼レンズ5、偏光板7、ハンドル8を備え、そして、その回転ステージ6は上にメカニカルステージ200を載置している。メカニカルステージ200は、そのコネクタ23が配線9によってコントロールボックス400を介してコンピューター300に接続されている。メカニカルステージ200がコントロールボックス400とコンピューター300に接続されることで、メカニカルステージ200のX軸方向とY軸方向の動作をコンピューター300上及びコントロールボックス400のダイアル、スイッチ(1A,1B,1C)により制御できるようになる。
コントロールボックス400は、X軸ステップ間隔設定ダイアル1B、Y軸ステップ間隔を設定ダイアル1C、及び、原点復帰スイッチ1Aを有する。
図2は、メカニカルステージ200を構成する部品を示す図である。
図2に示すように、メカニカルステージ200は、外箱21、固定板22、コネクタ23、スライダー24、X軸ステップモーター25、Y軸ステップモーター26及び試料ホルダー27を備える。
図1において、100は偏光顕微鏡であり、偏光顕微鏡100は、周知のように基台2上に凹面鏡又は光源3を備え、対物レンズ4、接眼レンズ5、偏光板7、ハンドル8を備え、そして、その回転ステージ6は上にメカニカルステージ200を載置している。メカニカルステージ200は、そのコネクタ23が配線9によってコントロールボックス400を介してコンピューター300に接続されている。メカニカルステージ200がコントロールボックス400とコンピューター300に接続されることで、メカニカルステージ200のX軸方向とY軸方向の動作をコンピューター300上及びコントロールボックス400のダイアル、スイッチ(1A,1B,1C)により制御できるようになる。
コントロールボックス400は、X軸ステップ間隔設定ダイアル1B、Y軸ステップ間隔を設定ダイアル1C、及び、原点復帰スイッチ1Aを有する。
図2は、メカニカルステージ200を構成する部品を示す図である。
図2に示すように、メカニカルステージ200は、外箱21、固定板22、コネクタ23、スライダー24、X軸ステップモーター25、Y軸ステップモーター26及び試料ホルダー27を備える。
外箱21は、上板28、側板30,31によって底辺部のない箱状に形成され、側板31に対向する側は、開放される。上板28の中央部にはねじ穴38が設けられ、このねじ穴38にはねじ81が係合、すなわち、噛合される。また、上面28にはX軸方向に穿けた計測孔33が設けられ、計測孔33の縁に沿って計測線32が設けてあり、後述するスライダー24に設けた計測線55と共に計測部101を構成している。側板31には、コネクタ23を取り付ける取り付け孔34及びX軸ステップモーター25に取り付ける取り付け孔35、更には、X軸ステップモーター25によって出入されるピン94が通過する通過孔36が設けてある。尚、配線用の孔については省略してある。
固定板22は、金属製の立方体状をなし、左右2本の孔41,42が設けてある。固定板22は、固定箱にして箱状に形成してもよい。孔41,42の内径は後述するロッド44,45の径よりも大きいものとしてあり、この内部には、オイルが充填され、後述するスライダー24のロッド44,45とそのロッドに載置された膜55,56と共にオイルダンパーを構成する。固定板22上板、下板にはねじ81が係合するねじ穴37を有する。固定板22には、後述のスライダー24と試料ホルダー27のX軸方向摺動リミット、Y軸方向原点を感知する孔又は突起があるが、省略してある。
コネクタ23は、コントロールボックス400に接続するための電気的な接続部43を有して、前述した取り付け孔34に取り付けられている。
スライダー24は、並行配置、離間配置で、2つのロッド44,45で結合された2つの部材、すなわち、部材46、47を備える。2つのロッド44,45には、オイルダンパー部を構成する膜55、56がそれぞれ載置される。部材46は、板状をなし、その一部にX軸ステップモーター25によって出入される後述のピン94のねじ61が係合するねじ孔48が設けてある。部材47は、板状部49及び板状部49に一体に成された収納部50から構成される。板状部49及び収納部50は一体成形としてもよいし、別体に製作して一体としてもよい。
収納部50は、板状部49にも外側に突出しており、下方端が開放され、下面51に案内部52が形成されており、内方面53には、計測線54が設けてある。この計測線54は後述する試料ホルダー27に設けられた計測線73と共に他の計測部102を構成する。
板状部49の上面には、Y軸方向に計測線55が設けられている。計測線55と外箱21の計測線32によりスライダー24のX軸方向の摺動量がわかる。
板状部49の上面には、Y軸方向に計測線55が設けられている。計測線55と外箱21の計測線32によりスライダー24のX軸方向の摺動量がわかる。
