JP2007123560A - ウェハチャック及び半導体製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】裏面の状態によらず、ウェハを平坦化することが可能なウェハチャック及び半導体製造方法を提供する。
【解決手段】ウェハ1をその裏面で吸着保持する手段と、前記ウェハ1をその裏面で支持する複数の支持部11と、前記ウェハ1の平坦度を検出する手段14と、検出された前記平坦度に基づき、前記支持部11を夫々上下に制御する手段12を備える。
【選択図】図1b
【解決手段】ウェハ1をその裏面で吸着保持する手段と、前記ウェハ1をその裏面で支持する複数の支持部11と、前記ウェハ1の平坦度を検出する手段14と、検出された前記平坦度に基づき、前記支持部11を夫々上下に制御する手段12を備える。
【選択図】図1b
Description
本発明は、例えばパターン転写装置などの半導体製造装置において使用されるウェハチャックと、これを用いた半導体製造方法に関するものである。
近年、半導体素子の極微細化、高集積化に伴って半導体製造装置のパターン転写精度が重要になっている。例えば、半導体製造装置である露光装置において、ウェハ上にパターンを転写する場合、パターン転写マスクとウェハとの距離を均一に保つために、ウェハを平坦化するウェハチャックが用いられている(例えば特許文献1参照)。
図5a〜dに、従来のウェハチャックを示す。図5aはウェハチャックを上部から見た図、図5bはそのA−A’間の断面形状、図5cはウェハ1を真空吸着した状態を示す図である。図に示すように、ウェハチャックは、ウェハの外周を環状に支える凸状の環状部50と、その内側に形成されたピン形状の支持部51からなり、ウェハ1とウェハチャックから形成される空間54を、真空排気してウェハが吸着される。
しかしながら、支持部51とウェハ裏面との間に、異物55や傷などが存在すると、図5dに示すようにウェハ1が歪み、局所的なデフォーカスの原因になるという問題があった。
特開平8−37227号公報
本発明は、裏面の状態によらず、ウェハを平坦化することが可能なウェハチャック及び半導体製造方法を提供することを目的とするものである。
本発明の一態様によれば、ウェハをその裏面で吸着保持する手段と、前記ウェハをその裏面で支持する複数の支持部と、前記ウェハの平坦度を検出する手段と、検出された前記平坦度に基づき、前記支持部を夫々上下に制御する手段を備えることを特徴とするウェハチャックが提供される。
また、本発明の一態様によれば、ウェハをその裏面で吸着保持するとともに、複数の支持部により前記ウェハをその裏面で支持する工程と、前記ウェハの平坦度を検出する工程と、検出された前記平坦度に基づき、前記支持部を夫々上下に制御し、前記ウェハを平坦化する工程と、平坦化された前記ウェハ上に、パターン転写を行なう工程を備えることを特徴とする半導体製造方法が提供される。
本発明の一実施態様によれば、ウェハチャック及び半導体製造方法において、ウェハを裏面の状態によらず平坦化することが可能となる。
以下本発明の実施形態について、図を参照して説明する。
(実施形態1)
図1a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図1aは上部から見た図、図1bはそのA−A’断面図を示している。
図1a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図1aは上部から見た図、図1bはそのA−A’断面図を示している。
図に示すように、ウェハチャックの外周部には、ウェハ1の外周を支える環状部10が形成されている。その内側には、ウェハ1を支持するピン形状の支持部11が複数配置され、夫々の上部或いは下部に、例えば圧電素子(ピエゾ素子)などのアクチュエータ12とこれを電気的に制御する高さ制御手段(図示せず)が接続されている。そして、ウェハチャック上にウェハ1を載置した状態で、ウェハ1裏面、環状部10の内壁より形成される空間を負圧とするための真空排気手段(図示せず)が、真空排気ライン13と接続されている。さらに、ウェハチャックの上方には、ウェハ表面の平坦度を測定する平坦度測定手段14が設置されている。
このようなウェハチャックにおいて、先ず、環状部10上にウェハ1を載置し、ウェハ裏面と環状部10の内壁より形成される空間を、真空排気ライン13を介して真空排気手段により排気し、負圧とすることにより、環状部10上にウェハ1を吸着保持する。
次いで、ウェハ1を吸着保持した状態で、ウェハチャック上方に設置された、例えばレーザ測距方式を用いた平坦度測定手段14により、ウェハ1表面の平坦度を測定する。レーザ測距方式とは、レーザ光線を被測定物に照射し、表面からの反射光を光位置検出用一次元センサで受光し、三角測距方式で変位を測定するものである。また、平坦度とは、ウェハ表面内の位置による垂直方向の変位をいう。
次いで、測定された平坦度に基づき、変位が等しくなるように、例えば圧電素子(ピエゾ素子)などの電気式アクチュエータ12を用いて、支持部11を高さ制御手段により上下させ、ウェハ1を平坦化する。このとき、例えば、ウェハ裏面の異物、傷などにより平坦度が損なわれている場合、支持部11の高さをその差分だけ上下させることにより、歪を緩和することが可能となる。
このように、本実施形態によるウェハチャックを用いることにより、裏面の状態によらずウェハを平坦化することが可能となる。また、ウェハ上にパターンを転写する際に、パターン転写マスクとウェハとの距離を均一に保つことができ、高いパターン転写精度を得ることが可能となる。
