JP2007101430A - レーザドップラ振動計 - Google Patents
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Abstract
【課題】レーザ光の半波長を超える変位を適正に算出する。
【解決手段】位相処理部119は、直交復調器118がビート信号を参照信号を用いて直交復調したI成分とQ成分が示すIQ座標平面上の座標の逆正接θより、変位がλ/2であるときθが2π変化するものとして、測定対象物100の変位を求める。カウンタ116は、ビート信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントアップ動作を行うと共に、レーザ光の位相シフトに用いた参照信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントダウン動作を行う。加算変位算出部120は、カウンタ116のカウント値にレーザ光の半波長λ/2を乗じた値を加算変位として加算部121に出力する。加算部121は、位相処理部119から入力する変位と、加算変位算出部120から入力する加算変位を加算し、測定対象物100の変位として出力する。
【選択図】図1
【解決手段】位相処理部119は、直交復調器118がビート信号を参照信号を用いて直交復調したI成分とQ成分が示すIQ座標平面上の座標の逆正接θより、変位がλ/2であるときθが2π変化するものとして、測定対象物100の変位を求める。カウンタ116は、ビート信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントアップ動作を行うと共に、レーザ光の位相シフトに用いた参照信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントダウン動作を行う。加算変位算出部120は、カウンタ116のカウント値にレーザ光の半波長λ/2を乗じた値を加算変位として加算部121に出力する。加算部121は、位相処理部119から入力する変位と、加算変位算出部120から入力する加算変位を加算し、測定対象物100の変位として出力する。
【選択図】図1
Description
本発明は、測定対象物の振動や変位を測定するレーザドップラ振動計に関するものである。
測定対象物の振動や変位を測定するレーザドップラ振動計としては、たとえば、図3に示す構成を備えた、直交復調を用いたレーザドップラ振動計が知られている(たとえば、特許文献1)。
図中において、レーザ光源1から出射された周波数f0のレーザービームは、第1ビームスプリッタ2で二分され、二分された一方のビームは、音響光学素子3において、参照信号生成部7が生成する周波数fMの参照信号を用いて、周波数fM分、周波数がシフトされ周波数f0+fMの参照ビームとして、第2ビームスプリッタ4を介して光電変換器5に入射する。一方、二分された他方のビームは、第3ビームスプリッタ6を介して測定対象物100に照射され、測定対象物100で反射された反射ビームは、第3ビームスプリッタ6、ミラー8、第2ビームスプリッタ4を介して光電変換器5に入射する。
図中において、レーザ光源1から出射された周波数f0のレーザービームは、第1ビームスプリッタ2で二分され、二分された一方のビームは、音響光学素子3において、参照信号生成部7が生成する周波数fMの参照信号を用いて、周波数fM分、周波数がシフトされ周波数f0+fMの参照ビームとして、第2ビームスプリッタ4を介して光電変換器5に入射する。一方、二分された他方のビームは、第3ビームスプリッタ6を介して測定対象物100に照射され、測定対象物100で反射された反射ビームは、第3ビームスプリッタ6、ミラー8、第2ビームスプリッタ4を介して光電変換器5に入射する。
ここで、反射ビームの周波数には、測定対象物100の速度に応じたドップラシフトfDが生じており、反射ビームの周波数はf0+fDとなる。したがって、参照ビームと反射ビームとの干渉によりfM±fDのビート信号が光電変換器5において観測される。また、このビート信号と参照信号生成部7が生成する参照信号との間には、参照ビームと反射ビームの光路長の差によって位相差が生じる。そこで、この位相差より変位算出装置9において測定対象物の表面の変位が求められる。
