JP2023078771A - 液体吐出ヘッド、その検査方法及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】同じ設計のプレートを連続して積層した場合であっても、正確に位置ずれの検査を行うことができるようにする。【解決手段】上下方向に積層され、流路を構成する貫通孔及び凹部がそれぞれ形成されたプレート１１ａ～１１ｋで構成された流路ユニット１１を備える。流路ユニット１１に、プレート１１ａ～１１ｋにそれぞれ形成された第１孔４１ａ～４１ｋにより構成される第１検査用穴４１と、プレート１１ａ～１１ｋにそれぞれ形成された第２孔４２ａ～４２ｋにより構成される第２検査用穴４２とを設ける。第１検査用穴４１は、積層方向の一方側から他方側に向かって段階的に広がっている。第２検査用穴４２は、積層方向の他方側から一方側に向かって段階的に広がっている。【選択図】図４

Description

本発明は、積層方向に積層された複数のプレートで構成される積層体を備えた液体吐出ヘッド、その検査方法及び製造方法に関する。

特許文献１には、複数のプレートを積層してなる流路ユニット（積層体）を備えたインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）が開示されている。流路ユニット内には、共通インク室、共通インク室に連通する複数の圧力室及び複数の圧力室にそれぞれ連通するノズルを含む流路が形成されている。流路は、流路ユニットを構成する各プレートに形成された穴からなる。

特開２００９－１０７２９９号公報

上述のような液体吐出ヘッドの積層体は、積層された複数のプレート間に位置ずれがあると、流路が適正に形成されないおそれがある。したがって、液体吐出ヘッドを製造する際には、積層体を構成するプレート間の位置ずれの検査を行う必要がある。位置ずれの検査方法として、積層体を構成する各プレートに形成された孔により積層体に設けられた、積層方向の他方側から一方側に向かって広がるすり鉢状の検査用穴を使用する方法が考えられる。各プレートに形成される孔は、積層方向の一方側の端に位置するプレートに形成されるものが最も大きく、積層方向の他方側の端に近いプレートに形成されるものほど小さい。

位置ずれの検査を行う際には、検査用穴を積層方向の一方側の端（広がっている方の端）から目視する。そして、隣接する２枚のプレートのうち積層方向の一方側（目視位置に近い側）に位置するプレートの孔の中に、積層方向の他方側（目視位置から遠い側）に位置するプレートの孔の全体が入っているか否かを検査する。隣接する２枚のプレートに位置ずれが生じている場合は、積層方向の他方側に位置するプレートの孔の縁が、積層方向の一方側に位置するプレートにより隠れた状態となる。

液体吐出ヘッドを製造する際、部品の種類を削減する目的等により、同じ設計のプレート（すなわち、流路を構成する流路穴及び検査用穴を構成する孔が同じパターンで形成されたプレート）を２枚重ねて積層することがある。しかし、同じ設計のプレートであっても、製造誤差により孔の大きさにばらつきが生じ、積層方向の他方側（目視位置から遠い側）に位置するプレートの孔が、積層方向の一方側（目視位置に近い側）に位置するプレートの孔よりも大きい場合が生じ得る。このような場合は、これら２枚のプレートの位置ずれが生じていなくとも、積層方向の他方側（目視位置から遠い側）に位置するプレートの孔の縁が、積層方向の一方側（目視位置に近い側）に位置するプレートにより隠れた状態となる。したがって、正確に位置ずれ検査を行うことができない。

本発明の目的は、同じ設計のプレートを連続して積層した場合であっても、正確に位置ずれの検査を行うことができる液体吐出ヘッド、その検査方法及び製造方法を提供することである。

本発明の液体吐出ヘッドは、積層方向に積層された複数のプレートで構成される積層体を備え、前記複数のプレートは、流路を構成する第１流路穴が形成された第１プレートと、前記流路を構成する第２流路穴が形成され、前記第１プレートに対して前記積層方向の一方側に積層された第２プレートと、を含み、前記積層体は、前記複数のプレートに形成された第１孔により構成される第１検査用穴と、前記複数のプレートに形成された第２孔により構成される第２検査用穴と、を有し、前記第１検査用穴は、各プレートに形成された前記第１孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記一方側から他方側に向かって段階的に広がっており、前記第２検査用穴は、各プレートに形成された前記第２孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記他方側から前記一方側に向かって段階的に広がっている。

また、本発明の検査方法は、液体吐出ヘッドにおける積層体を構成する複数のプレート間の位置ずれを検査する検査方法であって、前記複数のプレートは、積層方向に積層された第１プレート及び第２プレートを含み、前記第１プレートは、流路を構成する第１流路穴が形成され、前記第２プレートは、前記流路を構成する第２流路穴が形成され、前記第１プレートに対して前記積層方向の一方側に積層され、前記積層体は、前記複数のプレートに形成された第１孔により構成される第１検査用穴と、前記複数のプレートに形成された第２孔により構成される第２検査用穴と、を有し、前記第１検査用穴は、各プレートに形成された前記第１孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記一方側から他方側に向かって段階的に広がっており、前記第２検査用穴は、各プレートに形成された前記第２孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記他方側から前記一方側に向かって段階的に広がっており、前記第１検査用穴を前記積層方向の前記他方側から目視し、前記第２プレートの前記第１孔の縁が前記第１プレートによって隠れているか否かを確認する第１確認工程と、前記第２検査用穴を前記積層方向の前記一方側から目視し、前記第１プレートの前記第２孔の縁が前記第２プレートによって隠れているか否かを確認する第２確認工程と、前記第１確認工程及び前記第２確認工程の少なくともいずれかにより前記第１プレート及び前記第２プレート間の位置ずれを検査する検査工程と、を備えている。

