JP2007103811A - 半導体発光装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本実施形態に係る半導体発光装置1は、基板10に形成され、基板10の主面に垂直方向に光を出射する発光素子3と、基板10と発光素子3との間に形成された光検出素子2とを有し、光検出素子2は、基板10と発光素子3の間に形成された半導体層11と、基板10の主面に水平方向に半導体層11の両側に形成された第1導電型領域21および第2導電型領域22とを有する。
【選択図】図2
Description
本発明の他の目的は、光検出素子および発光素子を加工するためのエッチングに要求される精度を低下させて、簡易に半導体発光装置を製造することができる半導体発光装置の製造方法を提供することにある。
本発明の半導体発光装置の製造方法によれば、光検出素子および発光素子を加工するためのエッチングに要求される精度を低下させて、簡易に半導体発光装置を製造することができる。
図1は、本実施形態に係る半導体発光装置1の上面図である。図2は、本実施形態に係る半導体発光装置1の断面図である。図2は、図1のA−A’線における断面図である。
図12は、第2実施形態に係る半導体発光装置1の断面図である。
例えば、発光素子3は、面発光レーザ以外にも面発光ダイオード(LED)であってもよい。また、本実施形態では、GaAs系材料を用いた半導体発光装置の例について説明したが、材料に限定はない。
その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。
Claims (10)
- 基板に形成され、前記基板の主面に垂直方向に光を出射する発光素子と、
前記基板と前記発光素子との間に形成された光検出素子と
を有し、
前記光検出素子は、
前記基板と前記発光素子の間に形成された半導体層と、
前記基板の主面に水平方向に前記半導体層の両側に形成された第1導電型領域および第2導電型領域と
を有する半導体発光装置。 - 前記発光素子と前記光検出素子との間に形成された絶縁層をさらに有する
請求項1記載の半導体発光装置。 - 前記発光素子は、前記基板側から順に、第1反射層と、活性層と、第2反射層とを有する
請求項1記載の半導体発光装置。 - 前記第1反射層の一部により、前記光検出素子の前記半導体層が形成された
請求項3記載の半導体発光装置。 - 前記発光素子は、面発光レーザ素子である
請求項1記載の半導体発光装置。 - 基板上に光検出素子用の半導体層を形成する工程と、
前記半導体層上にコンタクト層を形成する工程と、
前記コンタクト層上に発光素子用の半導体積層膜を形成する工程と、
前記半導体積層膜をエッチングにより加工して、柱状の半導体積層膜のパターンを形成する工程と、
前記半導体積層膜の外側のコンタクト層をエッチングにより加工して、前記半導体層を露出させる工程と、
前記半導体積層膜の両側における前記半導体層の一部に、第1導電型領域および第2導電型領域を形成する工程と
を有する半導体発光装置の製造方法。 - 前記第1導電型領域および前記第2導電型領域を形成する工程の後に、前記半導体積層膜、前記コンタクト層、前記第1導電型領域および前記第2導電型領域上のそれぞれに電極を形成する工程をさらに有する
請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。 - 前記半導体層を形成する工程の後、前記コンタクト層を形成する工程の前に、前記半導体層上に絶縁層を形成する工程をさらに有する
請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。 - 前記半導体層を形成する工程において、真性半導体層を形成する
請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。 - 前記半導体層を形成する工程において、真性半導体であって、屈折率の異なる複数種の層を繰り返し積層する
請求項6記載の半導体発光装置の製造方法。
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