(実施形態2)
図2a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図2aは上部から見た図、図2bはそのA−A’断面図を示している。
図2a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図2aは上部から見た図、図2bはそのA−A’断面図を示している。
図に示すように、ウェハ1を支持する管状の支持部21が複数配置され、夫々の上部或いは下部に、例えば圧電素子(ピエゾ素子)などのアクチュエータ22とこれを電気的に制御する高さ制御手段(図示せず)が接続されている。そして、ウェハチャック上にウェハ1を載置した状態で、ウェハ1裏面、支持部21の内壁より形成される空間を負圧とするための真空排気手段(図示せず)が、真空排気ライン23と接続されている。さらに、ウェハチャックの上方には、実施形態と同様に、ウェハ表面の平坦度を測定する平坦度測定手段24が設置されている。
このようなウェハチャックにおいて、先ず、支持部21上にウェハ1を載置し、ウェハ1裏面と支持部21の内壁より形成される空間を、真空排気ライン23を介して真空排気手段により排気し、負圧とすることにより、支持部21上にウェハ1を吸着保持する。
次いで、ウェハ1を吸着保持した状態で、実施形態1と同様に、平坦度測定手段14によりウェハ1表面の平坦度を測定する。
次いで、実施形態1と同様に、測定された平坦度に基づき、変位が等しくなるように、アクチュエータ22を用いて、高さ制御手段により支持部21を上下させ、ウェハ1を平坦化する。このとき、例えば、ウェハ裏面の異物、傷などにより平坦度が損なわれている場合、支持部21の高さをその差分だけ上下させることにより、歪を緩和することが可能となる。
このように、本実施形態によるウェハチャックを用いることにより、実施形態1と同様に、裏面の状態によらずウェハを平坦化することが可能となる。また、本実施形態においては、ウェハ1は、支持部上以外の領域が大気圧に開放されているので、ウェハの吸着による歪みを抑えることが可能である。また、実施形態1と同様に、ウェハ上にパターンを転写する際に、パターン転写マスクとウェハとの距離を均一に保つことができ、高いパターン転写精度を得ることが可能となる。
これら実施形態1、2において、ウェハ表面の平坦度を測定する手段として、レーザ測距方式を用いているが、特に限定されるものではなく、例えば、プローブと被測定物が静電容量を形成し、距離の変化により静電容量が変化することを用いて、静電容量−電圧変換回路で距離に比例した電圧を出力させて変位を測定する静電容量方式のような手段を用いてもよい。
(実施形態3)
図3a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図3aは上部から見た図、図3bはそのA−A’断面図を示している。
図3a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図3aは上部から見た図、図3bはそのA−A’断面図を示している。
図に示すように、実施形態1と同様に、ウェハチャックの外周部には、ウェハ1の外周を支える環状部30が形成されている。その内側には、ウェハ1を支持するピン形状の支持部31が複数配置され、夫々の上部或いは下部に、例えば圧電素子(ピエゾ素子)などのアクチュエータ32とこれを電気的に制御する高さ制御手段(図示せず)が接続されている。さらに、支持部31の最上部には、例えば圧電素子などの圧力センサ34が設置されている。そして、ウェハチャック上にウェハ1を載置した状態で、ウェハ1裏面、環状部30の内壁より形成される空間を負圧とするための真空排気手段(図示せず)が、真空排気ライン33と接続されている。
このようなウェハチャックにおいて、先ず、実施形態1と同様に、環状部30上にウェハ1を載置し、ウェハ1裏面と環状部30の内壁より形成される空間を、真空排気ライン33を介して真空排気手段により排気し、負圧とすることにより、環状部30上にウェハ1を吸着保持する。
このとき、支持部31最上部の圧力センサ33により、各支持部31において、ウェハ1裏面と支持部31との接触圧を検出することにより平坦度を測定する。
次いで、測定された平坦度に基づき、接触圧を等しくするように、実施形態1、2と同様に、アクチュエータ32を用いて、高さ制御手段により支持部31を上下させ、ウェハ1を平坦化する。このとき、例えば、ウェハ裏面の異物、傷などにより平坦度が損なわれている場合、支持部31の高さをその差分だけ上下させることにより、歪を緩和することが可能となる。
このように、本実施形態によるウェハチャックを用いることにより、実施形態1、2と同様に、裏面の状態によらずウェハを平坦化することが可能となる。また、ウェハチャック上方に平坦度測定手段を設ける必要がなく、測定された平坦度の情報をダイレクトに高さ制御手段にフィードバックすることが可能となる。さらに、実施形態1、2と同様に、ウェハ上にパターンを転写する際に、パターン転写マスクとウェハとの距離を均一に保つことができ、高いパターン転写精度を得ることが可能となる。
(実施形態4)
図4a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図4aは上部から見た図、図4bはそのA−A’断面図を示している。
