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Abstract
Description
本発明は、例えばチップ状電子部品などのワークの外観を検査する外観検査装置に関する。 The present invention relates to an appearance inspection apparatus that inspects the appearance of a workpiece such as a chip-shaped electronic component.
例えば、チップ状電子部品などの6面体からなる外観を検査する外観検査装置50として、従来、図6に示すものが知られている。図6は外観検査装置50の斜視図であり、6面体からなるチップ状電子部品(以下ワークという)は、リニアフィーダ51から水平ターンテーブル52に供給される。水平ターンテーブル52の周縁部にはワークが収納される凹部からなるワーク収納部52aが複数設けられ、これらワーク収納部52aにワークが1個ごとに分離収納される。そして、水平ターンテーブル52の回転に伴ってワークが搬送される過程で、水平ターンテーブル52の周縁部外方に設けられた撮像手段54aによりワーク収納部52a内のワークの側面が撮像される。さらに、水平ターンテーブル52の上下方向にそれぞれ設けられた撮像手段54b及び54cにより、ワーク収納部52a内のワークの上下2面が撮像される。
For example, as an
撮像手段54a,54b,54cからの撮像データは、図示しない画像処理装置へ送られて画像処理され、良否判定される。不良品と判定されたワークはワーク受箱55から排出され、正常なワークは水平ターンテーブル52のワーク収納部52aからワーク移載位置57を経て直交ターンテーブル53の周縁部に複数設けられたワーク収納部53aに移載される。直交ターンテーブル53側へ移載されたワークは、直交ターンテーブル53の周縁部外方に設けられた撮像手段54dによりワークの側面が撮像され、さらに直交ターンテーブル53の左右側にそれぞれ設けられた撮像手段54e及び54fにより、ワーク収納部53a内のワークの左右2面が撮像される。
The imaging data from the imaging means 54a, 54b, 54c is sent to an image processing apparatus (not shown), subjected to image processing, and quality is determined. The workpieces determined as defective are discharged from the
撮像手段54d,54e,54fからの撮像データは、図示しない画像処理装置へ送られて画像処理され、良否判定される。不良品と判定されたワークはワーク受箱56から排出され、正常なワークは図示しないワーク取り出し部を経て次工程に受渡しされるようになっている。
The imaging data from the imaging means 54d, 54e, 54f is sent to an image processing device (not shown), subjected to image processing, and quality is determined. The work determined to be defective is discharged from the
このように構成された外観検査装置50においては、ワークの6面の外観検査まで可能であるが、4面以上の外観検査になると、ワークを搬送する水平ターンテーブル52及び垂直ターンテーブル53という2つのターンテーブルが必要となり、また、2つのターンテーブル52,53を同期して間欠回転させるよう制御する必要がある。さらに、ワークの保持手段、若しくは移載手段などの機構が精密且つ複雑となり、コストアップの要因となっていた。
In the
本発明は、前記事情に着目してなされたもので、その目的とするところは、ターンテーブルのワーク収納部に収納してワークを搬送する過程で、ワークの多くとも5面の外観検査、特に一面がシルエット的検査でも良い場合において、簡単な機構により検査ができ、コストダウンを図ることができる外観検査装置を提供することにある。 The present invention has been made paying attention to the above circumstances, and the object of the present invention is to inspect the appearance of at most five surfaces of the workpiece, particularly in the process of storing the workpiece in the workpiece storage portion of the turntable and transporting the workpiece. An object of the present invention is to provide an appearance inspection apparatus that can be inspected by a simple mechanism and can reduce costs when one surface may be a silhouette inspection.
