JP2007122853A - Semiconductor memory - Google Patents

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祐吉 小野
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To achieve a test method by which defect of a memory core of a semiconductor memory such as an SRAM can be tested in a short time. <P>SOLUTION: A test circuit 2 is connected to a memory core integrated unit 1 of SRAM. When the memory core integrated unit 1 is to be tested, a TEST start signal is set to high level. At the time, any one side of line out of a bit line BL or an inverted bit line BL_ of the memory core integrated unit 1 is used for writing data and data is set. The other bit line is used for reading data, the written data is inverted and set in the normal operation. It is decided that the memory core is normal by confirming that data set to the bit line BL and data set to the inverted bit line BL_ are inverted each other by EOR 22. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、SRAM等の半導体メモリに関する。   The present invention relates to a semiconductor memory such as an SRAM.

従来、SRAM(Static Random Access Memory)等の半導体メモリの製造出荷時には、SRAM内で“0、1”の二値情報を蓄える部分であるメモリコアへの書き込み・読み出し試験を行う。   Conventionally, when a semiconductor memory such as an SRAM (Static Random Access Memory) is manufactured and shipped, a write / read test is performed on a memory core, which is a portion that stores binary information of “0, 1” in the SRAM.

このメモリコアへの書き込み・読み出し試験では、まず、テストパターンを作成しどのメモリコアにどのデータを書き込むかを決める。続いて、書き込みモードに設定して書き込みを行うメモリコアのアドレスを指定する。アドレスが指定されると、そのアドレスに対応した特定のワード線、ビット線および反ビット線が選択され、指定されたメモリコアにテストパターンで決められたデータが書き込まれる。   In the write / read test to the memory core, first, a test pattern is created to determine which data is to be written to which memory core. Subsequently, the address of the memory core to which writing is performed is set in the writing mode. When an address is designated, a specific word line, bit line and anti-bit line corresponding to the address are selected, and data determined by a test pattern is written to the designated memory core.

書き込みが終了すると、読み出しモードに設定を変更し、書き込みを行ったメモリコアのアドレスを指定し書き込まれたデータを読み出す。書き込んだデータと読み出されたデータとが一致すれば、そのメモリコアは正常に書き込み・読み出しが行われていると判定し、一致しなければそのメモリコアに異常が発生していると判定する。なお、本出願に関する従来技術の参考文献として、特許文献1から特許文献4が知られている。
特許第3348632号公報 特開平04−344399号公報 特開2001−023400号公報 特開2001−210095号公報
When the writing is completed, the setting is changed to the reading mode, the address of the memory core that performed the writing is specified, and the written data is read. If the written data and the read data match, it is determined that the memory core is normally writing / reading. If the data does not match, it is determined that an abnormality has occurred in the memory core. . Note that Patent Documents 1 to 4 are known as prior art references relating to the present application.
Japanese Patent No. 3348632 JP 04-344399 A JP 2001-023400 A Japanese Patent Laid-Open No. 2001-210095

SRAMは、その素子の大半をメモリコアが占めており、不良も大半がメモリコアで発生するため、メモリコアの不良を短時間で検査することが可能な試験方法が望ましい。しかし、上記従来の書き込み・読み出し試験では、メモリコアの試験時においてもメモリコアの周辺回路を動作させ、上述したような一連の書き込み・読み出し動作を行わせる必要がある。   In the SRAM, the memory core occupies most of the elements, and most of the defects also occur in the memory core. Therefore, a test method capable of inspecting the memory core for a short time is desirable. However, in the conventional write / read test, it is necessary to operate the peripheral circuit of the memory core and perform the series of write / read operations as described above even during the test of the memory core.

この一連の動作を行うには、SRAMの動作周波数で数クロックに相当する時間がかかる。また、特にLSIの論理が深いところに組み込まれているようなSRAMのメモリコアの試験を行う時には、同時に動かす必要のある周辺回路が多くなり、それらの周辺回路を動かすタイミングを考慮して試験パターンを作成する必要がある。このため、試験パターンの作成に時間がかかるという問題があった。   In order to perform this series of operations, it takes time corresponding to several clocks at the operating frequency of the SRAM. In particular, when testing SRAM memory cores where LSI logic is deeply embedded, there are many peripheral circuits that need to be moved at the same time. Need to create. For this reason, there is a problem that it takes time to create a test pattern.

本発明は上記事情を考慮してなされたもので、その目的は、SRAM等の半導体メモリにおいて、そのメモリコアの不良を短時間で検査することが可能な半導体メモリを実現することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to realize a semiconductor memory capable of inspecting a memory core for a defect in a short time in a semiconductor memory such as an SRAM.

