JP2007130788A - インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】圧力室と個別電極との位置ズレ量を正確に検出する。
【解決手段】インクジェットヘッドを製造するには、まず、基材に圧力室３０及び貫通穴５０ａを形成してキャビティプレート２１を製造するとともに、基材に貫通穴５１ａを形成して振動板２０を製造し、プレート２０、２１を含む９枚のプレートを接合して流路ユニットを製造する。次に、振動板２０の上面に圧電層４１を形成し、さらに、圧電層４１の上面に導電膜４２を形成する。次に、導電膜４２の平面視で圧力室３０に重なる部分に導電膜４２を貫通する環状の溝４４を形成して溝４４の内側に個別電極４３を形成するとともに、貫通穴５２ａを取り囲む領域に導電膜４２を貫通する円環状の溝４５ａを形成する。そして、貫通穴５０ａの位置と溝４５ａの位置とに基づいて圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量を検出する。
【選択図】図６

Description

本発明は、ノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド関する。

圧電アクチュエータにより複数の圧力室内のインクに選択的に圧力を付与し、圧力室に連通するノズルからインクを噴射するインクジェットヘッドがある。このようなインクジェットヘッドにおいて、圧電アクチュエータを製造する際に、圧電層の上面全体に導電膜を形成しておき、レーザにより導電膜を分割して圧電層に電界を発生させるための個別電極を圧力室に対向する位置に形成しているものがある。例えば、特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、互いに積層され、複数の圧力室を覆うように連続的に形成された圧電シート（圧電層）の上面に、導電膜を形成しておき、導電膜の圧力室に対向する位置の周りに環状の溝を形成することによって溝に囲まれた部分を他の部分から絶縁させて個別電極を形成している。

特開２００５−１８６５９６号公報（図１４）

ここで、圧力室と個別電極との間に位置ズレが生じていると、複数のインクジェットヘッド間及び複数のノズル間においてインクの噴射特性にばらつきが生じ、濃度差が出るなどして印字品質が低下してしまう虞がある。しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、圧力室と個別電極との位置ズレを検出することが容易ではなく、濃度差が生じた時の対処も困難となる。

本発明の目的は、圧力室と個別電極との位置ズレ量を容易に検出することが可能なインクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッドを提供することである。

課題を解決するための手段及び発明の効果

本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、平面に沿って配置され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む流路ユニットと、この流路ユニットの一表面に複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、この圧電層の一方の面側に複数の圧力室にそれぞれ対向するように配置された複数の個別電極とを有する圧電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドの製造方法である。そして、流路ユニットに、複数の圧力室を形成する圧力室形成工程と、流路ユニットに、一表面に直交する方向から見て複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークを形成する第１マーク形成工程と、流路ユニットの一表面又は圧電層の一方の面に、複数の個別電極を形成する個別電極形成工程と、流路ユニットの一表面又は圧電層の一方の面に、一表面に直交する方向から見て、複数の個別電極と所定の位置関係にある第２マークを第１マークの近傍に形成する第２マーク形成工程と、一表面に直交する方向から見たときの第１マークと第２マークとの位置関係から、個別電極の圧力室に対する位置ズレ量を検出するズレ量検出工程とを備えている。

これによると、複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークと、複数の個別電極と所定の位置関係にある第２マークとをそれぞれ形成して、これら２種類のマークの位置関係を把握することにより、個別電極の圧力室に対する位置ズレ量を容易に検出することができる。

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、圧力室形成工程と第１マーク形成工程を一度に行ってもよい。これによると、複数の圧力室と第１マークとが、所定の位置関係からずれて形成されてしまうのを防止することができる。

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、個別電極形成工程と第２マーク形成工程を一度に行ってもよい。これによると、複数の個別電極と第２マークとが、所定の位置関係からずれて形成されてしまうのを防止することができる。

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、ズレ量検出工程で検出された複数の個別電極の位置ズレ量に基づいて、これら複数の個別電極にそれぞれ供給される駆動電圧を調整する電圧調整工程を備えていてもよい。これによると、個別電極の位置ズレ量に基づいて駆動電圧値を調整することにより、複数のノズル間、あるいは、複数のインクジェットヘッド間でインクの噴射特性にばらつきが生じるのを防止することができる。

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、第１マーク形成工程において、一表面に直交する方向から見て、複数の圧力室の配置領域の中心部を通る第１の直線上にあり、且つ、この第１の直線の方向に関して複数の圧力室の配置領域の両端の２つの位置に、２つの第１マークを形成してもよい。これによると、直線方向に関する個別電極の位置ズレ量だけでなく、回転方向に関する個別電極の位置ズレ量も検出することができる。

このとき、第１マーク形成工程において、一表面に直交する方向から見て、複数の圧力室の配置領域の中心部を通り且つ第１の直線と直交する第２の直線上にあり、且つ、この第２の直線の方向に関して複数の圧力室の配置領域の両側の２つの位置に、さらに２つの第１マークを形成してもよい。これによると、複数の個別電極が所定の一方向に関して全体的に内側に位置ズレしている場合、あるいは、所定の一方向に関して全体的に外側に位置ズレしているような場合でも、第１の直線上及び第２の直線上の２組の第１マークにより個別電極の位置ズレ量を正確に検出することができる。

このとき、第１の直線の方向に関する個別電極の圧力室に対する許容位置ズレ量がａ、第２の直線の方向に関する個別電極の圧力室に対する許容位置ズレ量がｂであり、さらに、第１の直線の方向に関する第２マークの第１マークに対する位置ズレ量がｘ、第２の直線の方向に関する第２マークの第１マークに対する位置ズレ量がｙであるときに、全ての第１マークと第２マークに関して、（ｘ²／ａ²）＋（ｙ²／ｂ²）≦１の関係が成立するときに、全ての個別電極に対して圧力室に対する位置ズレ量が許容されると判定する判定工程を備えていてもよい。これによると、個別電極の位置ズレ量が許容できる範囲内にあるか否かを容易に判定することができる。

このとき、圧力室は、第１の直線の方向が長軸方向となり、第２の直線の方向が短軸方向となる楕円形状であり、個別電極は、圧力室よりも小さく、且つ、圧力室と略相似な形状であって、判定工程における許容ズレ量ａとｂとを、ａ＞ｂの関係を満たすように設定してもよい。圧力室が楕円形状である場合には、個別電極の圧力室の短軸方向に関する単位位置ズレ量に対するインクの噴射特性に及ぼす影響は、長軸方向に関する単位位置ズレ量に比べて大きくなる。したがって、短軸方向に関する許容ズレ量を長軸方向に関する許容ズレ量よりも小さく設定することにより、判定工程においてインクの噴射特性の変化が所定の範囲内にあるインクジェットヘッドのみを確実に選別することができる。