X軸ステップモーター25は、モーター軸を回転させる。X軸ステップモーター25は、一体係合の駆動体91を備えており、この駆動体91の中央部にはスライダー24の方向に向けて回転しないねじ92を備えている。ねじ92はX軸ステップモーター25の回転に伴なってスライダー24の方向に前後に移動する。ねじ92の先端部には連結子93が設けられ、止めピン94が設けられている。止めピン94にはねじ61が設けられており、前述のようにねじ61とねじ穴48の係合によって係止構造が形成されている。このように、モーター軸とねじ61との間にはねじ駆動装置が構成されている。
X軸ステップモーター25は、スライダー24をX軸方向に移動するようにして配置され、外箱21に設けた取り付け孔35に取り付けられる。ねじ61を回転させてスライダー24に設けたねじ穴48に係合してスライダー24をX軸方向に移動させる構成としてもよい。
ステップモーターは位置決め制御などに用いられる電動機であり、固定子、回転子とも突極構造で、固定子巻線に順番に電流を流して励磁するとモーターの回転はあらかじめ決められた角度だけ回転、例えば、360p/rであれば、一回励磁すると1度だけ回転させることのできるモーターとして知られている。本実施例において、ステップモーターは例えば、オリエンタルモーター株式会社製のステップモーター(DRL20PB1-02)を用いることができる。
X軸ステップモーター25は、スライダー24をX軸方向に移動するようにして配置され、外箱21に設けた取り付け孔35に取り付けられる。ねじ61を回転させてスライダー24に設けたねじ穴48に係合してスライダー24をX軸方向に移動させる構成としてもよい。
ステップモーターは位置決め制御などに用いられる電動機であり、固定子、回転子とも突極構造で、固定子巻線に順番に電流を流して励磁するとモーターの回転はあらかじめ決められた角度だけ回転、例えば、360p/rであれば、一回励磁すると1度だけ回転させることのできるモーターとして知られている。本実施例において、ステップモーターは例えば、オリエンタルモーター株式会社製のステップモーター(DRL20PB1-02)を用いることができる。
Y軸ステップモーター26は、X軸ステップモーター25の場合と同様に駆動体95、ねじ96、連結子97、ねじ62が設けられたピン98を備えており、ピン98を出入させる。Y軸ステップモーター26は図示しない固定手段によってスライダー24に固定される。
従って、X軸ステップモーター25は、スライダー24を移動させるとY軸ステップモーター26を一体物としてX軸方向に移動させることになる。Y軸ステップモーター26は、モーター軸を決められた角度だけ回転するとピン98をY軸方向に決められた量だけ出入させる。
試料ホルダー27はL字状の支持板75と回動して試料をはさむ部材71とを備える。L字状支持板の内側面には、切り込み76が入っており、この中に試料板90(図6)を入れ、部材71ではさむことにより試料板90を固定する。さらに、試料ホルダー27の案内受け部付支持板75は、凸状の摺動部72とY軸方向の案内受け部74とX軸方向に計測線73を有する。摺動部72にはY軸ステップモーター26によって出入されるピン98のねじ62が係合するねじ孔76が設けられる。案内受け部74は、案内部52とかみ合うことにより、試料ホルダー27をY軸方向に摺動させる。計測線73と計測線54とにより、試料ホルダー27のY軸方向の摺動量がわかる。
X軸ステップモーター25は、スライダー24を移動させると、試料ホルダー27は案内部52、74でスライダー24と一体化している為、スライダー24と共にX軸方向に移動させることになる。Y軸ステップモーター26は、ピン98を出入させ、摺動部72のねじ孔76と係合することにより、試料ホルダー27を案内部52、74に沿ってY軸方向に移動させる。したがって、試料ホルダー27は、X軸ステップモーター25及びY軸ステップモーター26によって、X軸方向、Y軸方向に移動される。これによってX軸方向およびY軸方向の動作が組み合わされる。そして、X軸ステップモーター25およびY軸ステップモーター26によって移動駆動装置が構成される。
図3はメカニカルステージ200の構成を示す図である。
図3(a)は外箱21、固定板22、コネクタ23、スライダー24、X軸ステップモーター25、Y軸ステップモーター26及び試料ホルダー27を組み立てたメカニカルステージ200の平面図である。
図3(b)は、そのメカニカルステージ200の側面図である。
これらの図において、外箱21のX軸方向側板31にコネクタ23、X軸ステップモーター25が固定されている。外箱21上面には、X軸方向に穿けた計測孔33が設けられ、計測孔引の縁に沿って計測線32が設けてあり、スライダー24に設けた計測線55と共に計測部101を構成している。計測線55と外箱21の計測線32によりスライダー24のX軸方向の摺動量がわかる。
