JP2002373569A - 電子源およびその製造方法 - Google Patents
電子源およびその製造方法Info
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- JP2002373569A JP2002373569A JP2001181988A JP2001181988A JP2002373569A JP 2002373569 A JP2002373569 A JP 2002373569A JP 2001181988 A JP2001181988 A JP 2001181988A JP 2001181988 A JP2001181988 A JP 2001181988A JP 2002373569 A JP2002373569 A JP 2002373569A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 陰極表面の凹凸や突起を抑制することによ
り、引き出し電極と陰極とのあいだの間隔を一様にし、
電子放出の均一な電子源を得る。 【解決手段】 基板上にカーボン系材料を陰極形状のパ
ターンに形成し、その後形成したカーボン系材料表面の
凹凸および突起をロールの押し付け処理やプレス処理に
よって押し潰す。カーボン系材料の表面粗さが小さくな
るので、引き出し電極と陰極とのあいだの距離が一定と
なり、一様かつ安定した電子放出が可能となる。
り、引き出し電極と陰極とのあいだの間隔を一様にし、
電子放出の均一な電子源を得る。 【解決手段】 基板上にカーボン系材料を陰極形状のパ
ターンに形成し、その後形成したカーボン系材料表面の
凹凸および突起をロールの押し付け処理やプレス処理に
よって押し潰す。カーボン系材料の表面粗さが小さくな
るので、引き出し電極と陰極とのあいだの距離が一定と
なり、一様かつ安定した電子放出が可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平板型表示装置
（フラットパネルディスプレイ）などに用いられる冷陰
極電子源に関し、とくにカーボン系の材料を使用した電
子源およびその製造方法に関する。
（フラットパネルディスプレイ）などに用いられる冷陰
極電子源に関し、とくにカーボン系の材料を使用した電
子源およびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、コンピュータの表示装置やテレビ
ジョンの受像機には、いわゆるブラウン管と呼ばれる陰
極線管（ＣＲＴ）が多用されてきた。これらＣＲＴは、
内部に電子銃を備えており、電子銃からの電子ビームを
表示面上の蛍光体に衝突させ、蛍光体を発光させること
によって表示を行なっている。電子銃の電子源として
は、陰極を加熱して熱電子を放出させる熱電子源が使用
されている。
ジョンの受像機には、いわゆるブラウン管と呼ばれる陰
極線管（ＣＲＴ）が多用されてきた。これらＣＲＴは、
内部に電子銃を備えており、電子銃からの電子ビームを
表示面上の蛍光体に衝突させ、蛍光体を発光させること
によって表示を行なっている。電子銃の電子源として
は、陰極を加熱して熱電子を放出させる熱電子源が使用
されている。
【０００３】一方、近年では、省スペースや低消費電力
の観点から、フラットパネルディスプレイの開発がさか
んに行われており、ヒータを必要としない冷陰極の電子
源の開発が進んでいる。とくに、電子源として電界放出
型の陰極を備え、これらを平面上に多数配置してなる電
界放出型のフラットパネルディスプレイは、高輝度、広
視野角、高速応答そして低消費電力の実現が可能な自発
光型表示装置として注目されている。
の観点から、フラットパネルディスプレイの開発がさか
んに行われており、ヒータを必要としない冷陰極の電子
源の開発が進んでいる。とくに、電子源として電界放出
型の陰極を備え、これらを平面上に多数配置してなる電
界放出型のフラットパネルディスプレイは、高輝度、広
視野角、高速応答そして低消費電力の実現が可能な自発
光型表示装置として注目されている。
【０００４】なかでも、陰極にカーボンナノチューブを
用いた電界放出型の電子源は、複雑でコストのかかる半
導体プロセスを必要とせず、スクリーン印刷やＣＶＤ法
によって形成が可能であるため、とくに注目されてい
る。
用いた電界放出型の電子源は、複雑でコストのかかる半