本発明は上記の課題を解決するためになされたもので、請求項1に記載の発明は、複数のメモリコアと、前記メモリコアの行アドレスを指定する複数のワード線と、前記行アドレスを指定して前記ワード線を選択する行アドレス指定手段と、前記メモリコアに書き込むデータが加えられると共に、前記メモリコアのデータが読み出される二重ビット線と、を具備する半導体メモリにおいて、前記行アドレス指定手段で前記ワード線を指定し、前記二重ビット線の一方に、第1の論理レベルを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第1の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、次いで、前記二重ビット線の一方に、第2の論理レベルのデータを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第2の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、上記動作を全ワード線について実行するテスト回路を設けたことを特徴とする半導体メモリである。   The present invention has been made to solve the above problems, and the invention according to claim 1 provides a plurality of memory cores, a plurality of word lines designating row addresses of the memory cores, and the row addresses. In the semiconductor memory, comprising: a row address designating means for designating and selecting the word line; and a double bit line to which data to be written to the memory core is added and data of the memory core is read out. The word line is designated by a designation means, a first logic level is added to one of the double bit lines, and the other data of the double bit line is data corresponding to the first logic level A determination procedure is performed to determine whether or not, and then the second logic level data is added to one of the double bit lines, and the other data of the double bit line is set to the second logic level. Perform a determination procedure whether the data to respond, a semiconductor memory which is characterized in that a test circuit is performed for all the word lines of the above operation.

また、請求項2に記載の発明は、複数のメモリコアと、前記メモリコアの行アドレスを指定する複数のワード線と、前記行アドレスを指定して前記ワード線を選択する行アドレス指定手段と、前記メモリコアに書き込むデータが加えられると共に、前記メモリコアのデータが読み出される二重ビット線と、を具備する半導体メモリにおいて、前記ワード線を指定するワード線指定回路を有し、前記ワード線指定回路で前記ワード線を指定し、前記二重ビット線の一方に、第1の論理レベルを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第1の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、次いで、前記二重ビット線の一方に、第2の論理レベルのデータを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第2の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、上記動作を全ワード線について実行するテスト回路を設けたことを特徴とする半導体メモリである。   According to a second aspect of the present invention, there are provided a plurality of memory cores, a plurality of word lines for designating a row address of the memory core, and a row address designating unit for designating the row address and selecting the word line. And a double bit line from which data to be written to the memory core is added and data of the memory core is read out, and includes a word line designating circuit for designating the word line, the word line The word line is designated by a designation circuit, a first logic level is added to one of the double bit lines, and the other data of the double bit line is data corresponding to the first logic level A determination procedure is performed to determine whether or not, and then the second logic level data is added to one of the double bit lines, and the other data of the double bit line is set to the second logic level. A semiconductor memory is provided with a test circuit for performing a determination procedure for determining whether or not the data is corresponding data and performing the above-described operation for all word lines.

また、請求項3に記載の発明は、請求項1又は請求項2に記載の発明において、前記テスト回路の判定手順は、前記二重ビット線の双方のデータに排他的論理和演算を行い、前記排他的論理和演算の演算結果に基づいて判定を行うことを特徴としている。   Further, the invention according to claim 3 is the invention according to claim 1 or claim 2, wherein the determination procedure of the test circuit performs an exclusive OR operation on both data of the double bit line, The determination is performed based on the result of the exclusive OR operation.

本発明によれば、SRAMのメモリコアの試験を行う際に、メモリコア内のビット線に直接データを書き込み、読み取る方法であるため、周辺回路を動作させる必要がない。また、メモリコアへの書き込みおよび読み出しの手順はそれぞれSRAMの動作周波数で1クロックに相当する時間で行うことが可能であり、試験にかかる時間を短縮できる。   According to the present invention, when testing the memory core of the SRAM, since it is a method of directly writing and reading data to the bit line in the memory core, it is not necessary to operate the peripheral circuit. In addition, the procedure for writing to and reading from the memory core can be performed in a time corresponding to one clock at the operating frequency of the SRAM, and the time required for the test can be shortened.

以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。図1は、本発明の実施形態にかかるSRAMの構成を表すブロック図である。図1において、メモリコア集積部1は1ビットのメモリコアが集積されたものである。テスト回路2は、SRAMの試験を行うときに使用する回路である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of the SRAM according to the embodiment of the present invention. In FIG. 1, a memory core integration unit 1 is an integration of 1-bit memory cores. The test circuit 2 is a circuit used when testing the SRAM.

アドレス信号バス30は、メモリコア集積部1内の1つのメモリコアのアドレスの入力バスである。出力データバス31は、メモリコア集積部1で保持するデータの出力バスである。入力データバス32は、メモリコア集積部1へ書き込むデータの入力バスである。列デコーダ33は、アドレス信号バス30から入力されるアドレスデータの下位3ビットをデコードするものである。行デコーダ34(行アドレス指定手段)は、アドレス信号バス30から入力されるデータの上位5ビットをデコードするものである。   The address signal bus 30 is an input bus for an address of one memory core in the memory core integrated unit 1. The output data bus 31 is an output bus for data held in the memory core integrated unit 1. The input data bus 32 is an input bus for data to be written to the memory core integrated unit 1. The column decoder 33 decodes the lower 3 bits of the address data input from the address signal bus 30. The row decoder 34 (row address designating means) decodes the upper 5 bits of data input from the address signal bus 30.

