JP2007158224A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 走査方向と直交する方向に対応する方向を長手方向とするスリットを介して前記レチクルを照明し、前記レチクルと被露光体とを走査することにより、前記レチクルのパターンで前記被露光体を露光する露光方法において、
   前記パターンがそれぞれ転写される前記被露光体の複数の領域に共通の第１の補正量を算出する第１の補正量算出ステップと、
   前記領域固有の第２の補正量を算出する第２の補正量算出ステップと、
   前記第１及び第２の補正量に基づいて、前記スリットの前記長手方向の各位置における走査方向の積算照度を補正する補正ステップとを有することを特徴とする露光方法。
2. 前記第１の補正量算出ステップは、前記領域に共通の照度補正量の前記領域内座標に対するデータを前記スリットの前記長手方向の座標に関する傾き成分に基づいて算出することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
3. 前記第１の補正量算出ステップは、前記領域に共通の照度補正量の前記領域内座標に対するデータを前記スリットの前記長手方向の座標に関する高次成分に基づいて算出することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
4. 前記第２の補正量算出ステップは、前記領域に固有の照度補正量の前記領域内座標に対するデータを前記スリットの前記長手方向の座標に関する傾き成分に基づいて算出することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
5. 前記第２の補正量算出ステップは、前記領域に共通の照度補正量の前記領域内座標に対するデータを前記スリットの前記長手方向の座標に関する高次成分に基づいて算出することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
6. 前記補正ステップは前記走査露光に同期することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
7. 前記補正ステップは、前記スリットの中心から周辺に向けて前記長手方向の座標に関する高次関数で表される積算強度を形成することを特徴とする請求項１記載の露光方法。
8. 前記補正ステップは、
   前記被露光体の前記複数の領域に対して照度分布を維持するステップと、
   前記被露光体の各領域に対して照度分布を変更するステップとを有することを特徴とする請求項１記載の露光方法。