JP2007066935A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器101内に被処理体を載置する部材を備え、真空容器101内に処理用のガスを導入する手段を持ち、真空容器101内にプラズマを発生させるための第1電極106aを具備したプラズマ処理装置であって、真空容器101内で発生するプラズマの光信号を検出するための手段として真空容器101の少なくとも1つの側面に測定しようとする波長域に対して、透過性を持った材料で構成される検出窓を具備し、前記検出窓の真空容器101側にプラズマ中のイオンを積極的に引き込むための第2電極106bを具備し、前記検出窓の内側を伝播し真空容器101の外側の面から出るプラズマの発光を検出するための手段を有すること。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係るプラズマ処理装置を示す概略断面図であり、図2は図1の要部Aを拡大して示す断面図である。
102 インナチャンバ
103 誘電体
104 支柱
105 第3電極
106a 第1電極
106b 第2電極
107 ガス導入口
108 ガス供給装置
109 調圧弁
110 排気口
111 排気機構
112a マッチング回路
112b マッチング回路
113a 第1電極用高周波電源
113b 第2電極用高周波電源
114 第3電極用高周波電源
115 集光装置
116 終点検出器
117 電極カバー
118 接地点
W 半導体ウエハ
Claims (6)
- 真空処理室内に被処理体を載置する部材を備え、前記真空処理室内にガスを給排気する手段と、前記部材と対向して誘電体が設けられ、前記誘電体上に第1の電極を具備したプラズマ処理装置であって、前記真空処理室内で発生するプラズマの光信号を検出するための透過性を持った検出窓を具備し、前記誘電体の直上に第2の電極を配置すると共に前記検出窓の側面にプラズマの発光を検出するための手段を有したことを特徴とするプラズマ処理装置。
- 第1の電極は、13.56MHz〜100MHzの周波数の高周波電源に接続されていることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記プラズマの発光を検出する手段として受光素子と処理の終点を検知する装置を具備した請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記検出窓から前記受光素子まで外部からのプラズマ以外の光を遮断する構造を具備する請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 検出窓は、石英若しくはサファイアで構成されることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第2の電極は高周波電源と整合器もしくは前記第2の電極はアースとの間に1個以上のコンデンサと1個以上のコイルで構成される整合器を具備することを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
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