列選択部35は、入力データバス32から入力されたデータを、列デコーダ33でデコードされた列のメモリコアへと書き込むものであり、また、列デコーダ33でデコードされた列のメモリコアで保持するデータを読み出し、出力データバス31へと出力するものである。なお、同図中のDは、D−FF(Delayed Flip−Flop)である。   The column selector 35 writes the data input from the input data bus 32 to the memory core of the column decoded by the column decoder 33, and holds it in the memory core of the column decoded by the column decoder 33. Data to be read out and output to the output data bus 31. In addition, D in the figure is D-FF (Delayed Flip-Flop).

図2は、メモリコアの1ビットの構成を示したブロック図である。図2において、MOSFET12およびMOSFET13は、メモリコアへの書き込み(または読み出し)動作を行うかどうかを切り替えるものである。MOSFET101、MOSFET102、MOSFET111およびMOSFET112は1ビットの情報を保持する動作をつかさどるものである。   FIG. 2 is a block diagram showing a 1-bit configuration of the memory core. In FIG. 2, a MOSFET 12 and a MOSFET 13 switch whether to perform a write (or read) operation to the memory core. The MOSFET 101, the MOSFET 102, the MOSFET 111, and the MOSFET 112 are responsible for the operation of holding 1-bit information.

ここで、MOSFET101およびMOSFET102はNOT回路の構成であり、同様にMOSFET111およびMOSFET112もNOT回路の構成である。そこで、以下ではメモリコアの1ビットを図3のように簡略化して表示する。   Here, MOSFET 101 and MOSFET 102 have a NOT circuit configuration, and similarly, MOSFET 111 and MOSFET 112 have a NOT circuit configuration. Therefore, in the following, one bit of the memory core is simplified and displayed as shown in FIG.

二重ビット線、すなわちビット線BLおよび反ビット線BL_は、列データにより選択され、書き込み及び読み出しの動作時にデータがセットされるものである。ワード線Wは、行データにより選択され、MOSFET12およびMOSFET13のON、OFFを切り替える信号が流れるものである。1ビットのメモリコアは、ビット線BL、反ビット線BL_およびワード線Wによって選択される。   The double bit lines, that is, the bit line BL and the anti-bit line BL_ are selected by column data, and data is set during write and read operations. The word line W is selected by row data, and a signal for switching ON / OFF of the MOSFET 12 and the MOSFET 13 flows therethrough. A 1-bit memory core is selected by a bit line BL, an anti-bit line BL_, and a word line W.

次に、上述した実施形態の動作を図1から図3を参照して説明する。はじめに、SRAMへの書き込み動作を説明する。書き込みの際には、書き込みを行うメモリコアのアドレスを示すアドレスデータ、書き込みを行う入力データ、書き込みを許可するかの書き込み許可信号(WEN信号)、書き込みを行うSRAMを指定するチップ選択信号(CSN信号)がSRAMへ入力される。   Next, the operation of the above-described embodiment will be described with reference to FIGS. First, a write operation to the SRAM will be described. At the time of writing, address data indicating the address of the memory core to be written, input data to be written, a write permission signal (WEN signal) indicating whether writing is permitted, and a chip selection signal (CSN) designating the SRAM to be written. Signal) is input to the SRAM.

アドレスデータは上位5ビットの行データおよび下位3ビットの列データで表されている。列データは、列デコーダ33でデコードされて列選択部へと出力され、行データは、行デコーダ34でデコードされてメモリコア集積部1へと出力される。   The address data is represented by row data of upper 5 bits and column data of lower 3 bits. The column data is decoded by the column decoder 33 and output to the column selection unit, and the row data is decoded by the row decoder 34 and output to the memory core integration unit 1.

書き込みを行う入力データは8ビットのデータであり、WEN信号およびCSN信号がLowレベルであるときに列選択部35へと出力される。列選択部35は、列デコーダ33から入力した列データから二重ビット線、ビット線BLおよび反ビット線BL_を選択し、入力データに従って書き込むデータを二重ビット線、ビット線BLおよび反ビット線BL_にセットする。   The input data to be written is 8-bit data, and is output to the column selector 35 when the WEN signal and the CSN signal are at the low level. The column selection unit 35 selects the double bit line, the bit line BL, and the anti-bit line BL_ from the column data input from the column decoder 33, and writes the data to be written according to the input data to the double bit line, the bit line BL, and the anti-bit line. Set to BL_.

ここで、ビット線BLと反ビット線BL_には互いに論理の反転したデータをセットする。例えば、メモリコアに1を書き込む場合は、ビット線BLにHighを、反ビット線BL_にLowをセットする。逆に、メモリコアに0を書き込む場合は、ビット線BLにLowを、反ビット線BL_にHighをセットする。   Here, data in which logics are inverted to each other is set to the bit line BL and the anti-bit line BL_. For example, when 1 is written to the memory core, High is set to the bit line BL and Low is set to the anti-bit line BL_. Conversely, when 0 is written to the memory core, Low is set to the bit line BL and High is set to the anti-bit line BL_.

メモリコア集積部1では、入力した行データで指定されたワード線がHighになり、そのワード線に接続されている図2のMOSFET12およびMOSFET13がONとなる。このとき、ビット線BLおよび反ビット線BL_にセットされたデータがX点およびY点へと出力される。   In the memory core integrated unit 1, the word line specified by the input row data becomes High, and the MOSFET 12 and the MOSFET 13 of FIG. 2 connected to the word line are turned ON. At this time, the data set in the bit line BL and the counter bit line BL_ is output to the X point and the Y point.

例えば、ビット線BLにHigh、反ビット線BL_にLowがセットされているときは、MOSFET111およびMOSFET102がON、MOSFET112およびMOSFET101がOFFとなり、X点にHigh、Y点にLowが保持される。書き込みが終了すると、ワード線WがHighからLowへ変化し、MOSFET12およびMOSFET13がOFFとなる。   For example, when the bit line BL is set high and the anti-bit line BL_ is set low, the MOSFET 111 and the MOSFET 102 are turned on, the MOSFET 112 and the MOSFET 101 are turned off, and the X point is held high and the Y point is held low. When the writing is completed, the word line W changes from High to Low, and the MOSFET 12 and the MOSFET 13 are turned off.

続いて、SRAMからの読み出し動作を説明する。読み出しの際には、読み出しを行う
メモリコアのアドレスを示すアドレスデータ、読み出しのために出力を行うかを指定する(OEN信号)がSRAMへ入力される。読み出しの動作においても、書き込み時と同様にアドレスデータからビット線BL、反ビット線BL_およびワード線Wがメモリコア集積部1において指定され、このうち指定されたワード線WがHighにセットされる。
Subsequently, a read operation from the SRAM will be described. At the time of reading, address data indicating the address of the memory core to be read, and whether to output for reading (OEN signal) are input to the SRAM. Also in the read operation, the bit line BL, the anti-bit line BL_, and the word line W are designated in the memory core integrated unit 1 from the address data as in the write operation, and the designated word line W is set to High. .

指定されたワード線WがHighにセットされると、図2のMOSFET12およびMOSFET13がONになり、X点およびY点にセットされているデータがそれぞれビット線BLおよびビット線BL_に出力される。   When the designated word line W is set to High, the MOSFET 12 and the MOSFET 13 in FIG. 2 are turned on, and the data set at the X point and the Y point are output to the bit line BL and the bit line BL_, respectively.

例えば、X点にHigh、Y点にLowがセットされていた場合は、ワード線WがHighになった後にビット線BLにHigh、反ビット線BL_にLowがセットされる。列選択部35は、ビット線BLおよび反ビット線BL_にセットされているデータを読み出し、OEN信号がLowのときに出力データバス31へと出力する。   For example, when High is set at the X point and Low is set at the Y point, after the word line W becomes High, the bit line BL is set High and the anti-bit line BL_ is set Low. The column selection unit 35 reads the data set in the bit line BL and the anti-bit line BL_, and outputs the data to the output data bus 31 when the OEN signal is Low.

以上、SRAMの通常動作時における書き込みおよび読み出しの動作を詳述してきたが、続いて図4から図7を参照してSRAMの試験を行う手順について説明する。SRAMの試験を行う際には、外部の装置(図示せず)からテスト回路2へTEST信号(試験切り替え信号)としてHighレベルの信号を入力する。   The write and read operations during the normal operation of the SRAM have been described in detail above. Next, the procedure for testing the SRAM will be described with reference to FIGS. When testing the SRAM, a high level signal is input as a TEST signal (test switching signal) from an external device (not shown) to the test circuit 2.

TEST信号がHighになると、図4のMOSFET20およびMOSFET21がONになり、テスト用の入力信号test_inがテスト回路2からメモリコア集積部1のビット線BLまたは反ビット線BL_へと入力される。テスト用の入力信号test_inは、テスト回路2内のD−FF(Delayed Flip−Flop)24で生成される。   When the TEST signal becomes High, the MOSFET 20 and the MOSFET 21 in FIG. 4 are turned ON, and the test input signal test_in is input from the test circuit 2 to the bit line BL or the anti-bit line BL_ of the memory core integrated unit 1. The test input signal test_in is generated by a D-FF (Delayed Flip-Flop) 24 in the test circuit 2.

このとき同時に、メモリコア集積部1と、列選択部35との間の接続が切断され、列選択部35を介しての書き込みおよび読み出しの動作は禁止される。以下、テスト回路2からテスト用の書き込みを行うメモリコアのアドレス(ワード線W)の選択は、アドレス信号バス30から行デコーダ34を経由して外部から入力してもよく、また、後述する図5の回路で選択してもよい。以下では、図5の回路を使用してワード線を選択して行う試験を説明する。   At the same time, the connection between the memory core integration unit 1 and the column selection unit 35 is disconnected, and writing and reading operations via the column selection unit 35 are prohibited. Hereinafter, the selection of the address (word line W) of the memory core to which the test writing is performed from the test circuit 2 may be input from the outside via the row decoder 34 from the address signal bus 30, and will be described later. You may select in 5 circuits. Hereinafter, a test performed by selecting a word line using the circuit of FIG. 5 will be described.

テスト回路2からビット線BLまたは反ビット線BL_に入力するテスト用の入力信号test_inを生成する手順について、図5の回路図を参照して説明する。図5において、SRAMで使用されるクロックCKがテスト回路2内のD−FF(Delayed Flip−Flop)24により1/2分周され、テスト用の入力信号test_inとなる。テスト用の入力信号test_inは、スイッチ回路25で図4のA点またはB点のいずれか一方にのみ出力される。   A procedure for generating the test input signal test_in input to the bit line BL or the anti-bit line BL_ from the test circuit 2 will be described with reference to the circuit diagram of FIG. In FIG. 5, the clock CK used in the SRAM is divided by ½ by a D-FF (Delayed Flip-Flop) 24 in the test circuit 2 to become a test input signal test_in. The test input signal test_in is output from the switch circuit 25 only to either the point A or the point B in FIG.

一方、クロックCKは、テスト回路2のカウンタ341へ入力され、カウンタ341の出力の最上位ビットQmがスイッチ回路25へ出力され、2ビット目Q1から最上位ビットの一つ前のビットまでがデコーダ342へ出力される。なお、カウンタの出力ビット数は、メモリコア集積部1のワード線Wの数によって決定される。   On the other hand, the clock CK is input to the counter 341 of the test circuit 2, the most significant bit Qm of the output of the counter 341 is output to the switch circuit 25, and the second bit Q1 to the bit immediately before the most significant bit are the decoder. To 342. Note that the number of output bits of the counter is determined by the number of word lines W of the memory core integrated unit 1.

デコーダ342は、カウンタ341からデータを入力し、メモリコア集積部1の各ワード線W0、W1、・・・へと出力する(ワード線指定回路)。ここで、デコーダ342の出力は、カウンタ341の出力が0(クロックCKを1回カウント)、および1(クロックCKを2回カウント)のときにW0がHigh,残りがLowとなり、カウンタ341の出力が2(クロックCKを3回カウント)、および3(クロックCKを4回カウント)のときにはW1がHigh、残りはLowとなる。以後、カウンタ341がクロックCKを2回カウントするごとに、Highとなるワード線が1つずつ変化する。   The decoder 342 receives data from the counter 341 and outputs the data to the word lines W0, W1,... Of the memory core integrated unit 1 (word line designating circuit). Here, as for the output of the decoder 342, when the output of the counter 341 is 0 (clock CK is counted once) and 1 (clock CK is counted twice), W0 is High and the rest is Low. Is 2 (clock CK is counted 3 times) and 3 (clock CK is counted 4 times), W1 is High and the rest is Low. Thereafter, each time the counter 341 counts the clock CK twice, the word line that becomes High changes one by one.

図6は、図5のスイッチ回路25の回路構成を示した図である。図6において、カウンタ341の出力のQm(S)がLowの場合、MOSFET251およびMOSFET252がON、MOSFET253およびMOSFET254がOFFとなり、テスト用の入力信号test_inは図4のA点(すなわち、ビット線BL)へと出力される。   FIG. 6 is a diagram showing a circuit configuration of the switch circuit 25 of FIG. In FIG. 6, when Qm (S) of the output of the counter 341 is Low, the MOSFET 251 and the MOSFET 252 are ON, the MOSFET 253 and the MOSFET 254 are OFF, and the test input signal test_in is a point A in FIG. 4 (that is, the bit line BL). Is output.

一方、カウンタ341の出力のQm(S)がHighの場合、MOSFET251およびMOSFET252がOFF、MOSFET253およびMOSFET254がONとなり、テスト用の入力信号test_inは図4のB点(すなわち、反ビット線BL_)へと出力される。   On the other hand, when Qm (S) of the output of the counter 341 is High, the MOSFET 251 and the MOSFET 252 are OFF, the MOSFET 253 and the MOSFET 254 are ON, and the test input signal test_in is to the point B in FIG. 4 (that is, the anti-bit line BL_). Is output.

図7は、SRAM内を流れる各信号のタイミング・チャートである。図7の(a)はクロックCKであり、(b)はクロックCKがD−FF(Delayed Flip−Flop)24で1/2分周されて生成されたテスト用の入力信号test_inである。テスト用の入力信号test_inはスイッチ回路25を通り、ビット線BLまたは反ビット線BL_へと出力される。   FIG. 7 is a timing chart of each signal flowing in the SRAM. 7A shows a clock CK, and FIG. 7B shows a test input signal test_in generated by dividing the clock CK by 1/2 by a D-FF (Delayed Flip-Flop) 24. The test input signal test_in passes through the switch circuit 25 and is output to the bit line BL or the anti-bit line BL_.