さて、光電変換器5で反射光ビームを変換した電気信号と、参照信号生成部7が生成した参照信号は、変位算出装置9に入力する。変位算出装置9の直交復調器91は、光電変換器5から入力する電気信号に含まれるビート信号を、同期検波を行うことにより参照信号と同じ位相の成分(I成分)と、その位相に対しπ/4度進んだ位相の成分(Q成分)の2つの成分に分解して、位相処理部92に出力する。位相処理部92は、I成分とQ成分によって示される、IQ座標平面上の点の逆正接をビート信号と参照信号との位相差θとし、位相差θを変位に変換し、加算部93に出力する。ここで、反射ビームと参照ビームとの光路長の差が、レーザ光の1波長分変化したとき、ビート信号と参照信号との位相差の変化は2πとなり、測定対象物がレーザ光の1/2波長変位したときに、反射ビームと参照ビームとの光路長の差の変化はレーザ光の1波長となる。したがって、たとえば、(レーザ光の波長λ/2)×(θ/2π)を、測定対象物100の変位として位相処理部92において求めることができる。
さて、直交復調部92では、その原理上、2π以上の位相差θを求めることはできない。したがって、位相処理部92では、レーザ光の1/2波長以上の変位を算出することができない。そこで、マイクロコンピュータ94は、位相処理部が求めた位相差θを監視し、θが増加方向に2π変化する毎に、レーザ光の1/2波長分の変位を積算し、θが減少方向に2π変化する毎に、レーザ光の-1/2波長分の変位を積算値から減算していく、そして積算値を加算部93に出力する。
そして、加算部93は、位相処理部92から入力する変位と、マイクロコンピュータ94から入力する積算値を加算し、測定対象物100の変位として出力する。
特開平10-318827号公報
前述のように、図3に示した従来レーザドップラ振動計では、位相差処理部92が求めた位相差θよりビート信号と参照信号の2πを単位とする位相差をマイクロコンピュータ94で算出するが、この構成には以下の問題がある。
すなわち、測定対象物100が一度に大きく変位した場合には、マイクロコンピュータ94において、位相差処理部92が求めた位相差θの前回求めた位相差θからの増減方向や増減量を判別することができなくなる。すなわち、たとえば、位相差θが0、π/4、π/2、3π/4、πと漸次的に変化した場合には位相差θが増加方向に変化して0からπになったと蓋然性をもって判別することもできるが、位相差θが一度に0からπに変化した場合には、位相差θが増加方向に変化して0からπに変化したのか、位相差θが減少方向に変化して0からπに変化したのかは、これを判別することができない。また、たとえば、位相差θが一度に0からπに変化した場合に、これが反射ビームと参照ビームとの光路長の差の変化が、ビート信号と参照信号との位相差をπ変化させるものであるために生じたのか、3π変化させるものであるために生じたのか、-3π変化させるものであるために生じたのかは、これを判別することができない。
すなわち、測定対象物100が一度に大きく変位した場合には、マイクロコンピュータ94において、位相差処理部92が求めた位相差θの前回求めた位相差θからの増減方向や増減量を判別することができなくなる。すなわち、たとえば、位相差θが0、π/4、π/2、3π/4、πと漸次的に変化した場合には位相差θが増加方向に変化して0からπになったと蓋然性をもって判別することもできるが、位相差θが一度に0からπに変化した場合には、位相差θが増加方向に変化して0からπに変化したのか、位相差θが減少方向に変化して0からπに変化したのかは、これを判別することができない。また、たとえば、位相差θが一度に0からπに変化した場合に、これが反射ビームと参照ビームとの光路長の差の変化が、ビート信号と参照信号との位相差をπ変化させるものであるために生じたのか、3π変化させるものであるために生じたのか、-3π変化させるものであるために生じたのかは、これを判別することができない。
したがって、このような場合には、マイクロコンピュータ94において正しく積算値を算出することができず、この結果、測定対象物100の変位を正しく算出することができなくなる。よって、このようなレーザドップラ振動計の変位測定の信頼性は必ずしも充分ではない。
なお、充分に短い時間間隔で位相差θの算出や、マイクロコンピュータ94における積算値の算出の処理を行えば、位相差θが大きく変化することを抑制することができるが、この場合には、マイクロコンピュータ94に高い処理能力が必要となる。
そこで、本発明は、より信頼性高く、測定対象物の変位を測定することのできるレーザドップラ振動計を提供することを課題とする。
そこで、本発明は、より信頼性高く、測定対象物の変位を測定することのできるレーザドップラ振動計を提供することを課題とする。
