JPH02174284A - レーザ出力制御装置 - Google Patents
レーザ出力制御装置Info
- Publication number
- JPH02174284A JPH02174284A JP33005588A JP33005588A JPH02174284A JP H02174284 A JPH02174284 A JP H02174284A JP 33005588 A JP33005588 A JP 33005588A JP 33005588 A JP33005588 A JP 33005588A JP H02174284 A JPH02174284 A JP H02174284A
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- Japan
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- laser
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- laser beam
- output control
- control device
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Links
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 9
- 238000001816 cooling Methods 0.000 abstract description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 8
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 6
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- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（ａ業上の利用分野）
本発明は、レーザ発振装置から出力されるレーザ光の出
力を高速でフィードバック制御するレーザ出力制御装置
に関する。
力を高速でフィードバック制御するレーザ出力制御装置
に関する。
（従来の技術）
従来の炭酸ガスレーザ発振装置におけるレーザ出力制御
装置には、例えば特願昭６２−１８１１５７０号公報に
開示されたものがある。第２図は、その従来の炭酸ガス
レーザ発振装置におけるレーザ出力制御装置を示す概略
図である。
装置には、例えば特願昭６２−１８１１５７０号公報に
開示されたものがある。第２図は、その従来の炭酸ガス
レーザ発振装置におけるレーザ出力制御装置を示す概略
図である。
この炭酸ガスレーザ発振装置は、炭酸ガスを含むレーザ
媒質ガス２が満たされている容器１を有し、この容器ｌ
内には対向した一対の電ｉ３＾、３１１と、この対向方
向と直交方回に対向した部分透過鏡４及び反射鏡５とが
設けられている。電極３＾。
媒質ガス２が満たされている容器１を有し、この容器ｌ
内には対向した一対の電ｉ３＾、３１１と、この対向方
向と直交方回に対向した部分透過鏡４及び反射鏡５とが
設けられている。電極３＾。
３［１の間には励起型：ａ８から高電圧が印加されるこ
とにより放′！ｒｉｌＯが生成され、レーザ媒質ガス２
が励起されるようになっている。この励起により部分透
過鏡４と反射鏡５との間にはレーザ発振が生じ、発振器
内レーザ光７が生成されるようになっている。また、レ
ーザ出力制御装置は、反射鏡５を透過してくるレーザ光
を回折させ（ＬＢＤ、ＬＢＤ±１゜ＬＩＩＤ±２．・・
・、ＬＢＩｌ±ｎ）十分弱めて検出部１１０に入射し電
気信号ＳＤＴに変換するためのレーザ光検出器１００を
有し、外部から指令された出力信号Ｓｌ及びレーザ光検
出器１００から出力された検出信号ＳＯＴが減算器１１
で比較演算され、求めた制御信号ＳＣが励起電源８に出
力されるようになっている。
とにより放′！ｒｉｌＯが生成され、レーザ媒質ガス２
が励起されるようになっている。この励起により部分透
過鏡４と反射鏡５との間にはレーザ発振が生じ、発振器
内レーザ光７が生成されるようになっている。また、レ
ーザ出力制御装置は、反射鏡５を透過してくるレーザ光
を回折させ（ＬＢＤ、ＬＢＤ±１゜ＬＩＩＤ±２．・・
・、ＬＢＩｌ±ｎ）十分弱めて検出部１１０に入射し電
気信号ＳＤＴに変換するためのレーザ光検出器１００を
有し、外部から指令された出力信号Ｓｌ及びレーザ光検
出器１００から出力された検出信号ＳＯＴが減算器１１
で比較演算され、求めた制御信号ＳＣが励起電源８に出
力されるようになっている。
このような構成において、その動作を説明する１発振器
内レーザ光７の一部は、部分透過鏡４及び出力窓６を透
過して出力レーザ光ＬＢＩとして容器１の外部に出力さ
れる。一方、反射鏡５はレーザ光のほとんどを反射する
が、約０．５％程度のレーザ光を透過させる性質を有し
ており、この反射鏡５を透過したレーザ光（以下、透過
レーザ光■２という）の出力は出力レーザ光Ｌ［１１の
出力に比例している。そこで、ｍＡレーザ光Ｌ［１２の
出力をレーザ光検出器１００で検出して電気信号ＳＤＴ
に変換し、減算器１１で外部から指令された出力信号ｓ
ｒと比較演算して制御信号ＳＣを求める。そして、この
制御信号ＳＣを基に励起電源８の出力電流を制御するこ
とで、炭酸ガスの励起強度を制御して出力レーザ光Ｌ［
１１の出力を一定にしている。
内レーザ光７の一部は、部分透過鏡４及び出力窓６を透
過して出力レーザ光ＬＢＩとして容器１の外部に出力さ
れる。一方、反射鏡５はレーザ光のほとんどを反射する
が、約０．５％程度のレーザ光を透過させる性質を有し
ており、この反射鏡５を透過したレーザ光（以下、透過
レーザ光■２という）の出力は出力レーザ光Ｌ［１１の
出力に比例している。そこで、ｍＡレーザ光Ｌ［１２の
出力をレーザ光検出器１００で検出して電気信号ＳＤＴ
に変換し、減算器１１で外部から指令された出力信号ｓ
ｒと比較演算して制御信号ＳＣを求める。そして、この
制御信号ＳＣを基に励起電源８の出力電流を制御するこ
とで、炭酸ガスの励起強度を制御して出力レーザ光Ｌ［
１１の出力を一定にしている。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、上述した従来の装置において、透過レーザ光
ＬＢ２の出力は、出力レーザ光Ｌｌｌｌの出力が８００
Ｗのとき４〜１６Ｗになる。従って、この透過レーザ光
Ｌ［１２を第３図（＾）及び（［１）に示すようなレー
ザ光検出器１００の回折格子１０１に入射させた場合、
回折格子１０１が高温となり、熱膨張により格子のピッ
チが狂ったり円板１０２全体が皿状に反ってしまうとい
う現象が生じ、そのために回折光を正確に検出部１１０
に入射できないという問題点があった。
ＬＢ２の出力は、出力レーザ光Ｌｌｌｌの出力が８００
Ｗのとき４〜１６Ｗになる。従って、この透過レーザ光
Ｌ［１２を第３図（＾）及び（［１）に示すようなレー
ザ光検出器１００の回折格子１０１に入射させた場合、
回折格子１０１が高温となり、熱膨張により格子のピッ
チが狂ったり円板１０２全体が皿状に反ってしまうとい
う現象が生じ、そのために回折光を正確に検出部１１０
に入射できないという問題点があった。
本発明は上述のような事情から成されたものであり、本
発明の目的は、レーザ光の熱による影響を押えて正確に
レーザ光の出力制御を行なうことができるレーザ出力制
御装置を提供することにある。
発明の目的は、レーザ光の熱による影響を押えて正確に
レーザ光の出力制御を行なうことができるレーザ出力制
御装置を提供することにある。
（課題を解決するための手段）
本発明は、レーザ発振装置から出力されるレーザ光の出
力を高速でフィードバック制御する出力制御装置に関す
るものであり、本発明の上記目的は、レーザ媒質を励起
して得られるレーザ光の一部を回折させる回折手段と、
この回折手段によっ・〔回折された高次の回折光の出力
を検出する検出手段とを有し、前記検出手段から出力さ
れた検出値及び予め指令されたレーザ出力値を比較演算
して前記レーザ媒質の励起強度を制御するようにしたレ
ーザ出力制御装置において、前記回折手段を強制的に気
体または液体で冷却することによって達成される。
力を高速でフィードバック制御する出力制御装置に関す
るものであり、本発明の上記目的は、レーザ媒質を励起
して得られるレーザ光の一部を回折させる回折手段と、
この回折手段によっ・〔回折された高次の回折光の出力
を検出する検出手段とを有し、前記検出手段から出力さ
れた検出値及び予め指令されたレーザ出力値を比較演算
して前記レーザ媒質の励起強度を制御するようにしたレ
ーザ出力制御装置において、前記回折手段を強制的に気
体または液体で冷却することによって達成される。
（作用）
本発明にあっては、レーザ媒質を励起して得られるレー
ザ光の一部を回折させ、その回折光の出力を検出してレ
ーザ媒質の励起強度を制御するようにしたレーザ出力制
御装置において、回折手段を冷却することにより、レー
ザ光の熱による回折手段への影響を抑えて正確に励起強
度を制御することができる。
ザ光の一部を回折させ、その回折光の出力を検出してレ
ーザ媒質の励起強度を制御するようにしたレーザ出力制
御装置において、回折手段を冷却することにより、レー
ザ光の熱による回折手段への影響を抑えて正確に励起強
度を制御することができる。
（実施例）
以下、図面に基づいて本発明の実施例について詳細に説
明する。
明する。
第１図（＾）は、本発明におけるレーザ出力制御装置に
用いられるレーザ検出器の一例の断面図であり、第１図
（Ｂ）は、その平面図である。尚、レーザ出力制御装置
全体の構成は従来と同様であるので全体動作の説明と合
わせて省略する。
用いられるレーザ検出器の一例の断面図であり、第１図
（Ｂ）は、その平面図である。尚、レーザ出力制御装置
全体の構成は従来と同様であるので全体動作の説明と合
わせて省略する。
第１図において、透過レーザ光ＬＢ２の入射範囲１０５
の周囲には冷却管１０４が設けられており、更にその冷
却管１０４は吸水口１０Ｂと排出口１０７を有している
。
の周囲には冷却管１０４が設けられており、更にその冷
却管１０４は吸水口１０Ｂと排出口１０７を有している
。
このようにレーザ光検出器１００を構成したレーザ出力
制御装置において、その動作中は、給水口１０６から矢
印１０８の方向に給水して排水口１０７から矢印１０９
の方向に排水することにより、回折格子１０１の周囲を
常時冷却し、透過レーザ光ＬＢ２による温度上昇を防止
する。
制御装置において、その動作中は、給水口１０６から矢
印１０８の方向に給水して排水口１０７から矢印１０９
の方向に排水することにより、回折格子１０１の周囲を
常時冷却し、透過レーザ光ＬＢ２による温度上昇を防止
する。
（発明の効果）
以上のように本発明のレーザ出力制御装置によれば、レ
ーザ発振装置から出力されるレーザ光を回折手段により
回折させ検出してその出力を制御する際に、回折手段を
冷却することにより、回折手段の温度上昇を抑え熱変形
を防止でき、正確な回折光を検出することができるので
、それに応じてレーザ出力制御が正確となる。また、回
折手段の温度上昇を抑えることにより、赤外線の放射も
防止できるので、より精度の高いレーザ光が検出され制
御の信碩ｆｌが向上する。
ーザ発振装置から出力されるレーザ光を回折手段により
回折させ検出してその出力を制御する際に、回折手段を
冷却することにより、回折手段の温度上昇を抑え熱変形
を防止でき、正確な回折光を検出することができるので
、それに応じてレーザ出力制御が正確となる。また、回
折手段の温度上昇を抑えることにより、赤外線の放射も
防止できるので、より精度の高いレーザ光が検出され制
御の信碩ｆｌが向上する。
１０７・・・排水口、１１０・・・検出部、１１１・・
・フィルタ、１１２・・・レンズ系、１１３・・・サー
モパイル。
・フィルタ、１１２・・・レンズ系、１１３・・・サー
モパイル。
第１図（Δ）は本発明におけるレーザ出力制御装置に用
いられるレーザ光検出器の一例の断面図、第１図（Ｂ）
はその平面図、第２図は炭酸ガスレーザ発振装置におけ
るレーザ出力制御装置の概略図、第３図（八）は従来に
おけるレーザ光検出器の断面図、第３図（８）はその平
面図である。
いられるレーザ光検出器の一例の断面図、第１図（Ｂ）
はその平面図、第２図は炭酸ガスレーザ発振装置におけ
るレーザ出力制御装置の概略図、第３図（八）は従来に
おけるレーザ光検出器の断面図、第３図（８）はその平
面図である。
Claims (1)
- １．レーザ媒質を励起レて得られるレーザ光の一部を回
折させる回折手段と、この回折手段によって回折された
高次の回折光の出力を検出する検出手段とを有し、前記
検出手段から出力された検出値及び予め指令されたレー
ザ出力値を比較演算して前記レーザ媒質の励起強度を制
御するようにしたレーザ出力制御装置において、前記回
折手段を強制的に気体または液体で冷却するようにした
ことを特徴とするレーザ出力制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33005588A JPH02174284A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | レーザ出力制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33005588A JPH02174284A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | レーザ出力制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02174284A true JPH02174284A (ja) | 1990-07-05 |
Family
ID=18228277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33005588A Pending JPH02174284A (ja) | 1988-12-27 | 1988-12-27 | レーザ出力制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02174284A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06209137A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ発振器 |
| JP2007067123A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | レーザーパルス圧縮装置 |
-
1988
- 1988-12-27 JP JP33005588A patent/JPH02174284A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06209137A (ja) * | 1992-11-18 | 1994-07-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | レーザ発振器 |
| JP2007067123A (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-15 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | レーザーパルス圧縮装置 |
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