テスト用の入力信号test_inがMOSFET20を介してビット線BLへ出力された(SがLow)場合、図5のデコーダ342の出力でHighとなっているワード線Wと接続されたメモリコアにテスト用の入力信号test_inは出力される。   When the test input signal test_in is output to the bit line BL via the MOSFET 20 (S is Low), the test is applied to the memory core connected to the word line W that is High at the output of the decoder 342 in FIG. Input signal test_in is output.

図5のカウンタ341の出力が0〜1(Q1〜Qm−1は全てLow)の場合、ワード線W0がHigh、すなわち図4のMOSFET12およびMOSFET13がONとなり、Qm(S)はLowであるのでテスト用の入力信号test_inは図4のA点へ出力され、NOT回路10でテスト用の入力信号test_inの論理が反転して反ビット線BL_へと透過的に出力される。反ビット線BL_への出力信号は図7の(c)に示すテスト用の出力信号test_outとなる。ここでは、ビット線BLが書き込み用として、反ビット線BL_が読み出し用として使用される。   When the output of the counter 341 in FIG. 5 is 0 to 1 (all Q1 to Qm-1 are Low), the word line W0 is High, that is, the MOSFET 12 and the MOSFET 13 in FIG. 4 are ON, and Qm (S) is Low. The test input signal test_in is output to the point A in FIG. 4, and the NOT circuit 10 inverts the logic of the test input signal test_in and transparently outputs it to the anti-bit line BL_. An output signal to the anti-bit line BL_ is a test output signal test_out shown in FIG. Here, the bit line BL is used for writing, and the anti-bit line BL_ is used for reading.

テスト用の入力信号test_in(この時は図4のA点)およびテスト用の出力信号test_out(この時は図4のB点)は図4のEOR(Exclusive OR、排他的論理和演算)22の二つの入力端子へそれぞれ入力される。EOR22の出力は図7の(d)となる。EOR22の出力をD−FF23で反転クロックCK_の立ち上がり(すなわち、クロックCKの立下り)で検出すると、D−FF23の出力TOは図7の(e)に示したように、Highとなる。   The test input signal test_in (at this time point A in FIG. 4) and the test output signal test_out (at this time point B in FIG. 4) are the values of EOR (Exclusive OR, exclusive OR operation) 22 in FIG. Each is input to two input terminals. The output of the EOR 22 is (d) in FIG. When the output of the EOR 22 is detected by the D-FF 23 at the rising edge of the inverted clock CK_ (that is, the falling edge of the clock CK), the output TO of the D-FF 23 becomes High as shown in FIG.

メモリコアに不良があり、テスト用の出力信号test_outがテスト用の入力信号test_inの論理を反転させた信号となっていなければ、D−FF23の出力TOがLowとなるため、不具合を検出できる。カウンタ341の出力が4〜5の場合にはワード線W1がHighとなり、次のメモリコアの不良を検出できる。以後カウンタ341のカウントアップに従い試験が行われる。   If there is a defect in the memory core and the test output signal test_out is not a signal obtained by inverting the logic of the test input signal test_in, the output TO of the D-FF 23 is Low, so that the defect can be detected. When the output of the counter 341 is 4 to 5, the word line W1 becomes High, and the next memory core failure can be detected. Thereafter, the test is performed in accordance with the counting up of the counter 341.

図7に示したように、クロックCKの1サイクル目でワード線W0のメモリコアへビット線BLからテスト用の入力信号test_inとしてHighを書き込む動作の試験となり、2サイクル目でワード線W0のメモリコアへテスト用の入力信号test_inとしてLowを書き込む動作の試験となる。クロックCKの3,4サイクル目でワード線W1の試験を行い、以後、全てのワード線Wに対して各々クロックCKの2サイクルで試験を行う。   As shown in FIG. 7, in the first cycle of the clock CK, the operation of writing High as the test input signal test_in from the bit line BL to the memory core of the word line W0 becomes a test of the memory of the word line W0 This is a test of the operation of writing Low as the test input signal test_in to the core. The test of the word line W1 is performed in the third and fourth cycles of the clock CK, and thereafter, the test is performed on all the word lines W in two cycles of the clock CK.

全てのワード線Wへの試験が終了すると、図5のカウンタ341の最上位ビットQmがHighとなり、以後、テスト用の入力信号test_inは図4のB点から反ビット線BL_へと出力される。テスト用の出力信号test_outは図4のA点となる。上述したビット線BLから入力する試験と同様に、各ワード線Wに対してクロックCKの2サイクルで試験を行う。   When the test on all the word lines W is completed, the most significant bit Qm of the counter 341 in FIG. 5 becomes High, and thereafter, the test input signal test_in is output from the point B in FIG. 4 to the counter bit line BL_. . The test output signal test_out is point A in FIG. Similar to the test input from the bit line BL described above, the test is performed on each word line W in two cycles of the clock CK.

