JP2007134431A - 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ - Google Patents
固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本実施形態に係る固体撮像装置は、行列状に配置された複数の受光部5と、受光部5の各列に隣接して配置された転送チャネルと、転送チャネル上に同一の層で繰り返し配置された、4相の転送電極21〜24と、転送電極21〜24上において転送チャネルに沿って互いに重なって配置され、転送電極に対して駆動電圧を供給する2層構造の3本の駆動配線41〜43とを有する。同一列の複数の第2転送電極22および第3転送電極23の接続に対して、それぞれ1本ずつ駆動配線42,43が配置されている。隣接する2列の複数の第1転送電極21あるいは第4転送電極24に対して、1本の駆動配線が配置されている。
【選択図】図2
Description
図1は、本実施形態に係る固体撮像装置の概略構成図である。本実施形態に係る固体撮像装置1は、撮像部2と、水平転送部3と、出力部4とを有する。
第2実施形態に係る固体撮像装置について説明する。本実施形態では、駆動配線41〜43の積層構造が第1実施形態とは異なる。
本発明は、インターライントランスファ方式以外にも、フレームトランスファ方式、フレームインターライントランスファ方式の固体撮像装置に適用することもできる。また、駆動配線として、タングステン以外の金属材料やシリサイド材料を用いることもできる。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (12)
- 行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部の各列に隣接して配置された転送チャネルと、
前記転送チャネル上に同一の層で繰り返し配置された、第1転送電極、第2転送電極、第3転送電極および第4転送電極と、
前記転送電極上において前記転送チャネルに沿って互いに重なって配置され、前記転送電極に対して駆動電圧を供給する2層構造の3本の駆動配線と
を有し、
前記第2転送電極および前記第3転送電極は、前記受光部に対して隣接して配置され、かつ、行方向において分離されており、
前記第1転送電極および第4転送電極は、行方向に隣接する電極と接続されており、
同一列の複数の第2転送電極および第3転送電極の接続に対して、それぞれ1本ずつ駆動配線が配置され、
隣接する2列の複数の第1転送電極あるいは第4転送電極に対して、1本の駆動配線が配置されている
固体撮像装置。 - 隣接する2列の複数の前記第1転送電極に接続する駆動配線と、隣接する2列の複数の前記第4転送電極に接続する駆動配線が1列おきに交互に配置されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 同一行の全ての前記第1転送電極は接続されており、
同一行の全ての前記第4転送電極は接続されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 2層構造の3本の前記駆動配線のうちの下層の駆動配線は、上層の駆動配線と前記転送電極との接続部を避けて形成されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 前記第1転送電極あるいは前記第4転送電極に接続される前記駆動配線は、前記受光部間の領域において行方向に延長された部位を有し、当該部位において前記第1転送電極あるいは前記第4転送電極と接続されている
請求項1記載の固体撮像装置。 - 基板に行列状に配置した複数の受光部を形成する工程と、
前記受光部の各列にそれぞれ隣接して配置された転送チャネルを形成する工程と、
前記基板上に導電層を堆積する工程と、
前記導電層を加工して、前記転送チャネル上に繰り返し配置された第1転送電極、第2転送電極、第3転送電極および第4転送電極を形成する工程と、
前記転送電極上に、前記転送チャネルに沿って互いに重なって配置された2層構造の3本の駆動配線を形成する工程と
を有し、
前記第2転送電極および前記第3転送電極は、前記受光部に対して隣接して配置され、かつ、行方向において分離されており、
前記第1転送電極および第4転送電極は、行方向に隣接する電極と接続されており、
同一列の複数の第2転送電極および第3転送電極の接続に対して、それぞれ1本ずつ駆動配線が配置され、
隣接する2列の複数の第1転送電極あるいは第4転送電極に対して、1本の駆動配線が配置されている
固体撮像装置の製造方法。 - 2層構造の3本の駆動配線を形成する工程は、
前記転送電極上に、前記転送チャネルに沿った1本の駆動配線を形成する工程と、
前記1本の駆動配線上に2本の駆動配線を形成する工程とを有する
請求項6記載の固体撮像装置の製造方法。 - 2層構造の3本の駆動配線のうちの下層の1本の駆動配線を形成する工程において、上層の駆動配線と前記転送電極との接続部を避けたパターンで形成する
請求項7記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記2層構造の3本の駆動配線のうちの上層の2本の駆動配線を形成する工程において、下層の駆動配線の上面および側面を覆うように上層の駆動配線を形成する
請求項7記載の固体撮像装置の製造方法。 - 2層構造の3本の駆動配線を形成する工程は、
前記転送電極上に、前記転送チャネルに沿った2本の駆動配線を形成する工程と、
前記2本の駆動配線上に1本の駆動配線を形成する工程とを有する
請求項6記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記2層構造の3本の駆動配線のうちの上層の1本の駆動配線を形成する工程において、前記受光部間の領域において行方向に延長された部位を有するパターンで形成し、当該部位において前記第1転送電極あるいは前記第4転送電極と接続させる
請求項10記載の固体撮像装置の製造方法。 - 固体撮像装置と、
前記固体撮像装置の撮像面に光を結像させる光学系と、
前記固体撮像装置からの出力信号に対して所定の信号処理を行う信号処理回路と
を有し、
前記固体撮像装置は、
行列状に配置された複数の受光部と、
前記受光部の各列に隣接して配置された転送チャネルと、
前記転送チャネル上に同一の層で繰り返し配置された、第1転送電極、第2転送電極、第3転送電極および第4転送電極と、
前記転送電極上において前記転送チャネルに沿って互いに重なって配置され、前記転送電極に対して駆動電圧を供給する2層構造の3本の駆動配線と
を有し、
前記第2転送電極および前記第3転送電極は、前記受光部に対して隣接して配置され、かつ、行方向において分離されており、
前記第1転送電極および第4転送電極は、行方向に隣接する電極と接続されており、
同一列の複数の第2転送電極および第3転送電極の接続に対して、それぞれ1本ずつ駆動配線が配置され、
隣接する2列の複数の第1転送電極あるいは第4転送電極に対して、1本の駆動配線が配置されている
カメラ。
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JP2005324613A JP5002941B2 (ja) | 2005-11-09 | 2005-11-09 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びにカメラ |
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---|---|---|---|---|
JPH0349261A (ja) * | 1989-07-17 | 1991-03-04 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JPH0766382A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
JPH08236743A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Sony Corp | 電荷転送素子 |
JPH0945888A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Lg Semicon Co Ltd | 固体撮像素子 |
JPH11251572A (ja) * | 1997-12-30 | 1999-09-17 | Lg Semicon Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
-
2005
- 2005-11-09 JP JP2005324613A patent/JP5002941B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JPH0766382A (ja) * | 1993-08-26 | 1995-03-10 | Nec Corp | 固体撮像素子 |
JPH08236743A (ja) * | 1995-02-27 | 1996-09-13 | Sony Corp | 電荷転送素子 |
JPH0945888A (ja) * | 1995-07-26 | 1997-02-14 | Lg Semicon Co Ltd | 固体撮像素子 |
JPH11251572A (ja) * | 1997-12-30 | 1999-09-17 | Lg Semicon Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
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