JP2007125656A - 板状被研削物の研削方法及び研削装置 - Google Patents
板状被研削物の研削方法及び研削装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】第2のエアーベアリング26に支持された研削ホイール25の研削砥石27を第1のエアーベアリング13に支持されたチャックテーブル10上のウェーハ9に押し付け、研削砥石27がウェーハ9を実際に研削し始めるときの第1のエアーベアリング13に設けた1対のチャック側圧力ポート41,42の圧力差P0Ac又は、第2のエアーベアリング26に設けた1対の砥石側圧力ポート43,44の圧力差P0Bwを計測し、記憶する。研削砥石27の切り込みを停止して研削ホイール25とチャックテーブル10とに溜まった撓みを開放するときに計測される1対のチャック側圧力ポート41,42の圧力差PAC又は1対の砥石側圧力ポート43,44の圧力差PBWが、記憶された圧力差P0Ac又はP0Bwまで低下したときに研削砥石をウェーハ9から離脱させる。
【選択図】図6
Description
第1のエアーベアリングに回転可能に支持されたチャックテーブルに上記板状被研削物を吸引保持すると共に、該板状被研削物を研削する円環状の研削砥石を有し、第2のエアーベアリングに回転可能に支持された研削ホイールを、上記研削砥石が上記チャックテーブルの回転中心上に載るように配置する準備工程と、
上記チャックテーブルを回転させると共に、上記研削ホイールを回転させ、上記研削砥石を上記板状被研削物に近付けて当接させ、押し付けながら切り込んで研削する荒研削工程と、
上記研削砥石が所定の研削圧力を受けて上記板状被研削物を実際に研削し始めるときの上記第1のエアーベアリングに設けた1対のチャック側圧力ポートの圧力差又は、上記第2のエアーベアリングに設けた1対の砥石側圧力ポートの圧力差を計測し、記憶する記憶工程と、
上記研削砥石の切り込みを停止して研削ホイールとチャックテーブルとに溜まった撓みを開放する最終仕上げ工程と、
上記最終仕上げ工程において、計測される1対のチャック側圧力ポートの圧力差又は上記1対の砥石側圧力ポートの圧力差が、上記記憶された圧力差まで低下したときに上記研削砥石を板状被研削物から離脱させる離脱工程とを含む構成とする。
該板状被研削物を研削する円環状の研削砥石を有し、第2のエアーベアリングに回転可能に支持された研削ホイールとを備え、
上記研削砥石が上記チャックテーブルの回転中心上に載るように該チャックテーブルの回転中心と上記研削ホイールの回転中心とがオフセットして配置された研削装置であって、
上記第1のエアーベアリングに設けられた少なくとも1対のチャック側圧力ポート又は、
上記第2のエアーベアリングに設けられた少なくとも1対の砥石側圧力ポートと、
上記研削砥石が所定の研削圧力を受けて上記板状被研削物を実際に研削し始めるときの上記チャック側圧力ポート又は上記砥石側圧力ポートとで検出した圧力差を記憶し、切り込み停止後、上記チャック側圧力ポート又は上記砥石側圧力ポートで検出した圧力差が、上記記憶された圧力差まで低下したときに、研削ホイールを離脱させる制御手段とを備えている。
1対の砥石側圧力ポートは、平面視で研削ホイールの中心を通り、上記基準直線に対して略垂直な直線上に該中心から等しい距離を空けてそれぞれ配置されている。
次に、本実施形態にかかる研削装置1の運転動作について説明する。
予め、上記ウェーハ9の形状が目標とする形状に研削できるようにチャックテーブル10の傾きを調整しておく。目標とする形状とは、研削後の要求される製品の板厚に仕上がった形状をいう。
次いで、図6を用いて研削作業について説明する。図6には、砥石回転用モータ20の消費電力である研削電力及びウェーハに設けたゲージ(図示せず)から送られてくるゲージ信号が示されている。
したがって、本実施形態にかかる研削方法及び研削装置1によると、研削砥石27が所定の研削圧力を受けてウェーハ9を実際に研削し始めるときの1対のチャック側圧力ポート41,42の圧力差P0Ac又は、1対の砥石側圧力ポート43,44の圧力差P0Bwを計測することで、研削砥石27がウェーハ9上を滑り始め、研削砥石27を離脱させても研削条痕が許容される程度以下になる研削圧力を記憶し、最終仕上げ工程において、計測される圧力差PAC、又はPBWが、記憶された圧力差P0Ac、又はP0Bwよりも小さくなった後に研削砥石27をウェーハ9から離脱させている。このため、ウェーハ9の仕上がり面精度を低下させることなく、研削時間を短くすることができる。
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。
9 ウェーハ(板状被研削物)
10 チャックテーブル
13 第1のエアーベアリング
25 研削ホイール
26 第2のエアーベアリング
27 研削砥石
41 第1圧力ポート(チャック側圧力ポート)
42 第2圧力ポート(チャック側圧力ポート)
