JP2007108173A5 - - Google Patents

Claims (4)

1. 帯電可能表面上の電荷欠損スポット（ＣＤＳ）を検出するためのコンタクトレスシステムであって、
   第１の電圧電荷を受け取り保持するように、帯電可能表面を帯電するための第１の回路と、
   前記帯電可能表面からある距離だけ変位されかつ直径を有するプローブ表面を有するスキャナプローブと、
   前記スキャナプローブを、前記第１の電圧電荷の所定の電圧閾値内の第２の電圧電荷までバイアスするための第２の回路と、
   を含み、前記帯電可能表面と、前記スキャナプローブの表面と該帯電可能表面との間の誘電物質により平行板コンデンサが確立され（established）、前記スキャナプローブが、前記印加された電荷により誘起された電荷に関連する電位、及び前記帯電可能表面上のＣＤＳのいずれかに関連する電位を読み取り、このことは、前記電位を感知し、前記感知に対応する信号を生成することを含んでおり、
   前記スキャナプローブと前記帯電可能表面の少なくとも一方に基準電荷を印加するための第３の回路と、
   プロセッサと、
   前記帯電可能表面上のＣＤＳの電位を求めるために、前記スキャナプローブの読み取り値及び前記印加された電荷の少なくとも１つに基づいて、前記プロセッサにより実行可能なプログラム可能命令を含む電荷判断モジュールと、
   を含み、これは、前記帯電可能表面上の前記ＣＤＳの点状性質により引き起される非一様な電荷分布を修正することを含み、
   前記修正は、前記スキャナプローブの直径と、前記帯電可能表面がスキャンされている場所における前記帯電可能表面に対する前記スキャナプローブ表面からの距離とに基づいて前記ＣＤＳの前記決定された電位を調整することを含む
   ことを特徴とするコンタクトレスシステム。
2. 前記調整は、さらに、前記誘電物質の厚みに基づくことを特徴とする請求項１に記載の走査システム。
3. 前記帯電可能表面及び前記スキャナプローブが互いに移動するときに、前記帯電可能表面のＣＤＳを走査するために、前記スキャナプローブと前記帯電可能表面との間の相対運動を確立するための機構と、
   前記スキャナプローブと前記帯電可能表面との間の前記相対運動が確立されるときに、前記スキャナプローブの表面と前記帯電可能表面との間の距離を一定に維持するための装置と、
   をさらに含む請求項１に記載の走査システム。
4. 前記スキャナプローブの読み取り及び以前に生成された較正曲線に基づいて、前記帯電可能表面が走査されている場所において、前記スキャナプローブの表面と前記帯電可能表面との間の前記距離を求めるために、前記プロセッサにより実行可能なプログラム可能命令を含む距離修正モジュールをさらに含む請求項３に記載の走査システム。