JP2007142770A - 弾性波デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板(10)または圧電膜の表面に設けられた弾性波素子(12)と、圧電基板(10)または圧電膜上に設けられ、弾性波素子(12)上に空洞(18)を有する第1樹脂部(20)と、第1樹脂部(20)上に設けられた第2樹脂部(40)と、を有し、第2樹脂部(40)は、第1樹脂部(20)の上面に空洞(18)を投影した領域を含むように設けられていることを特徴とする弾性波デバイスである。また、その製造方法である。
【選択図】図10
Description
12 弾性波素子
16 配線
17 電極パッド
18 空洞
19 第1樹脂膜
20 第1樹脂部(樹脂部)
21 第2樹脂膜
30 プラグ金属
32 ハンダボール
40 第2樹脂部
41 第3樹脂膜
60 空洞となるべき開口部
64 切断領域
Claims (12)
- 圧電基板または圧電膜の表面に設けられた弾性波素子と、
前記圧電基板上に設けられ、前記弾性波素子上に空洞を有する第1樹脂部と、
前記第1樹脂部上に設けられた第2樹脂部と、を具備し、
前記第2樹脂部は、前記第1樹脂部の上面に前記空洞を投影した領域を含むように設けられていることを特徴とする弾性波デバイス。 - 前記第2樹脂部が有する弾性率は前記第1樹脂部の有する弾性率より大きいことを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第2樹脂部はフィラーを含有することを特徴とする請求項1記載の弾性波デバイス。
- 前記第2樹脂部の前記フィラーの添加量は、45重量%以上60重量%以下であることを特徴とする請求項3記載の弾性波デバイス。
- 前記第2樹脂部は感光性樹脂であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記フィラーはシリカフィラーであることを特徴とする請求項3または4記載の弾性波デバイス。
- 前記第2樹脂部の150℃から200℃での弾性率が1.8GPa以上であることを特徴とする請求項1から6記載の弾性波デバイス。
- 前記第1樹脂部および前記第2樹脂部はエポキシ樹脂およびポリイミド樹脂のいずれか一方を含むことを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の弾性波デバイス。
- 前記第1樹脂部を貫通し、前記弾性波素子と接続する接続部を具備し、
前記第2樹脂部は、前記接続部を含むような開口部を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性波デバイス。 - 圧電基板または圧電膜上に弾性波素子を形成する工程と、
前記圧電基板または圧電膜上に、前記弾性波素子上に空洞を有する第1樹脂部を形成する工程と、
前記第1樹脂部の上面に前記空洞を投影した領域を含むように第2樹脂部を形成する工程と、を有することを特徴とする弾性波デバイスの製造方法。 - 前記第1樹脂部を形成する工程は、前記空洞となるべき領域に開口部を有する第1樹脂膜を前記圧電基板または圧電膜上に形成する工程と、
前記第1樹脂膜上に、前記開口部を空洞として残存させるように第2樹脂膜を形成する工程と、
前記第2樹脂膜の所定領域を除去し、前記第1樹脂膜と前記第2樹脂膜とより前記第1樹脂部を形成する工程と、を含み、
前記第2樹脂部を形成する工程は、前記第2樹脂膜上に感光性樹脂膜である第3樹脂膜を形成する工程と、
前記第3樹脂膜の所定領域を露光する工程と、
前記第3樹脂膜を現像し、前記第3樹脂膜より前記第2樹脂部を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項10記載の弾性波デバイスの製造方法。 - 前記第2樹脂膜は感光性樹脂膜であり、
前記第1樹脂膜と前記第2樹脂膜とより前記第1樹脂部を形成する工程は、前記第2樹脂膜の所定領域を露光する工程と、前記第2樹脂膜を現像し、前記第1樹脂膜と前記第2樹脂膜とより前記第1樹脂部を形成する工程と、を含み、
前記第2樹脂膜の所定領域を露光する工程は、前記第3樹脂膜を形成する工程の前に行い、前記第2樹脂膜を現像し、前記第1樹脂膜と前記第2樹脂膜とより前記第1樹脂部を形成する工程は、前記第3樹脂膜を現像し前記第3樹脂膜より前記第2樹脂部を形成する工程と同時に行われることを特徴とする請求項11記載の弾性波デバイスの製造方法。
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