さらに、本発明の製造方法は、液体吐出ヘッドの製造方法であって、第１基材に、流路を構成する第１流路穴、第１孔及び第２孔を形成して、第１プレートを作製する第１プレート作製工程と、第２基材に、前記流路を構成する第２流路穴、前記第１孔及び前記第２孔を形成して、第２プレートを作製する第２プレート作製工程と、前記第１プレート及び前記第２プレートを含む複数のプレートを積層方向に積層する工程であって、前記第２プレートを前記第１プレートに対して前記積層方向の一方側に積層する積層工程と、前記複数のプレートに形成された前記第１孔により構成された第１検査用穴であって、各プレートに形成された前記第１孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記一方側から他方側に向かって段階的に広がった前記第１検査用穴を、前記積層方向の前記他方側から目視し、前記第２プレートの前記第１孔の縁が前記第１プレートによって隠れているか否かを確認する第１確認工程と、前記複数のプレートに形成された前記第２孔により構成された第２検査用穴であって、各プレートに形成された前記第２孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記他方側から前記一方側に向かって段階的に広がった前記第２検査用穴を、前記積層方向の前記一方側から目視し、前記第１プレートの前記第２孔の縁が前記第２プレートによって隠れているか否かを確認する第２確認工程と、前記第１確認工程及び前記第２確認工程の少なくともいずれかにより前記第１プレート及び前記第２プレート間の位置ずれを検査する検査工程と、を備えている。

本発明の液体吐出ヘッド、その検査方法及び製造方法によると、第１検査用穴を積層方向の他方側から、また第２検査用穴を積層方向の一方側からそれぞれ目視することで、第１プレート及び第２プレート間の位置ずれの検査を行うことができる。ここで、同一のプレートにおいては、形成された孔の大きさの設計値からのずれ（誤差）の傾向は同じである。すなわち、同一のプレートにおいて、第１孔が設計値よりも大きい場合には第２孔も設計値よりも大きく、第１孔が設計値より小さい場合には第２孔も設計値よりも小さい。したがって、第１プレートと第２プレートとに同じ設計のプレートを採用した場合、第１プレートの第１孔と第２プレートの第１孔との製造誤差による大小関係と、第１プレートの第２孔と第２プレートの第２孔との製造誤差による大小関係とは同じになる。したがって、第１及び第２検査用穴の一方において、目視位置から遠い側に位置するプレートの孔が目視位置に近い側に位置するプレートの孔よりも大きくとも、第１及び第２検査用穴の他方においては、目視位置から遠い側に位置するプレートの孔が目視位置に近い側に位置するプレートの孔よりも小さくなる。よって、同じ設計のプレートを連続して積層した場合であっても、第１及び第２検査用穴の少なくともいずれかにより、正確に位置ずれの検査を行うことができる。

本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドを備えたプリンタの平面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。 （ａ）は図２のＩＶａ－ＩＶａ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図であり、（ｂ）は図２のＩＶｂ－ＩＶｂ線に沿ったインクジェットヘッドの断面図である。 第１確認工程を説明する図であり、（ａ）は隣接する２枚のプレートに位置ずれが生じていない場合を示し、（ｂ）は隣接する２枚のプレートに位置ずれが生じている場合を示す。 同じ設計の２枚のプレート間で形成された孔の大きさにばらつきがある場合を説明する図であり、（ａ）は第１検査用穴を示し、（ｂ）は２枚のプレートの第１孔を示す。 同じ設計の２枚のプレート間で形成された孔の大きさにばらつきがある場合を説明する図であり、（ａ）は第２検査用穴を示し、（ｂ）は２枚のプレートの第２孔を示す。

以下、本発明の好適な一実施形態について説明する。

＜プリンタの全体構成＞
図１に示すように、本実施形態にかかるプリンタ１００は、インクジェットヘッド１（本発明の「液体吐出ヘッド」）、キャリッジ２、ガイドレール３ａ、３ｂ、プラテン４、搬送ローラ５ａ、５ｂ及びインクタンク６を備えている。

キャリッジ２は、水平方向に沿う走査方向（図１中左右方向）に延びた２本のガイドレール３ａ、３ｂに支持され、ガイドレール３ａ、３ｂに沿って走査方向に移動する。インクジェットヘッド１は、キャリッジ２に搭載され、キャリッジ２とともに走査方向に移動する。以下の説明においては、走査方向のうち図１の右方を「一方」とし、図１の左方を「他方」とする。

インクジェットヘッド１には、インクタンク６から管（不図示）を介してブラック、イエロー、シアン、マゼンタの４色のインクが供給される。インクジェットヘッド１は、その下面であるノズル面１１ｙ（図３及び図４参照）に開口する複数のノズル２１からインクを吐出する。

複数のノズル２１は、平面視で走査方向と直交する搬送方向（図１中上方から下方に向かう方向）に沿ったノズル列２１ａを形成している。インクジェットヘッド１は、走査方向に並んだ４列のノズル列２１ａを有する。複数のノズル２１からは、図１において走査方向の最も右方に位置するノズル列２１ａを構成するものから順に、ブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが吐出される。なお、インクジェットヘッド１については後ほど詳細に説明する。

プラテン４は、インクジェットヘッド１の下面であるノズル面１１ｙと対向して配置され、走査方向に記録用紙Ｐの全長にわたって延びている。プラテン４は、記録用紙Ｐを下方から支持する。搬送ローラ５ａ、５ｂは、搬送方向においてキャリッジ２よりも上流側及び下流側にそれぞれ配置され、記録用紙Ｐを搬送方向に搬送する。

プリンタ１００では、搬送ローラ５ａ、５ｂによって、記録用紙Ｐを搬送方向に所定距離ずつ搬送させる搬送処理と、キャリッジ２を走査方向に移動させつつ、インクジェットヘッド１の複数のノズル２１からインクを吐出させる走査処理とを行うことで、記録用紙Ｐに印刷を行う。すなわち、プリンタ１００は、シリアル式である。なお、以下の説明においては、走査方向と搬送方向との両方に直交する方向を上下方向とする。

＜インクジェットヘッド１の構成＞
次に、図２～図４を参照しつつ、インクジェットヘッド１の詳細な構成について説明する。インクジェットヘッド１は、流路ユニット１１及び圧電アクチュエータ１２などを備えている。図２に示すように、流路ユニット１１は、上面視で搬送方向に長尺な矩形形状を有している。すなわち、流路ユニット１１は、上面視で４つの角部１１ｚを有している。圧電アクチュエータ１２は、流路ユニット１１の上面１１ｘに配置されている。

（流路ユニット１１）
流路ユニット１１は、図３及び図４に示すように、上下方向に積層されかつ互いに接着された１１枚のプレート１１ａ～１１ｋで構成されている。プレート１１ａ～１１ｋは、上方から下方に向けてこの順で順に並んでいる。流路ユニット１１は、本発明の「積層体」に相当する。

図２に示すように、流路ユニット１１の上面１１ｘには、供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘが開口している。供給口３１ｘ及び帰還口３２ｘは、４つずつ設けられている。流路ユニット１１内には、供給口３１ｘから帰還口３２ｘまで続く流路３５が形成されている。流路３５は、複数の個別流路２０、供給マニホールド３１、帰還マニホールド３２及び連通流路３３などを含む。なお、図２においては、個別流路２０の図示を省略している。また、図３に示すように、流路ユニット１１内にはダンパ室３０が形成されている。各プレート１１ａ～１１ｋには、流路３５及びダンパ室３０を構成する貫通孔及び凹部がエッチングにより形成されている。

図２に示すように、供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２は４つずつ形成されている。供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２は、いずれも搬送方向に沿って延びている。４つの供給マニホールド３１は、走査方向に等間隔で並んでいる。４つの帰還マニホールド３２についても、走査方向に等間隔で並んでいる。図３に示すように、帰還マニホールド３２は、供給マニホールド３１の下方に位置している。帰還マニホールド３２の各々は、各供給マニホールド３１と上下方向に重なっている。上下に重なっている供給マニホールド３１と帰還マニホールド３２とは、連通流路３３により搬送方向の下流側端部同士が連結されている。４つの供給マニホールド３１及び４つの帰還マニホールド３２には、それぞれブラック、イエロー、シアン、マゼンタのインクが流れる。

各供給マニホールド３１における搬送方向の上流側の端部は、供給口３１ｘと上下に対向している。供給マニホールド３１は、対向する供給口３１ｘを介してインクタンク６に連通している。また、各帰還マニホールド３２における搬送方向の上流側の端部は、帰還口３２ｘと上下に対向している。帰還マニホールド３２は、対向する帰還口３２ｘを介してインクタンク６に連通している。

複数の個別流路２０は、図３に示すように、ノズル２１をそれぞれ有している。上下に並ぶ一対の供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２は、１つのノズル列２１ａ（図１参照）に含まれる複数のノズル２１をそれぞれ有する複数の個別流路２０に共通して設けられる。図３に示すように、個別流路２０は、走査方向に関して該個別流路２０が接続されている供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２の他方側に位置している。

インクタンク６内のインクは、供給口３１ｘから供給マニホールド３１に送り込まれる。供給マニホールド３１に送り込まれたインクは、供給マニホールド３１内を搬送方向の上流側から下流側に向かって移動しつつ、各個別流路２０に供給される（図３参照）。各個別流路２０から流出したインクは、帰還マニホールド３２に流入する。また、供給マニホールド３１における搬送方向の下流側の端部に到達したインクは、連通流路３３を通って帰還マニホールド３２に流入する。帰還マニホールド３２に流入したインクは、帰還マニホールド３２内を搬送方向の下流側から上流側に向かって移動し、帰還口３２ｘを介してインクタンク６に戻される。

図３に示すように、供給マニホールド３１は、プレート１１ｃに形成された下方に開放された凹部３１ａ、プレート１１ｄに形成された貫通孔３１ｂ及びプレート１１ｅに形成された貫通孔３１ｃで構成されている。プレート１１ｄは本発明の「第１プレート」に相当し、貫通孔３１ｂは本発明の「第１流路穴」に相当する。また、プレート１１ｅは本発明の「第２プレート」に相当し、貫通孔３１ｃは本発明の「第２流路穴」に相当する。

帰還マニホールド３２は、プレート１１ｇに形成された下方に開放された凹部３２ａ、プレート１１ｈに形成された貫通孔３２ｂ及びプレート１１ｉに形成された貫通孔３２ｃで構成されている。プレート１１ｈは本発明の「第１プレート」に相当し、貫通孔３２ｂは本発明の「第１流路穴」に相当する。また、プレート１１ｉは本発明の「第２プレート」に相当し、貫通孔３２ｃは本発明の「第２流路穴」に相当する。

上下方向において供給マニホールド３１と帰還マニホールド３２との間には、ダンパ室３０が設けられている。ダンパ室３０は、プレート１１ｆに形成された下方に開放された凹部で構成されている。プレート１１ｆにおける凹部の底部は、供給マニホールド３１のダンパ膜３１ｄとして機能する。プレート１１ｇにおける帰還マニホールド３２を構成する凹部３２ａの底部は、帰還マニホールド３２のダンパ膜３２ｄとして機能する。

プレート１１ａ～１１ｃには、供給口３１ｘと供給マニホールド３１の搬送方向の上流側端部とを接続する貫通孔（不図示）が形成されている。プレート１１ａ～１１ｇには、帰還口３２ｘと帰還マニホールド３２の搬送方向の上流側端部とを接続する貫通孔（不図示）が形成されている。また、プレート１１ｆ、１１ｇには、連通流路３３を構成する貫通孔（不図示）が形成されている。連通流路３３を構成する貫通孔は、上下に並ぶ一対の供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２における搬送方向の下流側の端部に挟まれた位置に形成されている。

各個別流路２０は、図３に示すように、ノズル２１と、圧力室２２と、第１流路２３ａ及び第２流路２３ｂからなる接続流路２３と、流入流路２４と、流出流路２５とを含む。

ノズル２１は、プレート１１ｋに形成された貫通孔で構成され、流路ユニット１１の下面であるノズル面１１ｙに開口している。圧力室２２は、プレート１１ａに形成された貫通孔で構成され、流路ユニット１１の上面１１ｘに開口している。圧力室２２は、走査方向の一方側の端部に流入流路２４が接続されており、走査方向の他方側の端部に接続流路２３が接続されている。

接続流路２３は、ノズル２１と圧力室２２とを互いに接続している。接続流路２３の第１流路２３ａは、プレート１１ｊに形成された貫通孔で構成されている。第１流路２３ａは、上面視でノズル２１と重なっている。すなわち、第１流路２３ａは、途中にノズル２１が接続されている。接続流路２３の第２流路２３ｂは、プレート１１ｂ～１１ｉに形成された貫通孔で構成され、上下方向に沿って伸延している。第２流路２３ｂは、走査方向に関してノズル２１と離隔しており圧力室２２と第１流路２３ａとを接続している。

流入流路２４は、供給マニホールド３１と圧力室２２とを互いに接続している。流入流路２４は、プレート１１ｂに形成された下方に開放された凹部及び該凹部における走査方向の他方側の端部に位置する貫通孔と、プレート１１ｃに形成された貫通孔とで構成されている。流入流路２４は、プレート１１ｂに形成された貫通孔により圧力室２２に接続されている。また、流入流路２４は、プレート１１ｃに形成された凹部３１ａの底部に形成された貫通孔により、供給マニホールド３１に接続されている。流入流路２４は、走査方向（インクの流動方向）と直交する面での断面積が圧力室２２よりも小さく、絞りとして機能する。