43 第3圧力ポート(砥石側圧力ポート)
44 第4圧力ポート(砥石側圧力ポート)
Z 基準直線
LW 砥石軸直径
PAC 1対のチャック側圧力ポートの圧力差
PBW 1対の砥石側圧力ポートの圧力差
P0Ac 記憶された1対のチャック側圧力ポートの圧力差
P0Bw 記憶された1対の砥石側圧力ポートの圧力差
Claims (5)
- 板状被研削物を研削する方法において、
第1のエアーベアリングに回転可能に支持されたチャックテーブルに上記板状被研削物を吸引保持すると共に、該板状被研削物を研削する円環状の研削砥石を有し、第2のエアーベアリングに回転可能に支持された研削ホイールを、上記研削砥石が上記チャックテーブルの回転中心上に載るように配置する準備工程と、
上記チャックテーブルを回転させると共に、上記研削ホイールを回転させ、上記研削砥石を上記板状被研削物に近付けて当接させ、押し付けながら切り込んで研削する荒研削工程と、
上記研削砥石が所定の研削圧力を受けて上記板状被研削物を実際に研削し始めるときの上記第1のエアーベアリングに設けた1対のチャック側圧力ポートの圧力差又は、上記第2のエアーベアリングに設けた1対の砥石側圧力ポートの圧力差を計測し、記憶する記憶工程と、
上記研削砥石の切り込みを停止して研削ホイールとチャックテーブルとに溜まった撓みを開放する最終仕上げ工程と、
上記最終仕上げ工程において、計測される1対のチャック側圧力ポートの圧力差又は上記1対の砥石側圧力ポートの圧力差が、上記記憶された圧力差まで低下したときに上記研削砥石を板状被研削物から離脱させる離脱工程とを含んでいることを特徴とする板状被研削物の研削方法。 - 請求項1に記載の板状被研削物の研削方法において、
上記板状被研削物は、半導体ウェーハであることを特徴とする板状被研削物の研削方法。 - 第1のエアーベアリングに回転可能に支持され、板状被研削物を吸引保持するチャックテーブルと、
該板状被研削物を研削する円環状の研削砥石を有し、第2のエアーベアリングに回転可能に支持された研削ホイールとを備え、
上記研削砥石が上記チャックテーブルの回転中心上に載るように該チャックテーブルの回転中心と上記研削ホイールの回転中心とがオフセットして配置された研削装置であって、
上記第1のエアーベアリングに設けられた少なくとも1対のチャック側圧力ポート又は、
上記第2のエアーベアリングに設けられた少なくとも1対の砥石側圧力ポートと、
上記研削砥石が所定の研削圧力を受けて上記板状被研削物を実際に研削し始めるときの上記チャック側圧力ポート又は上記砥石側圧力ポートとで検出した圧力差を記憶し、切り込み停止後、上記チャック側圧力ポート又は上記砥石側圧力ポートで検出した圧力差が、上記記憶された圧力差まで低下したときに、研削ホイールを離脱させる制御手段とを備えていることを特徴とする研削装置。 - 請求項3に記載の研削装置において、
上記1対のチャック側圧力ポートは、平面視でチャックテーブルの中心を通り、上記研削砥石及び上記板状被研削物の外周端の交点と、上記チャックテーブルの回転中心とを結んだ基準直線に対して略平行な直線上に該中心から等しい距離を空けてそれぞれ配置され、
上記1対の砥石側圧力ポートは、平面視で研削ホイールの中心を通り、上記基準直線に対して略垂直な直線上に該中心から等しい距離を空けてそれぞれ配置されていることを特徴とする研削装置。 - 請求項3又は4に記載の研削装置において、
上記板状被研削物は、半導体ウェーハであることを特徴とする研削装置。
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JP2005320839A JP4766993B2 (ja) | 2005-11-04 | 2005-11-04 | 板状被研削物の研削方法及び研削装置 |
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CN112605734A (zh) * | 2019-10-03 | 2021-04-06 | 株式会社迪思科 | 基板的磨削方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61131860A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-19 | Hitachi Ltd | 研摩方法 |
JP2003071710A (ja) * | 2001-08-28 | 2003-03-12 | Nagase Integrex Co Ltd | 研削盤 |
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2005
- 2005-11-04 JP JP2005320839A patent/JP4766993B2/ja not_active Expired - Fee Related
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