JP5763992B2 - 透過型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法、プログラム及び情報記憶媒体 - Google Patents
透過型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法、プログラム及び情報記憶媒体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5763992B2 JP5763992B2 JP2011148887A JP2011148887A JP5763992B2 JP 5763992 B2 JP5763992 B2 JP 5763992B2 JP 2011148887 A JP2011148887 A JP 2011148887A JP 2011148887 A JP2011148887 A JP 2011148887A JP 5763992 B2 JP5763992 B2 JP 5763992B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron microscope
- transmission electron
- image
- sample
- electron beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
透過電子顕微鏡像を取得する像取得部と、
電子線を試料に照射して取得した第1の透過電子顕微鏡像に対してフーリエ変換を行ってフーリエ変換像を生成し、前記フーリエ変換像において高周波成分が多くなる方向を検出する方向検出部と、
試料に照射される電子線を、検出された方向に試料に対して傾斜させるための制御を行う制御部と、
前記第1の透過電子顕微鏡像と、電子線を検出された方向に試料に対して傾斜させた状態で取得した第2の透過電子顕微鏡像の相互相関をとって、前記第1及び第2の透過電子顕微鏡像間の位置ずれ量を求め、求めた位置ずれ量に基づきデフォーカス量を検出するデフォーカス量検出部とを含む透過型電子顕微鏡に関する。
前記方向検出部が、
前記フーリエ変換像を中心から放射状に複数の領域に分割した場合に、前記複数の領域のうち高周波成分の比率が最も高い領域の方向を検出してもよい。
電子線を試料に照射して第1の透過電子顕微鏡像を取得する第1の像取得工程と、
前記第1の透過電子顕微鏡像に対してフーリエ変換を行ってフーリエ変換像を生成し、前記フーリエ変換像において高周波成分が多くなる方向を検出する方向検出工程と、
試料に照射される電子線を、検出された方向に試料に対して傾斜させるための制御を行う制御工程と、
電子線を検出された方向に試料に対して傾斜させた状態で第2の透過電子顕微鏡像を取得する第2の像取得工程と、
前記第1及び第2の透過電子顕微鏡像に基づきデフォーカス量を調整するデフォーカス量調整工程とを含む、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法に関する。
前記方向検出工程において、
前記フーリエ変換像を中心から放射状に複数の領域に分割した場合に、前記複数の領域のうち高周波成分の比率が最も高い領域の方向を検出してもよい。
図1に、本実施形態に係る電子顕微鏡(透過型電子顕微鏡)の構成の一例を示す。なお本実施形態の、電子顕微鏡は図1の構成要素(各部)の一部を省略した構成としてもよい。
次に、本実施形態の処理の一例について図2のフローチャートを用いて説明する。
Claims (6)
- 透過電子顕微鏡像を取得する像取得部と、
電子線を試料に照射して取得した第1の透過電子顕微鏡像に対してフーリエ変換を行ってフーリエ変換像を生成し、前記フーリエ変換像において高周波成分が多くなる方向を検出する方向検出部と、
試料に照射される電子線を、検出された方向に試料に対して傾斜させるための制御を行う制御部と、
前記第1の透過電子顕微鏡像と、電子線を検出された方向に試料に対して傾斜させた状態で取得した第2の透過電子顕微鏡像の相互相関をとって、前記第1及び第2の透過電子顕微鏡像間の位置ずれ量を求め、求めた位置ずれ量に基づきデフォーカス量を検出するデフォーカス量検出部とを含む、透過型電子顕微鏡。 - 請求項1において、
前記方向検出部が、
前記フーリエ変換像を中心から放射状に複数の領域に分割した場合に、前記複数の領域のうち高周波成分の比率が最も高い領域の方向を検出する、透過型電子顕微鏡。 - 電子線を試料に照射して第1の透過電子顕微鏡像を取得する第1の像取得工程と、
前記第1の透過電子顕微鏡像に対してフーリエ変換を行ってフーリエ変換像を生成し、前記フーリエ変換像において高周波成分が多くなる方向を検出する方向検出工程と、
試料に照射される電子線を、検出された方向に試料に対して傾斜させるための制御を行う制御工程と、
電子線を検出された方向に試料に対して傾斜させた状態で第2の透過電子顕微鏡像を取得する第2の像取得工程と、
前記第1及び第2の透過電子顕微鏡像に基づきデフォーカス量を調整するデフォーカス量調整工程とを含む、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法。 - 請求項3において、
前記方向検出工程において、
前記フーリエ変換像を中心から放射状に複数の領域に分割した場合に、前記複数の領域のうち高周波成分の比率が最も高い領域の方向を検出する、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法。 - 透過型電子顕微鏡が備えるコンピュータを、
透過電子顕微鏡像を取得する像取得部と、
電子線を試料に照射して取得した第1の透過電子顕微鏡像に対してフーリエ変換を行ってフーリエ変換像を生成し、前記フーリエ変換像において高周波成分が多くなる方向を検出する方向検出部と、
試料に照射される電子線を、検出された方向に試料に対して傾斜させるための制御を行う制御部と、
前記第1の透過電子顕微鏡像と、電子線を検出された方向に試料に対して傾斜させた状態で取得した第2の透過電子顕微鏡像の相互相関をとって、前記第1及び第2の透過電子顕微鏡像間の位置ずれ量を求め、求めた位置ずれ量に基づきデフォーカス量を検出するデフォーカス量検出部として機能させるためのプログラム。 - コンピュータ読み取り可能な情報記憶媒体であって、請求項5に記載のプログラムを記憶した情報記憶媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011148887A JP5763992B2 (ja) | 2011-07-05 | 2011-07-05 | 透過型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法、プログラム及び情報記憶媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011148887A JP5763992B2 (ja) | 2011-07-05 | 2011-07-05 | 透過型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法、プログラム及び情報記憶媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013016370A JP2013016370A (ja) | 2013-01-24 |