流出流路２５は、接続流路２３の第１流路２３ａと帰還マニホールド３２とを互いに接続している。流出流路２５は、走査方向に関してノズル２１を挟んで第２流路２３ｂとは反対側において第１流路２３ａに接続されている。流出流路２５は、プレート１１ｊに形成された下方に開放された凹部及び該凹部における走査方向の一方側の端部に位置する貫通孔で構成されている。流出流路２５は、プレート１１ｊに形成された貫通孔により帰還マニホールド３２と接続されている。流出流路２５を構成するプレート１１ｊの凹部における走査方向の他方側の端部は、接続流路２３の第１流路２３ａを構成する貫通孔に繋がっている。流出流路２５は、走査方向（インクの流動方向）と直交する面での断面積が接続流路２３の第１流路２３ａよりも小さく、絞りとして機能する。

供給マニホールド３１から各個別流路２０に供給されたインクは、流入流路２４を通って圧力室２２に流入し、圧力室２２内を略水平に移動して接続流路２３に流入する。接続流路２３に流入したインクは、第２流路２３ｂにおいて下方に移動した後、水平面内に広がる第１流路２３ａに流れ込む。第１流路２３ａに流れ込んだインクは、一部がノズル２１から吐出され、残りが流出流路２５を通って帰還マニホールド３２に流入する。

このようにインクタンク６と流路ユニット１１との間でインクを循環させることで、流路ユニット１１に形成された供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２、さらには個別流路２０におけるエアの排出やインクの増粘防止が実現される。また、インクが沈降成分（沈降が生じ得る成分。顔料等）を含む場合、当該成分が攪拌されて沈降が防止される。

また、図２に示すように、流路ユニット１１は、プレート１１ａ～１１ｋ間の位置ずれを検査するための第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２を有している。第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２は、いずれも貫通孔であり、流路ユニット１１の上面１１ｘとノズル面１１ｙとの両方に開口する。第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２は、いずれも円形である。第１検査用穴４１は、流路ユニット１１の４つの角部１１ｚのうち搬送方向の上流側、且つ、走査方向の他方側の角部１１ｚに設けられている。第２検査用穴４２は、流路ユニット１１の４つの角部１１ｚのうち搬送方向の上流側、且つ、走査方向の一方側の角部１１ｚに設けられている。

図４（ａ）に示すように、第１検査用穴４１は、プレート１１ａ～１１ｋにそれぞれ形成された第１孔４１ａ～４１ｋにより構成される。第１孔４１ａ～４１ｋは、エッチングにより形成される。第１孔４１ａ～４１ｋの大きさは、第１孔４１ａ～４１ｋの大きさの違いにより、第１検査用穴４１が下方側（積層方向の一方側）から上方側（積層方向の他方側）に向かって段階的に広がるように設計されている。すなわち、第１孔４１ａ～４１ｋは、最も上方に位置するプレート１１ａに形成される第１孔４１ａが最も大きく、下方に位置するプレートに形成される第１孔ほど小さくなるように設計されている。

図４（ｂ）に示すように、第２検査用穴４２は、プレート１１ａ～１１ｋにそれぞれ形成された第２孔４２ａ～４２ｋにより構成される。第２孔４２ａ～４２ｋは、エッチングにより形成される。第２孔４２ａ～４２ｋの大きさは、第２孔４２ａ～４２ｋの大きさの違いにより、第２検査用穴４２が上方側（積層方向の他方側）から下方側（積層方向の一方側）に向かって段階的に広がるように設計されている。すなわち、第２孔４２ａ～４２ｋは、最も下方に位置するプレート１１ｋに形成される第２孔４２ｋが最も大きく、上方に位置するプレートに形成される第２孔ほど小さくなるように設計されている。

なお、供給マニホールド３１を構成する貫通孔３１ｂ、３１ｃがそれぞれ形成されたプレート１１ｄ、１１ｅは、同じ設計のプレートを使用する。すなわち、プレート１１ｄ、１１ｅにおいては、供給マニホールド３１を構成する貫通孔（貫通孔３１ｂ、３１ｃ）、接続流路２３を構成する貫通孔、第１検査用穴４１を構成する第１孔（第１孔４１ｄ、４１ｅ）及び第２検査用穴４２を構成する第２孔（第２孔４２ｄ、４２ｅ）が同じパターンで形成されている。

したがって、プレート１１ｄ、１１ｅにそれぞれ形成された第１検査用穴４１を構成する第１孔４１ｄ、４１ｅの大きさの設計値は同じである。また、プレート１１ｄ、１１ｅにそれぞれ形成された第２検査用穴４２を構成する第２孔４２ｄ、４２ｅの大きさの設計値も同じである。

同様に、帰還マニホールド３２を構成する貫通孔３２ｂ、３２ｃがそれぞれ形成されたプレート１１ｈ、１１ｉも、同じ設計のプレートを使用する。よって、プレート１１ｈ、１１ｉにそれぞれ形成された第１検査用穴４１を構成する第１孔４１ｈ、４１ｉの大きさの設計値は同じである。また、プレート１１ｈ、１１ｉにそれぞれ形成された第２検査用穴４２を構成する第２孔４２ｈ、４２ｉの大きさの設計値も同じである。

（圧電アクチュエータ１２）
圧電アクチュエータ１２は、図３に示すように、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、圧電層１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。

振動板１２ａは、流路ユニット１１の上面１１ｘに配置されている。振動板１２ａの上面における複数の圧力室２２と対向する領域には、下方から順に積層された共通電極１２ｂ、圧電層１２ｃ及び個別電極１２ｄが配置されている。振動板１２ａ、共通電極１２ｂ及び圧電層１２ｃは、複数の圧力室２２に跨って配置されている。個別電極１２ｄは、圧力室２２毎に設けられており、上面視で各圧力室２２と重複している。

