JP2007158371A - 半導体装置の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】まずSmart−CutやELTRANといった代表的な貼り合わせSOI技術を用いて単結晶シリコン薄膜106を形成する。次に単結晶シリコン薄膜106をパターニングして島状シリコン層108とした後、ハロゲン元素を含む酸化性雰囲気中で熱酸化処理を行うことで、トラップ準位や欠陥の除去された島状シリコン層109を得る。
【選択図】図2
Description
なお、図2(B)において埋め込み酸化膜107中の点線は、貼り合わせ界面を示しており、界面が強固に接着されたことを意味している。
)
本実施例では酸素雰囲気中に塩化水素ガスを混合した状態で、950℃30分の熱酸化処理を行う。勿論、塩化水素以外に三フッ化窒素等、他のハロゲン系ガスを混合しても良い。また、ドライ酸素、ウェット酸素等、公知の熱酸化雰囲気であっても構わない。(図4(D))
次に、図3(D)の熱処理工程を行わずにそのまま図4(A)に示した研磨工程に進む。そして、図4(C)のパターニング工程まで終了させる。
この不純物はゲート電極上からスルードープによって添加しても良いし、ゲート電極形成前に予め添加しておいても良い。
なお、基本的な回路はCMOS回路を最小単位として構成することで消費電力を抑えることができる。
その様な電子機器としては、ビデオカメラ、スチルカメラ、プロジェクター、プロジェクションTV、ヘッドマウントディスプレイ、カーナビゲーション、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話等)など
Claims (8)
- 主表面上に酸化シリコン膜を有する第1単結晶シリコン基板に対して主表面側か
ら水素を添加し、水素添加層を形成する第1工程と、
前記第1単結晶シリコン基板と支持体となる第2基板とを前記酸化シリコン膜を
介して貼り合わせる第2工程と、
第1熱処理により前記第1単結晶シリコン基板を分断する第3工程と、
前記第3工程によって前記第2基板の上に残存した単結晶シリコン薄膜に対して
第2熱処理を行う第4工程と、
前記単結晶シリコン薄膜の主表面を平坦化する第5工程と、
前記単結晶シリコン薄膜をパターニングして島状シリコン層を形成する第6工程
と、
前記島状シリコン層に対して熱酸化処理を行う第7工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 主表面上に酸化シリコン膜を有する第1単結晶シリコン基板に対して主表面側か
ら水素を添加し、水素添加層を形成する第1工程と、
前記第1単結晶シリコン基板と支持体となる第2基板とを前記酸化シリコン膜を
介して貼り合わせる第2工程と、
第1熱処理により前記第1単結晶シリコン基板を分断する第3工程と、
前記第3工程によって前記第2基板の上に残存した単結晶シリコン薄膜の主表面
を平坦化する第4工程と、
前記単結晶シリコン薄膜をパターニングして島状シリコン層を形成する第5工程
と、
前記島状シリコン層に対して熱酸化処理を行う第6工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1又は請求項2において、前記熱酸化処理は1050〜1150℃の温度
で行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項1乃至請求項3において、前記熱酸化処理はハロゲン元素を含む酸化性雰
囲気中で行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1単結晶シリコン基板を陽極酸化することにより多孔質シリコン層を形成する
第1工程と、
前記多孔質シリコン層上に単結晶シリコン薄膜をエピタキシャル成長させる第2
工程と、
前記単結晶シリコン薄膜上に酸化シリコン膜を形成する第3工程と、
前記第1単結晶シリコン基板と支持体となる第2基板とを前記酸化シリコン膜を
介して貼り合わせる第4工程と、
前記第1単結晶シリコン基板及び前記第2基板に対して第1熱処理を行う第5工
程と、
前記第1単結晶シリコン基板を前記多孔質シリコン層が露呈するまで研磨する第
6工程と、前記多孔質シリコン層を除去し、前記単結晶シリコン薄膜を露呈させ
る第7工程と、
前記単結晶シリコン薄膜をパターニングして島状シリコン層を形成する第8工程
と、
前記島状シリコン層に対して熱酸化処理を行う第9工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 第1単結晶シリコン基板を陽極酸化することにより多孔質シリコン層を形成する
第1工程と、
前記多孔質シリコン層上に単結晶シリコン薄膜をエピタキシャル成長させる第2
工程と、
前記単結晶シリコン薄膜上に酸化シリコン膜を形成する第3工程と、
前記第1単結晶シリコン基板と支持体となる第2基板とを前記酸化シリコン膜を
介して貼り合わせる第4工程と、
前記第1単結晶シリコン基板を前記多孔質シリコン層が露呈するまで研磨する第
5工程と、前記多孔質シリコン層を除去し、前記単結晶シリコン薄膜を露呈させ
る第6工程と、
前記単結晶シリコン薄膜をパターニングして島状シリコン層を形成する第7工程
と、
前記島状シリコン層に対して熱酸化処理を行う第8工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項5又は請求項6において、前記熱酸化処理は1050〜1150℃の温度
で行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項5乃至請求項7において、前記熱酸化処理はハロゲン元素を含む酸化性雰
囲気中で行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。
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