前記課題達成のために、本発明は、レーザ光源と、レーザ光源から出射されたビームを二つのビームに分離するビームスプリッタと、分離されたビームの内の一方のビームの周波数を、所定周波数の参照信号を用いて参照信号の周波数分シフトさせて参照ビームとして出力する周波数シフト手段と、分離されたビームの内の他方のビームを測定対象物に照射し、測定対象物で反射した反射ビームと前記参照ビームとを干渉させビート信号を生成するビート信号生成手段とを有するレーザドップラ振動計に、前記参照信号を用いてビート信号を直交成分に分解する直交復調器と、直交復調器が分解した直交成分を変位に変換する変位変換手段と、前記ビート信号の1周期の出現回数と前記参照信号の1周期の出現回数の差を計数する計数手段と、前記計数手段の計数値に前記レーザ光源から出射されるビームの波長の1/2を乗じた値を加算変位として算出する加算変位算出手段と、前記変位変換手段が変換した変位と、前記加算変位算出手段が算出した加算変位とを加算し出力する加算手段とを備えたものである。
このような、レーザドップラ振動計によれば、ビート信号と参照信号の2πを単位とする位相差を、計数手段によりビート信号と参照信号より直接計測する。したがって、従来のレーザドップラ振動計の位相差処理部が求めた位相差θよりビート信号と参照信号の2πを単位とする位相差をマイクロコンピュータで算出する構成とは異なり、測定対象物が短期間に大きく変位した場合でも、適正に当該変移を算出することができる。よって、従来のレーザドップラ振動計に比べ、より信頼性高く、測定対象物の変位を測定することができる。また、このような構成は、マイクロコンピュータによるソフトウエア処理によらずとも、前記ビート信号の1周期毎にカウントアップ動作を行い、前記参照信号の1周期毎にカウントダウン動作を行うカウンタを計数手段として用いたりすることにより、簡易なハードウエア回路として安価かつ高速処理可能に形成することができる。
以上のように、本発明によれば、より信頼性高く、測定対象物の変位を測定するレーザ測定装置を提供することができる。
以下、本発明の実施形態を説明する。
図1に、本実施形態に係るレーザドップラ振動計の構成を示す。
図示するように、レーザドップラ振動計は、レーザ光源1、第1ビームスプリッタ2、音響光学素子3、第2ビームスプリッタ4、光電変換器5、第3ビームスプリッタ6、参照信号生成部7、ミラー8、送受光光学部10、変位算出装置11とを備えている。
また、変位算出装置11は、バンドパスフィルタ111、ログアンプ112、ビート信号アンプ113、ビート信号成形処理部114、参照信号成形処理部115、カウンタ116、参照信号アンプ117、直交復調器118、位相処理部119、加算変位算出部120、加算部121とを備えている。
図1に、本実施形態に係るレーザドップラ振動計の構成を示す。
図示するように、レーザドップラ振動計は、レーザ光源1、第1ビームスプリッタ2、音響光学素子3、第2ビームスプリッタ4、光電変換器5、第3ビームスプリッタ6、参照信号生成部7、ミラー8、送受光光学部10、変位算出装置11とを備えている。
また、変位算出装置11は、バンドパスフィルタ111、ログアンプ112、ビート信号アンプ113、ビート信号成形処理部114、参照信号成形処理部115、カウンタ116、参照信号アンプ117、直交復調器118、位相処理部119、加算変位算出部120、加算部121とを備えている。
そして、直交復調器118は、位相スプリッタ1181、I信号用ミキサ1182、Q信号用ミキサ1183、I信号用ローパスフィルタ1184、Q信号用ローパスフィルタ1185、I信号用A/D変換器1186、Q信号用A/D変換器1187を備えている。
さて、このような構成において、レーザ光源1から出射された周波数f0のレーザービームは、第1ビームスプリッタ2で二分され、二分された一方のビームは、音響光学素子3で参照信号生成部7が生成する周波数fMの参照信号を用いて、周波数fM分、周波数がシフトされ周波数f0+fMの参照ビームとして、第2ビームスプリッタ4を介して光電変換器5に入射する。一方、二分された他方のビームは、第3ビームスプリッタ6と送受光光学部10を介して、回転する測定対象物100に照射され、測定対象物100の表面で反射された反射ビームは送受光光学部10で受光され、第3ビームスプリッタ6、ミラー8、第2ビームスプリッタ4を介して光電変換器5に入射する。
ここで、反射ビームの周波数には、測定対象物100の速度に応じたドップラシフトfDが生じており、反射ビームの周波数はf0+fDとなる。したがって、参照ビームと反射ビームとの干渉によりfM±fDのビート信号成分が光電変換器5で変換される電気信号に含まれる。