共通電極１２ｂ及び複数の個別電極１２ｄは、配線部材（不図示）を介してドライバＩＣ（不図示）に接続されている。ドライバＩＣは、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。これにより、振動板１２ａ及び圧電層１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２２とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２２に向けて凸となるように変形する。この変形によって、圧力室２２の容積が小さくなって圧力室２２内のインクの圧力が上昇し、圧力室２２に連通するノズル２１からインクが吐出される。すなわち、圧電アクチュエータ１２は、圧力室２２のそれぞれに対応する複数のアクチュエータ１２ｘを有する。

＜インクジェットヘッド１の製造方法＞
続いて、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。

（第１プレート作製工程、第２プレート作製工程）
まず、プレート１１ａ～１１ｋとなる１１枚の基材を準備する。そして、１１枚の基材に対して、流路３５、ダンパ室３０、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２を構成する貫通孔及び凹部をエッチングにより形成して各プレート１１ａ～１１ｋを作製する。プレート１１ｄ、１１ｅを作製する際は、同じフォトマスクを使用してフォトレジストのパターニングを行う。これにより、プレート１１ｄ、１１ｅには、供給マニホールド３１を構成する貫通孔３１ｂ、３１ｃ、接続流路２３を構成する貫通孔、第１検査用穴４１を構成する第１孔４１ｄ、４１ｅ及び第２検査用穴４２を構成する第２孔４２ｄ、４２ｅが同じパターンで形成される。また、プレート１１ｈ、１１ｉを作製する際も、同じフォトマスクを使用してフォトレジストのパターニングを行う。これにより、プレート１１ｈ、１１ｉには、帰還マニホールド３２を構成する貫通孔３２ｂ、３２ｃ、接続流路２３を構成する貫通孔、第１検査用穴４１を構成する第１孔４１ｈ、４１ｉ及び第２検査用穴４２を構成する第２孔４２ｈ、４２ｉが同じパターンで形成される。

（積層工程）
次に、作製された１１枚のプレート１１ａ～１１ｋを積層方向に積層する。ここで、インクジェットヘッド１使用時に下方となる方を「積層方向の一方」とし、上方となる方を「積層方向の他方」とする。１１枚のプレート１１ａ～１１ｋは、他方から一方に向かってこの順で並ぶように積層される。すなわち、プレート１１ｅは、プレート１１ｄの一方側に積層される。また、プレート１１ｉは、プレート１１ｈの一方側に積層される。

このとき、各プレート１１ａ～１１ｋに形成された第１孔４１ａ～４１ｋにより、一方側から他方側に向かって段階的に広がった第１検査用穴４１が構成される。また、各プレート１１ａ～１１ｋに形成された第２孔４２ａ～４２ｋにより、他方側から一方側に向かって段階的に広がった第２検査用穴４２が構成される。

続いて、積層工程で積層されたプレート１１ａ～１１ｋ間の位置ずれの検査を行う。位置ずれの検査は、後述する第１確認工程、第２確認工程及び検査工程を含んでいる。

（第１確認工程）
第１確認工程においては、第１検査用穴４１を、積層方向の他方側（広がっている側）から目視する。そして、積層方向に隣接する２枚のプレートのうち積層方向の一方側（目視位置から遠い側）に位置するプレートの第１孔の縁が、積層方向の他方側（目視位置に近い側）に位置するプレートによって隠れているか否かを確認する。

すなわち、例えばプレート１１ａ、１１ｂに注目した場合、積層方向の一方側に位置するプレート１１ｂの第１孔４１ｂの縁が、積層方向の他方側に位置するプレート１１ａによって隠れているか否かを確認する。プレート１１ａ、１１ｂの間に位置ずれが生じていない場合には、図５（ａ）に示すように、プレート１１ａの第１孔４１ａの中に、プレート１１ｂの第１孔４１ｂの全体が入る。一方、プレート１１ａ、１１ｂの間に位置ずれが生じている場合には、図５（ｂ）に示すように、プレート１１ｂの第１孔４１ｂの縁がプレート１１ａにより隠れた状態となる。

（第２確認工程）
第２確認工程においては、第２検査用穴４２を、積層方向の一方側（広がっている側）から目視する。そして、積層方向に隣接する２枚のプレートのうち積層方向の他方側（目視位置から遠い側）に位置するプレートの第２孔の縁が、積層方向の一方側（目視位置に近い側）に位置するプレートによって隠れているか否かを確認する。

（検査工程）
検査工程においては、第１確認工程及び第２確認工程の少なくともいずれかによって、積層方向に隣接する２枚のプレート間の位置ずれを検査する。

積層方向に隣接するプレートのペアのうち、同じ設計で積層方向に隣接するプレートのペア以外は、第１確認工程を実施することで、プレート間の位置ずれを検査することができる。つまり、プレート１１ａ、１１ｂ間、プレート１１ｂ、１１ｃ間、プレート１１ｃ、１１ｄ間、プレート１１ｅ、１１ｆ間、プレート１１ｆ、１１ｇ間、プレート１１ｇ、１１ｈ間、プレート１１ｉ、１１ｊ間、及び、プレート１１ｊ、１１ｋ間については、第１確認工程を実施することで、プレート間の位置ずれを検査することができる。

すなわち、上記のプレートのペアは、第１確認工程において、目視位置から遠い側に位置するプレートの第１孔の縁が、目視位置に近い側に位置するプレートによって隠れていない場合には、該プレート間に位置ずれが生じていないことが分かる。そして、目視位置から遠い側に位置するプレートの第１孔の縁が、目視位置に近い側に位置するプレートによって隠れている場合には、該プレート間に位置ずれが生じていることが分かる。なお、本実施形態においては、検査精度の向上の目的により、これらのプレートのペアにおいて第２確認工程も実施する。

ここで、上述のようにプレート１１ｄ、１１ｅは同じ設計であり、プレート１１ｄ、１１ｅにそれぞれ形成された第１検査用穴４１を構成する第１孔４１ｄ、４１ｅの大きさの設計値は同じである。しかしながら、製造誤差により、図６（ａ）に示すように、積層方向の一方側（目視位置から遠い側）に位置するプレート１１ｅの第１孔４１ｅが、積層方向の他方側（目視位置に近い側）に位置するプレート１１ｄの第１孔４１ｄよりも大きい場合がある。このような場合には、図６（ｂ）に示すように、プレート１１ｄ、１１ｅ間に位置ずれが生じていなくとも、プレート１１ｅの第１孔４１ｅの縁が、プレート１１ｄにより隠れた状態となる。したがって、プレート１１ｄ、１１ｅ間の位置ずれの有無は、第１検査用穴４１を目視する第１確認工程を実施しただけでは分からない場合がある。