以上、1列分のメモリコアに関して試験方法を説明した。同様にして、他の列のメモリコアもテストすることができる。
図8に、メモリコア集積部1及びテスト回路2の全体の回路図を概略的に示す。メモリコア集積部1は、複数列のメモリコアを含む。
In the above, the test method was demonstrated regarding the memory core for 1 row. Similarly, memory cores in other columns can be tested.
FIG. 8 schematically shows an overall circuit diagram of the memory core integrated unit 1 and the test circuit 2. The memory core integration unit 1 includes a plurality of memory cores.

図5に示したテスト回路2のD−FF24で生成された共通のテスト用の入力信号test_inが、複数のメモリコアの列に並列的に供給される。テスト用の入力信号test_inの入力先を、ビット線BLと反ビット線BL_との間で切り替えるスイッチ回路(図5に示すスイッチ回路25)、及び、試験結果を検出するための回路(図4に示すEOR22、D−FF23)が、メモリコアの列毎に備えられている。   A common test input signal test_in generated by the D-FF 24 of the test circuit 2 shown in FIG. 5 is supplied in parallel to a plurality of columns of memory cores. A switch circuit (switch circuit 25 shown in FIG. 5) for switching the input destination of the test input signal test_in between the bit line BL and the counter bit line BL_, and a circuit for detecting a test result (in FIG. 4) EOR22 and D-FF23) shown are provided for each column of memory cores.

また、TEST信号によりテスト回路2とメモリコア集積部1とを接続するスイッチ(図4に示したMOSFET20及び21)も、メモリコアの列毎に備えられている。なお、TEST信号により、列選択部35とメモリコア集積部1との接続を切断するスイッチ回路が、列選択部35内に含まれる。   Further, switches (MOSFETs 20 and 21 shown in FIG. 4) for connecting the test circuit 2 and the memory core integrated unit 1 by the TEST signal are also provided for each column of the memory cores. Note that a switch circuit that disconnects the connection between the column selection unit 35 and the memory core integrated unit 1 by the TEST signal is included in the column selection unit 35.

また、TEST信号により、ワード線Wの接続先を行デコーダ34とテスト回路2のデコーダ342との間で切り替えるスイッチ800が、メモリコア集積部1に備えられている。このスイッチ800は、TEST信号がLowの場合はワード線Wと行デコーダ34を接続し、TEST信号がHighの場合はワード線Wとテスト回路2のデコーダ342を接続する。   Further, the memory core integrated unit 1 is provided with a switch 800 that switches the connection destination of the word line W between the row decoder 34 and the decoder 342 of the test circuit 2 according to the TEST signal. The switch 800 connects the word line W and the row decoder 34 when the TEST signal is Low, and connects the word line W and the decoder 342 of the test circuit 2 when the TEST signal is High.

また、メモリコアの各列のテスト結果出力TOが、AND回路100に供給される。AND回路100は、全列のテスト結果出力TOの論理積をとって、メモリコア全列に対するテスト結果出力TOTを生成する。テスト結果出力TOTが常にHighであれば、SRAMが正常であると判定され、テスト結果出力TOTが一度でもLowになることがあれば、SRAMが不良であると判定される。   Further, the test result output TO of each column of the memory core is supplied to the AND circuit 100. The AND circuit 100 takes a logical product of the test result outputs TO of all the columns and generates a test result output TOT for all the memory core columns. If the test result output TOT is always high, it is determined that the SRAM is normal. If the test result output TOT is low even once, it is determined that the SRAM is defective.

本実施形態では、列選択部35等の周辺回路を動作させることなく、すべてのメモリコアに対してHighおよびLowの双方のデータを書き込み、読み出す試験を行っている。また、試験時に使用するテスト信号はクロックCKから自動的に生成されるため、試験者がテスト信号を準備する必要がない。さらにまた、1つのメモリコアに対して1つのデータを書き込み読み出す操作がそれぞれ1クロックで終了するため、短時間で試験を完了することができる。   In the present embodiment, a test for writing and reading both High and Low data is performed on all memory cores without operating peripheral circuits such as the column selection unit 35. Further, since the test signal used during the test is automatically generated from the clock CK, it is not necessary for the tester to prepare the test signal. Furthermore, since the operation of writing and reading one data to one memory core is completed in one clock, the test can be completed in a short time.

以上、本発明の実施形態を詳述してきたが、具体的な構成は本実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、試験時におけるワード線の選択を図5のデコーダ342を用いて行わず、図1のアドレス信号バス30から入力しても良い。また、メモリコアの全列についてまとめられた試験結果を出力するためのAND回路100を省き、各列の試験結果を別々に出力してもよい。   As mentioned above, although embodiment of this invention was explained in full detail, the concrete structure is not restricted to this embodiment, The design change etc. of the range which does not deviate from the summary of this invention are included. For example, the word line selection at the time of the test may be input from the address signal bus 30 of FIG. 1 without using the decoder 342 of FIG. Further, the AND circuit 100 for outputting test results collected for all the columns of the memory core may be omitted, and the test results for each column may be output separately.

本発明は、SRAM等の半導体メモリに用いて好適である。   The present invention is suitable for use in a semiconductor memory such as an SRAM.