また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法においては、流路ユニットは、複数の圧力室が形成される圧力室プレートと、この圧力室プレートに複数の圧力室を覆うように接合されるとともに、圧力室プレートとの接合面と反対側の面が流路ユニットの一表面となる振動板とを有し、第１マーク形成工程において、圧力室プレートに第１マークを形成し、振動板に、一表面に直交する方向から見て第１マークよりも一回り大きな貫通穴を第１マークと完全に重なるように形成する貫通穴形成工程をさらに備えていてもよい。これによると、複数の圧力室が形成される圧力室プレートに第１マークを形成しているので、複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークを正確且つ容易に形成することができる。また、振動板に第１マークよりも大きな貫通穴を第１マークに完全に重なるように形成しているので、貫通穴を通して第１マークの位置を容易に確認することができ、位置ズレ量の把握が容易になる。

本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、平面に沿って配置され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む流路ユニットと、この流路ユニットの一表面に複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、この圧電層の一方の面側に複数の圧力室にそれぞれ対向するように配置された複数の個別電極とを有する圧電アクチュエータとをそれぞれ備えた複数のインクジェットヘッドの製造方法である。そして、複数の流路ユニットを一体連結する連結部に、一表面に直交する方向から見て複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークを形成する第１マーク形成工程と、連結部に、一表面に直交する方向から見て、複数の個別電極と所定の位置関係にある第２マークを第１マークの近傍に形成する第２マーク形成工程と、一表面に直交する方向から見たときの第１マークと第２マークの位置関係から、個別電極の圧力室に対する位置ズレ量を検出するズレ量検出工程とを備えている。これによると、複数の流路ユニットを連結している連結部に第１マーク及び第２マークを形成することにより、複数のインクジェットヘッドを一体的に形成する場合に、個別電極の圧力室に対する位置ズレ量を検出することができる。

本発明のインクジェットヘッドは、平面に沿って配置され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む流路ユニットと、この流路ユニットの一表面に複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、この圧電層の一方の面側に複数の圧力室にそれぞれ対向するように配置された複数の個別電極とを有する圧電アクチュエータを備えている。そして、流路ユニットに、一表面に直交する方向から見て複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークが形成され、流路ユニットの一表面又は圧電層の一方の面に、一表面に直交する方向から見て複数の個別電極と所定の位置関係にある第２マークが第１マークの近傍に形成されている。

以下、本発明の好適な実施の形態について図面を用いて説明する。

図１は本発明における実施の形態に係るインクジェットプリンタの概略構成図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、図１の左右方向（走査方向）に移動可能なキャリッジ２、キャリッジ２に取り付けられ、記録用紙Ｐに印字を行うシリアル式のインクジェットヘッド３、記録用紙Ｐを図１の手前方向（紙送り方向）に搬送する用紙搬送ローラ４などを有する。インクジェットヘッド３は、走査方向にキャリッジ２と一体的に移動するとともに、その下面に形成されたノズル３９（図３参照）からインクを噴射して記録用紙Ｐに印字を行う。インクジェットヘッド３による印字が完了した記録用紙Ｐは用紙搬送ローラ４により紙送り方向に排出される。

次に、インクジェットヘッド３について図２〜図５を用いて説明する。図２は図１のインクジェットヘッド３の概略斜視図、図３は図２の流路ユニットを各プレート毎に分解した分解斜視図、図４は図２のIV−IV線断面図、図５は図２の一部（貫通穴５０ａ周辺の部分）を拡大した平面図である。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド３は、圧力室３０を含む個別インク流路が複数形成された流路ユニット１１と、流路ユニット１１の上面に配置された圧電アクチュエータ１２とを有する。

流路ユニット１１は、図３、図４に示すように、振動板２０、キャビティプレート（圧力室プレート）２１、ベースプレート２２、アパーチャプレート２３、マニホールドプレート２４、２５、ダンパプレート２６、スペーサプレート２７及びノズルプレート２８を有し、これら９枚のプレート２０〜２８が積層状態で接合されている。これら９枚のプレート２０〜２８のうち、スペーサプレート２７及びノズルプレート２８を除く７枚のプレート２０〜２６はステンレス鋼などの金属材料からなる紙送り方向に長い略矩形状の板状体であり、圧力室３０、マニホールド流路１９などのインク流路がエッチングなどより形成されている。そして、これら７枚のプレート２０〜２６は金属拡散接合により互いに接合されている。スペーサプレート２７及びノズルプレート２８は、ポリイミド等の合成樹脂材料からなる紙送り方向に長い略矩形状の板状体であり、スペーサプレート２７はダンパプレート２６の下面に、ノズルプレート２８はスペーサプレート２８の下面にそれぞれ接着されている。あるいは、スペーサプレート２７及びノズルプレート２８も他の７枚のプレート２０〜２６と同様、金属材料により構成されており、９枚のプレート２０〜２８が全て金属拡散接合により接合されていてもよい。

キャビティプレート２１には、図３に示すように、平面視でキャビティプレート２１の長手方向（紙送り方向）に長い略矩形状の配置領域２１ａが設けられており、配置領域２１ａ内には、キャビティプレート２１の長手方向に千鳥状に５列に配列された複数の圧力室３０が形成されている。複数の圧力室３０は、図３、図５に示すように、キャビティプレート２１の短手方向（走査方向）に長い略楕円形状（略長円形状）に形成されている。また、キャビティプレート２１の長手方向の一方の端部（図３の左側の端部）には、後述するマニホールド流路１９にインクを供給する４つのインク供給流路１８の一部である略楕円形状の４つの貫通穴１８ｂが形成されている。

さらに、キャビティプレート２１には、図３に示すように、配置領域２１ａの重心（中心部）を通り、配置領域２１ａを画定する矩形の長手方向に平行な２本の対向辺に平行な、直線（第１の直線）Ｌ１上で、配置領域２１ａの外側においてこの対向辺に隣接する（配置領域２１ａの両端の）２つの位置に、２つの円形の貫通穴（第１マーク）５０ａ、５０ｂが形成されている。一方、配置領域２１ａの重心を通り、配置領域２１ａを画定する矩形の短手方向に平行な２本の対向辺に平行で、直線Ｌ１と直交する直線（第２の直線）Ｌ２上で、配置領域２１ａの外側においてこれらの対向辺に隣接する部分には、２つの円形の貫通穴（第１マーク）５０ｃ、５０ｄが形成されている。このように、４つの貫通穴５０ａ〜５０ｄは複数の圧力室３０が配置された配置領域２１ａの四方に形成されており、後述するように、圧力室３０と圧電アクチュエータ１２の個別電極４３との位置ズレ量を検出するために用いられる。

ベースプレート２２には、平面視で圧力室３０の長手方向（走査方向）両端に重なる位置にそれぞれ連通孔３１及び連通孔３２が形成されているとともに、平面視で４つの貫通穴１８ｂに重なる位置にインク供給流路１８の一部となる略楕円形状の４つの貫通穴１８ｃが形成されている。アパーチャプレート２３には、平面視で連通孔３１に重なる位置から圧力室３０の長手方向に延びた、連通孔３１と後述するマニホールド流路１９とを連通させるアパーチャ３３が形成されている。アパーチャ３３は、マニホールド流路１９と圧力室３０との間において流路断面が局所的に小さくなっており、マニホールド流路１９から流れ込むインクの量を調整したり、圧力室３０内のインクがマニホールド流路１９へ逆流するのを防止したり、インクを噴射する際に圧力室３０内に発生した圧力波がマニホールド流路１９に伝播するのを防止したりする。また、アパーチャプレート２３には、平面視で連通孔３２に重なる位置に連通孔３４、平面視で４つの貫通穴１８ｃに重なる位置にインク供給流路１８の一部である略楕円形状の４つの貫通穴１８ｄがそれぞれ形成されている。

マニホールドプレート２４、２５には、それぞれ、５つのマニホールド流路１９の上部及び下部となる貫通穴１９ａ及び貫通穴１９ｂが形成されており、貫通穴１９ａと貫通穴１９ｂとが重なることによって５つのマニホールド流路１９が形成されている。５つのマニホールド流路１９は、マニホールドプレート２４、２５の長手方向に延在するとともに、その短手方向に関して互いに離隔して配置されている。そして、マニホールド流路１９にはインク供給流路１８からインクが供給される。ただし、４つのインク供給流路１８のうち、一方の端に形成されたものは、他の３つよりも流路断面が大きくなっており、このインク供給流路１８は、５つのマニホールド流路１９のうち、このインク供給流路１８と同じ側の端に形成された２つのマニホールド流路１９にインクを供給している。なお、４つのインク供給流路１８は、例えば、この流路断面が大きくなったインク供給流路１８が形成されている側から順にそれぞれ、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）のインクを供給する。また、マニホールドプレート２４、２５には、平面視でアパーチャプレート２３の連通孔３４に重なる位置にそれぞれ連通孔３５、３６が形成されている。

ダンパプレート２６の下面には、平面視でマニホールド流路１９に重なる位置に凹部１７が形成されている。ダンパプレート１９は凹部１７が形成された部分においてその厚みが薄くなっており、マニホールド流路１９内に発生した圧力波を減衰させるダンパとして機能する。また、ダンパプレート２６には平面視で連通孔３６に重なる位置に連通孔３７が形成されている。

スペーサプレート２７は、ダンパプレート２６の凹部１７の開口を塞いでいる。また、スペーサプレート２７には平面視で連通孔３７に重なる位置に連通孔３８が形成されている。ノズルプレート２８には平面視で複数の連通孔３８に重なる位置に複数のノズル３９が形成されている。つまり、複数のノズル３９は、千鳥状に５列に形成された圧力室３０に対応して、ノズルプレート２８の長手方向に沿って千鳥状に５列に配置されている。

振動板２０は、複数の圧力室３０を覆うように配置されている。振動板２０には、図４、図５に示すように、平面視で貫通穴５０ａ〜５０ｄに重なる位置にそれぞれ貫通穴５０ａ〜５０ｄよりも一回り大きい円形の貫通穴５１ａ〜５１ｄが形成されている。貫通穴５０ａ〜５０ｄはそれぞれ貫通穴５１ａ〜５１ｄに完全に重なっており、貫通穴５１ａ〜５１ｄを通してそれぞれ貫通穴５０ａ〜５０ｄの位置を確認することができるようになっている。また、振動板２０には、平面視で貫通穴１８ｂに重なる位置に、インク供給流路１８の一部を形成する略楕円形状の４つの貫通穴１８ａが形成されている。

そして、図３、図４に示すように、マニホールド流路１９はアパーチャ３３、連通孔３１を介して複数の圧力室３０に連通している。各圧力室３０は、連通孔３２、３４〜３８を介してノズル３９に連通している。このように、流路ユニット３１には、マニホールド流路１９から圧力室３０を介してノズル３９に至る個別インク流路が複数形成されている。

次に、圧電アクチュエータ１２について説明する。圧電アクチュエータ１２は、図２、図４に示すように、流路ユニット１１に含まれる前述の振動板２０、振動板２０の上面に形成された圧電層４１、及び、圧電層４１の上面に複数の圧力室３０に対応して形成された複数の個別電極４３を有する。振動板２０は前述のように流路ユニット１１の一部を構成しているが、さらに導電性を有し、常にグランド電位に保持されている。そして、振動板２０は、個別電極４３との間において圧電層４１に電界を作用させるための共通電極を兼ねている。

図２に示すように、振動板２０の上面のうち、平面視で振動板２０の長手方向の４つのインク供給流路１８が形成されている部分以外を除く領域には、チタン酸鉛とグルコン酸鉛の固溶体であり、強誘電性を有するチタン酸グルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電層４１が連続的に形成されている。圧電層４１は、例えば、非常に小さい圧電材料の粒子を基材に吹き付けて高速で衝突させることによって、基材の表面に堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）により形成することができる。また、圧電層４１には、平面視で貫通穴５１ａ〜５１ｄに重なる位置に、それぞれ貫通穴５１ａ〜５１ｄとほぼ同じ径を有する貫通穴５２ａ〜５２ｄが形成されている。

圧電層４１の上面には、その全域にわたって導電膜４２が形成されている。導電膜４２には、図５に示すように、平面視で複数の圧力室３０に重なる位置から図５の上方向に圧力室３０に重ならない位置まで延びた、導電膜４２を貫通する環状の溝４４が形成されている。導電膜４２の溝４４に囲まれた部分は他の部分と絶縁されており、この溝４４に囲まれた部分が個別電極４３となっている。個別電極４３は平面視で圧力室３０よりも一回り小さく、圧力室３０と略相似な略楕円形状（略長円形状）に形成されている。例えば、圧力室３０の長手方向の長さＬｃが７５０μｍ程度であるのに対して、個別電極４３の長手方向の長さＬｄは６５０μｍ程度となっており、また、圧力室３０の短手方向の長さＷｃが２５０μｍ程度であるのに対して、個別電極４３の短手方向の長さＷｄは１５０μｍ程度となっている。さらに、個別電極４３の一方の端部は、圧力室３０の長手方向に延び、その先端は平面視で略円形となっており、この部分が接点４３ａとなっている。

また、圧電層４１には、図２、図４、図５に示すように、平面視で、貫通穴５２ａ〜５２ｄに重なる領域近傍に、それぞれ貫通穴５２ａ〜５２ｄよりも一回り大きく、キャビティプレート２１の貫通穴５０ａ〜５０ｄと略同心円の関係にあり、導電膜４２を貫通する円環状の溝（第２マーク）４５ａ〜４５ｄが形成されている。溝４５ａ〜４５ｄは図２に示すように、導電膜４２の表面の複数の個別電極４３が形成された配置領域４２ａの四方に形成されており、これら溝４５ａ〜４５ｄと溝４４（個別電極４３）との位置関係は、複数の個別電極４３が圧力室３０に対して位置ズレなく形成されているときには、溝４５ａ〜４５ｄの中心と貫通穴５０ａ〜５０ｄの中心が一致する関係にある。溝４５ａ〜４５ｄは、後述するように圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量を検出するために用いられる。

圧電アクチュエータ１２の上面には、図示しないフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）が配置されており、複数の接点４３ａは、ＦＰＣを介して図示しないドライバＩＣに接続されている。そして、ドライバＩＣにより複数の個別電極４３に駆動電圧が供給される。

次に、インクジェットヘッド３の動作について説明する。インクジェットヘッド３においては、ドライバＩＣにより複数の個別電極４３に選択的に駆動電圧が供給されると、駆動電圧が供給された個別電極４３と共通電極としての振動板２０との間に電位差が生じる。この電位差により、圧電層４１のこの個別電極４３と振動板２０との間に挟まれた部分にはその厚み方向に電界が作用する。このとき、圧電層４１の分極方向がこの電界の向きと同じ厚み方向であれば、圧電層４１はこの分極方向と直交する水平方向に収縮する。そして、この圧電層４１の収縮に伴って振動板２０が圧力室３０側に凸になるように変形し、圧力室３０の体積が小さくなる。これにより、圧力室３０内のインクの圧力が上昇し、圧力室３０に連通するノズル３９からインクが噴射される。

次に、インクジェットヘッド３の製造方法について図６〜図８を用いて説明する。図６は、インクジェットヘッド３の製造工程を表す工程図である。図７は、製造されたインクジェットヘッド３のマークの位置関係を示す図である。図８は、マークの中心の位置ズレの例を示す図である。図９は、圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量が許容範囲内にあるか否かを判定する基準を表す図である。ただし、図７においては、貫通穴５０ａ〜５０ｄ、５１ａ〜５１ｄ、５２ａ〜５２ｄ及び溝４５ａ〜４５ｄのみを拡大して図示しており、個別電極４３などこれら以外のものの図示は省略している。

インクジェットヘッド３を製造するには、まず、金属製の基材にエッチングなどにより複数の圧力室３０を形成することによってキャビティプレート２１を作製する（圧力室形成工程）。このとき、複数の圧力室３０と前述した位置関係にある貫通穴５０ａ〜５０ｄも同時に形成する（第１マーク形成工程）。一方で、振動板２０に貫通穴５１ａ〜５１ｄを形成する。さらに、流路ユニット１１を構成する他のプレート２２〜２８も予め作製しておく。

次に、図６（ａ）に示すように、振動板２０、キャビティプレート２１及び金属製のプレート２２〜２６を互いに積層させて金属拡散接合により接合し、さらに、スペーサプレート２７及びノズルプレート２８を接着して流路ユニット１１を形成する。なお、図６（ａ）では、貫通穴５０ａ〜５０ｄ、５１ａ〜５１ｄのうち貫通穴５０ａ及び５１ａのみを図示している（以下同様）。

次に、図６（ｂ）に示すように、ＡＤ法により振動板２０の上面に圧電層４１を形成する。ＡＤ法を用いて圧電層４１を形成すると、平面視で貫通穴５１ａ〜５１ｄに重なる部分には圧電材料が堆積せず、それぞれ貫通穴５２ａ〜５２ｄが形成される。なお、図６（ｂ）では、貫通穴５２ａ〜５２ｄのうち貫通穴５２ａのみを図示している（以下同様）。

次に、図６（ｃ）に示すように、ＰＶＤやメッキなどにより圧電層４１の上面全域にわたって導電膜４２を形成する。そして、図６（ｄ）に示すように、導電膜４２の平面視で複数の圧力室３０と重なる位置において、個別電極４３となる部分の外周に沿ってレーザを照射して複数の環状の溝４４を形成することによりその内側に複数の個別電極４３を形成する（個別電極形成工程）。このとき、平面視で貫通穴５２ａ〜５２ｄに重なる位置近傍にレーザを照射して、それぞれ複数の個別電極４３と前述の位置関係にあり、貫通穴５２よりも一回り径の大きい円環状の溝４５ａ〜４５ｄも同時に形成する（第２マーク形成工程）。なお、図６（ｄ）では、溝４５ａ〜４５ｄのうち、溝４５ａのみを図示している。

以上のようにしてインクジェットヘッド３を製造した後、貫通穴５０ａ〜５０ｄ及び溝４５ａ〜４５ｄから複数の圧力室３０と複数の個別電極４３との位置ズレ量を検出する（ズレ量検出工程）。具体的には、図７に示すように、４つの貫通穴５０ａ〜５０ｄ及び４つの溝４５ａ〜４５ｄの位置をルーペや顕微鏡等を用いて確認し、溝４５ａ〜４５ｄの中心点Ｑ１〜Ｑ４の、貫通穴５０ａ〜５０ｄの中心点Ｐ１〜Ｐ４に対する位置ズレ量を測定することにより行う。

複数の個別電極４３が複数の圧力室３０に対して、ある一方向と平行に位置ズレしている場合、図８（ａ）に示すように中心点Ｑ１〜Ｑ４は、それぞれ中心点Ｐ１〜Ｐ４から同じ方向に同じ距離だけ位置ズレする。

複数の個別電極４３が複数の圧力室３０に対して、例えば、配置領域２１ａ（図３参照）の重心を中心として回転方向に位置ズレしている場合、図８（ｂ）に示すように中心点Ｑ１〜Ｑ４のうち、配置領域２１ａ（図３参照）を挟んで配置されたもの（Ｑ１とＱ２あるいはＱ３とＱ４）はそれぞれ中心点Ｐ１〜Ｐ４に対して互いに反対方向に同じ距離だけ位置ズレする。なお、図８（ａ）、（ｂ）に示すような位置ズレは、レーザで加工により個別電極４３及び溝４５ａ〜４５ｄを形成する際のレーザの照射位置を決めるための基準点と、この基準点に対応するキャビティプレート２１上の点との位置ズレによって生じる。

さらに、個別電極４３と圧力室３０との間に、以上に示すような一方向への平行な位置ズレと回転方向の位置ズレが組み合わさった位置ズレが生じている場合には、Ｑ１〜Ｑ４のうち配置領域２１ａ（図３参照）を挟んで配置されたものはそれぞれ中心点Ｐ１〜Ｐ４に対して互いに異なる方向に互いに異なる距離だけ位置ズレし、これらの位置ズレ量から個別電極４３が圧力室３０に対してどのように位置ズレしているかを検出することができる。具体的には、例えば、Ｑ１とＱ２の中点のＰ１とＰ２の中点からの位置ズレ量を算出することによって平行な方向に関する位置ズレ量を検出し、Ｑ１とＱ２の中点を中心として、Ｑ１とＱ２とを結ぶ直線の図８（ａ）、（ｂ）の左右方向に平行な直線に対する傾斜角によって回転方向の位置ズレ量を導出することができる。なお、当然のことながら、位置ズレ量を検出するために中心点Ｐ１、Ｑ１とＰ２、Ｑ２の２組の代わりに中心点Ｐ３、Ｑ３とＰ４、Ｑ４の２組を用いてもよい。

したがって、中心点Ｐ１〜Ｐ４、Ｑ１〜Ｑ４のうち、配置領域２１ａ（図３参照）を挟んで互いに対向する２組（Ｐ１、Ｑ１及びＰ２とＱ２の２組、又は、Ｐ３、Ｑ３及びＰ４、Ｑ４の２組）の位置関係から、個別電極４３が圧力室３０に対してある位置方向に平行な位置ズレが生じている場合、回転方向に位置ズレが生じている場合、及び、このような平行な位置ズレと回転方向の位置ズレとが組み合わさった位置ズレが生じている場合に、個別電極４３と圧力室３０との位置ズレを検出することができる。

複数の個別電極４３が複数の圧力室３０に対して、配置領域２１ａ（図３参照）の重心を中心として、全体的に圧力室３０の短手方向（図８の左右方向）の内側に位置ズレしている場合、図８（ｃ）に示すように、中心点Ｐ１とＱ１及び中心点Ｐ２とＱ２の間には位置ズレは生じず、中心点Ｑ３及びＱ４がそれぞれ中心点Ｐ３及びＰ４に対して圧力室３０の短手方向（図８の左右方向）の内側に位置ズレする。同様に、複数の個別電極４３が複数の圧力室３０に対して、配置領域２１ａ（図３参照）の重心を中心として、全体的に圧力室３０の短手方向（図８の左右方向）の外側に位置ズレしている場合には、中心点Ｐ１とＱ１及び中心点Ｐ２とＱ２の間には位置ズレは生じず、中心点Ｑ３及びＱ４がそれぞれ中心点Ｐ３及びＰ４に対して圧力室３０の短手方向（図８の左右方向）の外側に位置ズレする。

さらに、複数の個別電極４３が複数の圧力室３０に対して、配置領域２１ａ（図３参照）の重心を中心として、全体的に圧力室３０の長手方向（図８の上下方向）の外側に位置ズレしている場合、図８（ｄ）に示すように、中心点Ｐ３とＱ３及び中心点Ｐ４とＱ４の間には位置ズレは生じず、中心点Ｑ１及びＱ２がそれぞれ中心点Ｐ１及びＰ２に対して圧力室３０の短手方向（図８の上下方向）の外側に位置ズレする。同様に、複数の個別電極４３が複数の圧力室３０に対して、配置領域２１ａ（図３参照）の重心を中心として、全体的に圧力室３０の長手方向（図８の上下方向）の内側に位置ズレしている場合には、中心点Ｐ３とＱ３及び中心点Ｐ４とＱ４の間には位置ズレは生じず、中心点Ｑ１及びＱ２がそれぞれ中心点Ｐ１及びＰ２に対して圧力室３０の長手方向（図８の上下方向）の内側に位置ズレする。

したがって、配置領域２１ａの四方に４つの貫通穴５０ａ〜５０ｄが形成され、これに対応する４つの溝４５ａ〜４５ｄが形成されていることにより、複数の個別電極４３の複数の圧力室３０に対する位置ズレが、以上に説明したような、ある一方向に平行な位置ズレ、回転方向への位置ズレ、及び、内側又は外側への位置ズレを組み合わせた形である場合、４組の中心点Ｐ１〜Ｐ４及び中心点Ｑ１〜Ｑ４の位置ズレ量を検出することにより、複数の個別電極４３の複数の圧力室３０に対する位置ズレ量を検出することができる。

そして、中心点Ｑ１〜Ｑ４の中心点Ｐ１〜Ｐ４に対する位置ズレ量、つまり、中心点Ｐ１〜Ｐ４と中心点Ｑ１〜Ｑ４との離間距離によって、個別電極４３の圧力室３０に対する位置ズレが許容範囲内であるか否かを判定する。ただし、本実施の形態では、圧力室３０及び個別電極４３が略楕円形状であるため、圧力室３０と個別電極４３との間に圧力室３０の短手方向（直線Ｌ１の方向）に関する単位位置ズレ量により生じる圧電層４１の変形量の変化（インクの噴射特性の変化）は、圧力室３０の長手方向（直線Ｌ２の方向）に関する単位位置ズレ量により生じる圧電層４１の変形量の変化よりも大きい。したがって、インクの噴射特性の変化が所定の範囲内にある正常なインクジェットヘッド３のみを選別しようとすると、個別電極４３の圧力室３０の短手方向に関する許容位置ズレ量ｂは、圧力室３０の長手方向に関する許容位置ズレ量ａよりも小さくなる（例えば、ａ＝８０μｍ、ｂ＝３０μｍ）。ここで、インクの噴射特性とは、インクの噴射速度、インク滴の噴射量などのことである。

そこで、中心点Ｑｎ（ｎ＝１、２、３、４）の中心点Ｐｎ（ｎ＝１、２、３、４）に対する圧力室３０の長手方向に関する位置ズレ量ｘ、圧力室３０の短手方向に関する位置ズレ量ｙが、（ｘ²／ａ²）＋（ｙ²／ｂ²）≦１を満たすときに、圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量が許容されると判定する（判定工程）。つまり、図８に示すように、原点を中心点Ｐｎ（ｎ＝１、２、３、４）としたときに、中心点Ｑｎ（ｎ＝１、２、３、４）が（ｘ²／ａ²）＋（ｙ²／ｂ²）＝１で示される楕円Ｅの内部（境界を含む）にあれば、両者の位置ズレ量は許容範囲内であり、中心点Ｑｎが楕円Ｅの外部（境界は含まない）にあれば、両者の位置ズレ量は許容範囲外であると判定する。

個別電極４３の圧力室３０に対する位置ズレ量が許容範囲内であると判定された場合には、位置ズレ量検出工程において検出された位置ズレ量に基づいて、インクの噴射特性を位置ズレがないときのインクの噴射特性に合わせるために、ドライバＩＣにより個別電極４３に印加する駆動電圧を調整する（電圧調整工程）。例えば、位置ズレがない個別電極４３に印加する駆動電圧が２０（Ｖ）であるときに、個別電極４３が圧力室３０に対して、ある一方向に平行に位置ズレしており、中心点Ｑｎが４つとも図９に示す位置にあるとすると、中心点Ｐｎ及び中心点Ｑｎを通る直線Ｌ３と楕円Ｅとの交点Ｅ１と、中心点Ｐｎとの距離がＲであり、中心点Ｐｎと中心点Ｑｎとの距離がｒであるときに、個別電極４３には［２０＋２×（ｒ／Ｒ）］（Ｖ）の駆動電圧を印加する。また、前述のように個別電極４３が圧力室３０に対して回転方向に位置ズレしている場合、圧力室３０の長手方向及び短手方向に関して全体的に内側及び外側に位置ズレしている場合などにも、位置ズレ量に応じた駆動電圧の調整が行われる。一方、圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量が許容範囲外であると判定された場合には、そのインクジェットヘッド３は不良品として処理される。以上でインクジェットヘッド３の製造が完了する。

以上に説明した実施の形態によると、複数の圧力室３０と所定の位置関係にある貫通穴５０ａ〜５０ｄの位置と複数の個別電極４３と所定の位置関係にある溝４５ａ〜４５ｄの位置とに基づいて複数の圧力室３０と複数の個別電極４３との位置ズレ量を容易に検出することができる。

また、複数の圧力室３０と貫通穴５０ａ〜５０ｄとを一度に形成しているので、複数の圧力室３０と貫通穴５０ａ〜５０ｄとが所定の位置関係からずれて形成されるのが防止さる。

さらに、複数の個別電極４３を形成するための溝４４と溝４５ａ〜４５ｄとを一度に形成しているので、複数の個別電極４３と溝４５ａ〜４５ｄとが所定の位置関係からずれて形成されるのが防止される。

加えて、複数の圧力室３０と複数の個別電極４３との位置ズレ量に基づいて、複数の個別電極４３に供給する駆動電圧を調整しているので、複数のノズル３９間及び複数のインクジェットヘッド３間におけるインクの噴射特性が均一になり、印字品質が向上する。

また、貫通穴５０ａ〜５０ｄ及び溝４５ａ〜４５ｄの４組を用いて複数の圧力室３０と複数の個別電極４３との位置ズレ量を検出するので、個別電極４３が圧力室３０に対して、圧力室３０の長手方向及び短手方向に関して平行に位置ズレしている場合だけでなく、回転方向に位置ズレしている場合、及び、圧力室３０の長手方向及び短手方向に関して全体的に外側あるいは内側に位置ズレしている場合にも、位置ズレ量を正確に検出することができる。

溝４５ａ〜４５ｄの中心点Ｑ１〜Ｑ４の貫通穴５０ａ〜５０ｄの中心点Ｐ１〜Ｐ４に対する圧力室３０の長手方向に関する許容位置ズレ量がａ、圧力室３０の短手方向に関する許容位置ズレ量がｂである場合に、中心点Ｑ１〜Ｑ４の中心点Ｐ１〜Ｐ４に対する圧力室３０の長手方向に関する位置ズレ量ｘ、圧力室３０の短手方向に関する位置ズレ量ｙが、（ｘ²／ａ²）＋（ｙ²／ｂ²）≦１を満たす場合に位置ズレ量が許容されると判定することにより、位置ズレ量が許容範囲にあるか否かを正確に判定することができる。

また、圧力室３０と個別電極４３との圧力室３０の短手方向に関する位置ズレのほうが、圧力室３０と個別電極４３との圧力室３０の長手方向に関する位置ズレよりもインクの噴射特性を大きく変化させるため、圧力室３０の短手方向に関する両者の許容位置ズレ量ｂを、圧力室３０の長手方向に関する両者の許容位置ズレ量ａよりも小さくすることにより、判定工程においてインクの噴射特性の変化が所定の範囲内にあるインクジェットヘッド３のみを確実に選別することができる。

次に、本実施の形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施の形態と同様の構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。

個別電極４３と所定の位置関係にある第２マークは平面視で貫通穴５０ａ〜５０ｄに重なる円環状の溝４５ａ〜４５ｄ以外のものであってもよい。例えば、図１０（ａ）に示すような、導電膜４２の平面視で貫通穴５２ａ〜５２ｄの外周近傍の領域において周方向に９０°の間隔をあけて、それぞれ貫通穴５２ａ〜５２ｄの半径方向外側に延びた４つの矩形状の溝６４、図１０（ｂ）に示すような貫通穴５２ａ〜５２ｄのそれぞれに接し、互いに平行に同じ長さだけ延びた２つの矩形状の溝６５、図１０（ｃ）に示すような貫通穴５２ａ〜５２ｄをそれぞれ囲む方形枠状の溝６６などであってもよい（変形例１）。この場合でも、貫通穴５０ａ〜５０ｄの中心点と溝６４〜６６の中心点とから、複数の圧力室３０と複数の個別電極４３との位置ズレ量を検出することができる。あるいは、導電膜４２の上面の平面視で貫通穴５０ａ〜５０ｄに重ならない位置に第２マークとなる溝を形成し、この溝と貫通穴５０ａ〜５０ｄとの離間距離を測定することによって圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量を検出してもよい。また、第１マーク及び第２マークとなる貫通穴と溝との位置ズレ量は中心点以外の点により検出してもよい。なお、図１０では、貫通穴５０ａ〜５０ｄ、５１ａ〜５１ｄ、５２ａ〜５２ｄのうち、貫通穴５０ａ、５１ａ、５２ａのみを図示している。

また、第２マークとしての溝は導電膜４２以外の部分に形成されていてもよい。例えば、図１１に示すように、導電膜４２が平面視で貫通穴５２ａ〜５２ｄの周辺に重なる位置に形成されておらず、圧電層４１の上面の貫通穴５２ａ〜５２ｄの周辺の部分に複数の個別電極４３と所定の位置関係にある溝７１が形成されていてもよい（変形例２）。この場合、溝７１は、個別電極４３を形成する際に、圧電層４１の貫通穴５２ａ〜５２ｄを取り囲む部分にレーザを照射することにより形成することができる。なお、図１１においては、貫通穴５２ａ〜５２ｄのうち、貫通穴５２ａのみを図示している。

又は、図１２に示すように、圧電層４１が平面視で貫通穴５１ａ〜５１ｄの周辺に重なる位置に形成されておらず、振動板２０の上面の貫通穴５１ａ〜５１ｄの周辺の部分に複数の個別電極４３と所定の位置関係にある溝８１が形成されていてもよい（変形例３）。この場合、溝８１は、個別電極４３を形成する際に、振動板２０の貫通穴５１ａ〜５１ｄを取り囲む部分にレーザを照射することにより形成することができる。なお、図１２では、貫通穴５１ａ〜５１ｄのうち５１ａのみを図示している。

あるいは、図１３に示すように、複数の個別電極４３を形成する際に、貫通穴５０ａ〜５０ｄを通して、ベースプレート２２の上面にレーザを照射することによってベースプレート２２に凹部８５を形成し、凹部８５と貫通穴５０ａ〜５０ｄとの位置関係から圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量を検出してもよい（変形例４）。また、このような凹部は、ベースプレート２２よりも下側に配置されたプレート２３〜２８のいずれかに形成してもよい。ただし、この場合には、凹部が形成されたプレートよりも上に配置されたプレートには、それぞれ平面視で凹部に重なる位置に貫通穴を形成しておく必要がある。

個別電極が圧電層の下面に形成され、共通電極が圧電層の上面に形成されていてもよい。例えば、図１４に示すように、側振動板２０の上面に絶縁層９０が形成され、絶縁層９０の上面に導電膜９２が形成されており、導電膜９２にその内側に個別電極９３を形成するための環状の溝９４と個別電極９３と所定の位置関係にある第２マークとしての溝９５が形成されていてもよい（変形例５）。この場合には、絶縁層９２の平面視で貫通穴５１ａ〜５１ｄに重なる位置にはそれぞれ貫通穴９１が形成されており、導電膜９２の上面の平面視で貫通穴９１に重なる領域を除く領域に圧電層９６が形成され、圧電層９６の上面に共通電極９７が形成される。そして、キャビティプレート２１に形成された貫通穴５０ａ〜５０ｄと溝９５との位置関係により圧力室３０と個別電極９３との位置ズレ量を検出する。なお、図１４では、貫通穴５０ａ〜５０ｄ、貫通穴５１ａ〜５１ｄのうち、貫通穴５０ａ及び貫通穴５１ａのみを図示している。

互いに連結されて一体化した複数個のインクジェットヘッドを製造する場合にも本発明を適用することができる。例えば、図１５に示すように、インクジェットヘッド１００を構成するプレートが複数個分連結枠（連結部）１０３、１０４などにより連結されて一体となったものを積層させることによって複数の流路ユニットが一体となったものを形成し、その上面に圧電層４１（図２参照）及び個別電極４３を形成することによって複数のインクジェットヘッド１００が一体となったものを製造する場合には、プレート１０１、１０２を連結している連結枠１０３、１０４に第１マーク及び第２マークとなる貫通穴や溝が形成されていてもよい（変形例６）。

図１５の場合、複数のキャビティプレート１０１は、これら複数のキャビティプレート１０１を取り囲む矩形枠状の連結枠１０３により連結され、複数の振動板１０２は、これら複数の振動板１０２を取り囲む矩形枠状の連結枠１０４により互いに連結されている。そして、各インクジェットヘッド１００毎に個別に第１マーク及び第２マークとなる貫通穴や溝などを形成するかわりに、連結枠１０３に４つの貫通穴（第１マーク）１０５を形成し、連結枠１０４の平面視で貫通穴１０５に重なる位置に貫通穴１０５よりも一回り大きい貫通穴１０６を形成する。そして、複数の振動板１０２の上に圧電層４１（図２参照）及び導電膜４２（図２参照）を形成した後、導電膜４２に溝４４（図５参照）を形成して個別電極４３（図５参照）を形成する際に、接続枠１０４の貫通穴１０６の周辺にレーザを照射して貫通穴１０６よりも一回り大きい円環状の溝（第２マーク）１０７を形成する。

この場合には、貫通穴１０５の中心点と溝１０７の中心点との位置ズレ量を検出することにより、複数の圧力室３０（図３参照）と複数の個別電極４３との位置ズレ量を検出することができる。なお、４つの貫通穴１０５、及び、貫通穴１０６、溝１０７は、それぞれ連結枠１０３及び連結枠１０４の四方に形成されている。また、流路ユニットを形成するキャビティプレート１０１、振動板１０２以外のプレートもこれら２つのプレート同様の連結枠により連結されている。なお、図１５の複数のインクジェットヘッド１００は、実施の形態と同様、各々複数色のインクを噴射するものであり、製造後は、各インクジェットヘッド１００に分割するが、それぞれが単色のインクを噴射する複数のインクジェットヘッドが一体となったものを製造し、製造後、複数のインクジェットヘッドに分割せずに、各インクジェットヘッドから互いに異なるインクを噴射するように構成することによって、複数色の印字を行うことが可能なインクジェットヘッドとすることも可能である。

本実施の形態においては、複数の圧力室３０と貫通穴５０ａ〜５０ｄとを一度に形成し、複数の個別電極４３を形成するための溝４４と溝４５ａ〜４５ｄとを一度に形成したが、複数の圧力室３０と貫通穴５０ａ〜５０ｄとを別々の工程において形成してもよく、複数の個別電極４３を形成するための溝４４と溝４５ａ〜４５ｄとを別々の工程において形成してもよい。

ズレ量検出工程において検出した圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量に基づいて、次にインクジェットヘッド３を製造する際にレーザの照射位置の調整などを行ってもよい。この場合には、次に製造されるインクジェットヘッド３において、圧力室３０と個別電極４３との位置ズレ量を小さくすることができる。

複数のインクジェットヘッドを備えたインクジェットプリンタを製造する場合、ズレ量検出工程において検出した位置ズレ量が比較的近いインクジェットヘッド同士を組み合わせてもよい。この場合には、駆動電圧の調整を行わなくても、インクジェットヘッド間でインクの噴射特性が大きくばらつき、印字品質が大きく低下することはない。なお、当然のことながら、この場合でも、位置ズレ量に基づいて駆動電圧の調整を行ってもよい。

