JP2007095813A - Manufacturing method of laminated capacitor - Google Patents

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Takehisa Tamura
健寿 田村
Kaname Ueda
要 上田
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress generation of cracks and delamination. <P>SOLUTION: A manufacturing method of a laminated capacitor 1 is provided with a first electrode forming process of forming a first electrode pattern 23 on a ceramic green sheet 21; a layer forming process of forming a ceramic green layer 25 on the green sheet 21 and the first electrode pattern 23; a second electrode forming process of forming a second electrode pattern 27 on the ceramic green layer 25 so that pattern 27 does not overlap on the first electrode pattern 23 via the ceramic green layer 25 in a laminating direction, thereby forming a unit laminate 20; a chip forming process of preparing a plurality of unit laminates 20, laminating the unit laminates 20 and cutting them to form a laminate chip body; and a baking process of baking the laminate chip body. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、積層コンデンサの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a multilayer capacitor.

従来から、電極パターンを印刷したセラミックグリーンシートを積層して積層コンデンサを形成する方法が知られている。電極パターンを印刷したセラミックグリーンシート上には、電極パターンが印刷された部分と印刷されていない部分との間に段差が生じる。段差を有するセラミックグリーンシートを積層して積層コンデンサを形成すると、セラミックグリーンシート同士の密着性が低下してデラミネーションが発生する。   Conventionally, a method of forming a multilayer capacitor by laminating ceramic green sheets printed with an electrode pattern is known. On the ceramic green sheet on which the electrode pattern is printed, a step is generated between a portion where the electrode pattern is printed and a portion where the electrode pattern is not printed. When ceramic green sheets having a level difference are laminated to form a multilayer capacitor, the adhesion between the ceramic green sheets decreases and delamination occurs.

この問題を解消するために、下記特許文献1には、セラミックグリーンシート上の電極パターンが印刷されていない部分にセラミックペーストを印刷して段差を解消した積層コンデンサの製造方法が記載されている。
特開2001−358036号公報
In order to solve this problem, the following Patent Document 1 describes a method of manufacturing a multilayer capacitor in which a step is eliminated by printing a ceramic paste on a portion of the ceramic green sheet where an electrode pattern is not printed.
JP 2001-358036 A

しかし、電極パターン及びセラミックペーストはセラミックグリーンシート面においてずれて印刷される場合がある。すなわち、上記特許文献1の積層コンデンサの製造方法では、セラミックペーストが電極パターンの印刷されていない部分からずれて印刷される場合がある。この場合、段差を解消できないことに加えて、電極パターン上にセラミックペーストが付着してさらに段差を形成することとなる。よって、セラミックグリーンシート同士の密着性が更に低下してデラミネーションが発生する場合がある。   However, the electrode pattern and the ceramic paste may be printed out of alignment on the ceramic green sheet surface. That is, in the method for manufacturing a multilayer capacitor disclosed in Patent Document 1, the ceramic paste may be printed out of a portion where the electrode pattern is not printed. In this case, in addition to not being able to eliminate the step, the ceramic paste adheres on the electrode pattern and further steps are formed. Therefore, the adhesion between the ceramic green sheets may be further reduced and delamination may occur.

本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、デラミネーションの発生を抑制可能な積層コンデンサの製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a multilayer capacitor capable of suppressing the occurrence of delamination.

本発明の積層コンデンサの製造方法は、セラミックグリーンシート上に第1電極パターンを形成する第1電極形成工程と、セラミックグリーンシート上及び第1電極パターン上にセラミックグリーン層を形成する層形成工程と、セラミックグリーン層上に積層方向においてセラミックグリーン層を介して第1電極パターンと重ならないように第2電極パターンを形成して単位積層体を形成する第2電極形成工程と、単位積層体を複数用意して該複数の単位積層体を積層した後に切断して積層チップ体を形成するチップ形成工程と、積層チップ体を焼成する焼成工程と、を備えることを特徴とする。   The multilayer capacitor manufacturing method of the present invention includes a first electrode forming step of forming a first electrode pattern on a ceramic green sheet, a layer forming step of forming a ceramic green layer on the ceramic green sheet and on the first electrode pattern, A second electrode forming step of forming a unit laminate by forming a second electrode pattern so as not to overlap the first electrode pattern via the ceramic green layer in the lamination direction on the ceramic green layer, and a plurality of unit laminates A chip forming step of preparing and laminating the plurality of unit laminate bodies to form a laminated chip body, and a firing step of firing the laminated chip body are provided.

