JP2007080983A - ドライエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 エッチングガスに、三塩化ホウ素(BCl3)、塩素(Cl2)、メタン(CH4)、エチレン(C2H4)、アルゴン(Ar)の混合ガス、もしくは三塩化ホウ素(BCl3)、塩素(Cl2)、メタン(CH4)、アセチレン(C2H2)、アルゴン(Ar)の混合ガスを用いることにより、サイドエッチング無く異方性形状、低パーティクルを提供する。
【選択図】 図4
Description
その結果、サイドエッチングは抑制されているが、順テーパ形状となっている。エチレン(C2H4)の分子構造C−C結合が2重結合であるため、側壁保護作用の強いCClxを効率的に生成することが出来る。そのため、狭ピッチのパターンでもサイドエッチングを抑制することが出来る。しかし、側壁保護物質が過剰になりやすいため、順テーパ形状となり所定の配線幅を得ることが困難となる。
2 二酸化シリコン(SiO2)
3 バリアメタル層
4 金属膜
5 キャップメタル層
6 ハードマスク
10 UHF波
11 アンテナ
12 エッチング処理室
13 プロセスガス
14 シャワープレート
15 ソレノイドコイル
16 電極
17 試料
18 ヒータ
19 排気ポンプ
20 温調器
21 TMバイアス電源
22 大気ローダ
23 ロードロック室
24 アンロードロック室
25 真空搬送室
26 真空搬送ロボット
27 第1のカセット
28 第2のカセット
29 第3のカセット
Claims (9)
- 減圧処理室内に混合ガスを導入して、上記ガスからガスプラズマを生成し、上記ガスプラズマによって金属膜をエッチングするドライエッチング方法において、上記ガスは、三塩化ホウ素(BCl3)と塩素(Cl2)とC及びHを含有するCH系ガスと不活性ガスを含むことを特徴とする金属膜のドライエッチング方法。
- 請求項1に記載のドライエッチング方法において、上記金属膜中にアルミニウム(Al)が含まれることを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項1に記載のドライエッチング方法において、上記金属膜の上に、一酸化シリコン(SiO)、二酸化シリコン(SiO2)、窒化シリコン(SiN)、窒化酸化シリコン(SiON)のうちから選ばれる少なくとも一種のハードマスクを形成することを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項1に記載のドライエッチング方法において、上記CH系ガスがメタン(CH4)とエチレン(C2H4)の混合ガスであることを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項1に記載のドライエッチング方法において、上記CH系ガスがメタン(CH4)とアセチレン(C2H2)の混合ガスであることを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項1に記載のドライエッチング方法において、上記不活性ガスがアルゴン(Ar)、ネオン(Ne)、ヘリウム(He)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)のうちから選ばれる少なくとも一種であることを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項4に記載のドライエッチング方法において、上記混合ガスの混合ガス全量に対する割合は、メタン(CH4)20〜80%、エチレン(C2H4)80〜20%であることを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項5に記載のドライエッチング方法において、上記混合ガスの混合ガス全量に対する割合は、メタン(CH4)20〜80%、アセチレン(C2H2)80〜20%であることを特徴とするドライエッチング方法。
- 請求項1に記載のドライエッチング方法において、
高周波印加バイアスのパワー印加のオンとオフ期間を制御することが可能なTimeModulation式バイアスを使用することを特徴とするドライエッチング方法。
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- 2005-09-13 JP JP2005264544A patent/JP4554479B2/ja not_active Expired - Fee Related
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