また、プレート１１ｈ、１１ｉも同じ設計のプレートである。したがって、プレート１１ｄ、１１ｅと同様に、プレート１１ｈ、１１ｉ間の位置ずれの有無についても、第１検査用穴４１を目視する第１確認工程を実施しただけでは分からない場合がある。

同一のプレートにおいては、形成された孔の大きさの設計値からのずれ（誤差）の傾向は同じである。すなわち、同一のプレートにおいて、第１孔が設計値よりも大きい場合には第２孔も設計値よりも大きく、第１孔が設計値より小さい場合には第２孔も設計値よりも小さい。したがって、同じ設計のプレート１１ｄ、１１ｅにおいては、プレート１１ｄの第１孔４１ｄとプレート１１ｅの第１孔４１ｅとの製造誤差による大小関係と、プレート１１ｄの第２孔４２ｄとプレート１１ｅの第２孔４２ｅとの製造誤差による大小関係とは同じになる。

したがって、例えば図６（ａ）に示すように、プレート１１ｅの第１孔４１ｅがプレート１１ｄの第１孔４１ｄよりも大きい場合、図７（ａ）に示すように、プレート１１ｅの第２孔４２ｅもプレート１１ｄの第２孔４２ｄよりも大きい。上述のように、プレート１１ｅの第１孔４１ｅがプレート１１ｄの第１孔４１ｄよりも大きい場合、第１検査用穴４１を他方側から目視すると、図６（ｂ）に示すように、プレート１１ｄ、１１ｅ間に位置ずれが生じていなくとも、プレート１１ｅの第１孔４１ｅの縁がプレート１１ｄにより隠れた状態となる。一方、第２検査用穴４２を一方側から目視すると、図７（ｂ）に示すように、プレート１１ｄ、１１ｅ間に位置ずれが生じていない場合には、プレート１１ｅの第２孔４２ｅの中に、プレート１１ｄの第２孔４２ｄの全体が入る。

したがって、同じ設計で積層方向に隣接するプレートのペアについては、第１確認工程及び第２確認工程のいずれかにおいて、目視位置から遠い側に位置するプレートの第１孔又は第２孔の縁が、目視位置に近い側に位置するプレートによって隠れていないと確認した場合に、該プレート間に位置ずれが生じていないことが分かる。また、第１確認工程及び第２確認工程の両方において、目視位置から遠い側に位置するプレートの第２孔の縁が、目視位置に近い側に位置するプレートによって隠れていると確認した場合には、該プレート間に位置ずれが生じていることが分かる。

すなわち、同じ設計で積層方向に隣接するプレートのペアであるプレート１１ｄ、１１ｅ、及び、プレート１１ｈ、１１ｉについては、第１確認工程及び第２確認工程の少なくともいずれかにより、プレート間の位置ずれを検査することができる。なお、上述のように、設計が異なり積層方向に隣接するプレートのペアについては、第１確認工程のみでプレート間の位置ずれを検査することができる。しかしながら、設計が異なり積層方向に隣接するプレートのペアについても第２確認工程も実施することで、検査精度を向上させることができる。

検査工程において、積層方向に隣接する２枚のプレート間に位置ずれが生じていることが分かった場合には、該２枚のプレートの位置を調整して位置合わせを行う。全てのプレートのペアについて位置ずれがないようにプレートの位置調整を行った後、プレート１１ａ～１１ｋを互いに接着させて流路ユニット１１を完成させる。最後に、流路ユニット１１の上面１１ｘに圧電アクチュエータ１２を接着させて、インクジェットヘッド１を完成させる。

＜実施形態の特徴＞
以上のように、上述の実施形態のインクジェットヘッド１は、上下方向に積層された１１枚のプレート１１ａ～１１ｋで構成された流路ユニット１１を備えている。各プレート１１ａ～１１ｋには、流路３５を構成する貫通孔及び凹部が形成されている。また、流路ユニット１１は、プレート１１ａ～１１ｋにそれぞれ形成された第１孔４１ａ～４１ｋにより構成される第１検査用穴４１と、プレート１１ａ～１１ｋにそれぞれ形成された第２孔４２ａ～４２ｋにより構成される第２検査用穴４２と、を有している。第１検査用穴４１は、各プレート１１ａ～１１ｋに形成された第１孔４１ａ～４１ｋの大きさの違いにより、積層方向の一方側から他方側に向かって段階的に広がっている。第２検査用穴４２は、各プレート１１ａ～１１ｋに形成された第２孔４２ａ～４２ｋの大きさの違いにより、積層方向の他方側から一方側に向かって段階的に広がっている。

また、上述の実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法は、１１枚の基材に対して、流路３５、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２をそれぞれ構成する貫通孔や凹部を形成して各プレート１１ａ～１１ｋを作製する工程（第１プレート作製工程及び第２プレート作製工程）と、作製された１１枚のプレート１１ａ～１１ｋを積層方向に積層する工程（積層工程）と、第１検査用穴４１を積層方向の他方側から目視し、隣接する２枚のプレートのうち、積層方向の一方側に位置するプレートの第１孔の縁が、積層方向の他方側に位置するプレートによって隠れているか否かを確認する工程（第１確認工程）と、第２検査用穴４２を積層方向の一方側から目視し、隣接する２枚のプレートのうち、積層方向の他方側に位置するプレートの第２孔の縁が、積層方向の一方側に位置するプレートによって隠れているか否かを確認する工程（第２確認工程）と、第１確認工程及び第２確認工程の少なくともいずれかにより隣接する２枚のプレート間の位置ずれを検査する工程（検査工程）と、を備えている。