変位算出装置11において、バンドパスフィルタ111は、光電変換器5から入力する電気信号からビート信号成分を抽出する。抽出されたビート信号成分は、ログアンプ112、ビート信号アンプ113で増幅された後、直交復調器118に入力する。一方、参照信号生成部7から入力する参照信号は、参照信号アンプ117で増幅された後、直交復調器118に入力する。
直交復調器118において、参照信号は、位相スプリッタ1181により、参照信号(0)と、位相をπ/2進めた参照信号(π/2)に分離される。I信号用ミキサ1182は、参照信号(0)でビート信号アンプ113から入力するビート信号成分を同期検波しI信号を出力する。また、Q信号用ミキサ1183は、参照信号(π/2)でビート信号アンプ113から入力するビート信号成分を同期検波しQ信号を出力する。そして、I信号用ミキサ1182から出力されるI信号は、I信号用ローパスフィルタ1184で不要成分が除去された後、I信号用A/D変換器1186でデジタル信号に変換され位相処理部119に入力する。また、Q信号用ミキサ1183から出力されるQ信号は、Q信号用ローパスフィルタ1185で不要成分が除去された後、Q信号用A/D変換器1187でデジタル信号に変換され位相処理部119に入力する。
位相処理部119は、I信号用A/D変換器1186から入力されるデジタルI信号と、Q信号用A/D変換器1187から入力されるデジタルQ信号によって示される、IQ座標平面上における点の逆正接を参照信号とビート信号との位相差θとし、位相差θを変位に変換し、加算部121に出力する。ここで、参照ビームと反射ビームの光路長の差が、レーザ光の1波長分変化したとき、参照信号とビート信号の位相差の変化は2πとなり、測定対象物100がレーザ光の1/2波長変位したときに、参照ビームと反射ビームの光路長の差の変化はレーザ光の1波長となる。したがって、たとえば、(レーザ光の波長λ/2)×(θ/2π)を、測定対象物100の変位として位相処理部119において求めることができる。
一方、バンドパスフィルタ111で抽出されたビート信号はビート信号成形処理部114に送られて、矩形波に成形された後、カウンタ116のアップ端子に入力する。また、参照信号アンプ117から出力される参照信号は、参照信号成型処理部に送られて矩形波に成形された後、カウンタ116のダウン端子に入力する。
カウンタ116は、ビート信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントアップ動作を行うと共に、参照信号を成形した矩形波の1周期毎にカウントダウン動作を行う。そして、加算変位算出部120は、カウンタ116のカウント値にレーザ光の半波長λ/2を乗じた値を加算変位として加算部121に出力する。
そして、加算部121は、位相処理部119から入力する変位と、加算変位算出部120から入力する加算変位を加算し、測定対象物100の変位として出力する。
ここで、以上のようなカウンタ116の動作例を図2に示す。
まず、バンドパスフィルタ111で抽出されたビート信号がaに示すような波形を有するものであった場合、ビート信号は、ビート信号成形処理部114によって、bに示す、ビート信号と同周期の矩形波に変換される。参照信号アンプ117から出力される参照信号も、同様に参照信号成形処理部115によって、参照信号と同周期の矩形波に変換される。
ここで、以上のようなカウンタ116の動作例を図2に示す。
まず、バンドパスフィルタ111で抽出されたビート信号がaに示すような波形を有するものであった場合、ビート信号は、ビート信号成形処理部114によって、bに示す、ビート信号と同周期の矩形波に変換される。参照信号アンプ117から出力される参照信号も、同様に参照信号成形処理部115によって、参照信号と同周期の矩形波に変換される。
カウンタ116は、たとえば、ビート信号を変換した矩形波の立ち上がりでカウントアップ動作を行うと共に、参照信号を変換した矩形波の立ち上がりでカウントダウン動作を行う。
この結果、ビート信号と参照信号がcに示すようなものであった場合、図示するように、カウンタ116のカウント値は変化する。そして、加算変位算出部120は、たとえば、参照信号の立ち上がりでカウンタ116がカウントダウン動作して得られたカウント値にレーザ光の半波長λ/2を乗じた値を加算変位として求め、求めた加算変位を出力する。ここで、この加算変位算出部120は、求めた加算変位の出力を、次の参照信号の立ち上がりでカウンタ116が次のカウントダウン動作を行うまで維持する。
この結果、ビート信号と参照信号がcに示すようなものであった場合、図示するように、カウンタ116のカウント値は変化する。そして、加算変位算出部120は、たとえば、参照信号の立ち上がりでカウンタ116がカウントダウン動作して得られたカウント値にレーザ光の半波長λ/2を乗じた値を加算変位として求め、求めた加算変位を出力する。ここで、この加算変位算出部120は、求めた加算変位の出力を、次の参照信号の立ち上がりでカウンタ116が次のカウントダウン動作を行うまで維持する。
以上、本発明の実施形態について説明した。
以上のように、本実施形態によれば、ビート信号と参照信号の2πを単位とする位相差を、カウンタ116を用いてビート信号と参照信号より直接計測する。したがって、測定対象物100が短期間に大きく変位した場合でも、適正に当該変移を算出することができる。よって、信頼性高く、測定対象物100の変位を適正に測定することができる。また、このようなカウンタ116を用いる構成は、マイクロコンピュータによるソフトウエア処理によらずとも、簡易なハードウエア回路として安価かつ高速処理可能に形成することができる。
以上のように、本実施形態によれば、ビート信号と参照信号の2πを単位とする位相差を、カウンタ116を用いてビート信号と参照信号より直接計測する。したがって、測定対象物100が短期間に大きく変位した場合でも、適正に当該変移を算出することができる。よって、信頼性高く、測定対象物100の変位を適正に測定することができる。また、このようなカウンタ116を用いる構成は、マイクロコンピュータによるソフトウエア処理によらずとも、簡易なハードウエア回路として安価かつ高速処理可能に形成することができる。
1…レーザ光源、2…第1ビームスプリッタ、3…音響光学素子、4…第2ビームスプリッタ、5…光電変換器、6…第3ビームスプリッタ、7…参照信号生成部、8…ミラー、10…送受光光学部、11…変位算出装置、100…測定対象物、111…バンドパスフィルタ、112…ログアンプ、113…ビート信号アンプ、114…ビート信号成形処理部、115…参照信号成形処理部、116…カウンタ、117…参照信号アンプ、118…直交復調器、119…位相処理部、120…加算変位算出部、121…加算部、1181…位相スプリッタ、1182…I信号用ミキサ、1183…Q信号用ミキサ、1184…I信号用ローパスフィルタ、1185…Q信号用ローパスフィルタ、1186…信号用A/D変換器、1187…Q信号用A/D変換器。
Claims (2)
- レーザ光源と、レーザ光源から出射されたビームを二つのビームに分離するビームスプリッタと、分離されたビームの内の一方のビームの周波数を、所定周波数の参照信号を用いて参照信号の周波数分シフトさせて参照ビームとして出力する周波数シフト手段と、分離されたビームの内の他方のビームを測定対象物に照射し、測定対象物で反射した反射ビームと前記参照ビームとを干渉させビート信号を生成するビート信号生成手段とを有するレーザドップラ振動計であって、
前記参照信号を用いてビート信号を直交成分に分解する直交復調器と、
直交復調器が分解した直交成分を変位に変換する変位変換手段と、
前記ビート信号の1周期の出現回数と前記参照信号の1周期の出現回数の差を計数する計数手段と、
前記計数手段の計数値に前記レーザ光源から出射されるビームの波長の1/2を乗じた値を加算変位として算出する加算変位算出手段と、
前記変位変換手段が変換した変位と、前記加算変位算出手段が算出した加算変位とを加算し出力する加算手段とを有することを特徴とするレーザドップラ振動計。 - 請求項1記載のレーザドップラ振動計であって、
前記計数手段は、前記ビート信号の1周期毎にカウントアップ動作を行い、前記参照信号の1周期毎にカウントダウン動作を行うカウンタであることを特徴とするレーザドップラ振動計。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014039838A (ja) * | 2013-09-20 | 2014-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | 生体状態取得装置、生体状態取得プログラム、生体状態取得装置を備えた機器及び空気調和機 |
CN106918389A (zh) * | 2017-03-23 | 2017-07-04 | 中冶建筑研究总院有限公司 | 一种基于多普勒光学位移法的振型分析方法及其应用 |
JP2020148587A (ja) * | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 沖電気工業株式会社 | 光コヒーレントセンサ |
-
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