KR20100013078A - 평판표시패널의 검사장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한 평판표시패널의 검사장치에 관한 것이다.

본 발명의 검사장치는, 적어도 하나의 평판표시패널과 상기 평판표시패널의 검사 패드부가 구비된 기판이 안착되는 기판 스테이지와, 상기 기판의 상부에서 상기 검사 패드부와 접촉되어 상기 검사 패드부로 전기적 신호를 인가하는 프로브 핀이 구비된 프로브 프레임을 포함하며, 상기 기판 스테이지는 상기 기판이 안착되는 일 면이 산화처리되되, 상기 검사 패드부가 위치되는 제1 영역은 백색 계열의 피막으로 산화처리되고, 상기 평판표시패널의 발광부 또는 상기 평판표시패널이 위치되는 제2 영역은 흑색 계열의 피막으로 산화처리된다.

Description

평판표시패널의 검사장치{Testing Apparatus for Testing Flat Display Panel}

본 발명은 평판표시패널의 검사장치에 관한 것으로, 특히 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한 평판표시패널의 검사장치에 관한 것이다.

최근, 음극선관과 비교하여 무게가 가볍고 부피가 작은 각종 평판표시장치(Flat Panel Display Device)들이 개발되고 있다. 평판표시장치는 두께가 비교적 작은 평판형으로 구현되는 표시패널(이하, 평판표시패널이라 함)을 구비한 표시장치로, 유기전계발광 표시장치(OLED), 액정 표시장치(LCD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등을 일례로 들 수 있다.

평판표시패널은 제조과정에서의 불량 발생여부를 검사하는 불량검사 후 양품에 한해 출시된다. 이를 위한 검사장치는 검사가 진행되는 동안 패널을 기판 스테이지에 안착시킨 후 프로브 핀 등을 이용하여 패널에 전기적 신호를 인가하여 불량검사를 수행한다. 이러한 프로브 핀은 패널의 검사 패드부에 접촉됨으로써, 패널로 전기적 신호를 인가하게 된다. 따라서, 불량검사의 신뢰성을 향상시키기 위해서는 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 필수적으로 확인해야 한다.

하지만, 종래에는 이러한 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부 확인을 위해 육안으로 확인하기 어려워 흰색 무진지(無塵紙, lint-free paper)를 이용해 일일이 접촉 여부를 확인하는 등 번거로운 접촉 확인과정을 거쳐야 했다. 이로 인해, 검사의 효율이 저하되는 문제점이 발생했다.

따라서, 본 발명의 목적은 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 용이하게 확인할 수 있도록 한 평판표시패널의 검사장치를 제공하는 것이다.

이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 적어도 하나의 평판표시패널과 상기 평판표시패널의 검사 패드부가 구비된 기판이 안착되는 기판 스테이지와, 상기 기판의 상부에서 상기 검사 패드부와 접촉되어 상기 검사 패드부로 전기적 신호를 인가하는 프로브 핀이 구비된 프로브 프레임을 포함하며, 상기 기판 스테이지는 상기 기판이 안착되는 일 면이 산화처리되되, 상기 검사 패드부가 위치되는 제1 영역은 백색 계열의 피막으로 산화처리되고, 상기 평판표시패널의 발광부 또는 상기 평판표시패널이 위치되는 제2 영역은 흑색 계열의 피막으로 산화처리된 평판표시패널의 검사장치를 제공한다.

여기서, 상기 기판 스테이지는, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상기 기판이 안착되는 일 면에 전면적으로 형성된 백색 계열의 제1 산화막과, 상기 제1 산화막 상의 상기 제2 영역에 부분적으로 형성된 흑색 계열의 제2 산화막을 포함할 수 있다.

또한, 상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 경계는 상기 기판의 가장자리를 기준으로 상기 검사 패드부가 내측으로 최대한 전진되어 형성될 수 있는 영역 내에서 설정될 수 있다.

이와 같은 본 발명에 의하면, 검사장치의 기판 스테이지를 산화처리(아노다이징)하여 기판과의 안정성을 확보하되, 기판의 검사 패드부가 위치되는 영역의 기판 스테이지는 백색 계열의 피막으로 산화처리됨으로써, 프로브 핀과 패널 사이의 접촉 여부를 육안으로도 용이하게 확인하도록 할 수 있다.

또한, 패널의 발광부(원장기판인 경우, 다수의 패널들)가 위치되는 영역의 기판 스테이지는 흑색 계열의 피막으로 산화처리됨으로써, 패널 점등시 색상도 용이하게 식별하도록 할 수 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 평판표시패널의 검사장치를 개략적으로 도시한 분해 사시도이다. 그리고, 도 2는 도 1에 도시된 기판 스테이지의 확대 사시도이다. 설명의 편의를 위하여, 도 1에서는 검사장치에 의해 불량검사가 수행되는 평판표시패널이 형성된 기판을 함께 도시하기로 한다.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 평판표시패널의 검사장치(100)는 기판(10)이 안 착되는 기판 스테이지(110)와, 기판(10)의 상부에 정렬되는 프로브 프레임(120)과, 프로브 프레임(120)을 이동시키기 위한 이동수단(130)을 포함한다.

기판(10)은 적어도 하나의 평판표시패널이 형성된 기판으로, 기판(10)의 외곽영역에는 검사 패드부(12)가 구비된다. 예를 들어, 기판(10)은 다수의 평판표시패널들이 형성된 원장기판이 될 수 있다. 이 경우, 원장기판의 중앙영역(10_1)에는 다수의 패널들이 형성되고, 외곽영역(10_2)에는 동일한 행 또는 열에 위치된 패널들로 원장검사를 위한 전원들 및/또는 구동신호들을 공급하는 원장배선들의 검사 패드들이 형성될 수 있다. 또한, 기판(10)은 개별적인 평판표시패널 자체가 될 수도 있다. 이 경우, 기판의 중앙영역(10_1)에는 패널의 발광부 및/또는 구동소자들이 형성되고, 외곽영역(10_2)에는 패널의 검사 및 실제 구동에 이용되는 패드들 또는 별도의 검사 패드들이 형성될 수 있다.

기판 스테이지(110)는 검사가 수행될 기판(10)을 거치하기 위해 구비되는 것으로, 진공펌프(미도시) 등의 기판 고정수단을 포함하여 기판(10)이 안정적으로 고정되도록 구성될 수 있다. 이러한 기판 스테이지(110)는 적어도 기판(10)이 안착되는 일 면이 산화처리(아노다이징)에 의해 절연처리된다. 이에 의해 기판 스테이지(110)와 기판(10)과의 안정성이 확보된다.

프로브 프레임(120)은 기판(10)을 향하는 일면에 구비된 프로브 핀(122)을 구비하여 검사 패드부(12)에 전기적 신호를 인가한다. 즉, 기판(10)에 형성된 패널에 대한 각종 검사가 수행되는 동안 프로브 핀(122)을 기판(10)의 검사 패드부(12)와 접촉시키고, 이를 통해 패널로 검사를 위한 전원들 및 구동신호들을 공급하게 된다. 이와 같은 프로브 프레임(120)은 이동수단(130)에 의해 검사 패드부(12) 상에 정렬된다.

이동수단(130)은 프로브 프레임(120)을 기판 스테이지(110) 방향으로 왕복 이동하게 하는 수단이다. 이를 위해, 이동수단(130)은 상하 구동부(미도시)와, 상하 구동부 및 프로브 프레임(120)에 연결된 연결바(130a)와, 연결바(130a)의 좌우 유동을 방지하기 위한 가드링(130b)을 구비한다. 여기서, 상하 구동부는 위치 제어부 및 모터 등의 구동 수단을 포함할 수 있다.

단, 본 발명에서 기판 스테이지(110)는 영역 별로 상이한 색상 계열의 피막으로 산화처리된다.

특히, 기판(10)의 검사 패드부(12)가 위치되는 기판 스테이지의 제1 영역(110_1)은, 백색 계열의 피막으로 산화처리된다. 이에 의해, 패널에 대한 검사가 진행되는 동안 검사 패드부(12)가 백색 계열의 피막 상에 위치함으로써, 검사 패드부(12)의 위치를 육안으로도 용이하게 식별할 수 있게 된다. 따라서, 프로브 핀(122)과 검사 패드부(12)의 접촉 여부를 육안으로도 용이하게 확인할 수 있게 된다.

그리고, 다수의 패널들(개별 패널의 경우, 적어도 패널의 발광부)이 위치되는 기판 스테이지의 제2 영역(110_2)은, 패널 점등시 색상의 식별이 용이하도록 흑색 계열의 피막으로 산화처리된다.

도 3은 도 1에 도시된 검사장치의 결합 단면도이다. 이하에서는, 도 3을 참 조하여 기판 스테이지의 산화처리방법 및 그 구성의 일례에 대해서 상술하기로 하며, 도 1과 중복되는 부분에 대한 상세설명은 생략하기로 한다.

도 3을 참조하면, 기판 스테이지(110)는, 베이스 플레이트(110a)와, 베이스 플레이트(110a)의 상부(즉, 기판(10)이 안착되는 일 면)에 전면적으로 형성된 백색 계열의 제1 산화막(110b)과, 제1 산화막(110b) 상의 제2 영역(110_2)에 부분적으로 형성된 흑색 계열의 제2 산화막(110c)을 포함한다.

베이스 플레이트(110a)는 알루미늄 또는 그 합금 등의 금속으로 형성될 수 있다.

제1 산화막(110b)은 베이스 플레이트(110a)의 상부를 백색 계열의 피막으로 산화처리함에 의해 형성된다. 산화처리시, 유기 염료 또는 무기 안료 등을 이용해 착색시키거나, 자연발색법 또는 전해착색법 등을 이용하면 원하는 색상의 피막으로 산화막을 형성할 수 있다.

제2 산화막(110c)은 제1 산화막(110b) 상의 제2 영역(110_2)만 선택적으로 흑색 계열의 피막으로 산화처리함에 의해 형성된다. 이를 위해, 제1 산화막(110b) 상의 제1 영역(110_1)을 테이프 등에 의해 마스킹하고, 흑색으로 제2 영역(110_2)을 산화시키는 공정을 통해 제2 산화막(110c)을 형성할 수 있다.

여기서, 제1 영역(110_1)과 제2 영역(110_2)의 경계는 기판(10)의 가장자리를 기준으로 검사 패드부(12)가 내측으로 최대한 전진되어 형성될 수 있는 영역 내에서 설정되는 것으로, 기판(10)의 설계 구조에 따라 조절될 수 있다.

한편, 전술한 바와 같이 제1 산화막(110b)의 일 영역 상에 제2 산화막(110c) 을 형성하여 기판 스테이지(110)를 산화처리하는 경우, 기판 스테이지(110)에 안착된 기판에 대한 검사를 수행할 때 제1 및 제2 산화막(110a, 110b)의 단차로 인한 오작동 문제가 발생하지 않도록 제2 산화막(110c)을 미세 가공할 수 있다. 예를 들어, 제2 산화막(110c)은, 제1 산화막(110b)과의 단차가 0.001-0.010mm 특히, 0.005mm 이내의 범위를 가지도록 미세하게 산화처리될 수 있다. 이에 의해, 검사장치(100)를 이용한 패널의 각종 검사가 원활히 진행될 수 있다.

한편, 전술한 검사장치(100)는 단지 본 발명을 설명하기 위한 일례를 개시한 것으로, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 서로 접촉되는 다양한 구성요소들 사이의 접촉 여부를 육안으로도 용이하게 확인할 수 있도록 이들이 접촉되는 영역에서의 기판 스테이지 등을 백색 계열로 공정처리하는 본 발명의 기술사상은 다양한 분야에서 변형 실시될 수 있음은 물론이다.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 평판표시패널의 검사장치를 개략적으로 도시한 분해 사시도.

도 2는 도 1에 도시된 기판 스테이지의 확대 사시도.

도 3은 도 1에 도시된 검사장치의 결합 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

10: 기판 12: 검사 패드부

100: 검사장치 110: 기판 스테이지

110a: 베이스 플레이트 110b: 제1 산화막

110c: 제2 산화막 120: 프로브 프레임

122: 프로브 핀

Claims (3)

1. 적어도 하나의 평판표시패널과 상기 평판표시패널의 검사 패드부가 구비된 기판이 안착되는 기판 스테이지와,

   상기 기판의 상부에서 상기 검사 패드부와 접촉되어 상기 검사 패드부로 전기적 신호를 인가하는 프로브 핀이 구비된 프로브 프레임을 포함하며,

   상기 기판 스테이지는 상기 기판이 안착되는 일 면이 산화처리되되, 상기 검사 패드부가 위치되는 제1 영역은 백색 계열의 피막으로 산화처리되고, 상기 평판표시패널의 발광부 또는 상기 평판표시패널이 위치되는 제2 영역은 흑색 계열의 피막으로 산화처리된 평판표시패널의 검사장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 기판 스테이지는, 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트의 상기 기판이 안착되는 일 면에 전면적으로 형성된 백색 계열의 제1 산화막과, 상기 제1 산화막 상의 상기 제2 영역에 부분적으로 형성된 흑색 계열의 제2 산화막을 포함하는 평판표시패널의 검사장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 제1 영역과 상기 제2 영역의 경계는 상기 기판의 가장자리를 기준으로 상기 검사 패드부가 내측으로 최대한 전진되어 형성될 수 있는 영역 내에서 설정되 는 평판표시패널의 검사장치.

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