上述の構成によると、第１検査用穴４１を積層方向の他方側から、また第２検査用穴４２を積層方向の一方側からそれぞれ目視することで、プレート１１ａ～１１ｋ間の位置ずれの検査を行うことができる。ここで、同一のプレートにおいては、形成された孔の大きさの設計値からのずれ（誤差）の傾向は同じである。すなわち、同一のプレートにおいて、第１孔が設計値よりも大きい場合には第２孔も設計値よりも大きく、第１孔が設計値より小さい場合には第２孔も設計値よりも小さい。したがって、隣接する２枚のプレートに同じ設計のプレートを採用した場合、一方のプレートの第１孔と他方のプレートの第１孔との製造誤差による大小関係と、一方のプレートの第２孔と他方のプレートの第２孔との製造誤差による大小関係とは同じになる。したがって、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２の一方において、目視位置から遠い側に位置するプレートの孔が目視位置に近い側に位置するプレートの孔よりも大きくとも、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２の他方においては、目視位置から遠い側に位置するプレートの孔が目視位置に近い側に位置するプレートの孔よりも小さくなる。よって、同じ設計のプレートを連続して積層した場合であっても、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２の少なくともいずれかにより、正確に位置ずれの検査を行うことができる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド１では、各プレート１１ａ～１１ｋに、流路３５及びダンパ室３０を構成する貫通孔及び凹部、第１検査用穴４１を構成する第１孔４１ａ～４１ｋ、並びに、第２検査用穴４２を構成する第２孔４２ａ～４２ｋが、エッチングにより形成されている。したがって、孔及び穴の形成が容易である。

さらに、本実施形態のインクジェットヘッド１では、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２は、円形である。したがって、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２が多角形などの場合に比べて、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２の形成が容易である。また、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２によるプレートの位置ずれの検査を容易に行うことができる。

加えて、本実施形態のインクジェットヘッド１では、流路ユニット１１は、上面視で４つの角部１１ｚを有する矩形形状である。そして、第１検査用穴４１は、４つの角部１１ｚのうちの１つの角部１１ｚに形成されており、第２検査用穴４２は、４つの角部１１ｚのうち第１検査用穴４１が形成されている角部１１ｚとは異なる角部１１ｚに形成されている。したがって、異なる角部１１ｚに形成された第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２でそれぞれ位置ずれ検査を行うことができるので、位置ずれの検査精度が向上する。

さらに、本実施形態のインクジェットヘッド１では、流路３５は、インクを吐出するノズル２１を含む複数の個別流路２０と、複数の個別流路２０に共通して設けられた供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２と、を含んでいる。そして、積層方向に隣接する２枚のプレートに、供給マニホールド３１を構成する貫通孔３１ｂ、３１ｃがそれぞれ形成されている。また、積層方向に隣接する２枚のプレートに、帰還マニホールド３２を構成する貫通孔３２ｂ、３２ｃがそれぞれ形成されている。供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２は、個別流路２０に比べて容積が大きく、同じ設計のプレートを連続して積層する構成を採用する場合が多い。供給マニホールド３１を構成する貫通孔３１ｂ、３１ｃが形成されたプレート１１ｄ、１１ｅに同じ設計のプレートを採用した場合でも、本実施形態によれば、正確に位置ずれの検査を行うことができる。また、帰還マニホールド３２を構成する貫通孔３２ｂ、３２ｃが形成されたプレート１１ｈ、１１ｉに同じ設計のプレートを採用した場合でも、本実施形態によれば、正確に位置ずれの検査を行うことができる。

以上、本発明の実施形態について図面に基づいて説明したが、具体的な構成は、これらの実施形態に限定されるものでないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

すなわち、上述の実施形態においては、流路ユニット１１を構成する１１枚のプレート１１ａ～１１ｋの中で、隣接する２枚のプレートの全ての組み合わせについて、第１確認工程及び第２確認工程を実施する場合について説明したが、これには限定されない。設計が異なり積層方向に隣接するプレートのペアについては、第１確認工程及び第２確認工程のいずれか一方のみを実施すればよい。

また、上述の実施形態においては、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２が貫通孔である場合について説明したが、これには限定されない。すなわち例えば、第１検査用穴４１が貫通孔である場合は、第２検査用穴４２は、プレート１１ｄ～１１ｋに形成された第２孔４２ｄ～４２ｋで構成されており、積層方向の他方側が封鎖された穴であってもよい。この場合、設計が異なり積層方向に隣接するプレートのペアについては第１確認工程のみ実施し、第２確認工程においては第２検査用穴４２を積層方向の一方側から目視し、同じ設計のプレート１１ｄ、１１ｅ間及びプレート１１ｈ、１１ｉ間の確認作業を行う。同様に、第２検査用穴４２が貫通孔である場合は、第１検査用穴４１は、プレート１１ａ～１１ｉに形成された第１孔４１ａ～４１ｉで構成されており、積層方向の一方側が封鎖された穴であってもよい。

さらに、上述の実施形態においては、流路ユニット１１が１１枚のプレート１１ａ～１１ｋにより構成されている場合について説明したが、流路ユニット１１を構成するプレートの枚数はこれに限定されるものではない。流路ユニット１１を構成するプレートの枚数は２枚以上であればよい。

また、上述の実施形態においては、流路ユニット１１内に、複数の個別流路２０、供給マニホールド３１、帰還マニホールド３２及び連通流路３３などを含む流路３５が形成されている場合について説明したが、流路３５の構成はこれに限定されるものではない。すなわち、例えば帰還マニホールド３２は形成されておらず供給マニホールド３１のみが形成されていてもよいし、供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２の両方が形成されていなくてもよい。さらに、上述の実施形態においては、供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２が４つずつ形成されている場合について説明したが、供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２の数は４つに限定されるものではない。また、供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２の数は異なっていてもよい。

加えて、上述の実施形態においては、プレート１１ｄ、１１ｅに供給マニホールド３１を構成する貫通孔３１ｂ、３１ｃが形成されており、プレート１１ｈ、１１ｉに帰還マニホールドを構成する貫通孔３２ｂ、３２ｃが形成されている場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、例えば隣接する２枚のプレートに供給マニホールド３１を構成する貫通孔がそれぞれ形成されており、且つ、帰還マニホールド３２を構成する貫通孔も同じ２枚のプレートに形成されていてもよい。

また、上述の実施形態においては、各プレート１１ａ～１１ｋに形成される貫通孔及び凹部がエッチングにより形成されている場合について説明したが、これには限定されない。貫通孔及び凹部は、例えばレーザ加工など、別の方法によって形成してもよい。

さらに、上述の実施形態では、流路ユニット１１は、上面視で４つの角部１１ｚを有する矩形形状であり、第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２が互いに異なる角部１１ｚに形成されている場合について説明したが、これには限定されない。第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２は、同じ角部１１ｚに形成されていてもよいし、角部１１ｚ以外の部分に形成されていてもよい。第１検査用穴４１及び第２検査用穴４２は、流路３５を構成する貫通孔及び凹部とつながらない位置に形成されていればよい。また、流路ユニット１１は、上面視で矩形以外の多角形であってもよし、角部を有さない円形や楕円形であってもよい。

