JP2007079162A - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 2種類の製造方法にて兼用可能な検査装置を提供する。
【解決手段】 台車本体21の上面側には、バックライト装置12を組み付ける前の状態の液晶パネル11や組み付けた状態の液晶表示装置10が搭載可能とされる。台車本体21の上面には、検査用バックライト装置23を支持可能な支持部24が設けられている。検査用バックライト装置23には、ピン25が設けられ、支持部24には、ピン25を受け入れるガイド溝部27が形成されている。ガイド溝部27にピン25を摺接させることで、バックライト装置12を組み付ける前の状態の液晶パネル11を背面側で受ける検査位置と、液晶表示装置10に対して非干渉となる退避位置との間で、検査用バックライト装置23を移動させることができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、検査装置に関する。
液晶表示装置は、大まかには液晶パネルと、液晶パネルに対して光を照射するバックライト装置とを備えている。液晶パネルは、一対のガラス基板間に液晶を挟持した構成とされ、このうち一方のガラス基板に形成したTFTなどのスイッチング素子に対して電気的な信号を付与することで、液晶の光学特性を変化させ、もって所望の画像を表示させるようにしている。
この液晶表示装置の製造工程では、液晶パネルに対して検査用信号を付与するとともに背面側から光を照射することで所定の画像を表示させながら、高温環境下に一定時間置くことで、時間経過に伴って発生する可能性のある欠陥を早期に検出する、いわゆるエージング検査が行われている。このようなエージング検査について記載されたものとして、下記特許文献1が知られている。
この特許文献1に記載されたエージング検査では、エージング台車に対して複数台の液晶表示装置を搭載するとともに、液晶表示装置に所定の画像を表示させるための信号付与手段などを設けるようにしており、エージング台車ごと高温室内に投入するようにしている。
特開2001−66562公報
ところで、液晶表示装置の製造工程は、機種などによって異なることがあり、上記したエージング検査を行うタイミングとして、液晶パネルに対してバックライト装置を組み付けた後に行う場合と、液晶パネルに対してバックライト装置を組み付ける前に行う場合とがある。
ここで、バックライト装置を組み付けていない状態の液晶パネルを搭載するエージング台車では、液晶パネルに対して光を照射するための検査用バックライト装置が必要とされるのに対し、液晶パネルにバックライト装置を組み付けたものを搭載するエージング台車では、検査用バックライト装置が不要とされる。従って、上記した2種類の製造方法を併用する場合、それに合わせて2種類のエージング台車を用意する必要があり、コスト高を招くなどの問題があった。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、2種類の製造方法にて兼用可能な検査装置を提供することを目的とする。
上記の目的を達成するための手段として、請求項1の発明は、電界印加によって光学特性が変化する物質を挟持した透光性を有する表示パネルと、この表示パネルに対して光を照射する照明装置とを組み付けてなる表示装置の製造工程にて用いられる検査装置であって、前記表示パネルに対して検査用信号を付与可能な信号付与手段と、前記照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルに対して光を照射可能な検査用照明装置と、前記照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルを背面側で受ける検査位置と、前記表示装置に対して非干渉となる退避位置との間で、前記検査用照明装置を移動させることが可能な移動機構とを備えている構成としたところに特徴を有する。
請求項2の発明は、請求項1に記載のものにおいて、前記移動機構は、前記検査用照明装置を支持するための支持部と、検査用照明装置から前記支持部側へ突出するピンと、前記支持部に形成されるとともに前記ピンを受け入れ可能とされ且つ前記検査用照明装置の移動方向に沿って延びる形態のガイド溝部とから構成されているところに特徴を有する。
請求項3の発明は、請求項2に記載のものにおいて、前記支持部には、前記検査用照明装置の移動方向と交差する方向へ延びるとともに前記検査用照明装置を前記検査位置または前記退避位置に保持可能な保持溝部が一対設けられ、これら両保持溝部が前記ガイド溝部の両端部にそれぞれ連通する形態で形成されているところに特徴を有する。
請求項4の発明は、請求項2または請求項3に記載のものにおいて、前記支持部には、前記表示装置を背面側で受けることが可能な受け部が設けられており、この受け部が前記支持部から内側に突出するとともに前記退避位置とされた前記検査用照明装置との間に隙間を空けた位置にて前記表示装置を受ける支持位置と、前記支持部の内側に退避するとともに前記検査位置とした前記検査用照明装置や前記照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルに対して非干渉とされる退避位置との間で変位可能とされているところに特徴を有する。
請求項5の発明は、請求項4に記載のものにおいて、前記受け部は、前記支持部に対して軸部を介して回動可能に取り付けられており、受け部が前記支持位置や前記退避位置に達したときに、前記軸部の回動動作が規制されるようになっているところに特徴を有する。
<請求項1の発明>
照明装置を組み付ける前の状態で表示パネルを検査する場合には、検査位置に配した検査用照明装置により表示パネルを受けるようにし、その状態で表示パネルに対して検査用照明装置から光を照射するとともに信号付与手段により検査用信号を付与する。
照明装置を組み付ける前の状態で表示パネルを検査する場合には、検査位置に配した検査用照明装置により表示パネルを受けるようにし、その状態で表示パネルに対して検査用照明装置から光を照射するとともに信号付与手段により検査用信号を付与する。
一方、表示パネルに照明装置を組み付けた状態の表示装置を検査する場合には、検査用照明装置を退避位置に配することで、表示装置と検査用照明装置とが干渉するのを回避しつつ、表示パネルに対して信号付与手段により検査用信号を付与する。
このように本発明によれば、表示パネルに照明装置を組み付ける前に検査を行う場合と、照明装置を組み付けた後で検査を行う場合とのいずれの製造方法においても兼用することができる。
<請求項2の発明>
ピンをガイド溝部に摺接させることで、検査用照明装置を検査位置と退避位置との間で容易に移動させることができるので、作業性の向上に寄与できる。
ピンをガイド溝部に摺接させることで、検査用照明装置を検査位置と退避位置との間で容易に移動させることができるので、作業性の向上に寄与できる。
<請求項3の発明>
両保持溝部により検査用照明装置を検査位置または退避位置に保持することができる。両保持溝部がガイド溝部の両端部に連通して形成されているから、検査用照明装置を移動させる際の作業性が良好なものとなる。
両保持溝部により検査用照明装置を検査位置または退避位置に保持することができる。両保持溝部がガイド溝部の両端部に連通して形成されているから、検査用照明装置を移動させる際の作業性が良好なものとなる。
<請求項4の発明>
表示装置を検査する場合には、受け部を支持位置に配することで、表示装置と退避位置の検査用照明装置とを互いに非干渉状態に保つことができる。一方、照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルを検査する場合には、受け部を退避位置に配することで、検査位置の検査用照明装置や表示パネルに対して受け部を非干渉状態に保つことができる。
表示装置を検査する場合には、受け部を支持位置に配することで、表示装置と退避位置の検査用照明装置とを互いに非干渉状態に保つことができる。一方、照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルを検査する場合には、受け部を退避位置に配することで、検査位置の検査用照明装置や表示パネルに対して受け部を非干渉状態に保つことができる。
<請求項5の発明>
受け部を支持部に対して軸部を介して回動可能に取り付けることで、受け部の操作性を向上させることができる。また軸部の回動動作を規制することで、受け部を支持位置と退避位置とにそれぞれ保つことができる。
受け部を支持部に対して軸部を介して回動可能に取り付けることで、受け部の操作性を向上させることができる。また軸部の回動動作を規制することで、受け部を支持位置と退避位置とにそれぞれ保つことができる。
<実施形態>
本発明の一実施形態を図1ないし図6によって説明する。本実施形態では、検査装置の一例として、液晶表示装置10の製造工程において行われるエージング検査に用いられるエージング台車20について例示する。なお、以下では図1や図2における左方を前方、右方を後方とし、また上下方向については図2を基準とする。
本発明の一実施形態を図1ないし図6によって説明する。本実施形態では、検査装置の一例として、液晶表示装置10の製造工程において行われるエージング検査に用いられるエージング台車20について例示する。なお、以下では図1や図2における左方を前方、右方を後方とし、また上下方向については図2を基準とする。
まず、液晶表示装置10の構成について説明する。液晶表示装置10は、大まかには、画像を表示するための液晶パネル11と、液晶パネル11の裏側(後側)から光を照射するバックライト装置12とを互いに組み付けた構成とされる。
液晶パネル11は、詳細には図示しないが、互いに対向させた一対の透明なガラス基板を、スペーサによって所定のギャップを空けた状態で貼り合わせるとともに、両ガラス基板間に電圧印加によって光学特性が変化する液晶を挟持した構成とされる。両ガラス基板のうち裏側のガラス基板の内面には、互いに直交するソース配線とゲート配線とに接続されたスイッチング素子(例えばTFT)が、表側(前側)のガラス基板の内面には、R,G、Bの画素電極がそれぞれマトリックス状に設けられている。裏側のガラス基板の側端部には、各配線に接続された端子部が設けられており、これらの端子部には、SOF(System On Film)などの薄膜状の電子部品の一端側がACF(異方性導電膜)を介して圧着接続されている。このSOFの他端側には、ACFを介してプリント基板が圧着接続されている。また両ガラス基板の外面側には、それぞれ偏光板が貼り付けられている。
バックライト装置12は、詳細には図示しないが、前面(液晶パネル11との対向面)側が開口した略箱型をなす金属製のベースと、ベース内に収容される複数本の線状光源(例えば冷陰極管)と、ベースの開口部に配されるとともに互いに積層される複数枚の光学シートと、光学シート群をベースに対して保持するための枠状の保持部材とから構成される。線状光源から発せられた光は、各光学シートを透過する過程でほぼ面状の光に変換されるなどした後、液晶パネル11へ向けて照射されるようになっている。
液晶パネル11は、共に枠状に形成された表側のベゼル13と裏側のフレーム14との間に挟まれた状態で保持されるとともに、これらベゼル13またはフレーム14がベースまたは保持部材に対して固定されることで、バックライト装置12と一体的に組み付けられ、もって液晶表示装置10が構成されるようになっている。
続いて、エージング台車20の構成について説明する。エージング台車20は、下面側に車輪22が取り付けられた台車本体21を備えており、この台車本体21の上面側に、バックライト装置12を組み付ける前の状態の液晶パネル11(ベゼル13やフレーム14を含む)や、液晶パネル11にバックライト装置12を組み付けた状態の液晶表示装置10を複数台、前後に並んだ状態で搭載可能とされる。液晶パネル11や液晶表示装置10は、表示面(表側のガラス基板)を前方へ向けるよう立てた姿勢で載せられるようになっている。この台車本体21には、信号発生器が設けられており、この信号発生器から引き出されたコネクタ(信号発生器共々図示せず)が、載せられる液晶パネル11のプリント基板のコネクタ部に対して接続されるようになっており、これにより液晶パネル11に対して電気的な検査用信号を付与できるようになっている。なおこの信号発生器が、特許請求の範囲に記載した「信号付与手段」に相当する。
エージング台車20の上面における両側端部には、載せられた液晶パネル11に対して光を照射可能な検査用バックライト装置23を支持するための支持部24が設けられている。支持部24は、上下方向に沿って延びる柱状をなしており、上方から見て内面側が凹んだ断面略「コ」字型に形成されている。支持部24は、前後方向について所定の間隔を空けた位置に複数並んで設けられており、幅方向に対向する両支持部24間に検査用バックライト装置23が配されている。なお、検査用バックライト装置23は、液晶表示装置10に組み付けられるバックライト装置12とほぼ同じ構造であるため、以下では相違する部分についてのみ説明し、重複する部分の説明については省略するものとする。また、台車本体21には、検査用バックライト装置23や液晶表示装置10のバックライト装置12に対する電源供給部が設けられている。
続いて、検査用バックライト装置23の移動機構について詳細に説明する。検査用バックライトの両外側面(支持部24との対向面)には、支持部24側へ突出するピン25が設けられている。ピン25は、検査用バックライト装置23の両外側面における上下に離間した2位置にそれぞれ一対ずつ配設されており、それぞれ円柱状に形成されている。
一方、支持部24における凹部26の内面のうち、検査用バックライト装置23との対向面には、上記したピン25を受け入れるガイド溝部27が形成されている。ガイド溝部27は、前後方向(検査用バックライト装置23の移動方向)に沿って延びるとともに、ほぼ水平に形成されている。ピン25がガイド溝部27に対して摺接されることで、検査用バックライト装置23の前後への移動動作をガイドできるようになっている。ガイド溝部27は、支持部24における上部側と下部側とに一対配設されている。
各ガイド溝部27の前端部には、下方(移動方向とほぼ直交する方向)へ延びる検査位置用保持溝部28が連通して形成されている。各ガイド溝部27の後端部には、下方へ延びる退避位置用保持溝部29が連通して形成されている。ピン25が検査位置用保持溝部28に嵌まることで、検査用バックライト装置23が図2に示す検査位置から前後に移動不能に保持される。この検査位置では、検査用バックライト装置23によってバックライト装置12を組み付ける前の状態の液晶パネル11を受けることが可能とされる。一方、ピン25が退避位置用保持溝部29に嵌まることで、検査用バックライト装置23が図5に示す退避位置から前後に移動不能に保持される。この退避位置では、台車本体21上に載せられる液晶表示装置10に対して検査用バックライト装置23が非干渉とされる。
支持部24の凹部26の内面のうち前後に対向する面には、軸部30が架け渡して設けられている。軸部30は、前後両端部が支持部24に形成された取付孔(図示せず)内に挿入されることで支持部24に対して回動可能な状態で支持されている。この軸部30に対して両取付孔が前後に余裕を持った大きさとされることで、軸部30が支持部24に対して前後に変位可能とされている。また軸部30は、上下のガイド溝部27の中間位置に配されている。
この軸部30には、台車本体21上に載せられる液晶表示装置10を背面側で受けることが可能な受け部31が取り付けられている。受け部31は、軸部30における前寄りの位置に取り付けられており、退避位置とされた検査用バックライト装置23に対して所定の隙間を空けて前側に位置している(図4)。受け部31は、支持部24に対して軸部30と共に前後動及び回動可能とされている。詳しくは、受け部31は、支持部24から内側に突出するとともに液晶表示装置10を背面側から支持可能な支持位置(図6)と、支持部24の内側(凹部26内)に退避するとともに検査位置とされた検査用バックライト装置23に対して非干渉とされる退避位置(図3)との間で回動されるようになっている。
軸部30には、その回動範囲を規制するための規制板32が取り付けられている。規制板32は、軸部30及び受け部31と共に前後動及び回動可能とされる。この規制板32には、支持部24の凹部26の内面のうち後面側に形成された突部33が挿入可能な支持位置用保持孔34と、退避位置用保持孔35とがほぼ90度の角度間隔を空けた位置に配設されている。支持位置用保持孔34内に突部33が挿入された状態では、受け部31が支持位置に配されるとともに軸部30の回動動作が規制される(図6)。一方、退避位置用保持孔35内に突部33が挿入された状態では、受け部31が退避位置に配されるとともに軸部30の回動動作が規制される(図3)。
本実施形態は以上のような構造であり、続いて液晶表示装置10の製造工程にて行われるエージング検査方法について説明する。
まず、液晶表示装置10の製造手順を簡単に説明すると、液晶パネル11をベゼル13とフレーム14との間に挟み付ける作業を行った後に、それに対して別途に製造しておいたバックライト装置12を組み付ける作業を行うようにしている。この製造工程において、エージング検査を行うタイミングとしては、液晶パネル11に対してバックライト装置12を組み付ける前後の2通りあり、機種などの違いによっていずれをも採る可能性がある。
液晶パネル11にバックライト装置12を組み付ける前の段階で、エージング検査を行う場合には、図1に示すように、エージング台車20における各検査用バックライトを検査位置に配する。このとき、検査用バックライト装置23が退避位置にあった場合には、検査用バックライト装置23を一旦持ち上げてピン25をガイド溝部27に進入させつつ、検査用バックライト装置23を前方へ移動させる。このとき、ピン25がガイド溝部27に摺接されることで移動動作がガイドされる。そして、ピン25がガイド溝部27の前端に達したところで、検査用バックライト装置23の自重によりピン25を検査位置用保持溝部28へ落とし込む。この検査位置では、図2に示すように、ピン25が検査位置用保持溝部28内に嵌まることで、検査用バックライト装置23が検査位置から前後に移動するのが規制される。またこの状態では、受け部31は、図3に示すように、退避位置に配されることで、検査用バックライトに対して非干渉状態とされる。
この状態で、検査用バックライト装置23に対して前側からベゼル13とフレーム14との間に挟み込んだ液晶パネル11を載せるようにする。このとき、検査用バックライト装置23がフレーム14の内側に入り込むとともに、液晶パネル11を背面側から支持する。その後、液晶パネル11に接続してあるプリント基板のコネクタ部に対して、信号発生器に接続したコネクタを接続するとともに、検査用バックライト装置23に対してエージング台車20の電源供給部を接続する。そして、検査用バックライト装置23を点灯させるとともに、液晶パネル11に対して検査用信号を付与することで、液晶パネル11に所定の検査用の画像を表示させる。その後、エージング台車20ごと高温室内へ搬入してエージング検査を行う。
一方、液晶パネル11にバックライト装置12を組み付けた後でエージング検査を行う場合には、図4に示すように、エージング台車20における各検査用バックライト装置23を退避位置へと移動させる。このとき、検査用バックライト装置23が検査位置にあった場合には、検査用バックライト装置23を一旦持ち上げてピン25をガイド溝部27に進入させつつ、検査用バックライト装置23を後方へ移動させる。このとき、ピン25がガイド溝部27に摺接されることで移動動作がガイドされる。そして、ピン25がガイド溝部27の後端に達したところで、検査用バックライト装置23の自重によりピン25を退避位置用保持溝部29へ落とし込む。この退避位置では、図5に示すように、ピン25が退避位置用保持溝部29内に嵌まることで、検査用バックライト装置23が退避位置から前後に移動するのが規制される。
続いて、受け部31を退避位置から支持位置へと変位させる作業を行う。まず軸部30を前方へ変位させることで、突部33から規制板32の退避位置用保持孔35を外すとともに受け部31を操作するなどして軸部30をほぼ90度回動させる。そして、軸部30を後方へ変位させることで、図6に示すように、規制板32の支持位置用保持孔34に対して突部33を挿入する。これにより、受け部31は、支持部24から内側へ突出した支持位置に保持される。
その後、液晶パネル11にバックライト装置12を組み付けた状態の液晶表示装置10を支持部24の前方から載せるようにする。載せられた液晶表示装置10は、図4に示すように、支持位置とされた受け部31によってその背面側が支持される。このとき、検査用バックライト装置23は、既に退避位置に配されているので、液晶表示装置10と干渉する事態が確実に回避される。その後、液晶パネル11のプリント基板に対して信号発生器のコネクタを接続するとともに、バックライト装置12に対してエージング台車20の電源供給部を接続する。そして、バックライト装置12を点灯させるとともに、液晶パネル11に対して検査用信号を付与して、検査用の画像を表示させつつ、エージング台車20ごと高温室内に搬入してエージング検査を行う。
以上説明したように本実施形態によれば、検査用バックライト装置23が、バックライト装置12を組み付ける前の状態の液晶パネル11を背面側で受ける検査位置と、バックライト装置12を液晶パネル11に組み付けた状態の液晶表示装置10に対して非干渉となる退避位置との間で移動できるよう移動機構を備えているので、液晶パネル11にバックライト装置12を組み付ける前に検査を行う場合と、バックライト装置12を組み付けた後で検査を行う場合とを併用する際にも、いずれの製造方法でもエージング台車20を兼用することができる。
また、ピン25をガイド溝部27に摺接させることで、検査用バックライト装置23を検査位置と退避位置との間で容易に移動させることができるので、作業性の向上に寄与できる。
また、ガイド溝部27に連通する形態の検査位置用保持溝部28と退避位置用保持溝部29とによって、検査用バックライト装置23を検査位置または退避位置に選択的に保持することができ、且つ移動時の作業性についても良好なものとなる。
また、液晶表示装置10を検査する場合には、支持位置とした受け部31によって、液晶表示装置10と退避位置とした検査用バックライト装置23とを互いに非干渉に保つことができる。一方、バックライト装置12を組み付ける前の液晶パネル11を検査する場合には、受け部31を退避位置とすることで、検査位置とした検査用バックライト装置23や液晶パネル11に対して受け部31を非干渉状態に保つことができる。
また、受け部31を支持部24に対して軸部30を介して回動可能に取り付けることで、受け部31の操作性を向上させることができる。また、軸部30の回動動作を規制することで、受け部31を支持位置と退避位置とにそれぞれ保つことができる。
<他の実施形態>
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
(1)ガイド溝部、ピン、各保持溝部、及び受け部の形状・数・配設位置などについては任意に変更可能である。
(2)検査用バックライトを移動させるための移動機構として、例えば検査用バックライト装置を支持部に対して蝶番を介して接続し、この蝶番により検査用バックライト装置を前後に移動させるようにしてもよい。
(3)上記した実施形態では、検査用バックライト装置が前後に移動されるものを例示したが、検査用バックライト装置が上下に移動するようにしたものも本発明に含まれる。
(4)エージング検査以外の点灯検査において用いられる検査装置にも本発明は適用可能である。また上記した実施形態に記載したエージング台車を、エージング検査後の点灯検査に流用しても構わない。
(5)上記した実施形態では、車輪を備えた台車タイプの検査装置を例示したが、車輪を有さないタイプの検査装置にも本発明は適用可能である。
10…液晶表示装置(表示装置)
11…液晶パネル(表示パネル)
12…バックライト装置(照明装置)
20…エージング台車(検査装置)
23…検査用バックライト装置(検査用照明装置)
24…支持部(移動機構)
25…ピン(移動機構)
27…ガイド溝部(移動機構)
28…検査位置用保持溝部(保持溝部)
29…退避位置用保持溝部(保持溝部)
30…軸部
31…受け部
11…液晶パネル(表示パネル)
12…バックライト装置(照明装置)
20…エージング台車(検査装置)
23…検査用バックライト装置(検査用照明装置)
24…支持部(移動機構)
25…ピン(移動機構)
27…ガイド溝部(移動機構)
28…検査位置用保持溝部(保持溝部)
29…退避位置用保持溝部(保持溝部)
30…軸部
31…受け部
Claims (5)
- 電界印加によって光学特性が変化する物質を挟持した透光性を有する表示パネルと、この表示パネルに対して光を照射する照明装置とを組み付けてなる表示装置の製造工程にて用いられる検査装置であって、
前記表示パネルに対して検査用信号を付与可能な信号付与手段と、
前記照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルに対して光を照射可能な検査用照明装置と、
前記照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルを背面側で受ける検査位置と、前記表示装置に対して非干渉となる退避位置との間で、前記検査用照明装置を移動させることが可能な移動機構とを備えていることを特徴とする検査装置。 - 前記移動機構は、前記検査用照明装置を支持するための支持部と、検査用照明装置から前記支持部側へ突出するピンと、前記支持部に形成されるとともに前記ピンを受け入れ可能とされ且つ前記検査用照明装置の移動方向に沿って延びる形態のガイド溝部とから構成されていることを特徴とする請求項1記載の検査装置。
- 前記支持部には、前記検査用照明装置の移動方向と交差する方向へ延びるとともに前記検査用照明装置を前記検査位置または前記退避位置に保持可能な保持溝部が一対設けられ、これら両保持溝部が前記ガイド溝部の両端部にそれぞれ連通する形態で形成されていることを特徴とする請求項2記載の検査装置。
- 前記支持部には、前記表示装置を背面側で受けることが可能な受け部が設けられており、この受け部が前記支持部から内側に突出するとともに前記退避位置とされた前記検査用照明装置との間に隙間を空けた位置にて前記表示装置を受ける支持位置と、前記支持部の内側に退避するとともに前記検査位置とした前記検査用照明装置や前記照明装置を組み付ける前の状態の表示パネルに対して非干渉とされる退避位置との間で変位可能とされていることを特徴とする請求項2または請求項3記載の検査装置。
- 前記受け部は、前記支持部に対して軸部を介して回動可能に取り付けられており、受け部が前記支持位置や前記退避位置に達したときに、前記軸部の回動動作が規制されるようになっていることを特徴とする請求項4記載の検査装置。
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2005
- 2005-09-14 JP JP2005267377A patent/JP2007079162A/ja active Pending
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