JP2007090337A - 化学洗浄廃液の処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 キレート化合物およびアンモニア発生性化合物を含む化学洗浄廃液を分別して廃液貯槽1、2、3に貯留し、それぞれの廃液をRO装置4で濃縮して透過液を放流し、RO装置4の濃縮液をpH制御することなく、加熱乾燥装置5で加熱乾燥して乾燥物を焼却装置7で焼却し、加熱乾燥装置5で発生するアンモニアを含む気体を、酸素とともに触媒分解装置6で触媒分解してアンモニアを窒素と水に分解する化学洗浄廃液の処理方法。
【選択図】 図1
Description
本発明の他の課題は、RO膜処理の透過液の窒素濃度を低くすることができる化学洗浄廃液の処理方法を提案することである。
(1) 金属化合物が付着した被洗浄体のキレート剤を用いる化学洗浄により発生する化学洗浄廃液の処理方法であって、
キレート化合物およびアンモニア発生性化合物を含む化学洗浄廃液をRO膜処理で濃縮する濃縮工程と、
濃縮工程の濃縮液をpH制御することなく加熱乾燥する加熱乾燥工程と、
加熱乾燥工程から発生する気体を、酸素とともに酸化触媒と接触させて窒素と水に分解する触媒分解工程と
を含む化学洗浄廃液の処理方法。
(2) 化学洗浄廃液が鉄洗浄廃液および銅洗浄廃液を含む上記(1)記載の方法。
(3) 触媒分解工程が、金属酸化物触媒を含む酸化触媒と接触させる工程である上記(1)または(2)記載の方法。
(4) 濃縮工程におけるRO膜処理の透過液をさらにRO膜処理で処理する第2のRO膜処理工程含む上記(1)ないし(3)のいずれかに記載の方法。
(5) 濃縮工程のRO膜処理および/または第2のRO膜処理をpH6〜8で行う上記(1)ないし(4)のいずれかに記載の方法。
4NH3+3O2→2N2+6H2O・・・・・・・・・・・・・(1)
また本発明によれば、濃縮工程のRO膜処理および/または第2のRO膜処理をpH6〜8で行うことにより、RO膜処理の透過液の窒素濃度を低くすることができる。
図1は本発明の実施形態の化学洗浄廃液の処理方法を示すフロー図である。図1において、1は鉄洗浄廃液貯槽、2は銅洗浄廃液貯槽、3は水洗廃液貯槽である。4はRO装置で、RO膜4aにより濃縮室4bと透過室4cに区画され、RO膜処理を行うように構成されている。5は加熱乾燥装置で、加熱ディスク5aにより加熱乾燥を行うように構成されている。6は触媒分解装置で、触媒層6aを内蔵し、触媒による接触分解を行うように構成されている。7は焼却装置、8は被洗浄体、9は水質確認調整槽である。
蒸気発生器のキレート剤を用いる化学洗浄廃液のうち鉄洗浄廃液(廃液量:3m3、EDTA:1.0%、ヒドラジン:0.1%、アンモニア:0.5%、鉄イオン:1,000mg/L、pH9)を、東レ株式会社製のスパイラル型モジュール(ベッセル4B(エレメント1本入))を備えたRO装置を用いてRO処理し濃縮した。その結果、pHはアルカリ性で、COD:20mg/L未満、T-N:約2500mg/Lの透過水が2.7m3得られ、pH調整後放流した。一方、EDTA:10%、ヒドラジン0.3%、アンモニア:6.0%、鉄イオン:10,000mg/L,pH10の濃縮液が得られた。得られたこの濃縮液をディスク式加熱乾燥装置に0.08m3/h・m2で供給し、120℃で加熱乾燥した。その結果、EDTAおよびEDTA鉄を主体とする固形分約30kg(見かけ比重1.5、容量:約20L)が生成した。これを焼却したところ、酸化鉄を主体とする燃焼灰が約4.0kg得られた。加熱処理に伴い発生した水蒸気およびアンモニアを含む気体をブロアで吸引して空気と混合し、鉄−マンガン系触媒を2,100kg充填した触媒層で,処理温度280℃で処理した結果、アンモニアは触媒分解され、アンモニア:10ppm未満の処理ガスが得られた。
上記化学洗浄廃液のうち銅洗浄廃液(廃液量:3m3、EDTA:0.2%,炭酸アンモニウム:0.02%、銅イオン:30mg/L、pH10)を実施例1と同様にしてRO処理で濃縮した。その結果、pHは弱アルカリ性で、COD:10mg/L未満、T−N:10mg/L未満の透過水が2.8m3得られ、そのまま放流した。一方、EDTA:2.0%、アンモニア:0.3%、銅イオン:300mg/L、pH11の濃縮液が得られ、実施例1と同様に加熱乾燥を行った。その結果、EDTAおよびEDTA銅を主体とする固形分約6.5kg(見かけ比重1.5、容量約5L)が生成した。これを焼却したところ、酸化銅を主体とする燃焼灰が約0.1kg得られた。加熱処理に伴い発生したアンモニアを含むガスについても実施例1と同様に処理し、アンモニア:10ppm未満の処理ガスが得られた。
