JP2007120599A - 防振装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体が充填されたシリンダ室内に配置されたプランジャ部材を、低抵抗かつ円滑に入力振動の周波数変化に応じた位置へ移動する。
【解決手段】防振装置では、ガイドロッド１２０の表面に窒化ケイ素系セラミックがコーティングされてセラミック層１２１が形成されている。これにより、エチレングリコール中潤滑の条件下で、軸受穴８４の内周面とガイドロッド１２０の外周面との摩擦抵抗を効果的に低減できると共に、ガイドロッド１２０の表面に錆びやエチレングリコールからの析出物が付着することを効果的に抑制できるので、プランジャ部材７８の軸方向に沿った移動抵抗を低減でき、かつガイドロッド１２０の外周面が装置の作動時間の増加に伴って経時的に磨耗することを抑制でき、プランジャ部材７８の軸心Ｓに対する偏心量や傾きが経時的に増加することを効果的に抑制できる。
【選択図】図３

Description

本発明は、振動を発生する部材からの振動の伝達を防止する流体封入式の防振装置に係り、特に、自動車のエンジンマウント等に好適に用いられる防振装置に関する。

例えば、乗用車等の車両では、振動発生部となるエンジンと振動受け部となる車体との間にエンジンマウントとしての防振装置が配設されており、この防振装置がエンジンから発生する振動を吸収し、車体側に伝達されるのを阻止するような構造となっている。この種の防振装置としては、幅広い周波数の振動に対応すべく、主液室及び副液室と、これらの液室をそれぞれ連通する複数本のオリフィスが設けられ、入力振動の周波数に応じて、複数本のオリフィスのうち１本のオリフィスにより主液室と副液室とが連通するように、電磁ソレノイド等により駆動されるバルブ機構により複数本のオリフィスを選択的に開閉するものが知られている。

つまり、この防振装置には、オリフィスの開閉状態を制御し、複数のオリフィス間で液体の通路を切り替える為の電気的な電磁ソレノイド等が必要なだけでなく、これら電磁ソレノイド等を入力振動の周波数等に基づいて動作させ、オリフィスを切り替えさせるコントローラが構造上、必要であった。しかし、これらの電磁ソレノイド及びコントローラは、比較的高価なものであり、またこれらの部品は防振装置の構造を著しく複雑化すると共に、車両への取付作業を煩雑なものにする要因となっていた。

上記のような問題に鑑み、本出願の発明者等は、特許文献１において、主液室と副液室がシェイクオリフィス及びアイドルオリフィスによりそれぞれ連通されると共に、アイドルオリフィスの一部を形成すると共に副液室に連通したシリンダ空間内に配置されたプランジャ部材が、シェイク振動の入力時には主液室の液圧によりアイドルオリフィスを閉塞する閉塞位置へ移動し、アイドル振動の入力時にはプランジャ部材をコイルスプリングの付勢力によりアイドルオリフィスを開放する開放位置へ移動させる防振装置を開示している。

また特許文献１の防振装置では、プランジャ部材の下面中心部に装置の軸心に沿って下方へ突出するガイド軸が一体的に形成されると共に、オリフィス空間と副液室との間を区画する隔壁部にガイド軸が摺動可能に挿入される軸受穴が形成されている。これにより、プランジャ部材が開閉方向に沿って移動するように案内されると共に、プランジャ部材に偏心や軸心に対する傾きが生じることが防止される。
国際公開ＷＯ２００４／０８１４０８号

しかしながら、プランジャ部材が収納されたシリンダ室内には、水、エチレングリコール等の液体が充填されている。このため、プランジャ部材又は隔壁部における軸受穴を含む部分が鉄等の金属材料により形成されている場合には、ガイド軸の外周面又は軸受穴の内周面に経時的に錆びが生じるおそれがあり、また金属材料以外の樹脂材料等により形成されている場合でも、これらの部分に液体からの析出物が付着するおそれがある。ガイド軸の外周面又は軸受穴の内周面に錆びや析出物が付着すると、当然、プランジャ部材の開放方向に沿った移動抵抗が増大し、プランジャ部材が入力振動の周波数に対応する位置（開放位置又は閉塞位置）へ正常に移動しなくなるおそれがある。

またガイド軸と軸受穴との摺動性を良好にするため、プランジャ部材及び隔壁部における軸受穴を含む部分をそれぞれヤング率が一定値以上異なる材料（例えば、一方を金属材料、他方を樹脂材料）により形成することも考えられるが、このような材料の組合を選択した場合には、通常、一方の材料の磨耗量が他方の材料に対して大きくなるので、長期的にはガイド軸の外周面と軸受穴の内周面との間にガタが生じると共に、プランジャ部材の偏心量又は傾き量が増加し、プランジャ部材が入力振動の周波数に対応する位置（開放位置又は閉塞位置）へ正常に移動しなくなるおそれがある。

本発明の目的は、上記事実を考慮して、液体が充填されたシリンダ室内に配置されたプランジャ部材を、低抵抗かつ円滑に入力振動の周波数変化に応じた位置へ移動できる防振装置を提供することにある。

上記の目的を達成するため、本発明の請求項１に係る防振装置は、振動発生部及び振動受け部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受け部の他方に連結される第２の取付部材と、前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、前記弾性体を隔壁の一部として液体が封入され、該弾性体の弾性変形に伴って内容積が変化する主液室と、液体が封入され内容積が拡縮可能とされた副液室と、前記主液室と前記副液室とを互いに連通する第１の制限通路と、前記主液室と前記副液室とを互いに連通し、前記第１の制限通路よりも液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路と、前記主液室と前記副液室との間に設けられ、液体が充填されたシリンダ室と、前記シリンダ室内を、前記第２の制限通路の一部を構成すると共に前記副液室に連通したオリフィス空間と前記第２の制限通路から隔離された液圧空間とに区画し、前記オリフィス空間及び前記液圧空間の拡縮方向に沿って所定の開放位置と閉塞位置との間で移動可能とされたプランジャ部材と、前記オリフィス空間内に面するように設けられ、前記第２の制限通路における該オリフィス空間と他の部分とを連通させるオリフィス開口と、前記主液室と前記液圧空間との間に配置され、前記主液室内の液圧変化に伴って該主液室と前記液圧空間との間で一方向へのみ液体を流通させ得る逆止弁と、前記プランジャ部材を、前記液圧空間を縮小する前記開放位置側へ付勢する付勢部材と、前記プランジャ部材に前記拡縮方向に沿って貫通するように設けられた軸受穴と、前記軸受穴内に摺動可能に挿入されて前記プランジャ部材を前記拡縮方向に沿って移動するように案内するガイド軸と、を有し、前記軸受穴の内周面及び前記ガイド軸の外周面の少なくとも一方を、前記シリンダ室内に充填された液体中で潤滑性及び耐摩耗性を有するセラミック材料により形成し、前記プランジャ部材が、前記加圧空間内の液圧により前記付勢部材の付勢力に抗して前記前記閉塞位置に移動すると、前記オリフィス開口を閉塞させ、前記付勢部材の付勢力により前記開放位置へ復帰すると、前記オリフィス開口を開放することを特徴とする。

