JP2007118581A - 硬脆性材料の薄板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】
切り出される薄板をその材料の弾性限界(乃至撓み限界)内で、かつ脆性切削と延性切削とが混在する領域内の切削速度で切削を行い、切り出される薄板に破損やクラックが生じないように切り出す。
【選択図】 図2
Description
2 刃先
3 被切断材
4 切断部分
11 被切断材(多結晶シリコンインゴット)
12 刃物工具
13 薄板(切断部分)
14 刃先
Claims (14)
- Si、SiC、Si3N4、SiO2、GaP、GaAs、GaN、InP、InS、InN、MgS、MgP、MgSe、ZnO、ZnS、ZnSe、CdS、CdS、AlN、Al2O3、BeSeから選ばれる硬脆性材料を、刃先角度が45°以下の鋭利な刃先を有する刃物工具を用い、各材料の弾性限界乃至撓(たわ)み限界内で撓ませて切断された、厚さが0.25mm以下の薄板。
- Si、SiC、Si3N4、SiO2、GaP、GaAs、GaN、InP、InS、InN、MgS、MgP、MgSe、ZnO、ZnS、ZnSe、CdS、CdSe、AlN、Al2O3、BeSeから選ばれる硬脆性の被切断材料を、切り出し厚さを0.25mm(250μm)以下とし、刃先角度が45°以下の鋭利な刃先を持つ刃物工具を用い、各材料の弾性限界乃至撓(たわ)み限界内で撓ませて切断することを特徴とする、薄板の製造方法。
- 上記硬脆性材料が金属Si又はGaAsであり、刃先角度が15°以下の刃物工具を用いて厚さ0.1mm以下の薄板を切り出す、請求項2に記載の方法。
- 上記硬脆性材料が単結晶金属Si又はGaAsであり、刃先角度が20°以下の刃物工具を用いて厚さ75μm以下の薄板を切り出す、請求項2に記載の方法。
- 上記硬脆性材料が単結晶金属Si又はGaAsであり、刃先角度が30°以下の刃物工具を用いて厚さ50μm以下の薄板を切り出す、請求項2に記載の方法。
- 上記硬脆性材料が単結晶金属Si又はGaAsであり、刃先角度が45°以下の刃物工具を用いて厚さ25μm以下の薄板を切り出す、請求項2に記載の方法。
- 上記被切断材料の切断において、切断を脆性切削及び延性切削が混在する切断速度で行う、請求項2に記載の方法。
- 上記被切断材料の切断において、切断を延性切削のみ進行する切断速度で行う、請求項2に記載の方法。
- 上記被切断材料の切断において、被切断材料を中心軸の周りに回転させながら切断する、請求項2に記載の方法。
- 上記刃物工具を回転可能な円板状に作成し、被切断材に隣接して一個、或いは被切断材の周囲に複数個を同一切断面上に配置し、回転させながら、被切断材への切り込みによって切断を行う、請求項2に記載の切断方法。
- 上記刃物工具をバイトとして作成し、被切断材に隣接して一個、或いは被切断材の幅以上の寸法に亘って同一切断面上に帯状に並べて配置し、被切断材への切り込みによって切断を行う、請求項10に記載の切断方法。
- 帯状に並べて配置された上記刃物工具を、切断面内で刃物工具の長さ方向に往復動させながら、被切断材料への切り込みによって切断を行う、請求項11に記載の切断方法。
- 上記被刃物工具の刃先が、ダイヤモンド焼結体乃至PCD又はcBN焼結体乃至PCBN、或はダイヤモンド様炭素(DLC)で被覆された超硬合金又は硬質鋼で構成されている、請求項2の方法。
- 上記被刃物工具の刃先が高速度鋼で構成されている、請求項13の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015164215A (ja) * | 2012-06-15 | 2015-09-10 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
JP5976228B2 (ja) * | 2013-08-26 | 2016-08-23 | 株式会社東京精密 | ダイシングブレード |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54152284A (en) * | 1978-05-22 | 1979-11-30 | Osaka Titanium | Method of cutting large diameter cylindrical silicon crystal |
JPS60220711A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-05 | ミクロン精密株式会社 | 半導体ウエハのスライス装置 |
JP2001205623A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-07-31 | Inst Of Physical & Chemical Res | インゴット切断装置とその方法 |
JP2002075923A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコン単結晶インゴットの加工方法 |
JP2004074792A (ja) * | 2002-08-14 | 2004-03-11 | Wacker Siltronic Ag | シリコンからなる半導体ウェーハ、その製造方法、および半導体ウェーハを製造するためのワイヤーソーのためのワイヤー案内ロール |
-
2006
- 2006-09-20 JP JP2006253632A patent/JP2007118581A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54152284A (en) * | 1978-05-22 | 1979-11-30 | Osaka Titanium | Method of cutting large diameter cylindrical silicon crystal |
JPS60220711A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-05 | ミクロン精密株式会社 | 半導体ウエハのスライス装置 |
JP2001205623A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-07-31 | Inst Of Physical & Chemical Res | インゴット切断装置とその方法 |
JP2002075923A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | シリコン単結晶インゴットの加工方法 |
JP2004074792A (ja) * | 2002-08-14 | 2004-03-11 | Wacker Siltronic Ag | シリコンからなる半導体ウェーハ、その製造方法、および半導体ウェーハを製造するためのワイヤーソーのためのワイヤー案内ロール |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015164215A (ja) * | 2012-06-15 | 2015-09-10 | 株式会社東京精密 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
JP5976228B2 (ja) * | 2013-08-26 | 2016-08-23 | 株式会社東京精密 | ダイシングブレード |
JPWO2015029987A1 (ja) * | 2013-08-26 | 2017-03-02 | 株式会社東京精密 | ダイシングブレード |
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