JP2007088237A - 多層膜反射鏡及びeuv露光装置 - Google Patents
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Abstract
露光に不必要であり、投影光学系を構成する反射鏡の熱膨張をもたらす励起光を、その手前で吸収することができる多層膜反射鏡を提供すること。
【解決手段】
石英からなる基板1の上に、露光光反射膜2が形成され、その上に励起光反射防止膜3が形成されている。長波長である励起光は、表面側に配置された励起光の反射防止部分により吸収されるので、励起光の反射が小さく抑えられる。一方、短波長である露光光は、励起光反射防止部分を透過し、露光光反射部分に到達して反射される。
【選択図】
図1
Description
前記課題を解決するための第4の手段は、 第1の手段から第3の手段のいずれかであって、前記露光光が波長15nm以下のEUV光であることを特徴とする多層膜反射膜である。
本手段においては、投影光学系に入ってくる励起光を小さく抑えることができるので、投影光学系の熱変形を小さくでき、よって、正確な露光転写を行うことができる。
波長が266nmのYAGレーザー光4倍波(励起光)でプラズマを励起し、波長が13.5nmのEUV光を露光光として使用する場合の多層膜反射鏡を製作した。この多層膜反射鏡においては、入射光は5°の入射角で入射するものとして設計されたものである。
波長が266nmのYAGレーザー光4倍波(励起光)でプラズマを励起し、波長が13.5nmのEUV光を露光光として使用する場合の多層膜反射鏡を製作した。この多層膜反射鏡においては、入射光は5°の入射角で入射するものとして設計されたものである。
本発明の実施の形態であるEUV露光装置の概要を図7に示す。EUV光源31から放出されたEUV光32は、照明光学系33に入射し、コリメータミラーとして作用する凹面ミラー34を介してほぼ平行光束となり、一対のフライアイミラー35aおよび35bからなるオプティカルインテグレータ35に入射する。
Claims (6)
- 励起光によって露光光を励起し、当該露光光によって露光を行う露光装置に用いられる多層膜反射鏡であって、前記露光光に対して30%以上の反射率を有すると共に、前記励起光を含む50nm以上の波長帯域に対して20%以下の反射率を有することを特徴とする多層膜反射膜。
- 請求項1に記載の多層膜反射膜であって、前記多層膜が、表面側に配した励起光の反射防止部分と基板側に配した露光光反射部分を有することを特徴とする多層膜反射膜。
- 請求項2に記載の多層膜反射膜であって、前記反射防止部分は酸化ケイ素(SiO)又は炭素(C)を含む層であることを特徴とする多層膜反射膜。
- 請求項1〜3いずれかに記載の多層膜反射膜であって、前記露光光が波長15nm以下のEUV光であることを特徴とする多層膜反射膜。
- 請求項1〜4いずれかに記載の多層膜反射膜であって、前記励起光が波長150nm以上のレーザー光であることを特徴とする多層膜反射膜。
- 請求項1〜5いずれかに記載の多層膜反射鏡を有することを特徴とするEUV露光装置。
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