JP2007136478A - レーザ発生装置 - Google Patents
レーザ発生装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007136478A JP2007136478A JP2005331152A JP2005331152A JP2007136478A JP 2007136478 A JP2007136478 A JP 2007136478A JP 2005331152 A JP2005331152 A JP 2005331152A JP 2005331152 A JP2005331152 A JP 2005331152A JP 2007136478 A JP2007136478 A JP 2007136478A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- wavelength
- laser beam
- light
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
【解決手段】単一波長のレーザ光を発生するレーザ発振ユニット2と、単一波長のレーザ光を波長変換して複数波長のレーザ光を出力する波長変換ユニット3と、複数波長のレーザ光を第1及び第2のレーザ光L1,L2に分離して射出する波長分離ユニット4と、分離されたレーザ光L1,L2の各光路R1,R2の遮断と開放を同時に実行し、レーザ光L1,L2から特定波長のレーザ光を選択して出力する波長選択ユニット5と、分離されたレーザ光L1,L2の各光路R1,R2を同一の光軸R3に合致させると共に、該光軸の合致されたレーザ光の出力方向を変位可能とする出力光学ユニット6と、を備えたものである。
【選択図】図1
Description
さらに、請求項3に係る発明によれば、一つのシャッタで最大4種類の波長のレーザ光の選択を可能にすることができる。
ここでは、筐体1が図示省略のレーザ加工機の顕微鏡の鏡筒の上端部に固定されており、二つの反射ミラー58,59があおり調整されて該反射ミラー58,59で反射されて出力するレーザ光の出力方向が上記顕微鏡の光軸に合致された状態にある場合について説明する。
2…レーザ発振ユニット
3…波長変換ユニット
4…波長分離ユニット
5…波長選択ユニット
6…出力光学ユニット
7…部屋
8…ベース部材
8a…一方の端部
8b…他方の端部
9…主リブ
10…副リブ
21…ケース
22…SHG結晶(非線形光学結晶)
23…THG結晶(非線形光学結晶)
27…シャッタ
31…第1の遮光板
32…第2の遮光板
34,37,39…フィルタ
35,42,45…セラミック板
52…ビームエキスパンダ
53…出力光変位手段
58,59…出力光変位手段の反射ミラー
L1…第1のレーザ光
L2…第2のレーザ光
R1…第1のレーザ光の光路
R2…第2のレーザ光の光路
R3…光軸
O1,O2…回動軸
Claims (9)
- 単一波長のレーザ光を発生するレーザ発振ユニットと、
前記単一波長のレーザ光を波長変換して複数波長のレーザ光を出力する波長変換ユニットと、
前記複数波長のレーザ光を少なくとも二つのレーザ光に分離して射出する波長分離ユニットと、
前記分離された少なくとも二つのレーザ光の各光路の遮断と開放を同時に実行し、前記レーザ光から特定波長のレーザ光を選択して出力する波長選択ユニットと、
前記分離された少なくとも二つのレーザ光の光路を同一の光軸に合致させると共に、該光軸が合致されたレーザ光の出力方向を変位可能とする出力光学ユニットと、
を備えたことを特徴とするレーザ発生装置。 - 前記波長選択ユニットは、前記波長分離ユニットから射出される二つのレーザ光の光路上に回動可能に設けられ、前記二つの光路のいずれか一方を遮断すると同時に他方を開放するシャッタを備えたことを特徴とする請求項1記載のレーザ発生装置。
- 前記シャッタは、個別に回動される二枚の遮光板を近接して配設し、両遮光板が非回動の状態及び、又は一方の遮光板のみが所定角度だけ回動された状態にあるときは、前記二つのレーザ光の一方の光路を開放するのと同時に他方の光路を遮断し、他方の遮光板のみが所定角度だけ回動された状態及び、又は両遮光板が所定角度だけ回動された状態にあるときは、前記二つのレーザ光の一方の光路を遮断するのと同時に他方の光路を開放すように形成されたことを特徴とする請求項2記載のレーザ発生装置。
- 前記二枚の遮光板は、前記二つのレーザ光の光路を開放する位置に特定波長のレーザ光を選択的に透過させるフィルタを設けたことを特徴とする請求項3記載のレーザ発生装置。
- 前記二枚の遮光板は、前記二つのレーザ光の光路を遮断する位置にセラミック板を設けたことを特徴とする請求項3又は4記載のレーザ発生装置。
- 前記波長変換ユニットは、入力する単一波長のレーザ光を複数波長のレーザ光に変換する複数の非線形光学結晶を近接配設して一つのケース内に収容したことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のレーザ発生装置。
- 前記出力光学ユニットは、レーザ光の出力側に二枚の反射ミラーをその反射面を対向させてそれぞれ個別にあおり調整可能に配設し、前記各反射ミラーで反射されて出力するレーザ光の出力方向を変位可能にしたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載のレーザ発生装置。
- 前記出力光学ユニットは、前記合致された光軸上に前記選択された特定波長のレーザ光の径を広げるビームエキスパンダを備えたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載のレーザ発生装置。
- 前記構成要素としての各ユニットは、ベース部材と、該ベース部材の略中央部に一方の端部から他方の端部に向かって延びた主リブと、該主リブから左右に延びた副リブによって仕切られた複数の部屋にそれぞれ収容されて設置されたことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載のレーザ発生装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005331152A JP4699874B2 (ja) | 2005-11-16 | 2005-11-16 | レーザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005331152A JP4699874B2 (ja) | 2005-11-16 | 2005-11-16 | レーザ発生装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007136478A true JP2007136478A (ja) | 2007-06-07 |
JP4699874B2 JP4699874B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=38199957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005331152A Expired - Fee Related JP4699874B2 (ja) | 2005-11-16 | 2005-11-16 | レーザ発生装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4699874B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010054547A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Lasertec Corp | 紫外レーザ装置 |
JP2014508972A (ja) * | 2011-03-21 | 2014-04-10 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | レーザービームを拡大するための装置および方法 |
CN112436891A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-03-02 | 中国电子科技集团公司第三十四研究所 | 一种激光光闸 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62136853A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-19 | Hitachi Ltd | レ−ザ処理装置 |