加えて、上述の実施形態では、供給マニホールド３１を構成する貫通孔３１ｂ、３１ｃが形成されたプレート１１ｄ、１１ｅが同じ設計のプレートであり、帰還マニホールド３２を構成する貫通孔３２ｂ、３２ｃが形成されたプレート１１ｈ、１１ｉが同じ設計のプレートである場合について説明したが、これには限定されない。すななわち、プレート１１ｄ、１１ｅのみを同じ設計のプレートとしてもよいし、プレート１１ｈ、１１ｉのみを同じ設計のプレートとしてもよい。また、供給マニホールド３１及び帰還マニホールド３２以外の流路３５を構成する流路穴（孔又は凹部）が形成されたプレートであって積層方向に隣接する２枚のプレートに同じ設計のプレートを使用してもよい。

さらに、上述の実施形態においては、インクジェットヘッド１が走査方向に移動するシリアル式である場合について説明したが、これには限定されない。すなわち、インクジェットヘッドが固定されたライン式インクジェットヘッドにおいても、本発明を採用することが可能である。

また、インク以外の液体を吐出する液体吐出ヘッドに本発明を適用することも可能である。さらに、吐出対象は、記録用紙Ｐに限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

１ インクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）
１１ 流路ユニット（積層体）
１１ｄ プレート（第１プレート）
１１ｅ プレート（第２プレート）
１１ｈ プレート（第１プレート）
１１ｉ プレート（第２プレート）
１１ｚ 角部
２０ 個別流路
２１ ノズル
３１ 供給マニホールド
３１ｂ 貫通孔（第１流路穴）
３１ｃ 貫通孔（第２流路穴）
３２ 帰還マニホールド
３２ｂ 貫通孔（第１流路穴）
３２ｃ 貫通孔（第２流路穴）
４１ 第１検査用穴
４１ａ～４１ｋ 第１孔
４２ 第２検査用穴
４２ａ～４２ｋ 第２孔

Claims (7)

1. 積層方向に積層された複数のプレートで構成される積層体を備え、
   前記複数のプレートは、
   流路を構成する第１流路穴が形成された第１プレートと、
   前記流路を構成する第２流路穴が形成され、前記第１プレートに対して前記積層方向の一方側に積層された第２プレートと、を含み、
   前記積層体は、
   前記複数のプレートに形成された第１孔により構成される第１検査用穴と、
   前記複数のプレートに形成された第２孔により構成される第２検査用穴と、を有し、
   前記第１検査用穴は、各プレートに形成された前記第１孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記一方側から他方側に向かって段階的に広がっており、
   前記第２検査用穴は、各プレートに形成された前記第２孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記他方側から前記一方側に向かって段階的に広がっていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第１流路穴、前記第２流路穴、前記第１孔及び前記第２孔は、エッチングにより形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第１検査用穴及び前記第２検査用穴は、円形であることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記積層体は、前記積層方向から視て複数の角部を有する多角形形状を有しており、
   前記第１検査用穴は、前記複数の角部のうちの１つの角部に形成されており、
   前記第２検査用穴は、前記複数の角部のうち前記１つの角部とは異なる角部に形成されていることを特徴とする請求項１～３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記流路は、液体を吐出するノズルを含む複数の個別流路と、前記複数の個別流路に共通して設けられたマニホールドと、を含んでおり、
   前記第１流路穴及び前記第２流路穴は、いずれも前記マニホールドを構成することを特徴とする請求項１～４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
6. 液体吐出ヘッドにおける積層体を構成する複数のプレート間の位置ずれを検査する検査方法であって、
   前記複数のプレートは、積層方向に積層された第１プレート及び第２プレートを含み、前記第１プレートは、流路を構成する第１流路穴が形成され、前記第２プレートは、前記流路を構成する第２流路穴が形成され、前記第１プレートに対して前記積層方向の一方側に積層され、
   前記積層体は、前記複数のプレートに形成された第１孔により構成される第１検査用穴と、前記複数のプレートに形成された第２孔により構成される第２検査用穴と、を有し、
   前記第１検査用穴は、各プレートに形成された前記第１孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記一方側から他方側に向かって段階的に広がっており、
   前記第２検査用穴は、各プレートに形成された前記第２孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記他方側から前記一方側に向かって段階的に広がっており、
   前記第１検査用穴を前記積層方向の前記他方側から目視し、前記第２プレートの前記第１孔の縁が前記第１プレートによって隠れているか否かを確認する第１確認工程と、
   前記第２検査用穴を前記積層方向の前記一方側から目視し、前記第１プレートの前記第２孔の縁が前記第２プレートによって隠れているか否かを確認する第２確認工程と、
   前記第１確認工程及び前記第２確認工程の少なくともいずれかにより前記第１プレート及び前記第２プレート間の位置ずれを検査する検査工程と、を備えていることを特徴とする検査方法。
7. 液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   第１基材に、流路を構成する第１流路穴、第１孔及び第２孔を形成して、第１プレートを作製する第１プレート作製工程と、
   第２基材に、前記流路を構成する第２流路穴、前記第１孔及び前記第２孔を形成して、第２プレートを作製する第２プレート作製工程と、
   前記第１プレート及び前記第２プレートを含む複数のプレートを積層方向に積層する工程であって、前記第２プレートを前記第１プレートに対して前記積層方向の一方側に積層する積層工程と、
   前記複数のプレートに形成された前記第１孔により構成された第１検査用穴であって、各プレートに形成された前記第１孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記一方側から他方側に向かって段階的に広がった前記第１検査用穴を、前記積層方向の前記他方側から目視し、前記第２プレートの前記第１孔の縁が前記第１プレートによって隠れているか否かを確認する第１確認工程と、
   前記複数のプレートに形成された前記第２孔により構成された第２検査用穴であって、各プレートに形成された前記第２孔の大きさの違いにより、前記積層方向の前記他方側から前記一方側に向かって段階的に広がった前記第２検査用穴を、前記積層方向の前記一方側から目視し、前記第１プレートの前記第２孔の縁が前記第２プレートによって隠れているか否かを確認する第２確認工程と、
   前記第１確認工程及び前記第２確認工程の少なくともいずれかにより前記第１プレート及び前記第２プレート間の位置ずれを検査する検査工程と、を備えていることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

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