導体プロセスを必要とせず、スクリーン印刷やＣＶＤ法
によって形成が可能であるため、とくに注目されてい
る。
【０００５】陰極にカーボンナノチューブを用いた電界
放出型の電子源は、たとえば、特開２０００−９０８１
３公報明細書に開示されている。図１２に示されている
ように、基板４１上に電極４２が形成されており、電極
４２上に陰極４３が形成されている。陰極４３は、カー
ボンナノチューブを含有するカーボン系材料からなる。
また、基板４１上には、絶縁層４４が形成されており、
絶縁層４４上に引き出し電極４５が形成されている。
放出型の電子源は、たとえば、特開２０００−９０８１
３公報明細書に開示されている。図１２に示されている
ように、基板４１上に電極４２が形成されており、電極
４２上に陰極４３が形成されている。陰極４３は、カー
ボンナノチューブを含有するカーボン系材料からなる。
また、基板４１上には、絶縁層４４が形成されており、
絶縁層４４上に引き出し電極４５が形成されている。
【０００６】引き出し電極４５に電圧を印加することに
より、陰極４３から電子４６が引き出される。引き出さ
れた電子４６は、対向するもう一枚の基板に向かって飛
行し、基板上の蛍光体に衝突してこれを発光させる。
より、陰極４３から電子４６が引き出される。引き出さ
れた電子４６は、対向するもう一枚の基板に向かって飛
行し、基板上の蛍光体に衝突してこれを発光させる。
【０００７】このような電子源を用いるフラット・パネ
ル・ディスプレイを、図１３を参照して説明する。基板
上に複数の電極４２が平行に並んで形成され、これに直
交して、やはり複数の引き出し電極４５が平行に形成さ
れている。電極４２上かつ引き出し電極４５との交点に
は、カーボンナノチューブを含んだカーボン系材料によ
り陰極４３が形成されている。複数ある電極４２および
引き出し電極４５を適宜選択し、適当な電圧を加えるこ
とにより、任意の交点の陰極４３において電子を放出さ
せることが可能である。放出された電子は対向する基板
上の蛍光体に衝突し、蛍光体を発光させる。つまり、縦
横の電極４２、引き出し電極４５の選択によって、任意
の位置の蛍光体を発光させることができ、所望の表示を
得ることができる。
ル・ディスプレイを、図１３を参照して説明する。基板
上に複数の電極４２が平行に並んで形成され、これに直
交して、やはり複数の引き出し電極４５が平行に形成さ
れている。電極４２上かつ引き出し電極４５との交点に
は、カーボンナノチューブを含んだカーボン系材料によ
り陰極４３が形成されている。複数ある電極４２および
引き出し電極４５を適宜選択し、適当な電圧を加えるこ
とにより、任意の交点の陰極４３において電子を放出さ
せることが可能である。放出された電子は対向する基板
上の蛍光体に衝突し、蛍光体を発光させる。つまり、縦
横の電極４２、引き出し電極４５の選択によって、任意
の位置の蛍光体を発光させることができ、所望の表示を
得ることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、以上のよう
に構成された電子源において、電子放出を行うために引
き出し電極に印加する引き出し電圧は、引き出し電極と
陰極との間隔で決まる。たとえば、陰極と引き出し電極
との間隔が小さい場合には、小さな引き出し電圧で充分
な量の電子放出が得られる。陰極と引き出し電極との間
隔が大きい場合には、同程度の電子放出を得るために必
要な引き出し電圧は大きくなる。このため、電子放出量
を精度よく制御するためには、陰極の膜厚および表面の
凹凸の管理が重要である。
に構成された電子源において、電子放出を行うために引
き出し電極に印加する引き出し電圧は、引き出し電極と
陰極との間隔で決まる。たとえば、陰極と引き出し電極
との間隔が小さい場合には、小さな引き出し電圧で充分
な量の電子放出が得られる。陰極と引き出し電極との間
隔が大きい場合には、同程度の電子放出を得るために必
要な引き出し電圧は大きくなる。このため、電子放出量
を精度よく制御するためには、陰極の膜厚および表面の
凹凸の管理が重要である。
【０００９】ところで、通常、カーボンナノチューブは
アーク放電などによって製造され、カーボン系粒子に付
着した状態で得られる。このカーボン系粒子に溶剤など
を加えてペースト化し、スクリーン印刷によって基板上
に印刷し、乾燥と焼成を行なうことによってカーボンナ
ノチューブを用いた陰極が得られるが、カーボン系粒子
の粒径が数μｍ程度あり、さらにこれらカーボン系粒子
が凝集して２０〜３０μｍ以上の大きさの塊となること
もある。このため、得られた陰極の表面は、このカーボ
ン系粒子によって凹凸していることになる。また、凝集
したカーボン系粒子が大きな突起となることもある。
アーク放電などによって製造され、カーボン系粒子に付
着した状態で得られる。このカーボン系粒子に溶剤など
を加えてペースト化し、スクリーン印刷によって基板上
に印刷し、乾燥と焼成を行なうことによってカーボンナ
ノチューブを用いた陰極が得られるが、カーボン系粒子
の粒径が数μｍ程度あり、さらにこれらカーボン系粒子
が凝集して２０〜３０μｍ以上の大きさの塊となること
もある。このため、得られた陰極の表面は、このカーボ
ン系粒子によって凹凸していることになる。また、凝集
したカーボン系粒子が大きな突起となることもある。
【００１０】これら陰極表面の凹凸や突起により、引き
出し電極と陰極との間隔がばらつくことになり、印加電
圧と電子放出量との関係が場所によって一定しない、す
なわち均一な表示が得られないという問題が生じる。
出し電極と陰極との間隔がばらつくことになり、印加電
圧と電子放出量との関係が場所によって一定しない、す
なわち均一な表示が得られないという問題が生じる。
【００１１】そこで本発明は、陰極表面の凹凸や突起を
抑制することにより、引き出し電極と陰極とのあいだの
間隔を一様にし、電子放出の均一な電子源を得ることを
目的とする。
抑制することにより、引き出し電極と陰極とのあいだの
間隔を一様にし、電子放出の均一な電子源を得ることを
目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、基板上
に陰極形状に形成したカーボン系材料に対し、ロールの
押し付け処理やプレス処理を加えて、表面の凹凸および
突起を押し潰す。表面の凹凸が低減され、カーボン系材
料の膜厚が一様となる。この結果、引き出し電極と陰極
とのあいだの距離が一定となり、一様かつ安定した電子
放出が可能となる。
に陰極形状に形成したカーボン系材料に対し、ロールの
押し付け処理やプレス処理を加えて、表面の凹凸および
突起を押し潰す。表面の凹凸が低減され、カーボン系材
料の膜厚が一様となる。この結果、引き出し電極と陰極
とのあいだの距離が一定となり、一様かつ安定した電子
放出が可能となる。
【００１３】回転するロールをカーボン系材料パターン
に押し付けて、表面の凹凸または突起を押し潰すとよ
い。さらに、ロールの回転と同一方向に、カーボン系材
料パターンが形成された基板を移動させるとよい。ある
いは、基板を固定し、ロールを回転させつつ基板と平行
に移動させてもよい。
に押し付けて、表面の凹凸または突起を押し潰すとよ
い。さらに、ロールの回転と同一方向に、カーボン系材
料パターンが形成された基板を移動させるとよい。ある
いは、基板を固定し、ロールを回転させつつ基板と平行
に移動させてもよい。
【００１４】また、カーボン系材料パターンが形成され
た基板をプレス処理することによって、カーボン系材料
パターンの表面の凹凸または突起を押し潰してもよい。
た基板をプレス処理することによって、カーボン系材料
パターンの表面の凹凸または突起を押し潰してもよい。
【００１５】カーボン系材料パターンとロールまたはプ
レス器のあいだに平坦な基板を介装し、この基板によっ
てカーボン系材料パターンの表面の凹凸または突起を押
し潰してもよい。
レス器のあいだに平坦な基板を介装し、この基板によっ
てカーボン系材料パターンの表面の凹凸または突起を押
し潰してもよい。
【００１６】基板上のカーボン系材料は、ペースト状に
したカーボン形材料を陰極形状のパターンにスクリーン
印刷して形成することができる。また、ＣＶＤ法によっ
てカーボン系材料を選択的に成長させることにより、基
板上にカーボン系材料を形成することもできる。
したカーボン形材料を陰極形状のパターンにスクリーン
印刷して形成することができる。また、ＣＶＤ法によっ
てカーボン系材料を選択的に成長させることにより、基
板上にカーボン系材料を形成することもできる。
【００１７】カーボン系材料には、カーボンナノチュー
ブ、フラーレン、カーボンナノホーン、ナノパーティク
ル、カーボンナノウォールのうちの１つもしくは複数、
