JP2007142030A - 固体撮像素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板上に2次元状に配置された複数の光電変換部と、前記光電変換部で生起された信号電荷を受け取り、垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、前記垂直電荷転送部により転送された信号電荷を受け取り、水平方向に転送する水平電荷転送部とを備えた固体撮像素子であって、前記水平電荷転送路を構成する電荷転送電極は、電極間絶縁膜を介して配列されており、前記電極間絶縁膜が、隣接する電荷転送電極間で、交互に膜厚が薄くなるように配列形成される。
【選択図】図1
Description
この固体撮像素子は、図6に示すように、半導体基板1と、2層オーバーラップ多結晶シリコンで構成される第1層電極3aおよび第2層電極3bと、半導体基板1の表面部に形成され信号電荷の転送路となる埋め込みチャンネル領域(図示せず)、光電変換した信号電荷を蓄積するフォトダイオードが2次元状に配置されたフォトダイオード領域(図示せず)とから構成される。なお、垂直電荷転送路の転送電極間距離をdとし、水平電荷転送路の転送電極間距離をeとする。また、水平電荷転送路は異なる2つの電圧レベル(H1、H2)を加えることにより信号電荷の転送を行う2相駆動CCDであり、垂直電荷転送路は異なる4つの電圧レベル(V1、V2、V3、V4)を加えることにより信号電荷の転送を行う4相駆動CCDである。
まず、図7(a)に示すように、半導体基板1のゲート絶縁膜2上に多結晶シリコン膜からなる第1層電極3aを形成し、これを酸化して層間絶縁膜としての第1の酸化シリコン膜4を形成する。
図6の下方の図は、信号電荷の転送を説明するためのポテンシャル分布を示す図である。なお、このポテンシャル分布は、図6の上方の電荷転送電極に相当するものである。また、信号電荷の転送に際し、隣接する第1層電極3a、第2層電極3bをひとつの電極対とし、各電極対にH1、H2が印加され、電荷の転送がなされていく。
本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、固体撮像素子の水平電荷転送路における駆動電圧の低減を図ると共に、駆動周波数の向上を図ることを目的とする。
この構成により、ポテンシャルポケットを生じ易い電極間絶縁膜の膜厚を薄く形成しているため、一般にポテンシャルポケットの大きさは、転送電極間距離により決定され、電荷転送電極間距離が短くなるほどお互いの転送電極の電界が作用し合って小さくなる。
このように、信号電荷の転送に際して、転送電極間下にはポテンシャルポケットが形成され、そのポテンシャルポケットが信号電荷の転送効率を低くする要因となっているので、ポテンシャルポケットを小さくする、つまり、転送電極間距離を短くすることによりCCDの転送効率を高くする。一方、電位差を持つように異なる電圧を印加される電荷転送電極下ではポテンシャルの差は大きくなるので、ポテンシャルポケットが形成されにくい。
この構成により、同一の電位が印加される領域では、不純物プロファイルでのみポテンシャル勾配を形成することになるため、電極間絶縁膜の形成によってバリアを形成しやすい電極対では改善を期待することができる。
この構成により、同一の電位が印加される領域では電荷転送電極間距離がゼロとなるため、ポテンシャルポケットの形成はほとんど皆無となる。
この構成により、当該一導電型の転送路の不純物濃度を薄くしているため、ポテンシャルポケットの形成を抑制することができる。すなわち、一導電型の転送路に逆導電型のイオンをイオン注入してもいいし、同じ導電型の不純物の濃度を変えてもよく、ポテンシャルの勾配がつくように不純物濃度をコントロールすればよい。
この構成により、電極間絶縁膜の形成が酸化によって容易に実施し得る。
この構成により、電極間絶縁膜を電荷転送電極の酸化により容易に形成することができる。
この構成により、容易に膜厚差を形成することが可能となる。
この構成により、ポテンシャルポケットを生じ易い電極間絶縁膜の膜厚を薄く形成することができるため、一般にポテンシャルポケットの大きさは、転送電極間距離により決定され、電荷転送電極間距離が短くなるほどお互いの転送電極の電界が作用し合って小さくなる。このように、信号電荷の転送に際して、転送電極間下にはポテンシャルポケットが形成され、そのポテンシャルポケットが信号電荷の転送効率を低くする要因となっているので、ポテンシャルポケットを小さくする、つまり、転送電極間距離を短くすることによりCCDの転送効率を高くする。一方、電位差を持つように異なる電圧を印加される電荷転送電極下ではポテンシャルの差は大きくなるので、ポテンシャルポケットが形成されにくい。
本発明の固体撮像素子は、図1に示すように、電極間絶縁膜4が、隣接する電荷転送電極(第1層電極3a、第2層電極3b)間で、交互に膜厚が薄くなるように配列形成されたことを特徴とするもので他は通例の固体撮像素子と同様に形成される。図2は、本発明の実施の形態1に係る固体撮像素子の模式図である。本実施の形態の固体撮像素子20は、シリコン基板の表面1に正方格子状に配列された多数のフォトダイオード22からなる光電変換部を備える。水平方向に隣接するフォトダイオード22間には第1方向(これを垂直方向とする)に延びる垂直転送路(VCCD)23が設けられている。
