JP2007157683A - 電界放出表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カーボンナノチューブ4aから電子を放出させることによって、画素間の輝度の均一化を図る処理のうちの少なくとも一部の処理が、真空状態を形成するための封止工程前に行なわれる。少なくとも一部の処理は、カソード基板1とアノード基板との間の空間に酸素を含む雰囲気が充填されている状態で、ゲート電極6に基準電位を与えるとともに、カソード電極3に正電位を与える工程を含んでいる。
【選択図】図2
Description
実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1の電界放出表示装置のカソード基板の一部を概略的に示す断面図である。図1は、カソード基板の作成直後の状態を示している。図1においては、カソード基板にはアノード基板がまだ接合されていない。
性の低下が発生した場合には、真空槽9内に大気導入して、再度、スミア処理を行なって、カソード電極3とゲート電極6との間の絶縁性の低下を防止することが望ましい。
とのエミッション量を調節する均一化の工程(以下、「画素個別処理」と呼ぶ)を行なうが、画素個別処理の前に電子放出量を安定させるために、電界放出表示装置は、定格電流4μAで、約30分間、線順次で駆動される。つまり、本実施の形態の画素間の輝度の均一化を図る処理は、均一電圧処理と画素個別処理との間に、カーボンナノチューブ4aに定格値以下の電子放出量の電子が流れている状態で、全画素の電子放出量が安定するまで待機する工程を含んでいる。
Tk:処理時間(秒)
Imin:電子放出量が最も少ない画素の電子放出量(μA)
Ik:処理する画素の電子放出量(μA)
本実施の形態においては、全画素の電子放出量測定とそれに対応した画素個別処理とを3回繰り返すことにより、電子放出量の最大値から最小値までの範囲が平均値の2%以内になるようにすることができた。画素個別処理における各画素の電圧印加の時間の設定は、電子放出量を減らし過ぎることがないように、短めに設定されている。したがって、画素個別処理の後に全画素の輝度の均一性が不足していれば、電子放出量測定とそれに対応した画素個別処理とを繰り返すことが望ましい。これによれば、いずれの画素においても、均一電圧処理の直後に最もエミッション量が少ない画素よりもエミッション特性が低下
することがない。そのため、電界放出表示装置の駆動電圧の増加を防止することができる。
て、直接、カソード電極3上に形成されたものであっても、本実施の形態のカーボンナノチューブ層によって得られる効果と同様の効果が得られることが期待される。また、本実施の形態においては、画素1つに対して1つの電子通過孔7が設けられているが、画素1つに対して複数の電子通過孔7が設けられていても、本実施の形態の電界放出表示装置によって得られる効果と同様の効果が期待できる。
次に、図8を用いて、本実施の形態の電界放出表示装置の製造方法を説明する。なお、図8においては、実施の形態1の電界放出型電子源の各部位と同一の参照符号が付されている部位は、同一の構造および同一の機能を有し、同一の製造方法によって製造されているものとする。具体的には、カソード基板1は、ガラス基板2を備えている。ガラス基板2上にはカソード電極3、カーボンナノチューブ層4、絶縁層5、およびゲート電極6が積層されている。また、絶縁層5には、電子通過孔7が設けられている。また、電子通過孔7の底面において露出したカーボンナノチューブ層4からカーボンナノチューブ4aが延びている。
Claims (6)
- 真空状態に維持された空間を介して対向するカソード基板およびアノード基板を備えた電界放出表示装置の製造方法であって、
前記カソード基板は、
前記アノード基板から電気的に絶縁された状態で、前記アノード基板に対向するように基板上に設けられたカソード電極と、
前記カソード電極上に設けられ、カーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブ層と、
前記カーボンナノチューブ層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられ、前記カーボンナノチューブから電子を放出させるための電位が与えられるゲート電極とを備え、
前記カーボンナノチューブから電子を放出させることによって、画素間の輝度の均一化を図る処理のうちの少なくとも一部の処理が、前記真空状態を形成するための封止工程前に行なわれ、
前記少なくとも一部の処理は、前記カソード基板と前記アノード基板との間の空間に酸素を含む雰囲気が充填されている状態で、前記ゲート電極に基準電位に与えるとともに、前記カソード電極に正電位を与える工程を含む、電界放出表示装置の製造方法。 - 真空状態に維持された空間を介して対向するカソード基板およびアノード基板を備えた電界放出表示装置の製造方法であって、
前記カソード基板は、
前記アノード基板から電気的に絶縁された状態で、前記アノード基板に対向するように基板上に設けられたカソード電極と、
前記カソード電極上に設けられ、カーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブ層と、
前記カーボンナノチューブ層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられ、前記カーボンナノチューブから電子を放出させるための電位が与えられるゲート電極とを備え、
前記カソード基板と前記アノード基板とを接合する封着工程の前に、真空雰囲気中に前記カソード基板とダミーのアノード板とが対向するように設置された状態で、前記カーボンナノチューブから前記ダミーのアノード板に向かって電子を放出させることによって、画素間の輝度の均一化を図るための処理のうちの少なくとも一部の処理が行なわれる、電界放出表示装置の製造方法。 - 真空状態に維持された空間を介して対向するカソード基板およびアノード基板を備えた電界放出表示装置の製造方法であって、
前記カソード基板は、
前記アノード基板から電気的に絶縁された状態で、前記アノード基板に対向するように基板上に設けられたカソード電極と、
前記カソード電極上に設けられ、カーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブ層と、
前記カーボンナノチューブ層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられ、前記カーボンナノチューブから電子を放出させるための電位が与えられるゲート電極とを備え、
前記カーボンナノチューブから電子を放出させることによって、画素間の輝度の均一化を図る処理が実行され、
前記画素間の輝度の均一化を図る処理は、
全画素のそれぞれの前記カソード電極と前記ゲート電極との間に定格電圧より大きな均一な電圧を印加する第1工程と、
各画素の電子放出特性に応じて画素ごとに前記電子放出特性を調整することによって、全画素の前記電子放出特性の均一化を図る第2工程とを含む、電界放出表示装置の製造方法。 - 前記画素間の輝度の均一化を図る処理は、前記第1工程と前記第2工程との間に、前記カーボンナノチューブに定格値以下の電子放出量の電子が流れている状態で、前記全画素の電子放出量が安定するまで待機する工程を含む、請求項3に記載の電界放出表示装置の製造方法。
- 真空状態に維持された空間を介して対向するカソード基板およびアノード基板を備えた電界放出表示装置の製造方法であって、
前記カソード基板は、
前記アノード基板から電気的に絶縁された状態で、前記アノード基板に対向するように基板上に設けられたカソード電極と、
前記カソード電極上に設けられ、カーボンナノチューブを含有するカーボンナノチューブ層と、
前記カーボンナノチューブ層上に設けられた絶縁層と、
前記絶縁層上に設けられ、前記カーボンナノチューブから電子を放出させるための電位が与えられるゲート電極とを備え、
前記カソード基板と前記アノード基板とを接合する封着工程の前に、前記カーボンナノチューブから電子を放出させることによって、画素間の輝度の均一化を図る処理のうちの少なくとも一部の処理が実行され、
前記少なくとも一部の処理は、全画素に同一の電圧を印加する処理において、各画素の電子放出特性に応じて画素ごとに前記電圧の印加時間を異ならせることによって、前記全画素の電子放出量の均一化を図る工程を含む、電界放出表示装置の製造方法。 - 前記ゲート電極に基準電位に与えるとともに、前記カソード電極に正電位を与える工程においては、前記ゲート電極層と前記カソード電極層との間にDC(Direct Current)電圧およびパルス電圧のうち少なくともいずれか一方が印加され、
前記DC電圧は、前記絶縁層の厚さ1μm当たり1V〜2Vであり、前記パルス電圧は、前記絶縁層の厚さ1μm当たり2V〜5Vである、請求項1に記載の電界放出表示装置の製造方法。
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JP2005166346A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Canon Inc | 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法 |
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JP2003536215A (ja) * | 2000-06-07 | 2003-12-02 | モトローラ・インコーポレイテッド | 電界放出装置のための均一放出電流 |
JP2003086084A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-03-20 | Canon Inc | 電子放出素子の製造方法、画像形成装置、画像形成装置の製造装置及び画像形成装置の製造方法 |
JP2005166346A (ja) * | 2003-12-01 | 2005-06-23 | Canon Inc | 電子放出素子、電子源及び画像形成装置の製造方法 |
JP2006066169A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-03-09 | Sony Corp | 表示装置の製造方法 |
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