あるいはすべてが含まれていることが望ましい。
ブ、フラーレン、カーボンナノホーン、ナノパーティク
ル、カーボンナノウォールのうちの１つもしくは複数、
あるいはすべてが含まれていることが望ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、添付の図面を参照して、本
発明の実施の形態を具体的に説明する。
発明の実施の形態を具体的に説明する。
【００１９】実施の形態１ 本発明の一実施の形態における電子源の製造方法を、図
１の概略図に示す。本実施の形態は、基板上に形成した
カーボンナノチューブ陰極に対し、ロールによる押し付
け処理を加えることを特徴とする。
１の概略図に示す。本実施の形態は、基板上に形成した
カーボンナノチューブ陰極に対し、ロールによる押し付
け処理を加えることを特徴とする。
【００２０】基板１上に、カーボンナノチューブを含有
したカーボン系材料２が形成されている。基板１に用い
る材料としては、カーボン系材料の焼成時の高温に耐え
うるガラスなどが望ましい。カーボン系材料２は、カー
ボン系粒子をペースト化して印刷し、乾燥および焼成を
行なうことにより形成する。したがって、カーボン系材
料２の表面には、カーボン系粒子に起因する凹凸および
凝集したカーボン系粒子に起因する突起が存在する。
したカーボン系材料２が形成されている。基板１に用い
る材料としては、カーボン系材料の焼成時の高温に耐え
うるガラスなどが望ましい。カーボン系材料２は、カー
ボン系粒子をペースト化して印刷し、乾燥および焼成を
行なうことにより形成する。したがって、カーボン系材
料２の表面には、カーボン系粒子に起因する凹凸および
凝集したカーボン系粒子に起因する突起が存在する。
【００２１】そこで本実施の形態では、カーボン系材料
２に対しロールによる押し付け処理を加え、凹凸および
突起の緩和を行なう。
２に対しロールによる押し付け処理を加え、凹凸および
突起の緩和を行なう。
【００２２】ロールによる押し付け処理は、回転する２
つのロール、すなわち上ロール４、下ロール５によって
行なわれる。上ロール４および下ロール５は同一の仕様
であり、ロール長さは５００ｍｍ、ロール径は５６ｍｍ
である。また、上ロール４の回転方向８と下ロール５の
回転方向９は反対方向である。さらに、上ロール４およ
び下ロール５は、それぞれ矢印６、７で示されているよ
うに、基板に向かって加圧されている。ロールへの印加
圧力は０．２〜０．３ＭＰａである。
つのロール、すなわち上ロール４、下ロール５によって
行なわれる。上ロール４および下ロール５は同一の仕様
であり、ロール長さは５００ｍｍ、ロール径は５６ｍｍ
である。また、上ロール４の回転方向８と下ロール５の
回転方向９は反対方向である。さらに、上ロール４およ
び下ロール５は、それぞれ矢印６、７で示されているよ
うに、基板に向かって加圧されている。ロールへの印加
圧力は０．２〜０．３ＭＰａである。
【００２３】この上ロール４と下ロール５とのあいだに
基板１を挿入し、矢印１０に示す方向へ進行させる。基
板の進行速度は１０ｍｍ／秒である。この押し付け処理
により、カーボン系材料の表面の凹凸および突起を押し
潰すことができる。
基板１を挿入し、矢印１０に示す方向へ進行させる。基
板の進行速度は１０ｍｍ／秒である。この押し付け処理
により、カーボン系材料の表面の凹凸および突起を押し
潰すことができる。
【００２４】本実施の形態によれば、上下２つのロール
により、基板に対し簡便に均一な荷重をかけることがで
きる。また、ロール押し付け処理を複数回繰り返す事
で、より効果的に突起を押し潰すことができる。
により、基板に対し簡便に均一な荷重をかけることがで
きる。また、ロール押し付け処理を複数回繰り返す事
で、より効果的に突起を押し潰すことができる。
【００２５】なお、図２に示すように、カーボン系材料
２上に保護カバー３を配置し、上ロール４とカーボン系
材料２との直接接触を防止してもよい。保護カバー３
は、基板１と同一の材料でもかまわない。
２上に保護カバー３を配置し、上ロール４とカーボン系
材料２との直接接触を防止してもよい。保護カバー３
は、基板１と同一の材料でもかまわない。
【００２６】ところで、カーボン系材料を基板上に形成
したあとであれば、ロールによる押し付け処理はいつ行
なってもよい。ただし、スクリーン印刷で陰極を形成す