セラミックグリーン層をセラミックグリーンシート上及び第1電極パターン上に形成し、セラミックグリーン層上に積層方向においてセラミックグリーン層を介して第1電極パターンと重ならないように第2電極パターンを形成して単位積層体を形成するので、セラミックグリーンシート上において第1電極パターンが形成された部分とされていない部分との段差を低減することができる。段差を低減した単位積層体を積層するので、単位積層体間の密着性が向上する。この積層した複数の単位積層体を切断し、焼成して積層コンデンサを製造するので、デラミネーションの発生を低減することができる。   The ceramic green layer is formed on the ceramic green sheet and the first electrode pattern, and the second electrode pattern is formed on the ceramic green layer so as not to overlap the first electrode pattern through the ceramic green layer in the stacking direction. Since the laminated body is formed, a step between the portion where the first electrode pattern is formed and the portion where the first electrode pattern is not formed can be reduced on the ceramic green sheet. Since the unit laminated bodies with reduced steps are laminated, the adhesion between the unit laminated bodies is improved. Since a multilayer capacitor is manufactured by cutting and firing the plurality of stacked unit laminate bodies, the occurrence of delamination can be reduced.

また、本発明の積層コンデンサの製造方法では、セラミックグリーン層の厚さはセラミックグリーンシートの厚さより薄いことも好ましい。このようにすることにより、積層方向の厚さを薄くすることができる。   In the multilayer capacitor manufacturing method of the present invention, it is also preferable that the thickness of the ceramic green layer is smaller than the thickness of the ceramic green sheet. In this way, the thickness in the stacking direction can be reduced.

また、本発明の積層コンデンサの製造方法では、第1電極パターン及び第2電極パターンの平面形状は、略四角形状であり、第1電極形成工程では、第1電極パターンを市松模様状に複数形成し、第2電極形成工程では、第2電極パターンを隣り合う第1電極パターン間に位置するように市松模様状に複数形成して、セラミックグリーンシートに第1電極パターンと第2電極パターンとを行列状に配し、チップ形成工程では、複数の単位積層体を第1電極パターン及び第2電極パターンが行方向又は列方向に交互にずれるように積層してグリーンブロック積層体を得て、該グリーンブロック積層体を第1電極パターン及び第2電極パターンが積層チップ体の端面に断面として露出するように切断することも好ましい。このように製造することにより、製造工程の高効率化を図ることができる。   In the multilayer capacitor manufacturing method of the present invention, the planar shape of the first electrode pattern and the second electrode pattern is a substantially square shape, and in the first electrode forming step, a plurality of first electrode patterns are formed in a checkered pattern. In the second electrode forming step, a plurality of second electrode patterns are formed in a checkered pattern so as to be positioned between adjacent first electrode patterns, and the first electrode pattern and the second electrode pattern are formed on the ceramic green sheet. In a chip formation step, a plurality of unit laminates are laminated such that the first electrode pattern and the second electrode pattern are alternately shifted in the row direction or the column direction to obtain a green block laminate, It is also preferable to cut the green block laminated body so that the first electrode pattern and the second electrode pattern are exposed as a cross section on the end face of the laminated chip body. Manufacturing in this way can increase the efficiency of the manufacturing process.

本発明の積層コンデンサの製造方法によれば、デラミネーションの発生を抑制することができる。   According to the multilayer capacitor manufacturing method of the present invention, the occurrence of delamination can be suppressed.

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素に同一の符号を付し、重複する説明を省略する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. In the description of the drawings, the same reference numerals are assigned to the same elements, and duplicate descriptions are omitted.

本実施形態に係る積層コンデンサについて図1及び図2を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る積層コンデンサ1の斜視図である。図2は、本実施形態に係る積層コンデンサ1の断面図である。積層コンデンサ1は、図1に示すように、略直方体形状の素子5と、素子5に形成された一対の第1端子電極2及び第2端子電極4と、を備える。   The multilayer capacitor according to this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a perspective view of the multilayer capacitor 1 according to the present embodiment. FIG. 2 is a cross-sectional view of the multilayer capacitor 1 according to the present embodiment. As shown in FIG. 1, the multilayer capacitor 1 includes a substantially rectangular parallelepiped element 5 and a pair of first terminal electrode 2 and second terminal electrode 4 formed on the element 5.