本実施の形態では、圧電層４１をＡＤ法により形成したが、スパッタ法、化学蒸着法（ＣＶＤ法）、ゾルゲル法、水熱合成法によって形成してもよく、これらの方法によれば、貫通穴５１ａ〜５１ｄには圧電層４１が成膜されないので、貫通穴５１ａ〜５１ｄに対応する位置に貫通穴５２ａ〜５２ｄが自然に形成される。あるいは、ＰＺＴのグリーンシートを焼成することによって得られる圧電シートを所定の大きさに切断し、振動板３０の上面に貼り付けることによって形成してもよく、この場合には、貫通穴５１ａ〜５１ｄと重ならないように圧電シートを貼り付ければよい。

本発明における実施の形態に係るインクジェットプリンタの概略斜視図である。 図１のインクジェットヘッドの概略斜視図である。 図２の流路ユニットの分解斜視図である。 図２のIV−IV線断面図である。 図２の一部を拡大した平面図である。 図２のインクジェットヘッドの製造工程を表す工程図である。 製造されたインクジェットヘッドのマークの位置関係を示す図である。 図７のマークの位置ズレの例を示す図である。 圧力室と個別電極との位置ズレ量の許容範囲を示す図である。 変形例１の導電膜の表面に形成された溝を表す平面図である。 変形例２の図４相当の断面図である。 変形例３の図４相当の断面図である。 変形例４の図４相当の断面図である。 変形例５の図４相当の断面図である。 変形例６の複数のインクジェットヘッドが連結された状態を表す平面図である。

符号の説明

３ インクジェットヘッド
２０ 振動板
２１ キャビティプレート
３０ 圧力室
４３ 個別電極
４５ａ〜４５ｄ 溝
５０ａ〜５０ｄ 貫通穴
５１ａ〜５１ｄ 貫通穴

Claims (11)

1. 平面に沿って配置され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む流路ユニットと、
   この流路ユニットの一表面に前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、この圧電層の一方の面側に前記複数の圧力室にそれぞれ対向するように配置された複数の個別電極とを有する圧電アクチュエータと、
   を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
   前記流路ユニットに、前記複数の圧力室を形成する圧力室形成工程と、
   前記流路ユニットに、前記一表面に直交する方向から見て前記複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークを形成する第１マーク形成工程と、
   前記流路ユニットの一表面又は前記圧電層の前記一方の面に、前記複数の個別電極を形成する個別電極形成工程と、
   前記流路ユニットの一表面又は前記圧電層の前記一方の面に、前記一表面に直交する方向から見て、前記複数の個別電極と所定の位置関係にある第２マークを前記第１マークの近傍に形成する第２マーク形成工程と、
   前記一表面に直交する方向から見たときの前記第１マークと前記第２マークとの位置関係から、前記個別電極の前記圧力室に対する位置ズレ量を検出するズレ量検出工程と、
   を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
2. 前記圧力室形成工程と前記第１マーク形成工程を一度に行うことを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
3. 前記個別電極形成工程と前記第２マーク形成工程を一度に行うことを特徴とする請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
4. 前記ズレ量検出工程で検出された前記複数の個別電極の前記位置ズレ量に基づいて、これら複数の個別電極にそれぞれ供給される駆動電圧を調整する電圧調整工程を備えていることを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
5. 前記第１マーク形成工程において、前記一表面に直交する方向から見て、前記複数の圧力室の配置領域の中心部を通る第１の直線上にあり、且つ、この第１の直線の方向に関して前記複数の圧力室の配置領域の両端の２つの位置に、２つの前記第１マークを形成することを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6. 前記第１マーク形成工程において、前記一表面に直交する方向から見て、前記複数の圧力室の配置領域の中心部を通り且つ前記第１の直線と直交する第２の直線上にあり、且つ、この第２の直線の方向に関して前記複数の圧力室の配置領域の両側の２つの位置に、さらに２つの前記第１マークを形成することを特徴とする請求項５に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
7. 前記第１の直線の方向に関する前記個別電極の前記圧力室に対する許容位置ズレ量がａ、前記第２の直線の方向に関する前記個別電極の前記圧力室に対する許容位置ズレ量がｂであり、さらに、前記第１の直線の方向に関する前記第２マークの前記第１マークに対する位置ズレ量がｘ、前記第２の直線の方向に関する前記第２マークの前記第１マークに対する位置ズレ量がｙであるときに、
   全ての前記第１マークと前記第２マークに関して、（ｘ²／ａ²）＋（ｙ²／ｂ²）≦１の関係が成立するときに、全ての前記個別電極に対して前記圧力室に対する位置ズレ量が許容されると判定する判定工程を備えたことを特徴とする請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8. 前記圧力室は、前記第１の直線の方向が長軸方向となり、前記第２の直線の方向が短軸方向となる楕円形状であり、前記個別電極は、前記圧力室よりも小さく、且つ、前記圧力室と略相似な形状であって、
   前記判定工程における前記許容ズレ量ａとｂとを、ａ＞ｂの関係を満たすように設定することを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
9. 前記流路ユニットは、前記複数の圧力室が形成される圧力室プレートと、この圧力室プレートに前記複数の圧力室を覆うように接合されるとともに、前記圧力室プレートとの接合面と反対側の面が流路ユニットの前記一表面となる振動板とを有し、
   前記第１マーク形成工程において、前記圧力室プレートに前記第１マークを形成し、
   前記振動板に、前記一表面に直交する方向から見て前記第１マークよりも一回り大きな貫通穴を前記第１マークと完全に重なるように形成する貫通穴形成工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１〜８の何れかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
10. 平面に沿って配置され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む流路ユニットと、
    この流路ユニットの一表面に前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、
    この圧電層の一方の面側に前記複数の圧力室にそれぞれ対向するように配置された複数の個別電極とを有する圧電アクチュエータと、
    をそれぞれ備えた複数のインクジェットヘッドの製造方法であって、
    複数の前記流路ユニットを一体連結する連結部に、前記一表面に直交する方向から見て前記複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークを形成する第１マーク形成工程と、
    前記連結部に、前記一表面に直交する方向から見て、前記複数の個別電極と所定の位置関係にある第２マークを前記第１マークの近傍に形成する第２マーク形成工程と、
    前記一表面に直交する方向から見たときの前記第１マークと前記第２マークの位置関係から、前記個別電極の前記圧力室に対する位置ズレ量を検出するズレ量検出工程と、
    を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
11. 平面に沿って配置され且つ複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む流路ユニットと、
    この流路ユニットの一表面に前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、
    この圧電層の一方の面側に前記複数の圧力室にそれぞれ対向するように配置された複数の個別電極とを有する圧電アクチュエータを備え、
    前記流路ユニットに、一表面に直交する方向から見て前記複数の圧力室と所定の位置関係にある第１マークが形成され、
    前記流路ユニットの一表面又は前記圧電層の前記一方の面に、前記一表面に直交する方向から見て前記複数の個別電極と所定の位置関係にある第２マークが前記第１マークの近傍に形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

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