JP2007109408A - 電子線装置の自動調整方法及び電子線装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子線を偏向手段により偏向して走査し、任意の形状をなす試料上から発生する荷電粒子を検出して試料像を得るステップ、この走査を対物レンズの励磁強度を変化させながら得られる試料像に対し、任意の形状をなす試料形状の所定の方向におけるエッジ成分の鮮鋭度を求めるステップ、さらに対物レンズの励磁強度の変化と得られた所定の方向ごとの鮮鋭度をもとに、所定の方向ごとの対物レンズの励磁強度に対応するピーク位置を算出するステップ、この所定の方向のピーク位置の距離により、対応する非点収差補正コイルを補正するかどうかを判断するステップを備えた。
【選択図】図2
Description
なお、各コイルについての調整に際し、調整の要否に使用する閾値の値を適宜変更することができる。また、コイルの調整の順は適宜変更することができる。
11・・・電子線源
12・・・アライメントコイル
13・・・スティグコイル
14・・・対物レンズコイル
21・・・試料
30・・・検出器
41・・・電子線
42・・・荷電粒子
Claims (3)
- 電子線を偏向手段により偏向して走査し、任意の形状をなす試料上から発生する荷電粒子を検出して試料像を得るステップ、
この走査を対物レンズの励磁強度を変化させながら得られる試料像に対し、任意の形状をなす試料形状の所定の方向におけるエッジ成分の鮮鋭度を求めるステップ、
さらに対物レンズの励磁強度の変化と得られた所定の方向ごとの鮮鋭度をもとに、所定の方向ごとの対物レンズの励磁強度に対応するピーク位置を算出するステップ、
この所定の方向のピーク位置の距離により、対応する非点収差補正コイルを補正するかどうかを判断するステップを備えたことを特徴とする電子線装置の自動調整方法。 - 対象とする対物レンズの励磁強度における前記エッジ成分のピーク値の距離が閾値以下である場合には非点収差補正コイルの補正を行わず、最適な対物レンズ励磁強度値のみを求め対物レンズへと設定し、前記エッジ成分のピーク値の距離が閾値を超える場合には対応する非点収差補正コイルを再調整し、その後再度対物レンズの励磁強度を変化させながら、得られるエッジ成分のピーク値間の距離が閾値以下であるかどうかを繰り返し判断することを特徴とする請求項1記載の電子線装置の自動調整方法。
- 請求項1または2の電子線装置の自動調整方法で調整を行うことを特徴とする電子線装置。
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