蒸気発生器のキレート剤を用いる化学洗浄廃液のうち鉄溶解工程に続いて酸素を吹き込んで銅溶解工程を行った廃液(廃液量:3m3、EDTA:1.0%、ヒドラジン:0.1%、アンモニア:0.4%、炭酸水素アンモニウム:0.02%、鉄イオン:1,800mg/L、銅イオン:500mg/L、pH10)を、実施例1と同様にしてRO処理で濃縮した。その結果,pHはアルカリ性(pH11)で、COD:20mg/L未満、T−N:約2,000mg/Lの透過水が2.7m3得られ、pH調整後放流した。一方、EDTA:約10%、アンモニア:約3.0%、鉄イオン:約18,000mg/L、銅イオン:約5,000mg/L、pH9の濃縮液が得られ、実施例1と同様に加熱乾燥を行った。その結果、EDTA鉄およびEDTA銅を主体とする固形分約35kg(見かけ比重:0.5、容量:約70L)が生成した。これを焼却したところ、酸化鉄および酸化銅を主体とする燃焼灰が約8kg得られた。加熱乾燥処理に伴い発生したアンモニアを含むガスについても実施例1と同様に処理し、アンモニア:10ppm未満の処理ガスが得られた。
上記化学洗浄廃液のうち鉄溶解工程に続いて酸素を吹き込んで銅溶解工程を行った廃液(廃液量:3m3、EDTA:1.0%、ヒドラジン:0.1%、アンモニア:0.4%、炭酸水素アンモニウム:0.02%、鉄イオン:1,800mg/L、銅イオン:500mg/L、pH10)に、炭酸ガスを吹き込んでpH8に調整した。pH調整後、実施例1と同様にしてRO処理で濃縮した。その結果、pHはアルカリ性(pH10)で、COD:20mg/L未満、T−N:約200mg/Lの透過水が2.7m3得られ、pH調整後放流した。また廃水に硫酸を添加し廃液のpHを6に調整してRO処理で濃縮した場合、透過水はpHほぼ中性(pH7.5)、COD:20mg/L未満、T−N:約20mg/LとさらにT−Nを低減できた。一方、EDTA:約10%、アンモニア:約4.0%、鉄イオン:約18,000mg/L、銅イオン:約5,000mg/L、pH8の濃縮液が得られ、実施例1と同様に加熱乾燥を行った。その結果、EDTA鉄およびEDTA銅を主体とする固形分約35kg(見かけ比重:0.5,容量:約70L)が生成した。これを焼却したところ、酸化鉄および酸化銅を主体とする燃焼灰が約8kg得られた。加熱乾燥処理に伴い発生したアンモニアを含むガスについても実施例1と同様に処理し、アンモニア:10ppm未満の処理ガスが得られた。
実施例3で処理した透過水(廃液量:2.7m3、COD:20mg/L未満、T−N:2,000mg/L、pH11)に、炭酸ガスを吹き込んでpH8に調整した。pH調整後、第2のRO装置で再びRO処理して濃縮した。その結果,pHは弱アルカリ性(pH8)で、COD:10mg/L未満、T−N:約100mg/Lの透過水が2.5m3得られ、そのまま放流した。一方、EDTA:約0.05%、アンモニア:約2.0%、鉄イオン:約50mg/L、銅イオン:約20mg/L、pH8の濃縮液が得られ、実施例1と同様に加熱乾燥を行った。その結果、乾燥物はほとんど得られなかった。加熱乾燥処理に伴い発生したアンモニアを含むガスについても実施例1と同様に処理し、アンモニア:10ppm未満の処理ガスが得られた。
4 RO装置、 4a RO膜、 4b 濃縮室、 4c 透過室、
5 加熱乾燥装置、 5a 加熱ディスク、 6 触媒分解装置、
6a 触媒層、 7 焼却装置、 8 被洗浄体、 9 水質確認調整槽
40 第2のRO装置、 47 最終水質確認調整槽
Claims (5)
- 金属化合物が付着した被洗浄体のキレート剤を用いる化学洗浄により発生する化学洗浄廃液の処理方法であって、
キレート化合物およびアンモニア発生性化合物を含む化学洗浄廃液をRO膜処理で濃縮する濃縮工程と、
濃縮工程の濃縮液をpH制御することなく加熱乾燥する加熱乾燥工程と、
加熱乾燥工程から発生する気体を、酸素とともに酸化触媒と接触させてアンモニアを窒素と水に分解する触媒分解工程と
を含む化学洗浄廃液の処理方法。 - 化学洗浄廃液が鉄洗浄廃液および銅洗浄廃液を含む請求項1記載の方法。
- 触媒分解工程が、金属酸化物触媒を含む酸化触媒と接触させる工程である請求項1または2記載の方法。
- 濃縮工程におけるRO膜処理の透過液をさらにRO膜処理で処理する第2のRO膜処理工程含む請求項1ないし3のいずれかに記載の方法。
- 濃縮工程のRO膜処理および/または第2のRO膜処理をpH6〜8で行う請求項1ないし4のいずれかに記載の方法。
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