本発明の実施形態にかかるSRAMの構成を示したブロック図である。1 is a block diagram showing a configuration of an SRAM according to an embodiment of the present invention. 1ビットのメモリコアの構成を示したブロック図である。It is a block diagram showing a configuration of a 1-bit memory core. 1ビットのメモリコアを簡略化して示したブロック図である。It is the block diagram which simplified and showed the memory core of 1 bit. 図1のメモリコア集積部1及びテスト回路2の構成を示した構成図である。FIG. 2 is a configuration diagram illustrating configurations of a memory core integrated unit 1 and a test circuit 2 in FIG. 1. 図4のビット線BLおよび反ビット線BL_への出力信号生成回路を示した回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram showing a circuit for generating an output signal to the bit line BL and the anti-bit line BL_ of FIG. 図5のスイッチ回路25の回路構成を示した回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a circuit configuration of a switch circuit 25 in FIG. 5. SRAM内を流れる各信号のタイミング・チャートである。It is a timing chart of each signal which flows in SRAM. メモリコア集積部1及びテスト回路2の全体の回路図である。2 is an overall circuit diagram of a memory core integrated unit 1 and a test circuit 2. FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1…メモリコア集積部、2…テスト回路、22…EOR、23・24…D−FF、25…スイッチ回路、33…列デコーダ、34…行デコーダ(行アドレス指定手段)、35…列選択部、100…AND回路、341…カウンタ、342…デコーダ、800…スイッチ   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Memory core integrated part, 2 ... Test circuit, 22 ... EOR, 23 * 24 ... D-FF, 25 ... Switch circuit, 33 ... Column decoder, 34 ... Row decoder (row address designation means), 35 ... Column selection part , 100 ... AND circuit, 341 ... counter, 342 ... decoder, 800 ... switch

Claims (3)

複数のメモリコアと、
前記メモリコアの行アドレスを指定する複数のワード線と、
前記行アドレスを指定して前記ワード線を選択する行アドレス指定手段と、
前記メモリコアに書き込むデータが加えられると共に、前記メモリコアのデータが読み出される二重ビット線と、
を具備する半導体メモリにおいて、
前記行アドレス指定手段で前記ワード線を指定し、前記二重ビット線の一方に、第1の論理レベルを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第1の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、次いで、前記二重ビット線の一方に、第2の論理レベルのデータを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第2の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、上記動作を全ワード線について実行するテスト回路を設けたことを特徴とする半導体メモリ。
Multiple memory cores,
A plurality of word lines specifying row addresses of the memory cores;
Row address designating means for designating the row address and selecting the word line;
A double bit line from which data to be written to the memory core is added and data of the memory core is read;
In a semiconductor memory comprising:
Data in which the word line is designated by the row address designating means, a first logic level is added to one of the double bit lines, and the other data of the double bit line corresponds to the first logic level A determination procedure is performed to determine whether the second bit line is at a second logic level, and the other data on the second bit line is added to the second logic level. A semiconductor memory comprising a test circuit that performs a determination procedure for determining whether or not the data corresponds to the above and performs the above operation for all word lines.
複数のメモリコアと、
前記メモリコアの行アドレスを指定する複数のワード線と、
前記行アドレスを指定して前記ワード線を選択する行アドレス指定手段と、
前記メモリコアに書き込むデータが加えられると共に、前記メモリコアのデータが読み出される二重ビット線と、
を具備する半導体メモリにおいて、
前記ワード線を指定するワード線指定回路を有し、前記ワード線指定回路で前記ワード線を指定し、前記二重ビット線の一方に、第1の論理レベルを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第1の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、次いで、前記二重ビット線の一方に、第2の論理レベルのデータを加え、前記二重ビット線の他方のデータが前記第2の論理レベルに対応するデータであるか否かを判定する判定手順を行い、上記動作を全ワード線について実行するテスト回路を設けたことを特徴とする半導体メモリ。
Multiple memory cores,
A plurality of word lines specifying row addresses of the memory cores;
Row address designating means for designating the row address and selecting the word line;
A double bit line from which data to be written to the memory core is added and data of the memory core is read;
In a semiconductor memory comprising:
A word line designating circuit for designating the word line; designating the word line by the word line designating circuit; adding a first logic level to one of the double bit lines; A determination procedure for determining whether or not the other data is data corresponding to the first logic level is performed, and then data of a second logic level is added to one of the double bit lines, A test circuit for performing a determination procedure for determining whether or not the other data of the heavy bit line is data corresponding to the second logic level and performing the above operation for all word lines is provided. Semiconductor memory.
前記テスト回路の判定手順は、前記二重ビット線の双方のデータに排他的論理和演算を行い、前記排他的論理和演算の演算結果に基づいて判定を行うことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体メモリ。   2. The determination procedure of the test circuit, wherein an exclusive OR operation is performed on both data of the double bit line, and the determination is performed based on an operation result of the exclusive OR operation. The semiconductor memory according to claim 2.
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