本発明は、前記目的を達成するために、外周部にワークを1個ずつ収納して搬送する複数のワーク収納部を有したターンテーブルと、前記ワーク収納部に収納されたワークを吸着保持して前記ターンテーブルの外部空間に送出する送出手段と、前記ターンテーブルから送出された前記ワークの外観を検査する検査手段とからなり、前記ターンテーブルを回転して前記ワーク収納部を所定位置に位置決めした後、前記送出手段により前記ワーク収納部の前記ワークを前記ターンテーブルの外部空間に送出し、前記ワークの外観を検査手段により検査することを特徴とする。 In order to achieve the above-mentioned object, the present invention sucks and holds a turntable having a plurality of work storage portions for storing and transporting workpieces one by one on the outer peripheral portion, and the work stored in the work storage portion. And an inspection means for inspecting the appearance of the work sent from the turntable, and the work storage unit is positioned at a predetermined position by rotating the turntable. Then, the work in the work storage unit is sent out to the external space of the turntable by the sending means, and the appearance of the work is inspected by the inspection means.
前記ターンテーブルのワーク収納部に収納して搬送されたワークを、送出手段により吸着保持してターンテーブルの外部空間に送出することにより、ワーク収納部の壁面が障壁となって検査ができなかったワークの面を検査手段により、外観検査できるようにしたことを特徴とする。 The work stored and transported in the work storage part of the turntable is sucked and held by the sending means and sent to the external space of the turntable, so that the wall of the work storage part becomes a barrier and the inspection cannot be performed. It is characterized in that the appearance of the work surface can be inspected by the inspection means.
本発明によれば、複数のターンテーブルを用いなくても、簡単な機構によりワーク収納部の壁面が障壁となって検査できなかったワークの面の検査ができるようになり、コストダウンを図ることができるという効果がある。 According to the present invention, it is possible to inspect the surface of a workpiece that could not be inspected because the wall surface of the workpiece storage portion becomes a barrier by a simple mechanism without using a plurality of turntables, thereby reducing costs. There is an effect that can be.
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図1〜図4は第1の実施形態を示し、図1(a)は外観検査装置の一部を断面した正面図、(b)は図1(a)のA−Aに沿う矢視図、図2はワーク収納凹部を示す斜視図、図3は図1の要部拡大図で、(a)は平面図、(b)は側面図、(c)は正面図、(d)は光路形成の斜視図、図4は照明手段の説明図である。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 to 4 show the first embodiment, FIG. 1A is a front view of a part of the appearance inspection apparatus, and FIG. 1B is a view taken along the line A-A in FIG. FIG. 2 is a perspective view showing a workpiece storing recess, FIG. 3 is an enlarged view of a main part of FIG. 1, (a) is a plan view, (b) is a side view, (c) is a front view, and (d) is an optical path. FIG. 4 is an explanatory view of the illumination means.
図1(a)(b)において、外観検査装置1のベース板2の表面上(以下、表面側を上、裏面側を下とする)にはスライドベースホルダ3が固定して設けられ、該スライドベースホルダ3には、スライドベース4が枢支軸4aを中心にして回動自在に設けられている。スライドベース4には垂直方向に複数のガイド孔4bが設けられ、これらガイド孔4bには補助スライダ5の下端側が垂直方向にスライド自在に設けられている。これら補助スライダ5の上端側はノズルホルダ6に嵌合され、スライドベース4に対してノズルホルダ6が上下動するようになっている。
1 (a) and 1 (b), a
ノズルホルダ6の上面にはブラケット7がストッパボルト8により固定されている。ブラケット7はスライドベース4に固定して設けられたストッパブラケット9との間に配設されたスプリング10により付勢されて下方に押し下げられている。また、ストッパブラケット9には調整ネジ11が螺合され、調整ネジ11の下端がストッパボルト8の上面に当接している。
A
スライドベース4には垂直方向に貫通孔13が設けられ、貫通孔13には駆動スライダ14がスライド自在に設けられている。駆動スライダ14は、その頭頂部にブラケット7の板厚より稍広い括れ部14aが形成され、この括れ部14aがブラケット7のU字溝7aにルーズに挿入されている。また、駆動スライダ14の括れ部14aより稍下方には鍔14bが設けられている。鍔14bとブラケット7の間にはスプリング15が介在され、ブラケット7の上面が括れ部14aの上端に押圧されるように付勢されている。
A through
前記ベース板2の裏面側にはカムベース16が固定されている。カムベース16にはモータ17が設けられている。カムベース16にはモータ17と離間して長径と短径とからなる楕円形に形成されたカム18が回転自在に設けられ、モータ17のプーリ19とカム18のプーリ20との間にはベルト21が掛け渡されている。カム18にはカムフォロア22が転接され、このカムフォロア22はカムフォロアベース23に回動自在に設けられている。
A
カムフォロアベース23には駆動ロッド24の一端部が嵌合されている。駆動ロッド24はカムベース16に固定して設けられたブラケット25及びベース板2を貫通して垂直方向にスライド自在に設けられ、駆動ロッド24の他端は駆動スライダ14の下面と当接部14cで当接している。また、カムフォロアベース23には駆動ロッド24と平行に補助ロッド26の一端がスライド自在に嵌合され、補助ロッド26の他端はブラケット25を貫通してスライド自在に設けられている。
One end of a
駆動ロッド24及び補助ロッド26にはスプリング27が嵌合され、これらスプリング27はブラケット25とカムフォロアベース23との間に圧縮状態で介在され、カムフォロア22がカム18に常に密着するようになっている。
A
前記ノズルホルダ6にはワーク送出手段である吸着ノズル28が設けられ、この吸着ノズル28の下方先端部にはワークwを吸着するノズルヘッド28aが設けられている。前記ベース板2には切欠き部2aが設けられ、この切欠き部2aにはノズルヘッド28aに対向する外観検査部29が設置されている。さらに、外観検査部29をカバーして受台30が設けられている。受台30の上面とベース板2の上面とは面一となっており、受台30とベース板2の上面に近接してターンテーブル31が回転自在に設けられている。
The
ターンテーブル31の外周部には等間隔にワークwが収納される凹部からなるワーク収納部31aが設けられている。ターンテーブル31は、図示しない駆動手段によりベース板2及び受台30上を間欠回転し、間欠停止位置においてノズルヘッド28aに対向し、図2に示すワーク収納部31aがワークwと共に位置決めされるようになっている。さらに、ターンテーブル31の間欠停止位置においては、受台30に設けられたワーク通過孔30aとワーク収納部31a及びノズルヘッド28aとは同一垂線上に位置決めされるようになっている。
On the outer peripheral portion of the
図3(a)〜(c)に示すように、外観検査部29は、光路ケース32に設けられた複数の光反射手段33,34,35及び概平行光線を照射する照明手段36により構成されており、外観検査部29により形成された光路Lの延長線上には図1に示すように撮像手段37が設けられている。
As shown in FIGS. 3A to 3C, the
なお、スライドベース4の枢支軸4aは、外観検査部29などで不具合が発生した場合、スライドベース4を回動開閉するための支点で、通常はスライドベース4はベース板2に固定されている。
Note that the
次に、前述のように構成された外観検査装置1の作用について説明する。 Next, the operation of the appearance inspection apparatus 1 configured as described above will be described.
図1に示すように、カム18は長径と短径とからなる楕円形に形成されている。カムフォロアベース23はスプリング27により付勢されてカム18とカムフォロア22とが弾性的に転接している。この状態で、モータ17が間欠回転すると、プーリ19、ベルト21及びプーリ20を介してカム18が矢印方向に90°毎間欠回転し、カム18の長径部分と短径部分にそれぞれ間欠停止する。カム18の長径部分と短径部分の径差により、カムフォロア22は上下方向に往復動し、これに伴ってカムフォロアベース23、駆動ロッド24及び補助ロッド26が上下方向に往復動する。
As shown in FIG. 1, the
カムフォロア22がカム18の長径側から短径側に転接するに従い、駆動ロッド24はスプリング27に付勢されて下方にスライドする。駆動ロッド24の下方へのスライドに伴いスプリング10に付勢されたブラケット7及びスプリング15に付勢された駆動スライダ14が下方にスライドして駆動スライダ14の下面と駆動ロッド24の上面との当接部14cが常に密着されてスライドする。
As the
カムフォロア22がカム18の短径側から長径側に移動すると、駆動ロッド24は上方にスライドして駆動スライダ14を押上げ、これに伴いブラケット7が押上げられる。ブラケット7の上限は、ノズルヘッド28aの先端がスライドベース4のノズルヘッド近傍下面と同一面となるように調整ネジ11とストッパボルト8とが当接するように設定されている。これによりターンテーブルの回転で図2のようにワークwが搬送されてきた時、段差が無いため安定して通過でき、またノズルヘッド28aの先端が最もワークwの近くにあるため効果的に吸着できる。
さらに、駆動スライダ14の括れ部14aはブラケット7の厚さより稍広く設けられているため、ブラケット7が調整ネジ11により規制されて上限位置に停止しても、駆動スライダ14はスプリング15の付勢力に抗して前記ストローク差分だけ更にスライドすることができるようになっている。
When the
Furthermore, since the constricted portion 14a of the
ブラケット7に固定して設けられたノズルホルダ6は、複数の補助スライダ5によりスライドベース4に対して垂直にスライドして上下動する。スライドベース4とベース板2とは平行に設定されているため、ノズルホルダ6がベース板2に対しても垂直に上下動することとなる。ノズルホルダ6の上下動によりベース板2に対して垂直に上下動する吸着ノズル28は、図示しない負圧発生源に接続されてノズルヘッド28aが常時負圧化されている。
The
図2に示すように、ベース板2上を間欠回転するターンテーブル31のワーク収納部31aにワークwを収納して、ノズルヘッド28aに対向して設けられた外観検査部29にワークwが搬送されると、ワークwは常時負圧化されたノズルヘッド28aに吸着保持される。ワークwがノズルヘッド28aに吸着保持されると、カム18が90°回転して短径位置で停止し、ワークwを吸着したノズルヘッド28aが下降して受台30に設けられたワーク通過孔30aからベース板2内に設けられた外観検査部29にワークwを移動させる。
As shown in FIG. 2, the workpiece w is stored in the
図3(a)〜(d)に示すように、外観検査部29は、光路ケース32に設けられた複数の光反射手段33,34,35により照明手段36から照射された概平行光線を反射させて光路Lを形成する。すなわち、ノズルヘッド28aにより吸着保持されて外観検査部29に移動されたワークwは光路L中に投入されて背面から平行光線を照射されると、ワークwのシルエットを含んだ光路Lが形成され、図1(a)に示すように、光路Lの後方に設けられた撮像手段37によりワークwのシルエットが撮像されて、図示しない制御部に送信されて解析される。
As shown in FIGS. 3 (a) to 3 (d), the
図3に示すワークwの平行光線を照射される面は、図2に示すワーク収納部31aの壁面が障壁となって検査ができなかったD面方向であり、D面方向からの光線の照射によって図2に示すワークwのD面方向のシルエット像が撮像手段37に得られるが、このシルエット像から例えばワークwの両端に設けられた電極waの曲がりなどの異常を検査できる。すなわち、シルエット像方式は、図2のワークwのようにワーク表面と電極waとが同一面上に無い場合でも、検査に用いることができる。
以上により、ターンテーブル31のワーク収納部31aに収納された状態で検査が可能なA〜C面と併せて4面からの外観検査ができる。
The surface irradiated with the parallel rays of the workpiece w shown in FIG. 3 is the D-plane direction that cannot be inspected due to the wall surface of the
By the above, the external appearance inspection from four surfaces can be performed together with the A to C surfaces that can be inspected in the state of being stored in the
D面の外観検査が終了すると、再びカム18が90°回転して長径側で停止し、これによりノズルヘッド28aが上昇してワークwがターンテーブル31のワーク収納部31aに戻ると同時に、ターンテーブル31が間欠回転してノズルヘッド28aからワークwを擦取し、次工程に搬送されるようになっている。
When the appearance inspection of the D surface is completed, the
この検査に用いる平行光線を従来のレンズ系で製作すると非常に高価になる。そこで、対象ワークwが長さ1mm前後と小さい場合、LEDを用いることを検討した。 If the parallel light beam used for this inspection is manufactured by a conventional lens system, it becomes very expensive. Then, when the object workpiece | work w was as small as about 1 mm in length, it examined using LED.
