JP2007067123A - レーザーパルス圧縮装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チャープドパルス増幅方式によって極短パルスを発生させるレーザー装置に使用するパルス圧縮装置において、回折格子を冷却することにより解決される。
【選択図】 図2
Description
CPAにおいては、入力の極短パルス光をパルス伸長装置により波長が時間的に連続して変化する長パルス光に伸長し、これを増幅器で増幅して大きなエネルギーのパルスとした後に、パルス圧縮装置によりパルス幅を時間的に圧縮して、ピーク強度の高い極短パルスレーザー出力を得る。
図1においては、パルス圧縮の原理を説明するために2枚の回折格子を用い、回折格子上の合計反射回数を2回とした最も簡単な構成を示しているが、実際には非特許文献1のFIG3(b)のように反射鏡と組み合わせて1枚又は2枚の回折格子を用い、合計反射回数を4回として、パルス圧縮装置の出力レーザービーム径が大きくならないような構成とすることも多い。
本願出願人は、この問題を解決するため、特許文献1に記載のレーザー共振器を用いて繰り返し周波数を10kHzに大幅に向上させ、平均出力40Wが得られる増幅器を開発した。
平均出力の増加は繰り返し周波数の増加によるものであるため、1パルス当たりのエネルギーは増加しない。このため同じパルスエネルギーの低繰り返し周波数用に設計されたパルス圧縮装置を用いても破壊しきい値を越えることはなく、そのまま使用可能であると見込まれた。
すなわち、チャープドパルス増幅方式によって極短パルスを発生させるレーザー装置に使用するパルス圧縮装置において、回折格子を冷却するパルス圧縮装置を提供することである。
本発明においては、レーザービームの熱による回折格子の歪みによる波面の劣化を低減するという目的を、プレスによる大量生産が可能であるという回折格子製造方法の利点を損なうことなく実現した。
レーザービームは気体の流れによる光学的な屈折率の変化によっても波面歪みを生ずる。通常の送風機では乱流が発生するため波面歪みが生じやすい。本実施例では気体の流れを層流とすることにより、乱流において発生する波面歪みを避けることを特徴としている。
また層流とする気体は回折格子の周辺雰囲気と同一種類、かつ同一温度であることが気体の流れに伴って発生する波面歪みを低減するために重要である。
基板表面が金属の場合などで十分な表面精度が得られない場合には、熱伝導の問題が発生しないように薄膜化した結晶を作成して、金属基板上に接着し、光学研磨を行なって必要な精度を得ても良い。このようにして基板の熱伝導を向上させた回折格子の背面に、7で示す冷却装置により冷却を行って、熱歪みの発生を低減する。6と7以外の構成は図2と同様であり、図1及び図2で説明した原理に基づいてパルス圧縮を行う。
7の冷却装置はペルチェ効果による電子冷却を用いても良いし、ヒートパイプや直接水冷等の手段を用いても良い。
2 回折格子
3 水平ルーフミラー
4 垂直ルーフミラー
5 層流送風機
6 回折格子
7 冷却装置
Claims (4)
- チャープドパルス増幅方式によって極短パルスを発生させるレーザー装置に使用するパルス圧縮装置において、回折格子を冷却することを特徴とするパルス圧縮装置。
- チャープドパルス増幅方式によって極短パルスを発生させるレーザー装置に使用するパルス圧縮装置において、層流の気体を回折格子前面に流すことにより回折格子を冷却することを特徴とするパルス圧縮装置。
- チャープドパルス増幅方式によって極短パルスを発生させるレーザー装置に使用するパルス圧縮装置において、回折格子の基板を熱伝導の良い材質とするとともに、その背後に冷却装置を設置して回折格子を冷却することを特徴とするパルス圧縮装置。
- 回折格子の基板を金属あるいは結晶としたことを特徴とする請求項3記載のパルス圧縮装置。
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