固定板22は、金属製の立方体状をなし、左右2本の孔41,42を有し、左右2本の孔41,42とスライダー24のロッド44,45と共にオイルダンパーを構成し、スライダー24の動きをゆるやかなものとしている。
計測線54は試料ホルダー27に設けられた計測線73と共に計測部102を構成しており、試料ホルダー27のY軸方向の摺動量がわかる。
図3(a)は外箱21、固定板22、コネクタ23、スライダー24、X軸ステップモーター25、Y軸ステップモーター26及び試料ホルダー27を組み立てたメカニカルステージ200の平面図である。
図3(b)は、そのメカニカルステージ200の側面図である。
これらの図において、外箱21のX軸方向側板31にコネクタ23、X軸ステップモーター25が固定されている。外箱21上面には、X軸方向に穿けた計測孔33が設けられ、計測孔引の縁に沿って計測線32が設けてあり、スライダー24に設けた計測線55と共に計測部101を構成している。計測線55と外箱21の計測線32によりスライダー24のX軸方向の摺動量がわかる。
固定板22は、金属製の立方体状をなし、左右2本の孔41,42を有し、左右2本の孔41,42とスライダー24のロッド44,45と共にオイルダンパーを構成し、スライダー24の動きをゆるやかなものとしている。
計測線54は試料ホルダー27に設けられた計測線73と共に計測部102を構成しており、試料ホルダー27のY軸方向の摺動量がわかる。
図4(a)はスライダー24とX軸ステップモーター25関係図である。X軸ステップモーター25は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン94を出入させ、スライダー24をX軸方向に移動させる。この際、スライダー24は、Y軸ステップモーター26と試料ホルダー27と共にX軸方向に移動する。
図4(b)は試料ホルダー27とY軸ステップモーター26関係図である。Y軸ステップモーター26は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン98を出入させ、試料ホルダー27をY軸方向に移動させる。Y軸ステップモーター26の駆動によって試料ホルダー27のみがY軸方向に移動する。
図4(b)は試料ホルダー27とY軸ステップモーター26関係図である。Y軸ステップモーター26は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン98を出入させ、試料ホルダー27をY軸方向に移動させる。Y軸ステップモーター26の駆動によって試料ホルダー27のみがY軸方向に移動する。
図5はメカニカルステージ200のスライダー24及び試料ホルダー27移動図である。
図5(a)は、試料ホルダー24の原点における図である。外箱21のスライダー24及び試料ホルダーの摺動量を示す計測部101,102は、原点を示している。
図5(b)は、試料ホルダー27を原点からX軸方向に移動させた図である。X軸ステップモーター25は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン94を出入させ、スライダー24をX軸方向に移動させる。この際、スライダー24は、Y軸ステップモーター26と試料ホルダー27と共にX軸方向に移動する。この時、Y軸ステップモーター26は、動作しないが、同時に移動するようにしてもよい。外箱21のスライダー24の摺動量を示す計測部101は、移動量の値を示す。外箱21の試料ホルダーの摺動量102を示す計測部は、移動量を示している。
図5(c)は、試料ホルダー27を原点からY軸方向に移動させた図である。Y軸ステップモーター26は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン98を出入させ、試料ホルダー27をY軸方向に移動させる。試料ホルダー27のみがY軸方向に移動する。外箱21のスライダー24の摺動量を示す計測部101は、移動量を示す。外箱21の試料ホルダーの摺動量を示す計測部102は、移動量の値を示している。
図5(a)は、試料ホルダー24の原点における図である。外箱21のスライダー24及び試料ホルダーの摺動量を示す計測部101,102は、原点を示している。
図5(b)は、試料ホルダー27を原点からX軸方向に移動させた図である。X軸ステップモーター25は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン94を出入させ、スライダー24をX軸方向に移動させる。この際、スライダー24は、Y軸ステップモーター26と試料ホルダー27と共にX軸方向に移動する。この時、Y軸ステップモーター26は、動作しないが、同時に移動するようにしてもよい。外箱21のスライダー24の摺動量を示す計測部101は、移動量の値を示す。外箱21の試料ホルダーの摺動量102を示す計測部は、移動量を示している。
