JP2007114216A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 第１面及び該第１面に対向する第２面を有する基板と、
   金属粒子とセラミック粒子とが混在した複合材料の焼成体であって前記第１面に形成された測定電極と、
   前記第２面に形成された基準電極とを備える酸素センサであって、
   前記測定電極の表面側は、前記第１面側よりも前記セラミック粒子の含有量が多いことを特徴とする酸素センサ素子。
2. 前記測定電極の表面に保護層が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の酸素センサ。
3. 前記保護層は、前記測定電極及び前記基板と同時に焼成されたものであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の酸素センサ素子。
4. 前記測定電極における金属粒子が、Ｐｔ，Ｒｈ，Ｐｄ、Ａｕの少なくとも一種以上からなり、前記セラミック粒子が、ジルコニアまたはアルミナを主成分とするセラミックスからなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか記載の酸素センサ素子。
5. アルミナセラミック基体中に発熱体を埋設したヒータ部を具備し、前記基板、測定電極および基準電極と同時焼成して形成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか記載の酸素センサ素子。