JPH06152016A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-31 | Sony Corp | レーザ光発生装置 |
JPH0733477U (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-20 | 株式会社キーエンス | レーザマーク装置 |
JPH08318366A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | はんだ加熱方法およびその装置 |
JPH11151589A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機 |
JPH11307940A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Shunichi Okada | レーザー加工方法 |
JP2000190088A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ―ザ加工装置および加工方法と被加工物 |
JP2001062583A (ja) * | 1999-08-27 | 2001-03-13 | Ushio Sogo Gijutsu Kenkyusho:Kk | 光路変更手段を備えた加工用レーザ装置 |
-
2005
- 2005-11-16 JP JP2005331152A patent/JP4699874B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62136853A (ja) * | 1985-12-11 | 1987-06-19 | Hitachi Ltd | レ−ザ処理装置 |
JPH06152016A (ja) * | 1992-11-10 | 1994-05-31 | Sony Corp | レーザ光発生装置 |
JPH0733477U (ja) * | 1993-12-03 | 1995-06-20 | 株式会社キーエンス | レーザマーク装置 |
JPH08318366A (ja) * | 1995-05-29 | 1996-12-03 | Oki Electric Ind Co Ltd | はんだ加熱方法およびその装置 |
JPH11151589A (ja) * | 1997-11-20 | 1999-06-08 | Amada Eng Center Co Ltd | レーザ加工機 |
JPH11307940A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Shunichi Okada | レーザー加工方法 |
JP2000190088A (ja) * | 1998-12-25 | 2000-07-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レ―ザ加工装置および加工方法と被加工物 |
JP2001062583A (ja) * | 1999-08-27 | 2001-03-13 | Ushio Sogo Gijutsu Kenkyusho:Kk | 光路変更手段を備えた加工用レーザ装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010054547A (ja) * | 2008-08-26 | 2010-03-11 | Lasertec Corp | 紫外レーザ装置 |
JP2014508972A (ja) * | 2011-03-21 | 2014-04-10 | トルンプフ レーザー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト | レーザービームを拡大するための装置および方法 |
US9638907B2 (en) | 2011-03-21 | 2017-05-02 | Trumpf Laser Gmbh | Device and method for expanding a laser beam |
KR101837232B1 (ko) * | 2011-03-21 | 2018-03-09 | 트룸프 레이저 게엠베하 | 레이저빔의 확장 장치 및 방법 |
CN112436891A (zh) * | 2020-12-25 | 2021-03-02 | 中国电子科技集团公司第三十四研究所 | 一种激光光闸 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4699874B2 (ja) | 2011-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4640029B2 (ja) | 波長変換光学系、レーザ光源、露光装置、被検物検査装置、及び高分子結晶の加工装置 | |
JP4429974B2 (ja) | レーザ加工方法および装置 | |
WO2005084874A1 (ja) | レーザ加工装置 | |
CN108602159B (zh) | 激光加工装置及激光输出装置 | |
JP7034621B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
WO2017145610A1 (ja) | レーザ光照射装置及びレーザ光照射方法 | |
KR20180125470A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
JP4699874B2 (ja) | レーザ発生装置 | |
JP7182654B2 (ja) | レーザ出力装置 | |
JP7023629B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
JP6695699B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6661392B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2004258063A5 (ja) | ||
JP6661394B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
TW569509B (en) | Barium fluoride high repetition rate UV excimer laser | |
JP6896913B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2006275917A (ja) | 多光子励起型観察装置および多光子励起型観察用光源装置 | |
JP2006324601A (ja) | レーザ装置及びレーザ加工装置 | |
JP6661393B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6689612B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP5157089B2 (ja) | 補助光照射装置およびレーザ装置 | |
JPH09323184A (ja) | レーザ加工装置 | |
JP6710891B2 (ja) | 光変調装置及び光変調方法 | |
JP2022137369A (ja) | レーザ加工装置 | |
KR101187610B1 (ko) | 파장 변환 광학계, 레이저 광원, 노광 장치, 피검물 검사장치, 및 고분자 결정의 가공 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080807 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101130 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110301 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110303 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4699874 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |