JP2007078593A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007078593A5 JP2007078593A5 JP2005269217A JP2005269217A JP2007078593A5 JP 2007078593 A5 JP2007078593 A5 JP 2007078593A5 JP 2005269217 A JP2005269217 A JP 2005269217A JP 2005269217 A JP2005269217 A JP 2005269217A JP 2007078593 A5 JP2007078593 A5 JP 2007078593A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- test lens
- light beam
- movement
- optical
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005269217A JP4738949B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 光波干渉装置 |
CN2006101536596A CN1932432B (zh) | 2005-09-15 | 2006-09-12 | 光波干涉装置 |
TW095134217A TW200712444A (en) | 2005-09-15 | 2006-09-15 | Light wave interference device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005269217A JP4738949B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 光波干渉装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007078593A JP2007078593A (ja) | 2007-03-29 |
JP2007078593A5 true JP2007078593A5 (fr) | 2008-08-07 |
JP4738949B2 JP4738949B2 (ja) | 2011-08-03 |
Family
ID=37878386
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005269217A Expired - Fee Related JP4738949B2 (ja) | 2005-09-15 | 2005-09-15 | 光波干渉装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4738949B2 (fr) |
CN (1) | CN1932432B (fr) |
TW (1) | TW200712444A (fr) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4947774B2 (ja) * | 2006-08-18 | 2012-06-06 | 富士フイルム株式会社 | 光波干渉測定装置および光波干渉測定方法 |
JP2009008594A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-15 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子ユニット及び干渉計 |
JP2009145081A (ja) * | 2007-12-11 | 2009-07-02 | Fujinon Corp | 回転非対称収差の発生要因誤差量測定方法および装置 |
JP5025501B2 (ja) * | 2008-01-17 | 2012-09-12 | オリンパス株式会社 | 光学素子保持機構および光学素子測定装置 |
JP2009236694A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Konica Minolta Opto Inc | レンズ測定装置、レンズ測定方法、及びレンズ生産方法 |
JP5095539B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2012-12-12 | 富士フイルム株式会社 | 収差測定誤差補正方法 |
JP5044495B2 (ja) * | 2008-07-17 | 2012-10-10 | 富士フイルム株式会社 | 平行平板の厚み測定方法 |
JP5235591B2 (ja) * | 2008-10-10 | 2013-07-10 | 富士フイルム株式会社 | 複屈折性光学素子の透過波面測定方法 |
JP5208075B2 (ja) * | 2008-10-20 | 2013-06-12 | 富士フイルム株式会社 | 光波干渉測定装置 |
JP4573252B2 (ja) * | 2008-11-06 | 2010-11-04 | キヤノンマーケティングジャパン株式会社 | アライメントシステム、アライメントシステムの制御方法、プログラム及び測定装置 |
JP5473743B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2014-04-16 | 富士フイルム株式会社 | 軸外透過波面測定装置 |
JP5525367B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2014-06-18 | Hoya株式会社 | レンズ位置調整機構 |
DE112015006198T5 (de) * | 2015-03-27 | 2017-11-09 | Olympus Corporation | Wellenfrontmessvorrichtung und wellenfrontmessverfahren |
CN114323582A (zh) * | 2021-12-22 | 2022-04-12 | 光皓光学(江苏)有限公司 | 一种带平台透镜的波前测试方法及装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61195328A (ja) * | 1985-02-26 | 1986-08-29 | Asahi Optical Co Ltd | 半球レンズを用いた干渉計 |
JPS63163137A (ja) * | 1986-12-25 | 1988-07-06 | Hitachi Electronics Eng Co Ltd | レンズ表面欠陥検査装置 |
JPH07167630A (ja) * | 1993-10-14 | 1995-07-04 | Asahi Optical Co Ltd | 干渉測定装置および干渉測定方法 |
JP3758279B2 (ja) * | 1997-03-06 | 2006-03-22 | ソニー株式会社 | 光学ピックアップ用対物レンズの調整方法及び調整装置 |
JP2003066300A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-05 | Sony Corp | 対物レンズ製造装置及び対物レンズ製造方法 |
JP2005127914A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Fujinon Corp | 干渉計装置の被検レンズ載置台 |
-
2005
- 2005-09-15 JP JP2005269217A patent/JP4738949B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-09-12 CN CN2006101536596A patent/CN1932432B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2006-09-15 TW TW095134217A patent/TW200712444A/zh not_active IP Right Cessation
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2007078593A5 (fr) | ||
TW200712444A (en) | Light wave interference device | |
JP2010169496A (ja) | 屈折率測定装置 | |
JP2010169496A5 (fr) | ||
JP5798823B2 (ja) | レーザ干渉測定装置の横座標校正治具および横座標校正方法 | |
JP6840747B2 (ja) | 円筒状中空エンクロージャの表面を検査するセンサデバイスおよび方法 | |
JP5069378B2 (ja) | 光学試験表面の形状を判定する方法及び装置 | |
JP2005506543A5 (fr) | ||
JP2008047653A5 (fr) | ||
US20110051147A1 (en) | Measurement of Changes in Surfaces of Objects | |
JP2006303196A5 (fr) | ||
JP6947493B2 (ja) | マスクの表面を検査するための装置および方法 | |
CN202372144U (zh) | 基于反射会聚成像光杠杆系统的微小长度测量装置 | |
JP5606039B2 (ja) | ステージ装置及び波面収差測定装置 | |
CN103471834B (zh) | 高低温环境下精确测量弯刚度的装置 | |
CN106289096A (zh) | 一种凸球面镜面形检测系统及检测方法 | |
JP5759270B2 (ja) | 干渉計 | |
JP5333919B2 (ja) | 平面形状測定装置および平面形状測定方法 | |
ES2883932T3 (es) | Medición óptica de la rugosidad superficial | |
CN209416661U (zh) | 一种基于psd的镜头fov测量装置 | |
US11421984B2 (en) | Testing of curved X-ray gratings | |
TW201405115A (zh) | 光學量測裝置 | |
KR100790706B1 (ko) | 렌즈 초점 거리 측정 장치 | |
JP2008164387A (ja) | 光学検査方法および装置 | |
JP4007473B2 (ja) | 波面形状測定方法 |