JP2007109967A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. 半導体処理手段と、
   表示画面を備え画像を表示する表示手段と、
   前記半導体処理手段に対する指示を入力するための指示入力画面及び／又は半導体処理手段による処理状況を表示する処理状況表示画面とを前記表示手段に表示させる表示制御手段と、
   オペレータが保持する記憶装置に記憶された識別情報を非接触で読み取る識別情報読取手段と、
   オペレータに与えられた権限を規定する権限規定情報を記憶する権限記憶手段と、を備え、
   前記表示制御手段は、前記識別情報読取手段で読み取った識別情報で特定されるオペレータに与えられた権限を前記権限記憶手段に記憶された権限規定情報から判別する権限判別手段と、該権限判別手段で判別した権限の範囲内で、オペレータが前記半導体処理手段に対する指示を入力可能とし及び／又は前記半導体処理手段による処理状況を参照可能とする操作画面を生成して前記表示手段に表示させる表示制限手段と、
   を備えることを特徴とする半導体処理装置。
2. 前記表示制御手段は、操作画面を隠蔽するスクリーンセーバを表示する手段と、前記権限判別手段が権限を有すると判別したときに、前記スクリーンセーバを解除する手段とを備える、
   ことを特徴とする請求項１に記載の半導体処理装置。
3. 前記識別情報読取手段は、オペレータが所持する非接触ＩＣタグに記憶された識別情報を読み取るＩＣタグ読取装置から構成される、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の半導体処理装置。
4. 前記半導体処理手段は、基体に処理を施す処理手段と、前記処理手段で処理された後の基体を検査する検査手段との少なくとも一方を備える、
   ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の半導体処理装置。
5. 前記権限記憶手段は、
   所定のグループ別に権限を記憶する手段と、
   各オペレータに関して、どのグループに属すかを示す所属情報を記憶する所属情報記憶手段と、
   を備える、
   ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の半導体処理装置。
6. 人事情報ファイルを参照して、該人事情報ファイル上の変更を検出し、検出した変更内容を示す変更情報を生成する変更検出手段と、
   前記変更検出手段により生成された変更情報に基づいて、前記所属情報記憶手段に記憶されている所属情報を更新する手段と、
   を更に備える、
   ことを特徴とする請求項５に記載の半導体処理装置。
7. 半導体処理ステップと、
   画像を表示する表示ステップと、
   前記半導体処理ステップに対する指示を入力するための指示入力画面及び／又は前記半導体処理手段による処理状況を表示する処理状況表示画面を前記表示ステップで表示させる表示制御ステップと、
   オペレータが保持する記憶装置に記憶された識別情報を非接触で読み取る識別情報読取ステップと、
   オペレータに与えられた権限を規定する権限規定情報を記憶する権限記憶ステップと、
   前記識別情報読取ステップで読み取った識別情報によって特定されるオペレータに与えられた権限を前記権限記憶ステップで記憶された権限規定情報から判別する権限判別ステップと、
   該権限判別ステップで判別した権限の範囲内で、オペレータが前記半導体処理ステップで指示を入力可能とし及び／又は前記半導体処理ステップの処理状況を参照可能とする操作画面を生成して前記表示ステップで表示させる表示制限ステップと、
   を備えることを特徴とする、処理状況を表示させる方法。