図5(c)は、試料ホルダー27を原点からY軸方向に移動させた図である。Y軸ステップモーター26は、コントロールボックス400で定められただけ、ピン98を出入させ、試料ホルダー27をY軸方向に移動させる。試料ホルダー27のみがY軸方向に移動する。外箱21のスライダー24の摺動量を示す計測部101は、移動量を示す。外箱21の試料ホルダーの摺動量を示す計測部102は、移動量の値を示している。
図6は、試料ホルダー27がX軸方向、Y軸方向に移動することにより試料90の観察地点のステップ図である。以下、フローチャートを示す図7と共に説明する。
メカニカルステージ200を回転ステージ6にセットし、ねじ81で固定する。
コントロールボックス400からの配線9をメカニカルステージ200に接続する。
試料板90を試料ホルダー27にセットする。
コンピューター300とコントロールボックス400を配線9する。
コントロールボックス400の電源を入れる。
コントロールボックス400のX軸ステップ間隔及びY軸ステップ間隔を設定ダイアル(1B,1C)それぞれで設定する。
コントロールボックス400の原点復帰ボタン(1A)で、スライダー24と試料ホルダー27のXおよびY軸の位置を原点に移動させる。
メカニカルステージ200を回転ステージ6にセットし、ねじ81で固定する。
コントロールボックス400からの配線9をメカニカルステージ200に接続する。
試料板90を試料ホルダー27にセットする。
コンピューター300とコントロールボックス400を配線9する。
コントロールボックス400の電源を入れる。
コントロールボックス400のX軸ステップ間隔及びY軸ステップ間隔を設定ダイアル(1B,1C)それぞれで設定する。
コントロールボックス400の原点復帰ボタン(1A)で、スライダー24と試料ホルダー27のXおよびY軸の位置を原点に移動させる。
コンピューター300の電源を入れ、鉱物数計測プログラムを立ち上げる。鉱物数計測プログラムは、希望測定総数、各鉱物数、測定総数からなる。(S100とS101)
希望測定総数を鉱物数計測プログラムに入力する。同時にコンピューター300のテンキーに各鉱物を割り振る。例えば、希望測定総数2000、金はキー1、鉄はキー2など。(S102とS103)
測定開始。偏光顕微鏡100下の試料90の鉱物を鑑定した後、鉱物の指定されたテンキーを入力する。例えば、鉄が偏光顕微鏡100で鑑定できた場合、キー2を入力する。(S104)
入力に伴い、鉱物数計測プログラム上で鑑定された鉱物数が1加算される。測定総数が1加算される。例えば、鉄の場合で、鉄が3、測定総数が5であったとき、キー2を入力すると鉄の積算数4となり測定総数6となる(S105)
同時に、メカニカルステージ200のコントロールボックス400のX軸ステップ間隔 ダイアル1Bで指定した間隔で1ステップ進む。(S106)
偏光顕微鏡100下の次の停止点で再び鉱物を鑑定する。(S104)
試料ホルダー27のX軸移動がX軸ステップモーターのXリミット位置に到達すると、コントロールボックス400はY軸ステップ間隔ダイアル1Cで指定したY軸間隔で1ステップY軸方向に移動させる。また、次のスライダー24のX軸方向摺動方向は逆に設定する(S106)
この繰り返しにより、試料板90の測定軌跡は図6で示すようにつづら折りで動いていく。(S106)
希望測定総数に到達すると、コンピューター300は終了メッセージを出し、測定を終了する。(S107)
希望測定総数を鉱物数計測プログラムに入力する。同時にコンピューター300のテンキーに各鉱物を割り振る。例えば、希望測定総数2000、金はキー1、鉄はキー2など。(S102とS103)
測定開始。偏光顕微鏡100下の試料90の鉱物を鑑定した後、鉱物の指定されたテンキーを入力する。例えば、鉄が偏光顕微鏡100で鑑定できた場合、キー2を入力する。(S104)
入力に伴い、鉱物数計測プログラム上で鑑定された鉱物数が1加算される。測定総数が1加算される。例えば、鉄の場合で、鉄が3、測定総数が5であったとき、キー2を入力すると鉄の積算数4となり測定総数6となる(S105)
同時に、メカニカルステージ200のコントロールボックス400のX軸ステップ間隔 ダイアル1Bで指定した間隔で1ステップ進む。(S106)
偏光顕微鏡100下の次の停止点で再び鉱物を鑑定する。(S104)
試料ホルダー27のX軸移動がX軸ステップモーターのXリミット位置に到達すると、コントロールボックス400はY軸ステップ間隔ダイアル1Cで指定したY軸間隔で1ステップY軸方向に移動させる。また、次のスライダー24のX軸方向摺動方向は逆に設定する(S106)
この繰り返しにより、試料板90の測定軌跡は図6で示すようにつづら折りで動いていく。(S106)