図4(a)は光の屈折の基本形で、媒質Aから媒質Bに光が入射したとき、法線Cに対する角度をそれぞれθA ,θB とすると、相対屈折率nABはスネルの法則から
nAB=nB /nA=sin θA /sin θB (nA ,nB :媒質の屈折率)
ここでAが空気とするとnA ≒1、また、nB >1から
sinθA /sinθB >1、すなわちθA >θB
この結果を投光面41がほぼ球面状、かつ樹脂で満たされたLED40に適応したものが図4(b)である。すなわち、スネルの法則の結果を適用すると、発光部42が投光面41の球心oの後部に有った場合、発光部42を出た投光Xは、投光面41で屈折しLEDの光軸Y側に曲がることになるが、理論的には投光Xは光軸Yと交差することはない。したがって、光軸Y近傍の投光は、限りなく平行光線に近づくといえる。
FIG. 4A shows a basic form of light refraction. When light is incident on the medium B from the medium A , if the angles with respect to the normal C are θ A and θ B , the relative refractive index n AB is obtained from Snell's law. n AB = n B / n A = sin θ A / sin θ B (n A , n B : refractive index of the medium)
If A is air, n A ≈1 and n B > 1
sinθ A / sinθ B > 1, ie, θ A > θ B
FIG. 4B shows a result of applying this result to the
また、発光部42の大きさにより平行光に若干のズレが生じるので、発光部42は小さい方が好ましい。照明手段36として、LEDで説明したが、それ以外でも図4(b)の構成を満たすものであれば適用可能である。なお、この照明手段36の光源の特徴を纏めると、
(1)発光部は極力小さいことが好ましい。
In addition, since the parallel light is slightly shifted depending on the size of the
(1) The light emitting part is preferably as small as possible.
(2)投光面は凸状が好ましく、凸状の中心oより投光面の反対側に発光部があることが好ましい。 (2) The light projecting surface is preferably convex, and it is preferable that the light emitting portion is on the opposite side of the light projecting surface from the convex center o.
(3)投光面近傍は同じ媒質で満たされていることが好ましい。 (3) It is preferable that the vicinity of the light projection surface is filled with the same medium.
(4)光軸Yに近づくほど投光は平行度を増すので、検査対象ワークwは小さいほど検査精度が向上する。 (4) Since the light projection increases in parallel as it approaches the optical axis Y, the inspection accuracy improves as the inspection target workpiece w decreases.
以上は理論的な場合の好ましい条件であるが、実際にはLED40の構造により若干の乱光が発生する。この乱光はLED40の割合近くで拡散するので、問題になる場合には図4(b)のようにLED40の前面に絞り孔50aを有する絞り50を光軸を合わせて設けることで防止できる。
図5は本発明の外観検査装置の第2の実施形態を示し、(a)は斜視図、(b)は(a)の要部を拡大した斜視図である。図5において吸着ノズル28を垂直に上下させる構成は、第1の実施形態と共通であるため説明は割愛する。本実施形態においては、ノズルヘッド28aにより吸着保持されたワークwの外観検査部43において、前記吸着面を除く5面に対して、それぞれに設けられた撮像手段44a,44b,44c,44d,44eにより各面を撮像するようにしたものである。
The above is a preferable condition in the theoretical case, but in practice, some turbulence occurs due to the structure of the
5A and 5B show a second embodiment of the appearance inspection apparatus of the present invention, in which FIG. 5A is a perspective view, and FIG. 5B is an enlarged perspective view of the main part of FIG. In FIG. 5, the configuration in which the
なお、各撮像手段44a,44b,44c,44d,44eには、図示しない照明手段が含まれているものとする。 It is assumed that each imaging means 44a, 44b, 44c, 44d, 44e includes illumination means (not shown).
ワーク供給手段45により供給されたワークwは、間欠回転するターンテーブル31の周縁部に複数設けられたワーク収納部31aに収納され、ノズルヘッド28aに対向して設けられた外観検査部43に搬送されると、ワークwは常時負圧化されたノズルヘッド28aに吸着保持されるようになっている。
The workpieces w supplied by the workpiece supply means 45 are stored in a plurality of
ワークwが吸着保持されると、吸着ノズル28が下降してワーク収納部31aからターンテーブル31の下面側の空間に設けられた外観検査部43の概中心位置にワークwを移動させるようになっている。
When the workpiece w is sucked and held, the
外観検査部43の概中心部に移動したワークwのノズルヘッド28aにより吸着された上面を除く各面に対向して設けられた撮像手段44a,44b,44c,44d,44eにより撮像されたデータが、図示しない制御部に送信されると同時に、吸着ノズル28が上昇してワークwを再びワーク収納部31a内に示すようになっている。
Data picked up by the image pickup means 44a, 44b, 44c, 44d, 44e provided to face each surface excluding the upper surface attracted by the
吸着ノズル28が上限位置に到達すると、ターンテーブル31が間欠回転してノズルヘッド28aからワークwを擦取し、次工程に搬送されるようになっている。
When the
なお、ノズルヘッド28aにより吸着されたワークwの上面については、図示しない撮像手段により、事前、若しくは事後に別途撮像することにより、6面全ての画像を得ることもできる。
In addition, about the upper surface of the workpiece | work w adsorb | sucked by the
第1の実施形態では、複数の光反射手段33,34,35としてミラーを用いたが、プリズムによる反射でも良く、また、複数のミラーによる光の反射は設計上の手段であって、反射手段の数に拘るものではない。 In the first embodiment, mirrors are used as the plurality of light reflecting means 33, 34, and 35. However, reflection by a prism may be used, and reflection of light by the plurality of mirrors is a design means. It is not related to the number of people.
さらに、吸着ノズル28の上下動にカム18及びカムフォロア22を用いたが、吸着ノズル28の急激な動作を緩和するためであり、上下動が目的であれば、クランク機構あるいはネジ送り機構によるなど、アクチュエータの種類に限定されるものではない。
Furthermore, although the
また、第2の実施形態においては、外観検査部43において5面を撮像するようになっているが、下面については図示しない撮像手段により上面の撮像を行う位置において同時に撮像しても構わない。
In the second embodiment, the
なお、この発明は前記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、前記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組合せにより種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態に亘る構成要素を組合わせてもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment as it is, and can be embodied by modifying the constituent elements without departing from the scope of the invention in the implementation stage. Moreover, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiment. For example, some components may be deleted from all the components shown in the embodiment. Furthermore, the constituent elements over different embodiments may be combined.
28…吸着ノズル(送出手段)、31…ターンテーブル、31a…ワーク収納部、36…照明手段、37…撮像手段(検査手段) 28 ... Suction nozzle (delivery means), 31 ... Turntable, 31a ... Work storage part, 36 ... Illumination means, 37 ... Imaging means (inspection means)
Claims (12)
前記ワーク収納部に収納されたワークを吸着保持して前記ターンテーブルの外部空間に送出する送出手段と、
前記ターンテーブルから送出された前記ワークの外観を検査する検査手段とからなり、
前記ターンテーブルを回転して前記ワーク収納部を所定位置に位置決めした後、前記送出手段により前記ワーク収納部の前記ワークを前記ターンテーブルの外部空間に送出し、前記ワークの外観を検査手段により検査することを特徴とする外観検査装置。 A turntable having a plurality of workpiece storage units for storing and transporting workpieces one by one on the outer periphery;
Sending means for sucking and holding the work stored in the work storage unit and sending it to the external space of the turntable;
Comprising inspection means for inspecting the appearance of the workpiece sent from the turntable,
After rotating the turntable and positioning the work storage part at a predetermined position, the work in the work storage part is sent out to the external space of the turntable by the sending means, and the appearance of the work is inspected by the inspection means. An appearance inspection apparatus characterized by:
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008198838A (en) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Hitachi Aic Inc | Appearance inspection method of capacitor |
CN102122144A (en) * | 2011-03-04 | 2011-07-13 | 常州工学院 | Numerical control system for detecting cam contours |
CN102175181A (en) * | 2011-03-04 | 2011-09-07 | 常州工学院 | Detection method of cam contour detection device |
JP2012158401A (en) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Akim Kk | Part carrying device |
JP5674060B2 (en) * | 2011-02-09 | 2015-02-25 | 上野精機株式会社 | Electronic component transfer device and taping unit |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102062584A (en) * | 2010-12-18 | 2011-05-18 | 深圳市瑞摩特科技发展有限公司 | Remote controller automatic detection production line |
CN103029963B (en) * | 2011-10-10 | 2015-07-15 | 东京威尔斯股份有限公司 | Workpiece conveying device |
CN103728302A (en) * | 2013-11-22 | 2014-04-16 | 香港斯托克股份有限公司 | Automatic detection equipment for object appearance |
CN103995001B (en) * | 2014-06-04 | 2017-01-11 | 昆山宝锦激光拼焊有限公司 | Weld inspection device convenient for transferring plates |
KR101693684B1 (en) | 2015-04-06 | 2017-01-06 | 나승옥 | Work appearance inspection apparatus and method by the same |
CN109238141B (en) * | 2018-09-21 | 2020-10-09 | 绵阳鼎飞益电子科技有限公司 | Chip pin optical detection system |
CN109932488B (en) * | 2019-03-18 | 2021-11-05 | 广东荣旭智能技术有限公司 | Capacitor appearance detection method |
CN116142787A (en) * | 2021-11-19 | 2023-05-23 | 芝浦机械电子装置株式会社 | Supply device and film forming device |
Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61279145A (en) * | 1985-06-05 | 1986-12-09 | Nhk Spring Co Ltd | Defect detecting apparatus for pin piece of electronic part |
JPH01311258A (en) * | 1988-06-08 | 1989-12-15 | Hitachi Ltd | Outward shape inspecting device |
JPH01314955A (en) * | 1988-06-16 | 1989-12-20 | Matsushita Electric Works Ltd | Method for inspection of light previous container |
JPH03136262A (en) * | 1989-10-20 | 1991-06-11 | Tokyo Koku Keiki Kk | Lead terminal lift check device of ic package |
JPH06164199A (en) * | 1992-11-27 | 1994-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic component observation device |
JPH0821380A (en) * | 1994-07-01 | 1996-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | Scroll fluid machinery |
JPH08136463A (en) * | 1994-11-10 | 1996-05-31 | Taiyo Yuden Co Ltd | Appearance inspection device |
JPH09275299A (en) * | 1996-04-05 | 1997-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic component mounting device |
JPH1068614A (en) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Copal Co Ltd | Image pickup system |
JPH10332432A (en) * | 1997-05-30 | 1998-12-18 | Yaskawa Electric Corp | Optical encoder |
JPH11295236A (en) * | 1998-04-06 | 1999-10-29 | Nitto Kogyo Co Ltd | Six-face inspection apparatus for chip |
JP2000074639A (en) * | 1998-09-03 | 2000-03-14 | Mitsubishi Materials Corp | Automatic visual inspection machine |
JP2001041902A (en) * | 1999-08-02 | 2001-02-16 | Yasunaga Corp | Foreign matter inspecting apparatus |
JP2001304831A (en) * | 2000-04-21 | 2001-10-31 | Keyence Corp | Optical angle measuring apparatus |
JP2002057500A (en) * | 2000-08-15 | 2002-02-22 | Nidec Copal Corp | Method for recognizing electronic component |
JP2004010301A (en) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Tokyo Weld Co Ltd | Work carrier device and work carrying method |
JP2004018054A (en) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Tokyo Weld Co Ltd | Work transfer device |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1065392A (en) * | 1996-08-19 | 1998-03-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic component supply equipment and electronic component mount method |
JP3723070B2 (en) * | 2000-11-10 | 2005-12-07 | 株式会社 東京ウエルズ | Work transfer device |
CN2603401Y (en) * | 2003-01-29 | 2004-02-11 | 纬典股份有限公司 | Automatic electronic component detection equipment |
-
2005
- 2005-09-08 JP JP2005260928A patent/JP4848160B2/en active Active
-
2006
- 2006-08-10 TW TW095129455A patent/TWI414781B/en active
- 2006-08-30 KR KR1020060082729A patent/KR101114076B1/en active IP Right Grant
- 2006-09-08 CN CN2006101514578A patent/CN1929087B/en active Active
Patent Citations (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61279145A (en) * | 1985-06-05 | 1986-12-09 | Nhk Spring Co Ltd | Defect detecting apparatus for pin piece of electronic part |
JPH01311258A (en) * | 1988-06-08 | 1989-12-15 | Hitachi Ltd | Outward shape inspecting device |
JPH01314955A (en) * | 1988-06-16 | 1989-12-20 | Matsushita Electric Works Ltd | Method for inspection of light previous container |
JPH03136262A (en) * | 1989-10-20 | 1991-06-11 | Tokyo Koku Keiki Kk | Lead terminal lift check device of ic package |
JPH06164199A (en) * | 1992-11-27 | 1994-06-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic component observation device |
JPH0821380A (en) * | 1994-07-01 | 1996-01-23 | Mitsubishi Electric Corp | Scroll fluid machinery |
JPH08136463A (en) * | 1994-11-10 | 1996-05-31 | Taiyo Yuden Co Ltd | Appearance inspection device |
JPH09275299A (en) * | 1996-04-05 | 1997-10-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic component mounting device |
JPH1068614A (en) * | 1996-08-27 | 1998-03-10 | Copal Co Ltd | Image pickup system |
JPH10332432A (en) * | 1997-05-30 | 1998-12-18 | Yaskawa Electric Corp | Optical encoder |
JPH11295236A (en) * | 1998-04-06 | 1999-10-29 | Nitto Kogyo Co Ltd | Six-face inspection apparatus for chip |
JP2000074639A (en) * | 1998-09-03 | 2000-03-14 | Mitsubishi Materials Corp | Automatic visual inspection machine |
JP2001041902A (en) * | 1999-08-02 | 2001-02-16 | Yasunaga Corp | Foreign matter inspecting apparatus |
JP2001304831A (en) * | 2000-04-21 | 2001-10-31 | Keyence Corp | Optical angle measuring apparatus |
JP2002057500A (en) * | 2000-08-15 | 2002-02-22 | Nidec Copal Corp | Method for recognizing electronic component |
JP2004010301A (en) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Tokyo Weld Co Ltd | Work carrier device and work carrying method |
JP2004018054A (en) * | 2002-06-18 | 2004-01-22 | Tokyo Weld Co Ltd | Work transfer device |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008198838A (en) * | 2007-02-14 | 2008-08-28 | Hitachi Aic Inc | Appearance inspection method of capacitor |
JP2012158401A (en) * | 2011-01-31 | 2012-08-23 | Akim Kk | Part carrying device |
CN102673954A (en) * | 2011-01-31 | 2012-09-19 | 亚企睦自动设备有限公司 | Component conveying device |
CN102673954B (en) * | 2011-01-31 | 2016-11-09 | 亚企睦自动设备有限公司 | Conveying device for a part |
JP5674060B2 (en) * | 2011-02-09 | 2015-02-25 | 上野精機株式会社 | Electronic component transfer device and taping unit |
CN102122144A (en) * | 2011-03-04 | 2011-07-13 | 常州工学院 | Numerical control system for detecting cam contours |
CN102175181A (en) * | 2011-03-04 | 2011-09-07 | 常州工学院 | Detection method of cam contour detection device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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