素子5は、素子5の長手方向に対向する一対の端面と、素子5の積層方向に対向する一対の側面と、長手方向及び積層方向に垂直な方向に対向する一対の側面とを有している。第1端子電極2は、一方の端面の全面を覆い、更にその一部が各側面上に回りこんで形成されている。第2端子電極4は、他方の端面の全面を覆い、更にその一部が各側面上に回り込んで形成されている。素子5の積層方向に対向する一対の側面のいずれか一方の側面は、積層コンデンサ1が外部基板に実装されたときに、当該外部基板に対向する面である。   The element 5 has a pair of end faces facing the longitudinal direction of the element 5, a pair of side faces facing the stacking direction of the element 5, and a pair of side faces facing the longitudinal direction and the direction perpendicular to the stacking direction. Yes. The first terminal electrode 2 is formed so as to cover the entire surface of one end surface, and further, a part of the first terminal electrode 2 wraps around each side surface. The second terminal electrode 4 is formed so as to cover the entire surface of the other end face, and a part of which wraps around each side face. One of the pair of side surfaces facing the stacking direction of the element 5 is a surface facing the external substrate when the multilayer capacitor 1 is mounted on the external substrate.

素子5は、図2に示すように、第1内部電極11と第2内部電極13と誘電体層15とを有している。本実施形態では、素子5は、それぞれ二つの第1内部電極11と第2内部電極13とを有している。略四角形状に形成された第1内部電極11は、一辺が第1端子電極2の形成された素子5の端面に露出して、第1端子電極2と機械的かつ電気的に接続されている。略四角形状に形成された第2内部電極13は、一辺が第2端子電極4の形成された素子5の端面に露出して、第2端子電極4と機械的かつ電気的に接続されている。第1内部電極11と第2内部電極13とは、誘電体層15を介して交互に積層されている。   As shown in FIG. 2, the element 5 has a first internal electrode 11, a second internal electrode 13, and a dielectric layer 15. In the present embodiment, the element 5 has two first internal electrodes 11 and second internal electrodes 13. The first internal electrode 11 formed in a substantially square shape is exposed to the end face of the element 5 on which the first terminal electrode 2 is formed, and is mechanically and electrically connected to the first terminal electrode 2. . The second internal electrode 13 formed in a substantially square shape is exposed to the end face of the element 5 on which the second terminal electrode 4 is formed, and is mechanically and electrically connected to the second terminal electrode 4. . The first internal electrodes 11 and the second internal electrodes 13 are alternately stacked via the dielectric layers 15.

引き続いて、本実施形態に係る積層コンデンサ1の製造方法について説明する。図3は、積層コンデンサ1の製造方法を示すフロー図である。積層コンデンサ1の製造工程は、シート形成工程S1と、第1電極形成工程S2と、層形成工程S3と、第2電極形成工程S4と、チップ形成工程S5と、焼成工程S6と、端子形成工程S7とを含む。各工程について図4〜図6を参照して説明する。   Subsequently, a method for manufacturing the multilayer capacitor 1 according to the present embodiment will be described. FIG. 3 is a flowchart showing a method for manufacturing the multilayer capacitor 1. The manufacturing process of the multilayer capacitor 1 includes a sheet forming process S1, a first electrode forming process S2, a layer forming process S3, a second electrode forming process S4, a chip forming process S5, a firing process S6, and a terminal forming process. And S7. Each step will be described with reference to FIGS.

図4は、積層コンデンサ1の製造工程おいて形成される単位積層体20の製造方法を示す図である。シート形成工程S1において、図4(a)に示すように、支持体(図示せず)上にセラミックグリーンシート21を形成する。セラミックグリーンシート21は、チタン酸バリウムを主成分とする誘電体材料にバインダ樹脂(例えば有機バインダ樹脂等)、溶剤、可塑剤等を加えて混合分散することにより得たセラミックスラリーを支持体上に塗布後、乾燥させて形成する。セラミックグリーンシート21の厚さは、1〜7μm程度である。   FIG. 4 is a diagram illustrating a method for manufacturing the unit multilayer body 20 formed in the manufacturing process of the multilayer capacitor 1. In the sheet forming step S1, as shown in FIG. 4A, a ceramic green sheet 21 is formed on a support (not shown). The ceramic green sheet 21 is a ceramic slurry obtained by adding a binder resin (for example, an organic binder resin), a solvent, a plasticizer, and the like to a dielectric material containing barium titanate as a main component and mixing and dispersing it on a support. After coating, it is dried to form. The thickness of the ceramic green sheet 21 is about 1 to 7 μm.

シート形成工程S1の後、第1電極形成工程S2において、図4(b)に示すように、セラミックグリーンシート21上に第1電極パターン23を形成する。第1電極パターン23は、電極ペーストをセラミックグリーンシート21上に印刷して乾燥することにより形成される。電極ペーストは、例えばNi、Ag、Pdなどの金属粉末にバインダ樹脂や溶剤等を混合したペースト状の組成物である。第1電極パターン23の厚さは、1〜2μm程度である。   After the sheet forming step S1, in the first electrode forming step S2, as shown in FIG. 4B, the first electrode pattern 23 is formed on the ceramic green sheet 21. The first electrode pattern 23 is formed by printing an electrode paste on the ceramic green sheet 21 and drying it. The electrode paste is a paste-like composition obtained by mixing a binder resin, a solvent, or the like with a metal powder such as Ni, Ag, or Pd. The thickness of the first electrode pattern 23 is about 1 to 2 μm.

第1電極形成工程S2の後、層形成工程S3において、図4(c)に示すように、セラミックグリーンシート21上及び第1電極パターン23上にセラミックグリーン層25を形成する。セラミックグリーン層25は、セラミックペーストを塗布後、乾燥させて形成する。セラミックペーストは、上記セラミックスラリーと同じ成分であってもよいし、異なる成分であってもよい。セラミックグリーン層25の厚さは、セラミックグリーンシート21の厚さより薄く形成される。セラミックグリーン層25の厚さは、0.1〜0.5μm程度である。   After the first electrode forming step S2, a ceramic green layer 25 is formed on the ceramic green sheet 21 and the first electrode pattern 23 in the layer forming step S3 as shown in FIG. The ceramic green layer 25 is formed by applying a ceramic paste and then drying it. The ceramic paste may be the same component as the ceramic slurry or a different component. The thickness of the ceramic green layer 25 is formed thinner than the thickness of the ceramic green sheet 21. The thickness of the ceramic green layer 25 is about 0.1 to 0.5 μm.

層形成工程S3の後、第2電極形成工程S4において、図4(d)に示すように、セラミックグリーン層25上に第2電極パターン27を形成して単位積層体20を形成する。第2電極パターン27は、セラミックグリーンシート21の上面と垂直な積層方向において、セラミックグリーン層25を介して第1電極パターン23と重ならないように形成される。第2電極パターン27の厚さは、1〜2μm程度である。   After the layer formation step S3, in the second electrode formation step S4, as shown in FIG. 4D, the second electrode pattern 27 is formed on the ceramic green layer 25 to form the unit laminate 20. The second electrode pattern 27 is formed so as not to overlap the first electrode pattern 23 via the ceramic green layer 25 in the stacking direction perpendicular to the upper surface of the ceramic green sheet 21. The thickness of the second electrode pattern 27 is about 1 to 2 μm.

図5を参照して単位積層体20について説明する。図5は、単位積層体20の上面図である。図5において隠れ線で示す第1電極パターン23は略四角形状であり、セラミックグリーンシート21とセラミックグリーン層25との間に形成されている。上記第1電極形成工程S2において、第1電極パターン23はセラミックグリーンシート21上に市松模様状に複数形成される。   The unit laminated body 20 is demonstrated with reference to FIG. FIG. 5 is a top view of the unit laminate body 20. A first electrode pattern 23 indicated by a hidden line in FIG. 5 has a substantially rectangular shape and is formed between the ceramic green sheet 21 and the ceramic green layer 25. In the first electrode formation step S <b> 2, a plurality of first electrode patterns 23 are formed on the ceramic green sheet 21 in a checkered pattern.

第2電極パターン27も略四角形状であり、セラミックグリーン層25上に形成されている。上記第2電極形成工程S4において、第2電極パターン27は、セラミックグリーン層25上に隣り合う第1電極パターン23間に位置するように市松模様状に複数形成して、セラミックグリーンシート21に第1電極パターン23と第2電極パターン27とを行列状に配する。このようにして、第1電極パターン23と第2電極パターン27とが行列状に配された単位積層体20が形成される。   The second electrode pattern 27 is also substantially rectangular and is formed on the ceramic green layer 25. In the second electrode formation step S4, a plurality of second electrode patterns 27 are formed in a checkered pattern so as to be positioned between the adjacent first electrode patterns 23 on the ceramic green layer 25, and the second pattern 27 is formed on the ceramic green sheet 21. The first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 are arranged in a matrix. In this way, the unit laminate body 20 in which the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 are arranged in a matrix is formed.

引き続いて第2電極形成工程S4の後、チップ形成工程S5が行われる。チップ形成工程S5において、図6に示すように、単位積層体20を複数用意して積層してグリーンブロック積層体30を得た後に、切断して積層チップ体を形成する。図6は、グリーンブロック積層体30の断面図である。チップ形成工程S5では、複数の単位積層体20を第1電極パターン23及び第2電極パターン27が行方向に交互にずれるように積層してグリーンブロック積層体30を形成する。行方向とは、行列状に配された第1電極パターン23及び第2電極パターン27の行方向を示す。尚、複数の単位積層体20は、列方向にずらして積層してもよい。このグリーンブロック積層体30において、セラミックグリーン層25と第2電極パターン27と第2電極パターン27の上に積層されたセラミックグリーンシート21とに囲まれた隙間が形成されている。   Subsequently, a chip formation step S5 is performed after the second electrode formation step S4. In the chip forming step S5, as shown in FIG. 6, a plurality of unit laminated bodies 20 are prepared and laminated to obtain the green block laminated body 30, and then cut to form a laminated chip body. FIG. 6 is a cross-sectional view of the green block laminate 30. In the chip forming step S5, a plurality of unit laminated bodies 20 are laminated so that the first electrode patterns 23 and the second electrode patterns 27 are alternately displaced in the row direction to form the green block laminated body 30. The row direction indicates the row direction of the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 arranged in a matrix. The plurality of unit laminate bodies 20 may be laminated while being shifted in the column direction. In this green block laminate 30, a gap surrounded by the ceramic green layer 25, the second electrode pattern 27, and the ceramic green sheet 21 laminated on the second electrode pattern 27 is formed.

その後、第1電極パターン23及び第2電極パターン27が積層チップ体の端面に断面として露出するようにグリーンブロック積層体30を切断する。切断面は、積層方向と垂直であって、互いに直交する二面である。一方の切断面Lは、複数の単位積層体20を積層する際にずらした方向(行方向)と垂直な面で、各第1電極パターン23及び各第2電極パターン27における中央部と、単位積層体20において互いに隣り合う第1電極パターン23と第2電極パターン27との間と、を通る面である。切断面Lにおいて、第1電極パターン23及び第2電極パターン27が露出することとなる。他方の切断面は、単位積層体20において互いに隣り合う第1電極パターン23と第2電極パターン27との間を通る面である。   Then, the green block laminated body 30 is cut so that the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 are exposed as a cross section on the end face of the laminated chip body. The cut surfaces are two surfaces perpendicular to the stacking direction and orthogonal to each other. One cut plane L is a plane perpendicular to the direction (row direction) shifted when laminating the plurality of unit laminates 20, the central portion of each first electrode pattern 23 and each second electrode pattern 27, and the unit This is a surface passing through between the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 adjacent to each other in the stacked body 20. In the cut surface L, the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 are exposed. The other cut surface is a surface that passes between the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 adjacent to each other in the unit laminate body 20.

チップ形成工程S5の後、焼成工程S6において、積層チップ体の焼成を行う。積層チップ体を加熱して、乾燥、脱バインダ、及び焼成を行う。脱バインダ時、所定の温度に達すると、セラミックグリーンシート21、セラミックグリーン層25、第1電極パターン23、及び第2電極パターン27に含まれるバインダがガスとなって一気に放出される。このガスは、セラミックグリーン層25と第2電極パターン27と第2電極パターン27の上に積層されたセラミックグリーンシート21とに囲まれた隙間を通って放出されることとなる。   After the chip forming step S5, the laminated chip body is fired in a firing step S6. The laminated chip body is heated to perform drying, binder removal, and firing. When a predetermined temperature is reached during binder removal, the binder contained in the ceramic green sheet 21, the ceramic green layer 25, the first electrode pattern 23, and the second electrode pattern 27 is released as a gas at a stretch. This gas is released through a gap surrounded by the ceramic green layer 25, the second electrode pattern 27, and the ceramic green sheet 21 laminated on the second electrode pattern 27.

焼成工程S6の後、端子形成工程S7において、積層チップ体の外表面に端子電極を形成する。積層チップ体において切断面Lによって切断された一方の端面に第1端子電極2を形成して、一方の端面に露出した第1電極パターン23又は第2電極パターン27と第1端子電極2とを電気的に接続する。積層チップ体において切断面Lによって切断された他方の端面に第2端子電極4を形成して、他方の端面に露出した第1電極パターン23又は第2電極パターン27と第2端子電極4とを電気的に接続する。   After the firing step S6, a terminal electrode is formed on the outer surface of the multilayer chip body in a terminal formation step S7. The first terminal electrode 2 is formed on one end surface cut by the cut surface L in the multilayer chip body, and the first electrode pattern 23 or the second electrode pattern 27 and the first terminal electrode 2 exposed on the one end surface are formed. Connect electrically. The second terminal electrode 4 is formed on the other end surface cut by the cut surface L in the multilayer chip body, and the first electrode pattern 23 or the second electrode pattern 27 and the second terminal electrode 4 exposed on the other end surface are formed. Connect electrically.

第1端子電極2と電気的に接続された第1電極パターン23及び第2電極パターン27は第2内部電極13に対応し、第2端子電極4と電気的に接続された第1電極パターン23及び第2電極パターン27は第2内部電極13に対応することとなる。また、積層チップ体は素子5に対応することとなる。このようにして積層コンデンサ1が製造される。   The first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 electrically connected to the first terminal electrode 2 correspond to the second internal electrode 13, and the first electrode pattern 23 electrically connected to the second terminal electrode 4. The second electrode pattern 27 corresponds to the second internal electrode 13. The laminated chip body corresponds to the element 5. In this way, the multilayer capacitor 1 is manufactured.

上記本実施形態の積層コンデンサ1の製造方法によれば、セラミックグリーン層25をセラミックグリーンシート21上及び第1電極パターン23上に形成し、セラミックグリーン層25上に積層方向においてセラミックグリーン層25を介して第1電極パターン23と重ならないように第2電極パターン27を形成して単位積層体20を形成するので、セラミックグリーンシート21上において第1電極パターン23が形成された部分とされていない部分との段差を低減することができる。段差を低減した単位積層体20を積層してグリーンブロック積層体30を形成するので、グリーンブロック積層体30における単位積層体20間の密着性が向上する。このグリーンブロック積層体30を切断し、焼成して積層コンデンサ1を製造するので、デラミネーションの発生を低減することができる。   According to the method for manufacturing the multilayer capacitor 1 of the present embodiment, the ceramic green layer 25 is formed on the ceramic green sheet 21 and the first electrode pattern 23, and the ceramic green layer 25 is formed on the ceramic green layer 25 in the stacking direction. Since the unit electrode stack 20 is formed by forming the second electrode pattern 27 so as not to overlap the first electrode pattern 23, the portion where the first electrode pattern 23 is formed on the ceramic green sheet 21 is not formed. A step difference from the portion can be reduced. Since the green block laminate 30 is formed by laminating the unit laminates 20 with reduced steps, the adhesion between the unit laminates 20 in the green block laminate 30 is improved. Since this green block laminated body 30 is cut and fired to produce the multilayer capacitor 1, the occurrence of delamination can be reduced.

また、セラミックグリーン層25の厚さはセラミックグリーンシート21の厚さより薄いので、積層方向の厚さを薄くすることができる。   Further, since the thickness of the ceramic green layer 25 is thinner than the thickness of the ceramic green sheet 21, the thickness in the stacking direction can be reduced.

また、第1電極形成工程S2では第1電極パターン23を市松模様状に複数形成し、第2電極形成工程S4では第2電極パターン27を隣り合う第1電極パターン23間に位置するように市松模様状に複数形成して、セラミックグリーンシート21に第1電極パターン23と第2電極パターン27とを行列状に配する。チップ形成工程S5では複数の単位積層体20を第1電極パターン23及び第2電極パターン27が行方向又は列方向に交互にずれるように積層してグリーンブロック積層体30を得て、該グリーンブロック積層体30を第1電極パターン23及び第2電極パターン27が積層チップ体の端面に断面として露出するように切断するので、製造工程の高効率化を図ることができる。   In the first electrode forming step S2, a plurality of first electrode patterns 23 are formed in a checkered pattern, and in the second electrode forming step S4, the second electrode patterns 27 are positioned between the adjacent first electrode patterns 23. A plurality of patterns are formed, and the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 are arranged in a matrix on the ceramic green sheet 21. In the chip forming step S5, a plurality of unit laminated bodies 20 are laminated so that the first electrode patterns 23 and the second electrode patterns 27 are alternately displaced in the row direction or the column direction to obtain a green block laminated body 30, and the green block Since the laminated body 30 is cut so that the first electrode pattern 23 and the second electrode pattern 27 are exposed as a cross section on the end face of the laminated chip body, the efficiency of the manufacturing process can be increased.

従来の積層コンデンサの製造方法として、セラミックグリーンシート上の電極パターンを印刷した後に、電極パターンが形成されていない部分にセラミックペーストを印刷して、電極パターンの余白にセラミックペーストが印刷されたセラミックグリーンシートを積層する方法がある。この方法の場合、積層したセラミックグリーンシートと電極パターンとの間の隙間にはセラミックペーストが充填されることとなる。   As a conventional multilayer capacitor manufacturing method, after printing an electrode pattern on a ceramic green sheet, the ceramic paste is printed on the part where the electrode pattern is not formed, and the ceramic paste is printed on the margin of the electrode pattern There is a method of laminating sheets. In the case of this method, the ceramic paste is filled in the gap between the laminated ceramic green sheets and the electrode pattern.

その後、上記チップ形成工程S5及び焼成工程S6と同様に、積層したセラミックグリーンシートを積層チップ体に切断して焼成する。この焼成工程に含まれる脱バインダ工程においては、上述したように、所定の温度に至るとセラミックグリーンシート及び電極パターンに含まれるバインダがガスとなって積層チップ体から一気に放出される。そのため、上記の従来の積層コンデンサの製造方法によって製造される積層チップ体の隙間にはセラミックペーストが充填されているので、積層チップ体の内部から一気に放出されるガスによってクラック及びデラミネーションが発生しやすい。   Thereafter, similarly to the chip formation step S5 and the firing step S6, the laminated ceramic green sheets are cut into a multilayer chip body and fired. In the binder removal step included in this firing step, as described above, the binder contained in the ceramic green sheet and the electrode pattern is discharged as a gas from the multilayer chip body at a predetermined temperature. Therefore, the gap between the multilayer chip bodies manufactured by the above conventional multilayer capacitor manufacturing method is filled with the ceramic paste, so that the gas released from the inside of the multilayer chip body causes cracks and delamination. Cheap.

本実施形態に係る積層コンデンサ1の製造方法によって形成された積層チップ体には、セラミックグリーン層25と第2電極パターン27と第2電極パターン27の上に積層されたセラミックグリーンシート21とに囲まれた隙間が形成される。よって、脱バインダ工程において発生するガスがこの隙間を通って放出されるので、クラックの発生を抑制することができる。   The multilayer chip body formed by the method of manufacturing the multilayer capacitor 1 according to this embodiment is surrounded by the ceramic green layer 25, the second electrode pattern 27, and the ceramic green sheet 21 laminated on the second electrode pattern 27. A gap is formed. Therefore, since the gas generated in the binder removal process is released through this gap, the generation of cracks can be suppressed.

他の従来の積層コンデンサの製造方法として、セラミックグリーンシート上に電極パターンを形成した状態、すなわち、段差を有する状態でセラミックグリーンシートを積層する方法がある。段差を有する複数のセラミックグリーンシートを積層し切断して形成される積層チップ体には変形が生じる。積層チップ体が変形すると、積層コンデンサの特性がばらつき、更には、積層方向に隣り合う電極パターン同士が接触する場合もある。本実施形態の積層コンデンサ1の製造方法では、上述したように単位積層体20上の段差を低減して積層するので、グリーンブロック積層体30及び積層チップ体の変形を防止することができる。   As another conventional method of manufacturing a multilayer capacitor, there is a method of laminating a ceramic green sheet in a state where an electrode pattern is formed on the ceramic green sheet, that is, in a state having a step. Deformation occurs in a laminated chip body formed by laminating and cutting a plurality of ceramic green sheets having steps. When the multilayer chip body is deformed, characteristics of the multilayer capacitor vary, and electrode patterns adjacent in the stacking direction may come into contact with each other. In the method for manufacturing the multilayer capacitor 1 according to the present embodiment, the steps on the unit multilayer body 20 are reduced and laminated as described above, so that the green block multilayer body 30 and the multilayer chip body can be prevented from being deformed.