本発明の請求項１に係る防振装置の作用を以下に説明する。

請求項１の防振装置では、基本的に、第１及び第２の取付部材の何れか一方に振動が伝達されると、第１及び第２の取付部材間に配置された弾性体が弾性変形し、この弾性体の内部摩擦等に基づく吸振作用によって振動が吸収され、振動受け部側へ伝達される振動が低減される。

また請求項１に係る防振装置では、主液室と副液室とが第１の制限通路により互いに連通すると共に、オリフィス開口が開口している状態では、主液室と副液室が第１の制限通路よりも液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路によっても互いに連通する。

更に、請求項１に係る防振装置では、開放位置にあったプランジャ部材が、逆止弁を通して主液室から液圧空間内へ供給される液圧により閉塞位置へコイルスプリングの付勢力に抗して移動すると、弾性体の弾性変形に伴って、第１の制限通路のみを通って主液室と副液室との間を液体が行き来し、また閉塞位置にあったプランジャ部材が、コイルスプリングの付勢力により開放位置へ復帰すると、第１の制限通路及び第２の制限通路の双方が開放された状態となるが、弾性体の弾性変形に伴って、液体の流通抵抗が相対的に小さい第２の制限通路を優先的に通って主液室と副液室との間を液体が行き来する。

すなわち、請求項１に係る防振装置では、相対的に周波数が低く振幅が大きい振動（以下、「低周波域振動」という。）が入力した場合には、この低周波域振動によって弾性体が弾性変形し、主液室内に相対的に大きな液圧変化が生じると共に、主液室内の周期的な液圧変化時に逆止弁を通して主液室から液圧空間へ液体が流入し、又は液圧空間から主液室へ液体が流出して、液圧空間内の液圧が主液室内の液圧（最高値又は最低値）と略平衡する平衡圧に達する。このとき、コイルスプリングの付勢力を液圧空間内の平衡圧に対応する値よりも小さく設定しておけば、プランジャ部材がコイルスプリングの付勢力に抗して開放位置から閉塞位置側へ間欠的に移動し、液圧空間内の液圧により閉塞位置へ保持される。

従った、第１の制限通路における液体の流通抵抗を低周波域振動の周波数及び振幅に対応するように設定（チューニング）しておけば、第１の制限通路を通って主液室と副液室との間を行き来する液体に共振現象（液柱共振）が生じるので、この液柱共振の作用によって低周波域振動を特に効果的に吸収できる。

また請求項１に係る防振装置では、相対的に周波数が高く振幅が小さい振動（以下、「高周波域振動」という。）が入力した場合には、この高周波域振動によって弾性体が弾性変形すると共に、主液室内に相対的に小さな液圧変化が生じることから、この場合にも、主液室内の周期的な液圧変化時に逆止弁を通して主液室から液圧空間へ液体が流入し、又は液圧空間から主液室へ液体が流出して、液圧空間内の液圧が主液室内の液圧（最高値又は最低値）と略平衡する平衡圧に達する。このとき、コイルスプリングの付勢力を液圧空間内の平衡圧に対応する値よりも大きく設定しておけば、プランジャ部材が開放位置にあるときには、コイルスプリングの付勢力により開放位置に保持され、また閉塞位置にある場合には、コイルスプリングの付勢力により閉塞位置から開放位置へ移動（復帰）する。

従って、請求項１に係る防振装置では、高周波域振動の入力時には、弾性体の弾性変形に伴って、第１の制限通路に対して液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路を優先的に通って主液室と副液室との間を液体が行き来することから、この第２の制限通路を流通する液体の粘性抵抗や圧力損失により入力振動（高周波域振動）を吸収できるので、振動発生部から振動受け部へ伝達される高周波域振動を効果的に低減できる。

このとき、第２の制限通路における液体の流通抵抗を高周波域振動の周波数及び振幅に対応するように設定（チューニング）しておけば、第２の制限通路を通って主液室と副液室との間を行き来する液体に共振現象（液柱共振）が生じるので、この液柱共振の作用によって高周波域振動を特に効果的に吸収できる。

この結果、請求項１に係る防振装置によれば、電磁ソレノイドや空圧ソレノイド等の外部からの制御及び動力供給を受けて作動するバルブ機構を用いることなく、入力振動の周波数変化に応じて、主液室と副液室とを連通する制限通路を第１の制限通路及び第２の制限通路の何れか一方に、主液室内の液圧変化を駆動力として用いて切り換えることができる。

また請求項１に係る防振装置では、プランジャ部材に拡縮方向に沿って貫通するように軸受穴が設けられると共に、この軸受穴内に摺動可能に挿入されてプランジャ部材を拡縮方向に沿って移動するように案内するガイド軸が設けられていることにより、開閉方向へ移動するプランジャ部材に偏心や軸心に対する傾きが生じることを阻止できるので、入力振動の周波数が変化した際に、プランジャ部材が開閉位置側又は閉塞位置側へ円滑に移動可能になる。

更に、請求項１に係る防振装置では、軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面の少なくとも一方が、シリンダ室内に充填された液体中で潤滑性及び耐摩耗性を有するセラミック材料により形成されていることにより、軸受穴の内周面とガイド軸の外周面との摩擦抵抗を低減できると共に、セラミック材料により形成された軸受穴の内周面又はガイド軸の外周面に錆びや析出物が付着することを効果的に抑制できるので、プランジャ部材の拡縮方向に沿った移動抵抗を低減でき、また軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面の双方がセラミック材料により形成されている場合には、軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面が経時的に磨耗することを抑制し、プランジャ部材の偏心量や傾きが経時的に増加することを効果的に抑制できる。

また軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面の一方がセラミック材料により形成されている場合には、軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面の他方を耐摩耗性が高い硬質の材料（例えば、金属材料）により形成しても、軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面との摺動性が悪化し難くなり、プランジャ部材の移動抵抗の増加を抑制しつつ、軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面が経時的に磨耗することを抑制し、プランジャ部材の偏心量や傾きが経時的に増加することを効果的に抑制できる。

この結果、請求項１に係る防振装置によれば、液体が充填されたシリンダ室内に配置されたプランジャ部材を、低抵抗かつ円滑に入力振動の周波数変化に応じた開放位置又は閉塞位置へ移動できる。

また本発明の請求項２に係る防振装置は、請求項１記載の防振装置において、前記軸受穴の内周面及び前記ガイド軸の外周面の少なくとも一方を、前記セラミック材料からなるセラミック層により形成したことを特徴とする。

また本発明の請求項３に係る防振装置は、請求項１記載の防振装置において、前記プランジャ部材における前記軸受穴を含む部分及び前記ガイド軸における外周面を含む部分の少なくとも一方を、前記セラミック材料により形成したことを特徴とする。

また本発明の請求項４に係る防振装置は、請求項１乃至３の何れか１項記載の防振装置において、前記セラミック材料として、窒化ケイ素系セラミックを用いたことを特徴とする。

また本発明の請求項５に係る防振装置は、請求項１乃至４の何れか１項記載の防振装置において、装置内に封入される液体として、エチレングリコールを用いたこと特徴とする。

また本発明の請求項６に係る防振装置は、請求項１乃至５の何れか１項記載の防振装置において、前記プランジャ部材を、前記拡縮方向を厚さ方向とする略円板状に形成すると共に、前記軸受穴及び前記ガイド軸を前記プランジャ部材の軸心と同軸的に配置したことを特徴とする。

以上説明したように、本発明に係る防振装置によれば、液体が充填されたシリンダ室内に配置されたプランジャ部材を、低抵抗かつ円滑に入力振動の周波数変化に応じた位置へ移動できる。

以下、本発明の実施形態に係る防振装置について図面を参照して説明する。なお、図中、符号Ｓは装置の軸心を表しており、この軸心Ｓに沿った方向を装置の軸方向として以下の説明を行う。

図１及び図２には本発明の実施形態に係る防振装置が示されている。図１に示されるように、防振装置１０には、その外周側に薄肉円筒に形成された外筒金具１２が設けられると共に、この外筒金具１２の内周側に取付金具２０が略同軸的に配置されている。外筒金具１２には、その上端部に外周側へ延出する環状のフランジ部１４が屈曲形成されると共に、下端部に装置の組立時に内周側へテーパ状に折り曲げられるかしめ部１６が形成されており、これらのフランジ部１４とかしめ部１６との中間に内周側へ向かって断面Ｖ字状に屈曲された絞り部１８が全周に亘って形成されている。防振装置１０は、外筒金具１２がカップ状のホルダ金具（図示省略）内へ嵌挿されることにより、このホルダ金具を介してして車両における車体側へ連結される。

取付金具２０は、その上端側が略一定の外径を有する円柱状に形成されると共に、下端側が下方へ向かってテーパ状に外径が縮径する略円錐台状に形成されており、この取付金具２０には、その上端面から下端側へ向かって軸心Ｓに沿ってねじ穴２２が穿設されている。防振装置１０は、取付金具２０のねじ穴２２に捻じ込まれたボルト等の締結部材及びブラケットステーを介して車両におけるエンジン側に連結固定される。

防振装置１０には、外筒金具１２と取付金具２０との間に略肉厚リング状に形成されたゴム弾性体２４が配置されている。ゴム弾性体２４は、その外周面が外筒金具１２の外周面における絞り部１８の上側に加硫接着されると共に、内周面が取付金具２０の外周面下端側に加硫接着されている。これにより、ゴム弾性体２４は外筒金具１２と取付金具２０とを弾性的に連結する。

ゴム弾性体２４は、その断面が取付金具２０から外筒金具１２へ向かって下方へ傾斜する略ハ字状に形成されている。これにより、ゴム弾性体２４の下面中央部には、下方から上方へ向かって内径が狭くなる略円錐台状の凹部２６が形成される。ゴム弾性体２４には、その上端外周部から外周側へ延出する断面矩形状のストッパ部２８が一体的に形成されており、このストッパ部２８は、外筒金具１２のフランジ部１４における周方向に沿った一部に加硫接着されている。このストッパ部２８は、防振装置１０が車両に取り付けられた状態で、軸方向に沿ってエンジン側に大きな相対変位が生じた場合に、ブラケットステー等へ当接してエンジン側の変位を制限すると共に衝突音の発生を防止する。

ゴム弾性体２４には、その下端内周部に取付金具２０の下端部を覆うインナクッション部３０が一体的に形成されると共に、外筒金具１２の絞り部１８の内周側に段差部３２が一体的に形成されている。この段差部３２は、その下面側が平面状に形成されており、絞り部１８により外周側から軸方向への変形が制限されるように支持されている。またゴム弾性体２４には、段差部３２の下端外周部から下方へ延出する薄肉円筒状の被覆部３４が一体的に形成されている。この被覆部３４は、外筒金具１２の内周面を覆うように下端側まで延出して加硫接着されている。

防振装置１０には、外筒金具１２の内周側に全体として略肉厚円板状に形成された仕切金具３６（図３参照）が嵌挿されている。仕切金具３６は、その上面外周部を段差部３２の下面側へ当接させると共に、外周面を被覆部３４を介して外筒金具１２の内周面へ圧接させている。また防振装置１０には、外筒金具１２の内周側における仕切金具３６の下側に環状の支持筒３８が嵌挿されている。支持筒３８は、その上端側を仕切金具３６の下面外周部へ当接させると共に、被覆部３４を介して外周面を外筒金具１２の内周面へ圧接させている。防振装置１０では、外筒金具１２内に仕切金具３６及び支持筒３８が嵌挿された状態で、外筒金具１２のかしめ部１６が上端側から下端側へ向かって内外径が縮径するように折り曲げられる。これにより、外筒金具１２内で仕切金具３６及び支持筒３８が段差部３２（絞り部１８）とかしめ部１６との間に固定される。

支持筒３８には、その内周側にゴム材料により薄肉円板状に成形されたダイヤフラム４０が配置されており、このダイヤフラム４０は、その外周縁部が全周に亘って支持筒３８の内周面に加硫接着されている。これにより、外筒金具１２内には、その軸方向に沿った上端側がゴム弾性体２４により閉塞されると共に、下端側がダイヤフラム４０により閉塞された略円柱状の空間（液室空間）が形成され、この液室空間は仕切金具３６によりゴム弾性体２４を隔壁の一部とする主液室４２及びダイヤフラム４０を隔壁とする副液室４４に区画される。これらの主液室４２及び副液室４４内には、それぞれ水、エチレングリコール等の液体が充填される。

ここで、主液室４２は、その内容積がゴム弾性体２４の弾性変形に伴って変化（拡縮）し、またダイヤフラム４０は、副液室４４の内容積を拡縮する方向へ十分に小さい荷重（液圧）で変形可能とされている。

図５に示されるように、仕切金具３６には、その下部側に合成樹脂やアルミニウム等の金属材料により形成されたオリフィス部材４６が設けられると共に、このオリフィス部材４６の上側に有底円筒状の蓋部材４８が配置されている。オリフィス部材４６は、下面側が底板部５０により閉止された肉厚の有底円筒状に形成されており、底板部５０には、周方向に沿った寸法が内周側から外周側へ向かって広がる略扇状に形成された複数個（例えば、４個）の流通開口５２が穿設されると共に、図３に示されるように、流通開口５２の内周側に肉厚円筒状のボス部５４が一体的に形成されている。

図３に示されるように、ボス部５４は、その軸方向に沿った寸法が底板部５０の厚さよりも大きくなっており、底板部５０の上面部及び下面部からそれぞれ突出している。ボス部５４には上面中央部に円形凹状の座受穴５６が開口しており、この座受穴５６には後述するコイルスプリング９０の下端部が挿入される。またボス部５４には、座受穴５６の底面とボス部５４の下面との間を貫通する逃げ穴５８が穿設されている。この逃げ穴５８の内径は座受穴５６の内径よりも小径とされており、この逃げ穴５８内には、後述するプランジャ部材７８のガイド筒部８２が挿脱可能に挿入される。

図５に示されるように、オリフィス部材４６には、その外周面上端部に下端側よりも外径が小さい嵌挿部６０が形成されている。またオリフィス部材４６には、外周面における段差部６２と下端部との間に周方向に対して所定角度傾いたスパイラル方向に沿って延在する凹状の溝部６４が形成されている。この溝部６４は、オリフィス部材４６の外周面を２周よりも若干多い周回数に亘って周回している。

オリフィス部材４６には、図６（Ｂ）に示されるように、嵌挿部６０の一部を軸方向へ凹状に切り欠いて、溝部６４の長手方向に沿った主液室４２側の一端部をオリフィス部材４６の上面部まで連通させる連通路６６が形成されている。またオリフィス部材４６には、図６（Ｃ）に示されるように、その下端部の一部を軸方向へ矩形状に切り欠いて、溝部６４の長手方向に沿った他端部をオリフィス部材４６の下面まで連通させる連通路６８が形成されている。

溝部６４には、主液室４２側の一端から長手方向（スパイラル方向）中間部までの区間に共用オリフィス部７０が設けられると共に、この共用オリフィス部７０に対して副液室４４側に専用オリフィス部７２が設けられている。ここで、共用オリフィス部７０及び専用オリフィス部７２は、その径方向に沿った深さは同じになっているが、共用オリフィス部７０は、その軸方向に沿った幅が専用オリフィス部７２の軸方向に沿った幅よりも所定長だけ長くなっている。これにより、共用オリフィス部７０は、その断面積が専用オリフィス部７２の断面積よりも大きくなり、この共用オリフィス部７０の断面積は、車両のアイドリング運転時に発生するアイドル振動の周波数（例えば、１８〜３０Ｈｚ）及び振幅に対応するように設定されている。また共用オリフィス部７０の路長は、溝部６４の長手方向に沿った寸法（路長）の１／２以下となるように設定されている。

オリフィス部材４６には、図６（Ａ）に示されるように、溝部６４における共用オリフィス部７０と専用オリフィス部７２との境界部付近に、溝部６４の内周側の底面部からオリフィス部材４６の内周面まで貫通するオリフィス開口７４が穿設されている。このオリフィス開口７４は周方向へ細長いスロット状に形成されている。ここで、オリフィス開口７４の開口面積は、共用オリフィス部７０の断面積以上になっている。

またオリフィス開口７４は、その内周端に沿った両端部の形状が略半円形とされており、この両端部付近での液体の流通抵抗の増加が抑制されている。またオリフィス開口７４の内周縁部（エッジ部）における液体の流通方向に沿った断面形状を凸の半円状や楔状として、エッジ部での液体の流通抵抗の増加を抑制するようにして良い。

図６（Ｃ）に示されるように、オリフィス部材４６の内周側には円柱状の空間が形成され、この円柱状の空間は、後述するプランジャ部材７８が収納されるシリンダ室７６とされる。プランジャ部材７８は、図５に示されるように、肉厚円板状に形成されており、シリンダ室７６を軸方向に沿って主液室４２側の小空間である液圧空間１３０（図３参照）と副液室４４側の小空間であるオリフィス空間１３２（図４参照）とに区画している。またプランジャ部材７８は、その外周面下端側のエッジ部７９がオリフィス開口７４の長手方向と平行に延在している。

図３に示されるように、プランジャ部材７８には、その下面側における周縁部と中央部との間には周方向へ延在する環状凹部８０が形成されている。またプランジャ部材７８には、その下面中央部から下方へ突出する肉厚円筒状のガイド筒部８２が一体的に形成されると共に、このガイド筒部８２の中央部を軸方向へ貫通する軸受穴８４が穿設されている。プランジャ部材７８には、ガイド筒部８２の基端部にガイド筒部８２よりも大径とされた円柱状の座受突起８６が同軸的に形成されている。またプランジャ部材７８には、その上面中央部に円形凹状の逃げ部８８が形成されている。

プランジャ部材７８は、図３に示されるように、オリフィス部材４６のシリンダ室７６内へ挿入され、シリンダ室７６の内周面に沿って軸方向に移動可能（スライド可能）となる。このとき、プランジャ部材７８は、ガイド筒部８２の先端側をオリフィス部材４６の座受穴５６及び逃げ穴５８内にも同軸的に挿入するが、ガイド筒部８２の外径は、座受穴５６及び逃げ穴５８の内径よりも小径であることから、プランジャ部材７８は、オリフィス部材４６の底板部５０へ接することなく、軸方向に沿って所定の範囲（後述する閉塞位置と開放位置との間）で移動可能になる。また仕切金具３６には、オリフィス部材４６の底板部５０とプランジャ部材７８との間にコイルスプリング９０が配置されている。

コイルスプリング９０は、その上端部をプランジャ部材７８の座受突起８６の外周側に外嵌すると共に、その下端部をオリフィス部材４６の座受穴５６内へ挿入している。この状態で、コイルスプリング９０は、その上端面である上側座面をプランジャ部材７８における座受突起８６の周縁部へ圧接させると共に、下端面である下側座面を座受穴５６の底面部へ圧接させ、プランジャ部材７８及び底板部５０により常に圧縮状態に保持されている。これにより、コイルスプリング９０はプランジャ部材７８を常に上方（主液室４２側）へ付勢する。ここで、コイルスプリング９０としては、軸方向に沿った任意の部位における内外径が略一定とされたストレート形状のものが用いられている。

図３に示されるように、仕切金具３６では、蓋部材４８がオリフィス部材４６における嵌挿部６０の外周側に嵌挿固定されている。これにより、オリフィス部材４６のシリンダ室７６の上端側が蓋部材４８の頂板部９２により閉止される。蓋部材４８には、図５に示されるように、頂板部９２の中央部に円形の嵌挿穴９４が穿設されると共に、この嵌挿穴９４の外周側に扇状に形成された複数個（本実施形態では、４個）の弁座開口９６が形成されている。これら弁座開口９６は、軸心Ｓを中心として対称的な位置関係（点対称）となるように配置されている。また蓋部材４８には、図５に示されるように、その外周部にオリフィス部材４６の上端側の連通路６６（図６(Ｂ）参照）に面するように切欠部９８が形成されている。共用オリフィス部７０は、その一端部が蓋部材４８の切欠部９８は及び連通路６６を介して副液室４４内へ連通している。

図５に示されるように。仕切金具３６には、蓋部材４８とプランジャ部材７８との間に略円板状のホルダ部材１００が配置されると共に、このホルダ部材１００と蓋部材４８との間に略円板状の弁体１０２が介装されている。ホルダ部材１００には、図３に示されるように、その中央側に底の浅い有底円筒状とされた弁体ホルダ１０４が形成されると共に、この弁体ホルダ１０４の上端部から外周側へ延出する環状のフランジ部１０６が屈曲形成されている。またホルダ部材１００には、弁体ホルダ１０４の底板部１０５の外周部にそれぞれ扇状に形成された複数個の連通開口１０８が穿設されている。

図３に示されるように、ホルダ部材１００には、底板部１０５の中央部に肉厚円板状のボス部１１０が一体的に形成されると共に、このボス部１１０の下面中央部から軸心Ｓに沿って下方へ突出する丸棒状のガイドロッド１２０が一体的に形成されている。またボス部１１０の上面側には、円形凹状の嵌挿穴１１２が形成されている。ここで、蓋部材４８の頂板部９２とホルダ部材１００の底板部１０５との間には、嵌挿穴１１２の外周側に軸方向に沿った厚さ一定の円板状の空間である弁体収納室１１４が形成され、この弁体収納室１１４内には弁体１０２が収納される。

弁体１０２は、ＮＲ、ＮＢＲ等のゴム組成物により成形されており、その上面側が平面状とされると共に、下面側が内周側から外周側へ向って上方へ僅かに傾斜するスロープ状に形成されており、軸方向に沿った肉厚が内周側から外周側へ向って徐々に薄くなっている。また弁体１０２には、上面中央部に円形凸状の突起部１１６が形成されると共に、下面中央部にも円形凸状の突起部１１８が形成されている。弁体１０２は、その上面側の突起部１１６を蓋部材４８の嵌挿穴９４内へ嵌挿すると共に、下面側の突起部１１８をホルダ部材１００の嵌挿穴１１２内へ嵌挿している。これにより、弁体１０２は、ホルダ部材１００及び蓋部材４８と同軸的に位置決めされると共に、径方向への移動が拘束される。

弁体１０２は、突起部１１６，１１８の周縁部付近が蓋部材４８の頂板部９２とホルダ部材１００の底板部１０５との間で軸方向に沿って圧縮されている。これにより、弁体１０２は、その上面部を所定の加圧力（予圧力）で蓋部材４８の頂板部９２の下面側へ圧接させると共に、蓋部材４８とホルダ部材１００との間で軸方向への移動が拘束される。弁体１０２は、圧縮状態となった部分の外周側の部分が下方へ向って撓み変形可能となっている。

図３に示されるように、弁体１０２は、その外周端を径方向に沿って蓋部材４８における弁座開口９６の外周端よりも外周側に位置させ、かつホルダ部材１００の連通開口１０８の外周端よりも内周側に位置させている。これにより、弁体１０２は、その上面部を頂板部９２に圧接させた状態（閉状態）で弁座開口９６を閉塞し、また、図３の２点鎖線で示されるように、外周側が下方へ撓み変形して頂板部９２から離間した状態（開状態）になると、弁座開口９６が弁体収納室１１４を介して連通開口１０８に連通した状態となり、主液室４２が弁体収納室１１４を通して仕切金具３６内のシリンダ室７６へ連通する。すなわち、弁体収納室１１４内に収納された弁体１０２、蓋部材４８及びホルダ部材１００は、主液室４２とシリンダ室７６との間で逆止弁１２８（図５参照）を構成しており、この逆止弁１２８は、主液室４２からシリンダ室７６（液圧空間１３０）内へのみ液体の流入を許容するが、液圧空間１３０から主液室４２内への液体の流出を阻止する。

ホルダ部材１００のガイドロッド１２０は、プランジャ部材７８の軸受穴８４内へ軸方向に沿って相対的に摺動可能となるように挿入されている。このガイドロッド１２０は、その先端側がオリフィス部材４６の座受穴５６及び逃げ穴５８内を通ってオリフィス部材４６の下方まで突出しており、このガイドロッド１２０の先端部には、ダイヤフラム４０の中央部に円形凸状に形成された中央連結部４１が加硫接着により固着されている。

ここで、図３の拡大図に示されるように、ガイドロッド１２０の表面には、セラミック材料がコーティングされてセラミック層１２１が形成されている。このセラミック層１２１の素材となるセラミック材料としては、Ｓｉ_３Ｎ_４を主成分とする窒化ケイ素系セラミックが用いられている。その理由としては、窒化ケイ素系セラミックは、耐食性及び耐摩耗性が優れていることが挙げられるが、それ以外にも、窒化ケイ素系セラミックは、他のセラミック材料と比較し、水酸基を有するエチレングリコール中で、高い摩擦抵抗の低下作用が得られることによる。

窒化ケイ素系セラミックがエチレングリコール中で高い摩擦抑制作用が得られる理由については、現時点で正確には解明されていないが、例えば、独立行政法人 産業技術総合研究所の１９９６年１１月２日に実施された所内発表資料（同研究所ホームページ（テクノナレッジネットワーク）にて閲覧可能）では、窒化ケイ素系セラミックは、アルコール潤滑下では、その表面にアルコールと反応することによりアルコキシシランが生成され、窒化ケイ素系セラミックの表面に摩擦抑制物質としてのアルコキシシラン層が成膜される可能性が指摘されており、これと類似の反応がエチレングリコール中でも生じる可能性が推定される。

またガイドロッド１２０の表面に窒化ケイ素系セラミックをコーティングする方法としては、公知の各種の方法を用いることができ、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタ法、ＣＶＤ法（化学気層蒸着法）、レーザ蒸着法、及びプラズマ溶射法を用いてセラミック層１２１を形成することができる。

シリンダ室７６のオリフィス空間１３２は、オリフィス部材４６の複数の流通開口５２と座受穴５６及び逃げ穴５８を通して常に副液室４４と連通している。また防振装置１０では、図１に示されるように、オリフィス部材４６における溝部６４の外周側が被覆部３４を介して外筒金具１２の内周面により閉塞される。これにより、溝部６４内には、スパイラル方向に沿って細長い空間であるシェイクオリフィス１２２が形成され、この第１の制限通路であるシェイクオリフィス１２２は、その一端部がオリフィス部材４６の連通路６６及び蓋部材４８の切欠部９８を介して主液室４２に接続されると共に、他端部がオリフィス部材４６の連通路６８を介して副液室４４に接続される。

ここで、シェイクオリフィス１２２は、互いに断面積が異なる共用オリフィス部７０及び専用オリフィス部７２からなる溝部６４全体と連通路６６，６８とにより構成されている。このシェイクオリフィス１２２は、入力振動のうち相対的に低周波域の振動であるシェイク振動（例えば、９〜１５Ｈｚ）に対応するように、その路長及び断面積、すなわち液体の流通抵抗が設定（チューニング）されている。

溝部６４における共用オリフィス部７０は、シェイク振動に対して相対的に高周波域の振動であるアイドル振動（例えば、１８〜３０Ｈｚ）に対応するアイドルオリフィス１２４の一部を形成している。この第２の制限通路であるアイドルオリフィス１２４は、共用オリフィス部７０、オリフィス開口７４及びオリフィス部材４６内のオリフィス空間１３２により構成されており、その路長及び断面積、すなわち液体の流通抵抗がアイドル振動に対応するように設定（チューニング）されている。ここで、アイドルオリフィス１２４におけり液体の流通抵抗は、シェイクオリフィス１２２における液体の流通抵抗よりも小さくなっている。

防振装置１０では、図２に示されるように、プランジャ部材７８が閉塞位置へ移動（下降）すると、オリフィス部材４６のオリフィス開口７４がプランジャ部材７８の外周面により閉塞され、共用オリフィス部７０がオリフィス空間１３２と非連通状態となる。これにより、主液室４２と副液室４４とは、シェイクオリフィス１２２のみを通して互いに連通する。

また防振装置１０では、図１に示されるように、プランジャ部材７８が開放位置へ移動（上昇）すると、プランジャ部材７８がオリフィス開口７４から離れてオリフィス開口７４が開放され、共用オリフィス部７０がオリフィス空間１３２と連通状態となる。これにより、主液室４２と副液室４４とは、シェイクオリフィス１２２及びアイドルオリフィス１２４の双方を通して互いに連通するが、主液室４２内の液圧が変化した際には、主液室４２内から共用オリフィス部７０内へ流入した液体は、専用オリフィス部７２との境界部付近に達すると、専用オリフィス部７２よりも液体の流通抵抗が小さいオリフィス開口７４を通ってオリフィス空間１３２内へ優先的に流入し、またオリフィス開口７４を通って共用オリフィス部７０内へ流入した液体も、専用オリフィス部７２よりも液体の流通抵抗が小さい共用オリフィス部７０を優先的に通って主液室４２内へ抜ける。これにより、防振装置１０では、プランジャ部材７８が開放位置にある場合、実質的にアイドルオリフィス１２４のみを通って主液室４２と副液室４４との間で液体が流通する。

プランジャ部材７８には、図３に示されるように、その径方向中間部に軸方向へ貫通する複数本（本実施形態では、２本）の液圧解放路１２６が形成されている。これらの液圧解放路１２６は、コイルスプリング９０の付勢力により閉塞位置にあるプランジャ部材７８が開放位置側へ移動する際に、外部から閉じられた液圧空間１３０内の液体をオリフィス空間１３２内へ流出させ、液圧空間１３０の液圧上昇を防止してプランジャ部材７８を開放位置側へ移動可能にする。

次に、本発明の実施形態に係る防振装置１０の作用を説明する。

防振装置１０では、例えば、車両におけるエンジンが作動すると、エンジンが発生した振動が取付金具２０を介してゴム弾性体２４に伝達され、ゴム弾性体２４が弾性変形する。このとき、ゴム弾性体２４は吸振主体として作用し、ゴム弾性体２４の内部摩擦等に基づく吸振作用によって振動が吸収され、外筒金具１２を介して車体側へ伝達される振動が低減される。また自動車等の車両では、アイドリング運転時にエンジンが相対的に高周波域の振動であるアイドル振動を発生し、また所定速度以上での走行時にはエンジンが相対的に低周波域の振動であるシェイク振動を発生する。

また防振装置１０では、シェイクオリフィス１２２の主液室４２側の一部が、アイドルオリフィス１２４の一部を形成する共用オリフィス部７０とされ、この共用オリフィス部７０とシェイクオリフィス１２２における副液室４４側の一部である専用オリフィス部７２との間にシリンダ室７６のオリフィス空間１３２に連通するオリフィス開口７４が形成されていることから、主液室４２と副液室４４とが共用オリフィス部７０及び専用オリフィス部７２を含むシェイクオリフィス１２２により互いに連通すると共に、オリフィス開口７４が開放されている状態では、共用オリフィス部７０及びオリフィス空間１３２を含むアイドルオリフィス１２４によっても互いに連通する。

更に、防振装置１０では、プランジャ部材７８が、シリンダ室７６の液圧空間１３０内の液圧によりコイルスプリング９０の付勢力に抗して開放位置から閉塞位置に移動するとオリフィス開口７４を閉塞させ、コイルスプリング９０の付勢力により閉塞位置から開放位置へ復帰するとオリフィス開口７４を開放することから、開放位置にあったプランジャ部材７８が、逆止弁１２８を通して主液室４２から液圧空間１３０内へ供給される液圧により閉塞位置へ移動すると、ゴム弾性体２４の弾性変形に伴って、シェイクオリフィス１２２のみを通って主液室４２と副液室４４との間を液体が行き来し、また閉塞位置にあったプランジャ部材７８が、コイルスプリング９０の付勢力により開放位置へ復帰すると、シェイクオリフィス１２２及びアイドルオリフィス１２４の双方が開放された状態となるが、ゴム弾性体の弾性変形に伴って、液体の流通抵抗が相対的に小さいアイドルオリフィス１２４を優先的に通って主液室４２と副液室４４との間を液体が行き来する。

すなわち、防振装置１０では、相対的に周波数が低く振幅が大きいシェイク振動が入力した場合には、このシェイク振動によってゴム弾性体２４が弾性変形し、主液室４２内に相対的に大きな液圧変化が生じると共に、主液室４２内の周期的な液圧上昇時に逆止弁１２８を通して主液室４２から液圧空間１３０へ液体が流入して、液圧空間１３０内の液圧も主液室４２内の上昇時の液圧と略平衡する平衡圧まで上昇する。

ここで、防振装置１０では、コイルスプリング９０の付勢力がシェイク振動の入力時の液圧空間１３０内の液圧（平衡圧）に対応する値よりも小さく設定されており、これにより、シェイク振動の入力時には、プランジャ部材７８がコイルスプリングの付勢力に抗して開放位置から閉塞位置側へ間欠的に移動し、液圧空間１３０内の液圧により閉塞位置へ保持される。

従って、防振装置１０では、シェイク振動の入力時には、ゴム弾性体２４の弾性変形に伴って、シェイクオリフィス１２２のみを通して主液室４２と副液室４４との間を液体が行き来することから、このシェイクオリフィス１２２を通過する液体の粘性抵抗や圧力損失等によりに振動（シェイク振動）を吸収できるので、車両におけるエンジン側から車体側へ伝達される低周波域振動を低減できる。

このとき、シェイクオリフィス１２２における液体の流通抵抗がシェイク振動の周波数及び振幅に対応するように設定（チューニング）されていることから、シェイクオリフィス１２２を通って主液室４２と副液室４４との間を行き来する液体に共振現象（液柱共振）が生じ、この液柱共振の作用によってシェイク振動を特に効果的に吸収できる。

また防振装置１０では、相対的に周波数が高く振幅が小さいアイドル振動が入力した場合には、このアイドル振動によってゴム弾性体２４が弾性変形すると共に、主液室４２内に相対的に小さな液圧変化が生じることから、この場合にも、主液室４２内の周期的な液圧上昇時に逆止弁１２８を通して主液室４２から液圧空間へ液体が流入して、液圧空間１３０内の液圧が上昇して主液室４２内の上昇時の液圧（最高値）と略平衡する平衡圧まで達する。

ただし、防振装置１０では、コイルスプリング９０の付勢力がアイドル振動の入力時における液圧空間１３０内の平衡圧に対応する値よりも大きく設定されており、これにより、プランジャ部材７８が開放位置にあるときには、コイルスプリング９０の付勢力により開放位置に保持され、また閉塞位置にある場合には、コイルスプリング９０の付勢力により閉塞位置から開放位置へ移動（復帰）する。

なお、コイルスプリング９０の付勢力により閉塞位置にあるプランジャ部材７８が開放位置側へ移動する際には、プランジャ部材７８に形成された液圧解放路１２６が、外部から閉じられた液圧空間１３０内の液体をオリフィス空間１３２内へ流出させることから、液圧空間１３０の液圧上昇を防止してプランジャ部材７８を開放位置側へ円滑に、かつ低い移動抵抗で移動可能にする。

従って、防振装置１０では、アイドル振動の入力時には、ゴム弾性体２４の弾性変形に伴って、シェイクオリフィス１２２に対して液体の流通抵抗が小さいアイドルオリフィス１２４を優先的に通って主液室４２と副液室４４との間を液体が行き来することから、このアイドルオリフィス１２４を流通する液体の粘性抵抗や圧力損失等により入力振動（アイドル振動）を吸収できるので、エンジン側から車体側へ伝達されるアイドル振動を低減できる。

このとき、アイドルオリフィス１２４における液体の流通抵抗がアイドル振動の周波数及び振幅に対応するように設定（チューニング）されていることから、アイドルオリフィス１２４を通って主液室４２と副液室４４との間を行き来する液体に共振現象（液柱共振）が生じ、この液柱共振の作用によってアイドル振動を特に効果的に吸収できる。

この結果、防振装置１０によれば、電磁ソレノイドや空圧ソレノイド等の外部からの制御及び動力供給を受けて作動するバルブ機構を用いることなく、主液室４２と副液室４４とを連通するオリフィスを、入力振動の周波数に応じて、シェイクオリフィス１２２及びアイドルオリフィス１２４の何れか一方に、主液室４２内の液圧変化を駆動力として用い切り換えることができる。

また防振装置１０では、プランジャ部材７８に軸方向に沿って貫通するように軸受穴８４が設けられると共に、この軸受穴８４内に摺動可能に挿入されるガイドロッド１２０がホルダ部材１００に設けられていることにより、プランジャ部材７８に軸心Ｓに対する偏心や傾きが生じることを阻止できるので、入力振動の周波数が変化した際に、プランジャ部材７８が開閉位置と閉塞位置との間で移動可能になる。

更に、防振装置１０では、ガイドロッド１２０の表面に窒化ケイ素系セラミックがコーティングされてセラミック層１２１が形成されていることにより、液（エチレングリコール）中潤滑の条件下で、軸受穴８４の内周面とガイドロッド１２０の外周面との摩擦抵抗を効果的に低減できると共に、ガイドロッド１２０の表面に錆びやエチレングリコールからの析出物が付着することを効果的に抑制できるので、プランジャ部材７８の軸方向に沿った移動抵抗を低減でき、かつガイドロッド１２０の外周面が装置の作動時間の増加に伴って経時的に磨耗することを抑制し、プランジャ部材７８の軸心Ｓに対する偏心量や傾きが経時的に増加することを効果的に抑制できる。

このとき、プランジャ部材７８を金属材料等の耐摩耗性の高い材料により形成すれば、セラミック層１２１により軸受穴の内周面及びガイド軸の外周面との摺動性を良好にできるので、プランジャ部材７８の移動抵抗の増加を抑制しつつ、軸受穴８４の内周面が経時的に磨耗することを抑制でき、プランジャ部材７８の偏心量や傾きが経時的に増加することを更に効果的に抑制できるようになる。

この結果、本実施形態に係る防振装置１０によれば、エチレングリコールが充填されたシリンダ室７６内に配置されたプランジャ部材７８を、低抵抗かつ円滑に入力振動の周波数変化に応じた開放位置又は閉塞位置へ移動できる。

なお、本実施形態に係る防振装置１０では、ガイドロッド１２０の表面にのみセラミック層１２１を形成したが、このようなセラミック層１２１をガイドロッド１２０の表面に形成することに代えて、軸受穴８４の内周面に形成するようにしても良く、またガイドロッド１２０の表面及び軸受穴８４の内周面の双方にそれぞれセラミック層１２１を形成しても良い。この場合にも、プランジャ部材７８の移動抵抗を低減できると共に、セラミック層１２１が形成されたガイドロッド１２０の表面又は軸受穴８４の内周面の磨耗を効果的に抑制できる。

またガイドロッド１２０の表面にセラミック層１２１を形成することに代え、ホルダ部材１００全体又は、ホルダ部材１００におけるガイドロッド１２０の外周面を含む一部をセラミック材料により形成するようにしても、セラミック層１２１をガイドロッド１２０に形成した場合と基本的に同一の効果を得られる。

無論、プランジャ部材７８全体又は、プランジャ部材７８における軸受穴８４の内周面を含む一部をセラミック材料により形成するようにしても、またホルダ部材１００全体又は、ホルダ部材１００におけるガイドロッド１２０の外周面を含む一部及び、プランジャ部材７８全体又は、プランジャ部材７８における軸受穴８４の内周面を含む一部の双方をセラミック材料により形成しても良い。

ここで、ガイドロッド１２０の外周面を含む一部又はプランジャ部材７８における軸受穴８４の内周面を含む一部をセラミック材料により形成する方法としては、例えば、セラミック材料により薄肉円筒状のスリーブ部材を予め製造しておき、このスリーブ部材をインサートコアとしてガイドロッド１２０（ホルダ部材１００）又はプランジャ部材７８をモールド成形するモールド成形法を用いることができる。

また防振装置１０では、セラミック層１２１の素材として液中潤滑性が特に優れた窒化ケイ素系セラミックを用いたが、これ以外にも、表面平滑性が高い高強度ジルコニア系セラミックを素材としてセラミック層１２１を形成し、又は、このセラミックにより少なくともガイドロッド１２０の外周面を含む部分及び、少なくとも軸受穴８４の内周面を含む部分を形成しても、他の金属材料、樹脂材料等を用いた場合と比較し、潤滑性と耐磨耗性の双方を高いレベルで得られる。