る場合、カーボン系材料がロールや保護カバーに付着し
にくい、溶剤成分の乾燥後にロールによる押し付け処理
を行なうことが望ましい。
したあとであれば、ロールによる押し付け処理はいつ行
なってもよい。ただし、スクリーン印刷で陰極を形成す
る場合、カーボン系材料がロールや保護カバーに付着し
にくい、溶剤成分の乾燥後にロールによる押し付け処理
を行なうことが望ましい。
【００２７】押し付け処理による凹凸および突起の緩和
を、図３および図４の模式図にて説明する。図３は押し
付け処理前の基板を示した図である。基板１上に電極１
１が形成され、電極１１上にカーボン系材料１２が形成
されている。カーボン系材料１２の表面には、カーボン
系粒子に起因する凹凸および突起が存在している。
を、図３および図４の模式図にて説明する。図３は押し
付け処理前の基板を示した図である。基板１上に電極１
１が形成され、電極１１上にカーボン系材料１２が形成
されている。カーボン系材料１２の表面には、カーボン
系粒子に起因する凹凸および突起が存在している。
【００２８】図４は押し付け処理後の基板を示した図で
ある。押し付け処理によってカーボン系材料の表面の凹
凸および突起が緩和され、表面の平坦な陰極１３を得る
ことが可能である。
ある。押し付け処理によってカーボン系材料の表面の凹
凸および突起が緩和され、表面の平坦な陰極１３を得る
ことが可能である。
【００２９】図３および図４の例では、電極１１とカー
ボン系材料１２（陰極１３）とが積層されて電気的接続
を形成していた。しかし、図５に示すように、電極１４
とカーボン系材料１５とが基板に平行な方向で電気的に
接続されている場合であっても、本発明の電子源の製造
方法によれば、押し付け処理によって、図６に示す表面
の凹凸の少ない陰極１６を得ることが可能である。
ボン系材料１２（陰極１３）とが積層されて電気的接続
を形成していた。しかし、図５に示すように、電極１４
とカーボン系材料１５とが基板に平行な方向で電気的に
接続されている場合であっても、本発明の電子源の製造
方法によれば、押し付け処理によって、図６に示す表面
の凹凸の少ない陰極１６を得ることが可能である。
【００３０】なお、冷陰極の代表例としてカーボンナノ
チューブを用いた陰極を説明したが、フラーレン、カー
ボンナノホーン、ナノパーティクル、カーボンナノウォ
ールなどカーボン系材料を用いた冷陰極であれば同様
に、押し付け処理によって陰極表面の平坦性を高めるこ
とが可能である。
チューブを用いた陰極を説明したが、フラーレン、カー
ボンナノホーン、ナノパーティクル、カーボンナノウォ
ールなどカーボン系材料を用いた冷陰極であれば同様
に、押し付け処理によって陰極表面の平坦性を高めるこ
とが可能である。
【００３１】また、カーボン系材料をスクリーン印刷
し、乾燥と焼成とを行なって陰極を形成する場合を例と
して説明したが、ＣＶＤ法によってカーボン系材料を基
板上に選択的に（すなわち陰極のパターンに）成長させ
て陰極を形成する場合であっても、同様に、押し付け処
理によって陰極表面の平坦性を高めることが可能であ
る。
し、乾燥と焼成とを行なって陰極を形成する場合を例と
して説明したが、ＣＶＤ法によってカーボン系材料を基
板上に選択的に（すなわち陰極のパターンに）成長させ
て陰極を形成する場合であっても、同様に、押し付け処
理によって陰極表面の平坦性を高めることが可能であ
る。
【００３２】実施の形態２ 本発明のほかの実施の形態における電子源の製造方法
を、図７および図８の概略図に示す。本実施の形態は、
基板上に形成したカーボンナノチューブ陰極に対し、ロ
ールによる押し付け処理を加えることを特徴とする。
を、図７および図８の概略図に示す。本実施の形態は、
基板上に形成したカーボンナノチューブ陰極に対し、ロ
ールによる押し付け処理を加えることを特徴とする。
【００３３】図７に示す実施の形態においては、ステー
ジ２１上に置かれた基板１に対し、移動するロール２２
によって押し付け処理が行なわれる。ロール２２は、矢
印２３に示されているとおり、ステージ２１に向かって
加圧されている。また、ロールの進行方向２５は、ロー
ルの回転方向２４に合わせてある。表面にカーボン系材
料２が形成されている基板１をステージ２１上に置き、
ロール２２を基板１に向かって押し付けつつ、進行方向
２５へ移動させる。この処理によって、カーボン系材料
の凹凸および突起を押し潰し、平坦なカーボンナノチュ
ーブ陰極を得ることができる。
ジ２１上に置かれた基板１に対し、移動するロール２２
によって押し付け処理が行なわれる。ロール２２は、矢
印２３に示されているとおり、ステージ２１に向かって
加圧されている。また、ロールの進行方向２５は、ロー
ルの回転方向２４に合わせてある。表面にカーボン系材
料２が形成されている基板１をステージ２１上に置き、
ロール２２を基板１に向かって押し付けつつ、進行方向
２５へ移動させる。この処理によって、カーボン系材料
の凹凸および突起を押し潰し、平坦なカーボンナノチュ
ーブ陰極を得ることができる。
【００３４】また、図８に示す実施の形態においては、
ロール２７は移動させず、基板１を置いたステージ２６
を進行方向３０に移動させる。ロール２７を回転方向２
９に回転させながら矢印２８に示す方向に加圧し、表面
にカーボン系材料２が形成されている基板１に押し付
け、カーボン系材料の凹凸および突起を押し潰して、平
坦なカーボンナノチューブ陰極を得ることができる。
ロール２７は移動させず、基板１を置いたステージ２６
を進行方向３０に移動させる。ロール２７を回転方向２
９に回転させながら矢印２８に示す方向に加圧し、表面
にカーボン系材料２が形成されている基板１に押し付
け、カーボン系材料の凹凸および突起を押し潰して、平
坦なカーボンナノチューブ陰極を得ることができる。
【００３５】なお、図９、図１０に示すように、ロール
２２、２７とカーボンナノチューブを含有したカーボン
系材料２とが直接接触することを防ぐために、保護カバ
ー３を介装させてもよい。保護カバーは、基板１と同一
材料でもかまわない。
２２、２７とカーボンナノチューブを含有したカーボン
系材料２とが直接接触することを防ぐために、保護カバ
ー３を介装させてもよい。保護カバーは、基板１と同一
材料でもかまわない。
【００３６】実施の形態３ 本発明の別の実施の形態における電子源の製造方法を、
図１１の概略図に示す。本実施の形態は、基板上に形成
したカーボンナノチューブ陰極に対し、プレスによる押
し付け処理を加えることを特徴とする。
図１１の概略図に示す。本実施の形態は、基板上に形成
したカーボンナノチューブ陰極に対し、プレスによる押
し付け処理を加えることを特徴とする。
【００３７】図１１に示す本実施の形態において、基板
１上にカーボンナノチューブを含有したカーボン系材料
２が形成されている。この基板１をステージ３１上に設
置し、プレス器３２を押し当てて矢印３３に示すとおり
加圧する。この処理により、カーボン系材料２の凹凸お
よび突起を押し潰すことができる。
１上にカーボンナノチューブを含有したカーボン系材料
２が形成されている。この基板１をステージ３１上に設
置し、プレス器３２を押し当てて矢印３３に示すとおり
加圧する。この処理により、カーボン系材料２の凹凸お
よび突起を押し潰すことができる。
【００３８】プレス器３２への印加圧力は、プレスによ
る押し付け処理後のカーボン系材料の表面状態によって
決めればよいが、０．０１〜０．０５ＭＰａ／ｃｍ2程
度が目安となる。押し付け処理による表面の平坦化によ
って電子放出量の均一化が図れる。したがって、電子源
の使用目的や使用条件を勘案の上、必要な表面状態が得
られるような圧力をプレス器３２に印加すればよい。
る押し付け処理後のカーボン系材料の表面状態によって
決めればよいが、０．０１〜０．０５ＭＰａ／ｃｍ2程
度が目安となる。押し付け処理による表面の平坦化によ
って電子放出量の均一化が図れる。したがって、電子源
の使用目的や使用条件を勘案の上、必要な表面状態が得
られるような圧力をプレス器３２に印加すればよい。
【００３９】なお、基板１がプレス器３２に比べて大き
い場合には、基板１上でプレス器３２を当てる場所をか
えながら、複数回に分けてプレス処理を行なえばよい。
また、実施の形態１および２と同様、プレス器３２と基
板１とのあいだに保護カバー３を介装させてもよい。
い場合には、基板１上でプレス器３２を当てる場所をか
えながら、複数回に分けてプレス処理を行なえばよい。
また、実施の形態１および２と同様、プレス器３２と基
板１とのあいだに保護カバー３を介装させてもよい。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カーボン系材料表面の凹凸および突起を押し潰して、陰