希望測定総数に到達すると、コンピューター300は終了メッセージを出し、測定を終了する。(S107)
鉱物数計測プログラムは、測定総数、各鉱物数が表示され、測定総数から各鉱物数を割る事により各鉱物の含有率が計算される。(S108)
データ結果をファイル出力する。(S109)
本実施例によれば、岩石薄片中の鉱物容量比を統計的に分析することができる。この分析によって岩石を分類し、さらに元素の含有量を推定することができる。偏光顕微鏡の回転ステージ6上に装着した、ステッピングモーター25,26でメカニカルステージ200をX軸およびY軸方向に一定間隔でステップ移動させることができる。移動スイッ チはコンピューター300上のテンキーから操作できる。メカニカルステージ200はコンパクトに設計され、回転ステージ6の回転を妨げない。ダイレクトドライブでX軸方向およびY軸方向に試料ホルダー27を駆動させるため、精度の高いステップ幅を保証できる。X軸およびY軸が独立して動くため、ステップ幅の選択が多種で、選択操作も容易である。測定情報はコンピューター300上に表示され、一定総数になると測定を自動的に終了する.データは即座にデジタルデータとしてコンピューター300上でデータ処理できる。駆動機構が簡単なこと,入力をコンピューター300のテンキーから行うことなどにより、故障が少なくメンテナンスが容易である。
データ結果をファイル出力する。(S109)
本実施例によれば、岩石薄片中の鉱物容量比を統計的に分析することができる。この分析によって岩石を分類し、さらに元素の含有量を推定することができる。偏光顕微鏡の回転ステージ6上に装着した、ステッピングモーター25,26でメカニカルステージ200をX軸およびY軸方向に一定間隔でステップ移動させることができる。移動スイッ チはコンピューター300上のテンキーから操作できる。メカニカルステージ200はコンパクトに設計され、回転ステージ6の回転を妨げない。ダイレクトドライブでX軸方向およびY軸方向に試料ホルダー27を駆動させるため、精度の高いステップ幅を保証できる。X軸およびY軸が独立して動くため、ステップ幅の選択が多種で、選択操作も容易である。測定情報はコンピューター300上に表示され、一定総数になると測定を自動的に終了する.データは即座にデジタルデータとしてコンピューター300上でデータ処理できる。駆動機構が簡単なこと,入力をコンピューター300のテンキーから行うことなどにより、故障が少なくメンテナンスが容易である。
100…偏光顕微鏡、200…メカニカルステージ、300…コンピューター、400…コントロールボックス、6…回転ステージ、21…外箱、22…固定板、23…コネクタ、24…スライダー、25…X軸ステップモーター、26…Y軸ステップモーター、27…試料ホルダー、90…試料板。
Claims (5)
- X軸方向及びY軸方向に試料板を移動させる偏光顕微鏡用メカニカルステージにおいて、
固定手段によって回転ステージに固定される外箱と、外箱内に収納されてこの外箱内をX軸方向に摺動するスライダーと、外箱に取り付けられ、X軸方向に延びたねじを移動させてスライダーをX軸方向に駆動するX軸ステップモーターと、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動し、Y軸方向に延びたねじを移動させるY軸ステップモーターと、試料板を保持し、スライダー上に載置されてスライダーと共に移動するものであって、Y軸ステップモーターによって、Y軸方向に駆動されて試料板をX軸方向及びY軸方向に駆動する試料ホルダーと、
を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。 - 請求項1において、スライダーは、並行配置、離間配置で、2つのロッドで結合された2つの部材からなり、一方の部材が、X軸ステップモーターによって移動されることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。
- 請求項2において、スライダーは、他方の部材に一体化され試料ホルダーに設けられた凸状の摺動部を収納する収納部を有することを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。
- 請求項1において、外箱にはスライダーのX軸方向の摺動量を示す計測部を形成され、試料ホルダーのY軸方向の摺動量を示す計測部が形成されていることを特徴とする偏光顕微鏡用メカニカルステージ。
- 請求項1から請求項4のいずれかに記載した偏光顕微鏡用メカニカルステージを備え、スライダーをX軸方向及びY軸方向に移動させるX軸ステップモーターおよびY軸ステップモーターから構成される移動駆動装置を備えたことを特徴とする偏光顕微鏡。
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