またアルミナ系セラミックや、炭化ケイ素系セラミックを素材としてセラミック層１２１を形成し、又はこれらのセラミックにより少なくともガイドロッド１２０の外周面を含む部分及び、少なくとも軸受穴８４の内周面を含む部分を形成しても、他の金属材料、樹脂材料等を用いた場合と比較し、耐磨耗性を向上できる。

また防振装置１０では、２本のオリフィス（第１の制限通路及び第２の制限通路）の一方をシェイク振動に対応するシェイクオリフィス１２２とし、他方をアイドル振動に対応するアイドルオリフィス１２４としたが、２本の第１の制限通路及び第２の制限通路を必ずしもシェイク振動及びアイドル振動に対応させる必要はなく、第１の制限通路が相対的に低い周波域の振動に対応するものとなり、第２の制限通路が相対的に高い周波域の振動に対応するものとなれば良い。

また防振装置１０では、取付金具２０をエンジン側に連結すると共に、外筒金具１２を車体側に連結するように構成したが、これとは逆に、取付金具２０を車体側に連結すると共に、外筒金具１２をエンジン側に連結するようにしても良い。

また本実施形態に係る防振装置１０では、主液室４２内の液圧上昇時に逆止弁１１６を通して液体を主液室４２から液圧空間１３０内へ供給し、この液圧空間１３０内の液圧を主液室４２の液圧上限値に対応する平衡圧に上昇させ、シェイク振動の入力時に、液圧空間１３０の液圧（正圧）によりプランジャ部材７８を開放位置から閉塞位置へ移動させていたが、これとは逆に、逆止弁を液圧空間１３０から主液室４２へのみ液体が流出させ得るように構成し、主液室４２内の液圧低下時に、この逆止弁を通して液体を液圧空間１３０から主液室４２内へ流出させることにより、液圧空間１３０内の液圧を主液室４２の液圧下限値に対応する平衡圧まで低下させ、シェイク振動の入力時に、液圧空間１３０の液圧（負圧）によりプランジャ部材７８を開放位置から閉塞位置へ移動させるようにして良い。

本発明の実施形態に係る防振装置の構成を示す軸方向に沿った断面図であり、プランジャ部材が開放位置にある状態を示している。 図１に示される防振装置の構成を示す軸方向に沿った断面図であり、プランジャ本体が閉塞位置にある状態を示している。 図１に示される防振装置における仕切金具及びプランジャ部材の構成を示す断面図であり、プランジャ部材が開放位置にある状態を示している。 図１に示される防振装置における仕切金具及びプランジャ部材の構成を示す断面図であり、プランジャ部材が閉塞位置にある状態を示している。 図１に示される防振装置における仕切金具及びプランジャ部材の構成を示す分解斜視図である。 図１に示される防振装置におけるオリフィス部材の構成を示す斜視図である。

符号の説明

１０ 防振装置
１２ 外筒金具（第１の取付部材）
２０ 取付金具（第２の取付部材）
２４ ゴム弾性体（弾性体）
３６ 仕切金具（支持部材）
４０ ダイヤフラム
４２ 主液室
４４ 副液室
７０ 共用オリフィス部
７２ 専用オリフィス部
７４ オリフィス開口
７６ シリンダ室
７８ プランジャ部材
７９ エッジ部
８４ 軸受穴
９０ コイルスプリング
１０２ 弁体
１２０ ガイドロッド（ガイド軸）
１２１ セラミック層
１２２ シェイクオリフィス（第１の制限通路）
１２４ アイドルオリフィス（第２の制限通路）
１２６ 液圧解放路
１２８ 逆止弁
１３０ 液圧空間
１３２ オリフィス空間

Claims (6)

1. 振動発生部及び振動受け部の一方に連結される第１の取付部材と、
   振動発生部及び振動受け部の他方に連結される第２の取付部材と、
   前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、
   前記弾性体を隔壁の一部として液体が封入され、該弾性体の弾性変形に伴って内容積が変化する主液室と、
   液体が封入され内容積が拡縮可能とされた副液室と、
   前記主液室と前記副液室とを互いに連通する第１の制限通路と、
   前記主液室と前記副液室とを互いに連通し、前記第１の制限通路よりも液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路と、
   前記主液室と前記副液室との間に設けられ、液体が充填されたシリンダ室と、
   前記シリンダ室内を、前記第２の制限通路の一部を構成すると共に前記副液室に連通したオリフィス空間と前記第２の制限通路から隔離された液圧空間とに区画し、前記オリフィス空間及び前記液圧空間の拡縮方向に沿って所定の開放位置と閉塞位置との間で移動可能とされたプランジャ部材と、
   前記オリフィス空間内に面するように設けられ、前記第２の制限通路における該オリフィス空間と他の部分とを連通させるオリフィス開口と、
   前記主液室と前記液圧空間との間に配置され、前記主液室内の液圧変化に伴って該主液室と前記液圧空間との間で一方向へのみ液体を流通させ得る逆止弁と、
   前記プランジャ部材を、前記液圧空間を縮小する前記開放位置側へ付勢する付勢部材と、
   前記プランジャ部材に前記拡縮方向に沿って貫通するように設けられた軸受穴と、
   前記軸受穴内に摺動可能に挿入されて前記プランジャ部材を前記拡縮方向に沿って移動するように案内するガイド軸と、を有し、
   前記軸受穴の内周面及び前記ガイド軸の外周面の少なくとも一方を、前記シリンダ室内に充填された液体中で潤滑性及び耐摩耗性を有するセラミック材料により形成し、
   前記プランジャ部材が、前記加圧空間内の液圧により前記付勢部材の付勢力に抗して前記前記閉塞位置に移動すると、前記オリフィス開口を閉塞させ、前記付勢部材の付勢力により前記開放位置へ復帰すると、前記オリフィス開口を開放することを特徴とする防振装置。
2. 前記軸受穴の内周面及び前記ガイド軸の外周面の少なくとも一方を、前記セラミック材料からなるセラミック層により形成したことを特徴とする請求項１記載の防振装置。
3. 前記プランジャ部材における前記軸受穴を含む部分及び前記ガイド軸における外周面を含む部分の少なくとも一方を、前記セラミック材料により形成したことを特徴とする請求項１記載の防振装置。
4. 前記セラミック材料として、窒化ケイ素系セラミックを用いたことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項記載の防振装置。
5. 装置内に封入される液体として、エチレングリコールを用いたこと特徴とする請求項１乃至４の何れか１項記載の防振装置。
6. 前記プランジャ部材を、前記拡縮方向を厚さ方向とする略円板状に形成すると共に、前記軸受穴及び前記ガイド軸を前記プランジャ部材の軸心と同軸的に配置したことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項記載の防振装置。

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