まず、通例の方法で、シリコン基板1上に光電変換部と電荷転送部とを形成する。例えば電荷転送部は以下のように形成される。不純物濃度7.0×1014cm−3程度のn型のシリコン基板1表面に、膜厚25nmの酸化シリコン膜2aと、膜厚50nmの窒化シリコン膜2bと、膜厚10nmの酸化シリコン膜2cを形成し、3層構造のゲート絶縁膜2を形成する。
図5は、本発明の実施の形態2に係る水平転送路の一部断面模式図である。尚、図1に示した実施の形態1の固体撮像素子と同一部材には同一符号を付し、その説明は省略する。
この構成により、ポテンシャル電位をポテンシャルポケットの無い階段状に制御することができるという利点を有する。
2 ゲート絶縁膜
3a 第1層電極
3b 第2層電極
4 電極間絶縁膜
20 CCD型固体撮像素子
22 受光素子
23 垂直転送路
24 水平転送路
Claims (13)
- 半導体基板上に2次元状に配置された複数の光電変換部と、
前記光電変換部で生起された信号電荷を受け取り、垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、
前記垂直電荷転送部により転送された信号電荷を受け取り、水平方向に転送する水平電荷転送部とを備えた固体撮像素子であって、
前記水平電荷転送路を構成する電荷転送電極は、電極間絶縁膜を介して配列されており、前記電極間絶縁膜が、隣接する電荷転送電極間で、交互に膜厚が薄くなるように配列形成された固体撮像素子。 - 請求項1に記載の固体撮像素子であって、
前記電極間絶縁膜のうち膜厚がより薄いものをはさんで隣接する電荷転送電極間に同一の電位が印加されるように構成された固体撮像素子。 - 請求項2に記載の固体撮像素子であって、
前記電極間絶縁膜は、少なくとも前記半導体基板表面で除去されている固体撮像素子。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の固体撮像素子であって、
前記電荷転送電極は第1層電極と、前記第1層電極の上層に電極間絶縁膜を介して形成される第2層電極とからなる2層電極構造をなす固体撮像素子。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の固体撮像素子であって、
少なくとも、より薄い電極間絶縁膜下に位置する前記半導体基板表面の、不純物濃度がより低くなっている固体撮像素子。 - 請求項1乃至5のいずれかに記載の固体撮像素子であって、
前記電荷転送電極は、シリコン系導電性膜で構成された固体撮像素子。 - 請求項6に記載の固体撮像素子であって、
前記電極間絶縁膜は、熱酸化膜を含む固体撮像素子。 - 請求項1に記載の固体撮像素子であって、
前記電極間絶縁膜は、膜厚の厚い側では酸化膜とHTO膜の2層膜であり、膜厚の薄い側ではHTO膜単層である固体撮像素子。 - 請求項4に記載の固体撮像素子であって、
前記第1層電極の片側において、前記第1層電極とその上層を覆う前記第2層電極とが当接する領域全体で、前記電極間絶縁膜が除去された固体撮像素子。 - 半導体基板上に2次元状に配置された複数の光電変換部と、
前記光電変換部で生起された信号電荷を受け取り、垂直方向に転送する垂直電荷転送部と、
前記垂直電荷転送部により転送された信号電荷を受け取り、水平方向に転送する水平電荷転送部とを備えた固体撮像素子の製造方法であって、
前記水平電荷転送路を形成する工程が、
第1層電極を形成する工程と、前記第1層電極の周りに絶縁膜を形成する工程と、
前記半導体基板表面の前記第1層電極に隣接する一方の側で前記絶縁膜を薄膜化し、電極間絶縁膜を形成する工程と、
前記第1層電極の一方の側で薄膜化された電極間絶縁膜を介して第2層電極を形成する工程とを含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項10に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記電極間絶縁膜を形成する工程は、
前記第1層電極を酸化して酸化シリコン膜を形成する工程と、
前記酸化シリコン膜を前記第1層電極の一方の側で除去するようにエッチングする工程とを含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項11に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記電極間絶縁膜を形成する工程は、
前記第1層電極の一方の側で除去するように酸化シリコン膜のエッチングされた領域を含む表面全体にHTO膜を形成する工程とを含む固体撮像素子の製造方法。 - 請求項11に記載の固体撮像素子の製造方法であって、
前記第1層電極形成後、前記第2層電極の形成に先立ち、前記半導体基板表面に不純物を注入する工程を含む固体撮像素子の製造方法。
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JP2009200262A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Sharp Corp | 半導体装置およびその製造方法、固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子情報機器 |
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2005
- 2005-11-16 JP JP2005331642A patent/JP2007142030A/ja not_active Abandoned
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