本実施形態に係る積層コンデンサの斜視図である。1 is a perspective view of a multilayer capacitor according to an embodiment. 本実施形態に係る積層コンデンサの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer capacitor which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る積層コンデンサの製造方法を示すフロー図である。It is a flowchart which shows the manufacturing method of the multilayer capacitor which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る積層コンデンサの製造工程おいて形成される単位積層体の製造方法を示す図である。It is a figure which shows the manufacturing method of the unit laminated body formed in the manufacturing process of the multilayer capacitor concerning this embodiment. 本実施形態に係る積層コンデンサの製造工程において形成される単位積層体の上面図である。It is a top view of the unit multilayer body formed in the manufacturing process of the multilayer capacitor in accordance with this embodiment. 本実施形態に係る積層コンデンサの製造工程において形成されるグリーンブロック積層体の断面図である。It is sectional drawing of the green block laminated body formed in the manufacturing process of the multilayer capacitor concerning this embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1…積層コンデンサ、2…第1端子電極、4…第2端子電極、5…素子、11…第1内部電極、13…第2内部電極、15…誘電体層、20…単位積層体、21…セラミックグリーンシート、23…第1電極パターン、25…セラミックグリーン層、27…第2電極パターン、30…グリーンブロック積層体。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer capacitor, 2 ... 1st terminal electrode, 4 ... 2nd terminal electrode, 5 ... Element, 11 ... 1st internal electrode, 13 ... 2nd internal electrode, 15 ... Dielectric layer, 20 ... Unit laminated body, 21 ... ceramic green sheet, 23 ... first electrode pattern, 25 ... ceramic green layer, 27 ... second electrode pattern, 30 ... green block laminate.

Claims (3)

セラミックグリーンシート上に第1電極パターンを形成する第1電極形成工程と、
前記セラミックグリーンシート上及び前記第1電極パターン上にセラミックグリーン層を形成する層形成工程と、
前記セラミックグリーン層上に積層方向において前記セラミックグリーン層を介して前記第1電極パターンと重ならないように第2電極パターンを形成して単位積層体を形成する第2電極形成工程と、
前記単位積層体を複数用意して該複数の前記単位積層体を積層した後に切断して積層チップ体を形成するチップ形成工程と、
前記積層チップ体を焼成する焼成工程と、
を備えることを特徴とする積層コンデンサの製造方法。
A first electrode forming step of forming a first electrode pattern on the ceramic green sheet;
Forming a ceramic green layer on the ceramic green sheet and on the first electrode pattern; and
A second electrode forming step of forming a unit laminate body by forming a second electrode pattern on the ceramic green layer so as not to overlap the first electrode pattern via the ceramic green layer in the stacking direction;
A chip forming step of preparing a plurality of the unit laminated bodies and laminating the plurality of unit laminated bodies and then cutting to form a laminated chip body;
A firing step of firing the laminated chip body;
A method of manufacturing a multilayer capacitor, comprising:
前記セラミックグリーン層の厚さは前記セラミックグリーンシートの厚さより薄いことを特徴とする請求項1記載の積層コンデンサの製造方法。   2. The method of manufacturing a multilayer capacitor according to claim 1, wherein the thickness of the ceramic green layer is thinner than the thickness of the ceramic green sheet. 前記第1電極パターン及び前記第2電極パターンの平面形状は、略四角形状であり、
前記第1電極形成工程では、前記第1電極パターンを市松模様状に複数形成し、
前記第2電極形成工程では、前記第2電極パターンを隣り合う前記第1電極パターン間に位置するように市松模様状に複数形成して、前記セラミックグリーンシートに前記第1電極パターンと前記第2電極パターンとを行列状に配し、
前記チップ形成工程では、前記複数の単位積層体を前記第1電極パターン及び前記第2電極パターンが行方向又は列方向に交互にずれるように積層してグリーンブロック積層体を得て、該グリーンブロック積層体を前記第1電極パターン及び前記第2電極パターンが前記積層チップ体の端面に断面として露出するように切断することを特徴とする請求項1又は2に記載の積層コンデンサの製造方法。
The planar shape of the first electrode pattern and the second electrode pattern is a substantially square shape,
In the first electrode forming step, a plurality of the first electrode patterns are formed in a checkered pattern,
In the second electrode forming step, a plurality of the second electrode patterns are formed in a checkered pattern so as to be positioned between the adjacent first electrode patterns, and the first electrode pattern and the second electrode are formed on the ceramic green sheet. The electrode pattern is arranged in a matrix,
In the chip forming step, the plurality of unit laminated bodies are laminated so that the first electrode patterns and the second electrode patterns are alternately shifted in a row direction or a column direction to obtain a green block laminated body, and the green block 3. The method for manufacturing a multilayer capacitor according to claim 1, wherein the multilayer body is cut so that the first electrode pattern and the second electrode pattern are exposed as a cross section on an end surface of the multilayer chip body. 4.
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