極表面の凹凸を低減できる。その結果、引き出し電極と
陰極とのあいだの距離が一定となり、一様かつ安定した
電子放出が可能となる。
カーボン系材料表面の凹凸および突起を押し潰して、陰
極表面の凹凸を低減できる。その結果、引き出し電極と
陰極とのあいだの距離が一定となり、一様かつ安定した
電子放出が可能となる。
【００４１】したがって、本発明による電子源を用いた
フラットパネルディスプレイでは、印加電圧によって精
度よく表示を制御することが可能になる。
フラットパネルディスプレイでは、印加電圧によって精
度よく表示を制御することが可能になる。
【図１】 本発明の一実施の形態における電子源製造方
法を説明する概略図である。
法を説明する概略図である。
【図２】 本発明の一実施の形態における電子源製造方
法を説明する概略図である。
法を説明する概略図である。
【図３】 押し付け処理前の基板を示した模式図であ
る。
る。
【図４】 本発明による押し付け処理後の基板を示す模
式図である。
式図である。
【図５】 押し付け処理前の基板を示した模式図であ
る。
る。
【図６】 本発明による押し付け処理後の基板を示す模
式図である。
式図である。
【図７】 本発明のほかの実施の形態における電子源製
造方法を説明する概略図である。
造方法を説明する概略図である。
【図８】 本発明のほかの実施の形態における電子源製
造方法を説明する概略図である。
造方法を説明する概略図である。
【図９】 本発明のほかの実施の形態における電子源製
造方法を説明する概略図である。
造方法を説明する概略図である。
【図１０】 本発明のほかの実施の形態における電子源
製造方法を説明する概略図である。
製造方法を説明する概略図である。
【図１１】 本発明の別の実施の形態における電子源製
造方法を説明する概略図である。
造方法を説明する概略図である。
【図１２】 従来の電子源の一例を示した図である。
【図１３】 図１２の電子源を用いたフラットパネルデ
ィスプレイを説明する図である。
ィスプレイを説明する図である。
１ 基板、２ カーボン系材料、３ 保護カバー、４
上ロール、５ 下ロール、６ 上ロール加圧方向、７
下ロール加圧方向、８ 上ロール回転方向、９ 下ロー
ル回転方向、１０ 基板進行方向、１１ 電極、１２
（凹凸および突起を有する）カーボン系材料、１３ 陰
極（平坦化されたカーボン系材料）、１４ 電極、１５
（凹凸および突起を有する）カーボン系材料、１６
陰極（平坦化されたカーボン系材料）、２１ ステー
ジ、２２ ロール、２３ ロール加圧方向、２４ ロー
ル回転方向、２５ ロール進行方向、２６ ステージ、
２７ ロール、２８ ロール加圧方向、２９ ロール回
転方向、３０ ステージ進行方向、３１ ステージ、３
２ プレス器、３３ プレス器加圧方向、４１基板、４
２ 電極、４３ 陰極、４４ 絶縁層、４５ 引き出し
電極、４６ 電子。
上ロール、５ 下ロール、６ 上ロール加圧方向、７
下ロール加圧方向、８ 上ロール回転方向、９ 下ロー
ル回転方向、１０ 基板進行方向、１１ 電極、１２
（凹凸および突起を有する）カーボン系材料、１３ 陰
極（平坦化されたカーボン系材料）、１４ 電極、１５
（凹凸および突起を有する）カーボン系材料、１６
陰極（平坦化されたカーボン系材料）、２１ ステー
ジ、２２ ロール、２３ ロール加圧方向、２４ ロー
ル回転方向、２５ ロール進行方向、２６ ステージ、
２７ ロール、２８ ロール加圧方向、２９ ロール回
転方向、３０ ステージ進行方向、３１ ステージ、３
２ プレス器、３３ プレス器加圧方向、４１基板、４
２ 電極、４３ 陰極、４４ 絶縁層、４５ 引き出し
電極、４６ 電子。
フロントページの続き (72)発明者 柴山 耕三郎 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 (72)発明者 開 政明 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 5C031 DD17
Claims (10)
- 【請求項１】 基板上にカーボン系材料からなる陰極を
形成した電子源であって、該カーボン系材料からなる陰
極の表面の凹凸または突起が押し潰されていることを特
徴とする電子源。 - 【請求項２】 陰極にカーボン系材料を用いた電子源の
