JP2007145639A - 選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】無機粒子2を媒体に分散させたスラリーを用いて、該スラリー中へ成長用基板1を浸漬させるか、または該スラリーを成長用基板1上に塗布や噴霧した後、乾燥させることにより、成長用基板1の表面1A上に無機粒子2を配置する。成長用基板1上に配置した無機粒子2が、3−5族窒化物半導体層の成長時においてマスクとして作用し、成長用基板1の表面1Aにおいて無機粒子2の無いところが成長領域1Bとなる。
【選択図】図1
Description
成長用基板はサファイアのC面を鏡面研磨したものを用いた。無機粒子としてはコロイダルシリカ(扶桑化学工業(株)製、PL−20(商品名)、平均粒径370nm、水媒体、固形分濃度24重量%)に含まれている球状シリカ粒子を用いた。スピナーに成長用基板をセットし、その上にコロイダルシリカを塗布し、スピンコートを行い乾燥させた。走査型電子顕微鏡(SEM)で観察したところ、球状シリカ粒子がサファイア基板上に単粒子層状に配置され、選択エピタキシャル成長用マスクが形成されていることが確認された(図3)。
成長用基板としてサファイアのC面を鏡面研磨したものの上にGaN層を成長させたものを用いた他は実施例1と同様にして行った。この条件においても球状シリカ粒子は脱落することなくGaN層に配置され続け、選択エピタキシャル成長マスクとして機能していることが確認された。
成長用基板としてSi(111)基板を用いた。無機粒子としてはコロイダルシリカ(扶桑化学工業(株)製、PL−30−IPA(商品名)、平均粒径370nm、イソプロパノール媒体、固形分濃度30重量%)に含まれている球状シリカ粒子を用いた。成長用基板表面上への無機粒子の配置は、コロイダルシリカの固形分濃度を5重量%に希釈して用いた他は実施例1と同様にして実施した。この成長用基板上に配置した球状シリカ粒子を選択エピタキシャル成長用マスクとして、GaN層のエピタキシャル成長を行った。この条件においても実施例1及び2と同様に、球状シリカ粒子は脱落することなくGaN層に配置され続け、選択エピタキシャル成長用マスクとして機能していることが確認された。
1A 表面
1B 成長領域
2 無機粒子
3 3−5族窒化物半導体
101 下地基板
102 マスク用膜
103 レジスト膜
104 フォトレジストマスク
Claims (7)
- 選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法であって、
下地基板を用意する工程と、
該下地基板の表面に無機粒子を配置して選択エピタキシャル成長用マスクとする工程と
を有することを特徴とする選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法。 - 前記無機粒子が酸化物粒子である請求項1に記載の選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法。
- 前記無機粒子がシリカ、ジルコニア、チタニアからなる群より選ばれる1種以上の粒子である請求項2に記載の選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法。
- 前記無機粒子の粒径が20nm〜1μmである請求項1、2又は3に記載の選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法。
- 前記無機粒子の粒子形状が球状である請求項1、2、3又は4に記載の選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法。
- 前記下地基板がサファイア、SiC、又はSiのいずれかである請求項1、2、3、4又は5に記載の選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法。
- 前記無機粒子をスピンコートにより前記下地基板表面に配置する請求項1、2、3、4、5又は6に記載の選択エピタキシャル成長用マスクの形成方法。
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US9230804B2 (en) | 2011-02-14 | 2016-01-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor devices and methods of manufacturing the same |
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JP2000349333A (ja) * | 1998-07-23 | 2000-12-15 | Sony Corp | 発光素子,発光装置および表示装置並びに発光素子の製造方法 |
JP2005259768A (ja) * | 2004-03-09 | 2005-09-22 | Sanyo Electric Co Ltd | 発光素子およびその製造方法 |
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