図4a、bに、本実施形態のウェハチャックを示す。尚、図4aは上部から見た図、図4bはそのA−A’断面図を示している。
図に示すように、実施形態2と同様に、ウェハ1を支持する管状の支持部41が複数配置され、夫々の上部或いは下部に、例えば圧電素子(ピエゾ素子)などのアクチュエータ42とこれを電気的に制御する高さ制御手段(図示せず)が接続されている。さらに、実施形態3と同様に、支持部41の最上部には、例えば圧電素子などの圧力センサ44が設置されている。そして、ウェハチャック上にウェハ1を載置した状態で、ウェハ1裏面、支持部41の内壁より形成される空間を負圧とするための真空排気手段(図示せず)が、真空排気ライン43と接続されている。
このようなウェハチャックにおいて、先ず、支持部41上にウェハ1を載置し、ウェハ1裏面、支持部41の内壁より形成される空間を、真空排気ライン43を介して真空排気手段により排気し、負圧とすることにより、支持部41上にウェハ1を吸着保持する。
このとき、支持部41最上部の圧力センサ44により、各支持部41において、ウェハ1裏面と支持部41との接触圧を検出することにより平坦度を測定する。
次いで、測定された平坦度に基づき、接触圧を等しくするように、実施形態1〜3と同様に、アクチュエータ42を用いて、高さ制御手段により支持部41を上下させ、ウェハ1を平坦化する。このとき、例えば、ウェハ1裏面の異物、傷などにより平坦度が損なわれている場合、支持部41の高さをその差分だけ上下させることにより、歪を緩和することが可能となる。
このように、本実施形態によるウェハチャックを用いることにより、実施形態1〜3と同様に、裏面の状態によらずウェハを平坦化することが可能となる。また、実施形態2と同様に、ウェハは、支持部上以外の領域が大気圧に開放されているので、ウェハ1の吸着による歪みを抑えることが可能である。また、実施形態3と同様に、ウェハチャック上方に平坦度測定手段を設ける必要がなく、測定された平坦度の情報をダイレクトに高さ制御手段にフィードバックすることが可能となる。また、実施形態1〜3と同様に、ウェハ上にパターンを転写する際に、パターン転写マスクとウェハとの距離を均一に保つことができ、高いパターン転写精度を得ることが可能となる。
尚、これら実施形態において、高さ制御手段としては、圧電素子(ピエゾ素子)を用いた電気的なアクチュエータを用いているが、電気制御に限定されるものではなく、気体もしくは流体を用いた制御方法であってもよい。
また、支持部の形状は、特に限定されるものではなく、円形状の他、楕円状などであってもよい。また、実施形態2、4のように、管状とした際にも、その形状は特に限定されるものではない。
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではない。その他要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
1…ウェハ
10、30…環状部
11、21、31、41…支持部
12、22、32、42…アクチュエータ
13、23、33、43…真空排気ライン
14、24…平坦度測定手段
34、44…圧力センサ
10、30…環状部
11、21、31、41…支持部
12、22、32、42…アクチュエータ
13、23、33、43…真空排気ライン
14、24…平坦度測定手段
34、44…圧力センサ
Claims (5)
- ウェハをその裏面で吸着保持する手段と、
前記ウェハをその裏面で支持する複数の支持部と、
前記ウェハの平坦度を検出する手段と、
検出された前記平坦度に基づき、前記支持部を夫々上下に制御する手段を備えることを特徴とするウェハチャック。 - 前記ウェハの平坦度を、前記支持部における前記ウェハとの接触圧として検出する手段を備えることを特徴とする請求項1に記載のウェハチャック。
- 前記吸着保持する手段は、
前記ウェハの外周を支える環状部と、
前記環状部の内壁と前記ウェハの裏面から形成される空間を負圧にする手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェハチャック。 - 前記支持部は管状であり、
前記吸着保持する手段は、
前記支持部の内壁と前記ウェハの裏面から形成される空間を負圧にする手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェハチャック。 - ウェハをその裏面で吸着保持するとともに、複数の支持部により前記ウェハをその裏面で支持する工程と、
前記ウェハの平坦度を検出する工程と、
検出された前記平坦度に基づき、前記支持部を夫々上下に制御し、前記ウェハを平坦化する工程と、
平坦化された前記ウェハ上に、パターン転写を行なう工程を備えることを特徴とする半導体製造方法。
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---|---|---|---|
JP2005313786A JP2007123560A (ja) | 2005-10-28 | 2005-10-28 | ウェハチャック及び半導体製造方法 |
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-
2005
- 2005-10-28 JP JP2005313786A patent/JP2007123560A/ja active Pending
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