製造方法であって、該陰極を形成する工程が、基板上に
カーボン系材料により陰極形状のパターンを形成する工
程と、形成したカーボン系材料パターンの表面の凹凸ま
たは突起を押し潰す工程とからなる電子源の製造方法。 - 【請求項３】 前記形成したカーボン系材料パターン
に、回転するロールを押し付けて表面の凹凸または突起
を押し潰すことを特徴とする請求項２記載の電子源の製
造方法。 - 【請求項４】 前記ロールの回転方向と同一方向に、前
記カーボン系材料パターンを形成した基板を移動させる
ことを特徴とする請求項３記載の電子源の製造方法。 - 【請求項５】 前記カーボン系材料パターンを形成した
基板を固定し、前記ロールを回転させながら該基板上を
移動させることを特徴とする請求項３記載の電子源の製
造方法。 - 【請求項６】 前記カーボン系材料パターンを形成した
基板をプレス処理することによって、該カーボン系材料
パターンの表面の凹凸または突起を押し潰すことを特徴
とする請求項２記載の電子源の製造方法。 - 【請求項７】 前記形成したカーボン系材料パターン上
に平坦な基板を設置し、該基板を介してカーボン系材料
パターンの表面の凹凸または突起を押し潰すことを特徴
とする請求項３、４、５または６記載の電子源の製造方
法。 - 【請求項８】 ペースト状にしたカーボン形材料を陰極
形状のパターンにスクリーン印刷することにより、基板
上にカーボン系材料からなる陰極形状のパターンを形成
することを特徴とする請求項２、３、４、５、６または
７記載の電子源の製造方法。 - 【請求項９】 ＣＶＤ法によってカーボン系材料を選択
的に成長させることにより、基板上にカーボン系材料か
らなる陰極形状のパターンを形成することを特徴とする
請求項２、３、４、５、６、７または８記載の電子源の
製造方法。 - 【請求項１０】 前記カーボン系材料に、カーボンナノ
チューブ、フラーレン、カーボンナノホーン、ナノパー
ティクル、カーボンナノウォールのうちの１つもしくは
複数、あるいはすべてが含まれていることを特徴とする
請求項１記載の電子源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001181988A JP2002373569A (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 電子源およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001181988A JP2002373569A (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 電子源およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002373569A true JP2002373569A (ja) | 2002-12-26 |
Family
ID=19022168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001181988A Pending JP2002373569A (ja) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | 電子源およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002373569A (ja) |
Cited By (11)
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-
2001
- 2001-06-15 JP JP2001181988A patent/JP2002373569A/ja active Pending
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR102526595B1 (ko) | 2021-01-22 | 2023-04-28 | 주식회사 일렉필드퓨처 | 캐소드 에미터 기판의 제조방법, 이에 의해 제조된 캐소드 에미터 기판 그리고, 이를 포함하는 엑스레이소스 |
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