JP5763992B2 true JP5763992B2 (ja) | 2015-08-12 |
Family
ID=47688873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011148887A Active JP5763992B2 (ja) | 2011-07-05 | 2011-07-05 | 透過型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法、プログラム及び情報記憶媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5763992B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5424261B1 (ja) * | 1970-01-23 | 1979-08-20 | ||
JPS61233950A (ja) * | 1985-04-10 | 1986-10-18 | Hitachi Ltd | 電子顕微鏡 |
NL9100076A (nl) * | 1991-01-17 | 1992-08-17 | Philips Nv | Methode voor automatische uitlijning van een elektronenmicroscoop en een elektronenmicroscoop geschikt voor uitvoering van een dergelijke methode. |
JP3112548B2 (ja) * | 1992-03-30 | 2000-11-27 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子ビーム装置における像信号処理方法 |
JP4154939B2 (ja) * | 2002-07-16 | 2008-09-24 | 日本電子株式会社 | 透過電子顕微鏡および焦点合わせ方法 |
-
2011
- 2011-07-05 JP JP2011148887A patent/JP5763992B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013016370A (ja) | 2013-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4383950B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP6326303B2 (ja) | 収差計測角度範囲計算装置、収差計測角度範囲計算方法、および電子顕微鏡 | |
JP2006253156A (ja) | 荷電粒子ビームカラムのアライメント方法および装置 | |
US11087951B2 (en) | Scanning transmission electron microscope and aberration correction method | |
US8772714B2 (en) | Transmission electron microscope and method of observing TEM images | |
JP4829584B2 (ja) | 電子線装置の自動調整方法及び電子線装置 | |
JP2019075286A (ja) | 電子顕微鏡および試料傾斜角の調整方法 | |
JP6106547B2 (ja) | 透過電子顕微鏡 | |
JP5478385B2 (ja) | コントラスト・ブライトネス調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP5763992B2 (ja) | 透過型電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡のデフォーカス量調整方法、プログラム及び情報記憶媒体 | |
WO2020235091A1 (ja) | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の制御方法 | |
JP4431624B2 (ja) | 荷電粒子線調整方法、及び荷電粒子線装置 | |
JP4634324B2 (ja) | 透過電子顕微鏡 | |
JP2008181778A (ja) | 荷電粒子ビーム装置の自動軸合わせ方法及び荷電粒子ビーム装置 | |
KR102628711B1 (ko) | 하전 입자선 장치 | |
US20230127255A1 (en) | Electron Microscope and Image Acquisition Method | |
JP5502794B2 (ja) | 電子顕微鏡 | |
JP2018181629A (ja) | 撮影方法および透過電子顕微鏡 | |
JP5191714B2 (ja) | 電子線装置の自動補正方法、コンピュータプログラム、記録媒体及び電子線装置 | |
NL2008901C2 (en) | Method and particle beam device for focusing a particle beam. | |
US11742172B2 (en) | Charged particle beam device and control method thereof | |
JP7114417B2 (ja) | 電子顕微鏡および電子顕微鏡の調整方法 | |
US10446365B2 (en) | Method of verifying operation parameter of scanning electron microscope | |
JP2004055143A (ja) | 透過電子顕微鏡および焦点合わせ方法 | |
JP6478870B2 (ja) | 画像生成装置及び画像生成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140513 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20150119 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150128 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150330 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5763992 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |