JP2007096127A - 薄型基板の洗浄方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄型のプリント基板、プリント配線板等の薄型基板における対向する縁部を支持することにより、基板を保持し、基板上面に洗浄液を吹き付けて該上面を洗浄する洗浄方法であって、(i) 基板下面に沿って開口する排出口から液を溢出し続けることにより基板を下方から支持しつつ洗浄を行ない、或いは、(ii)一対の支持部の向き合う側を高く、その外側を低くして、基板を上下方向から挟持して支持することにより、少なくとも非洗浄状態において基板を上に凸の形状に保持して洗浄を行なう方法及び装置。
【選択図】図2
Description
支持部の載置部211の幅: 5mm[3〜15mm]
給液装置の排出口411の開口径: 50mm[10〜200mm]
基板Wから給液装置の排出口411までの距離: 10mm[5〜20mm]
次に、この実施形態に係る洗浄装置を使用した基板の洗浄方法について説明する。これには、以下の3通りの実施方法がある。
(i) 給液装置で基板を支える洗浄方法
(ii) 支持部により基板を把持する洗浄方法
(iii) 上記(i)及び(ii)を併用する洗浄方法
最初に、上記(i)の方法について説明する。先ず、基板WをガイドレールGに沿って移動し、ステーションS1に停止させる。基板Wは、この方法においては、支持部2の載置部211(ここでは載置面が水平)に載置された状態で保持される(押さえ部22による挟持はされない)。給液装置4の位置は、一対の支持部2における基板支持箇所を結ぶ平面(ほぼ基板の下面に相当する)から若干下方とされている。これは、基板Wが不測の事態で給液装置4に当接するのを避けるためであり、また、給液装置4からの溢出流を適切に基板Wに作用させるためである。このように、給液装置4が位置を固定されている場合は、基板Wの移動の際に排出口411と接触しないように距離を設定する。この実施形態の仕様の場合は、前記平面から下方へ10〜15mmの位置に排出口411が来るようにするのが望ましい。なお、給液装置4は、図外の駆動装置により上下動可能に設置することもできる。この場合は、給液装置4の排出口411を、より基板Wに接近させて、洗浄効果を高めることができる。その場合の洗浄時における排出口411の好ましい位置は、前記平面から下方へ5〜15mm、より好ましくは5〜10mmである。基板Wの移動時には、基板Wとの接触をより確実に避けるため、給液装置4を上記範囲よりもさらに下方へ下げるのが望ましい。
基板Wの材質:銅張板(ガラスエポキシ樹脂板の両面に厚さ35μmの銅箔を張り付けたもの)、及びガラスエポキシ樹脂系配線板(銅張板の両面に配線を形成した後、各表面を絶縁膜で覆ったもの)
支持部2の載置部211:
仕様(0),(i)では水平(以下、「支持部水平」と記す)、
仕様(ii),(iii),(iiia)で採用された図6(a),(b)タイプに関し、 図6(a)タイプは傾斜5度(以下、「支持部傾斜」と記す)、
図6(b)タイプは曲率半径7mm、載置部端縁での基板接線の傾斜角度5度(以下、「支持部凹形」と記す)
給液装置4の排出口の内径:50mm
給液装置4の位置:一対の支持部2の基板支持箇所を結ぶ平面から10mm
給液装置4からの溢出流: 排出口での流速12cm/秒
吹付け装置3の液噴射: 圧力1MPa、流量100リットル/分
洗浄時間:15秒噴射×6回(噴射間の停止時間15秒)
上記仕様により洗浄実験を行ない、表1に記載の結果を得た。表中、「○」は洗浄中に基板Wの脱落を生じなかったことを示し、「×」は洗浄中に基板Wが支持部2から外れ脱落したことを示す。
2 支持部
3 吹付け装置
4 給液装置
21 支承部
22 押さえ部
23 押圧部
211 載置部
411 排出口
Claims (6)
- 薄型のプリント基板、プリント配線板等の薄型基板における対向する縁部を支持することにより、基板を保持し、基板上面に洗浄液を吹き付けて該上面を洗浄する洗浄方法であって、基板下面に沿って開口する排出口から液を溢出し続けることにより基板を下方から支持しつつ、前記洗浄を行なうことを特徴とする薄型基板の洗浄方法。
- 薄型のプリント基板、プリント配線板等の薄型基板における対向する縁部を一対の支持部により支持することにより、基板を保持し、基板上面に洗浄液を吹き付けて該上面を洗浄する洗浄方法であって、前記一対の支持部の向き合う側を高く、その外側を低くして、基板を上下方向から挟持して支持することにより、少なくとも非洗浄状態において基板を上に凸の形状に保持することを特徴とする薄型基板の洗浄方法。
- 薄型のプリント基板、プリント配線板等の薄型基板における対向する縁部を一対の支持部により支持することにより、基板を保持し、基板上面に洗浄液を吹き付けて該上面を洗浄する洗浄方法であって、前記一対の支持部の向き合う側を高く、その外側を低くして、基板を上下方向から挟持して支持することにより、少なくとも非洗浄状態において基板を上に凸の形状に保持し、且つ、基板下面に沿って開口する排出口から液を溢出し続けることにより基板を下方から支持しつつ、前記洗浄を行なうことを特徴とする薄型基板の洗浄方法。
- 薄型のプリント基板、プリント配線板等の薄型基板における対向する縁部を支持することにより基板を保持する支持部と、基板上面を洗浄するように該上面に洗浄液を吹き付ける吹付け装置と、基板下面に沿って開口する排出口を備え該排出口から液を溢出し続けることにより基板を下方から支持する給液装置とを備えたことを特徴とする薄型基板の洗浄装置。
- 薄型のプリント基板、プリント配線板等の薄型基板における対向する縁部を一対の支持部により支持することにより基板を保持する支持部と、基板上面を洗浄するように該上面に洗浄液を吹き付ける吹付け装置とを備え、前記支持部は、少なくとも非洗浄状態において基板を上に凸の形状に保持するように、前記一対の支持部の向き合う側を高く、その外側を低くして、基板を上下方向から挟持する形状とされていることを特徴とする薄型基板の洗浄装置。
- 薄型のプリント基板、プリント配線板等の薄型基板における対向する縁部を一対の支持部により支持することにより基板を保持する支持部と、基板上面を洗浄するように該上面に洗浄液を吹き付ける吹付け装置と、基板下面に沿って開口する排出口を備え該排出口から液を溢出し続けることにより基板を下方から支持する給液装置とを備え、前記支持部は、少なくとも非洗浄状態において基板を上に凸の形状に保持するように、前記一対の支持部の向き合う側を高く、その外側を低くして、基板を上下方向から挟持する形状とされていることを特徴とする薄型基板の洗浄装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005285521A JP4637705B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 薄型基板の洗浄方法及び装置 |
TW095134950A TW200714378A (en) | 2005-09-29 | 2006-09-21 | Method and device for washing thin substrate |
KR1020060096357A KR100839876B1 (ko) | 2005-09-29 | 2006-09-29 | 박형 기판의 세정방법 및 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005285521A JP4637705B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 薄型基板の洗浄方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007096127A true JP2007096127A (ja) | 2007-04-12 |
JP4637705B2 JP4637705B2 (ja) | 2011-02-23 |
Family
ID=37981442
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005285521A Expired - Fee Related JP4637705B2 (ja) | 2005-09-29 | 2005-09-29 | 薄型基板の洗浄方法及び装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4637705B2 (ja) |
KR (1) | KR100839876B1 (ja) |
TW (1) | TW200714378A (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2005
- 2005-09-29 JP JP2005285521A patent/JP4637705B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-09-21 TW TW095134950A patent/TW200714378A/zh not_active IP Right Cessation
- 2006-09-29 KR KR1020060096357A patent/KR100839876B1/ko active IP Right Grant
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4637705B2 (ja) | 2011-02-23 |
KR100839876B1 (ko) | 2008-06-19 |
KR20070036735A (ko) | 2007-04-03 |
TW200714378A (en) | 2007-04-16 |
TWI323194B (ja) | 2010-04-11 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091005 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091014 |
|
A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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