JP2007066538A - Manufacturing method of organic electroluminescent element - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a thin and light-weighted organic EL element which prevents the occurrence of secondary failures due to installation of a flexible sealing member for suppressing dark spots and can secure a long lifetime for a luminance layer, without requiring measures on cost increase and measures on production capacity. <P>SOLUTION: The manufacturing method of an organic EL element pastes together a flexible sealing member through a liquid-sealing agent in the light-emitting region or surrounding of the organic EL element formed on a substrate and seals the organic EL element. The liquid-sealing agent is applied on any of the flexible sealing member or the light-emitting region or surrounding of the light-emitting region, and then the flexible sealing member is mounted on the light-emitting region, and a diffusion inhibited region of the liquid-sealing agent is crimped and held by a first crimping member. Thereafter, by crimping the arrangement position of the liquid-sealing agent using a second crimping member to primarily paste together the flexible sealing member, and then by subjecting the liquid-sealing agent to hardening treatment, the flexible sealing member is pasted together. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子とも言う)の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for producing an organic electroluminescence element (hereinafter also referred to as an organic EL element).

近年、有機物質を使用した有機EL素子は、固体発光型の安価な大面積フルカラー表示素子や書き込み光源アレイとしての用途が有望視されており、活発な研究開発が進められている。有機EL素子は、基板上に形成された第1電極(陽極又は陰極)と、その上に積層された有機発光物質を含有する有機化合物層(単層部又は多層部)すなわち発光層と、この発光層上に積層された第2電極(陰極又は陽極)とを有する薄膜型の素子である。この様な有機EL素子に電圧を印加すると、有機化合物層に陰極から電子が注入され陽極から正孔が注入される。この電子と正孔が発光層において再結合し、エネルギー準位が伝導帯から価電子帯に戻る際にエネルギーを光として放出することにより発光が得られることが知られている。   In recent years, organic EL elements using organic substances have been promising for use as solid light-emitting inexpensive, large-area full-color display elements and writing light source arrays, and active research and development have been promoted. The organic EL element includes a first electrode (anode or cathode) formed on a substrate, an organic compound layer (single layer portion or multilayer portion) containing an organic light emitting material laminated thereon, that is, a light emitting layer, It is a thin film type element having a second electrode (cathode or anode) laminated on the light emitting layer. When a voltage is applied to such an organic EL element, electrons are injected from the cathode and holes are injected from the anode into the organic compound layer. It is known that light is obtained by releasing energy as light when the electrons and holes recombine in the light emitting layer and the energy level returns from the conduction band to the valence band.

この様に、有機EL素子は薄膜型の素子であるため、1個又は複数個の有機EL素子を基板上に形成した有機ELパネルをバックライト等の面光源として利用した場合には、面光源を備えた装置を容易に薄型にすることが出来る。又、画素としての有機EL素子を基板上に所定個数形成した有機ELパネルをディスプレイパネルとして用いて表示装置を構成した場合には視認性が高い、視野角依存性がないなど、液晶表示装置では得られない利点がある。有機EL素子の構成を図8で説明する。   As described above, since the organic EL element is a thin film type element, when an organic EL panel in which one or a plurality of organic EL elements are formed on a substrate is used as a surface light source such as a backlight, a surface light source. It is possible to easily make a device equipped with In addition, when a display device is configured using an organic EL panel in which a predetermined number of organic EL elements as pixels are formed on a substrate as a display panel, the liquid crystal display device has high visibility and no viewing angle dependency. There are benefits that cannot be obtained. The configuration of the organic EL element will be described with reference to FIG.

図8は有機EL素子の層構成の一例を示す概略断面図である。   FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing an example of the layer structure of the organic EL element.

図中、1は有機EL素子を示す。有機EL素子1は、基材101上に、陽極102と、正孔輸送層(正孔注入層)103と、有機化合物層(発光層)104と、電子注入層105と、陰極106と、接着剤層107と、可撓性封止部材108とをこの順番に有している。本図に示される有機EL素子において、陽極102と正孔輸送層103の間に正孔注入層(不図示)を設けてもよい。又、陰極106と有機化合物層(発光層)104と電子注入層105との間に電子輸送層(不図示)を設けてもよい。有機EL素子1では、陽極102と基材101との間にガスバリア膜(不図示)を設けても構わない。又、陰極106と上に保護層(不図示)を設けてもよい。   In the figure, 1 indicates an organic EL element. The organic EL element 1 has an anode 102, a hole transport layer (hole injection layer) 103, an organic compound layer (light emitting layer) 104, an electron injection layer 105, a cathode 106, an adhesive, and a substrate 101. The agent layer 107 and the flexible sealing member 108 are provided in this order. In the organic EL element shown in this figure, a hole injection layer (not shown) may be provided between the anode 102 and the hole transport layer 103. Further, an electron transport layer (not shown) may be provided between the cathode 106, the organic compound layer (light emitting layer) 104, and the electron injection layer 105. In the organic EL element 1, a gas barrier film (not shown) may be provided between the anode 102 and the substrate 101. Further, a protective layer (not shown) may be provided on the cathode 106.

本図に示す有機EL素子の層構成は一例を示したものであるが、他の代表的な有機EL素子の層構成としては次の構成が挙げられる。   The layer configuration of the organic EL element shown in this figure shows an example, but the following configuration can be given as a layer configuration of another typical organic EL element.

(1)基板/陽極/発光層/電子輸送層/陰極/封止層
(2)基板/陽極/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極/封止層
(3)基板/陽極/正孔輸送層(正孔注入層)/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極/封止層
(4)基板/陽極/陽極バッファー層(正孔注入層)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極/封止層
有機EL素子の場合、通常、第1電極(陽極)102側が観察側になり、第1電極(陽極)102には、ITO(酸化スズと酸化インジウム混合物)、IZO(酸化亜鉛と酸化インジウム混合物)、ZnO、SnO2、In23等が知られている。中でも、ITO電極は、90%以上の高い光透過率と、10Ω/□以下の低いシート抵抗値が可能で、液晶ディスプレイや太陽電池などの透明電極としても用いられている。又、IZO電極は、形成時に基板を加熱せずに所定の低い抵抗値が得られ、ITO電極よりも膜表面が平滑であるという利点がある。
(1) Substrate / anode / light emitting layer / electron transport layer / cathode / sealing layer (2) Substrate / anode / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode / sealing layer (3) ) Substrate / anode / hole transport layer (hole injection layer) / emission layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode / sealing layer (4) substrate / anode / anode Buffer layer (hole injection layer) / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode / sealing layer In the case of an organic EL device, usually the first The electrode (anode) 102 side is the observation side, and the first electrode (anode) 102 includes ITO (mixture of tin oxide and indium oxide), IZO (mixture of zinc oxide and indium oxide), ZnO, SnO 2 , In 2 O 3. Etc. are known. Among them, the ITO electrode has a high light transmittance of 90% or more and a low sheet resistance value of 10Ω / □ or less, and is also used as a transparent electrode for liquid crystal displays and solar cells. Further, the IZO electrode has an advantage that a predetermined low resistance value can be obtained without heating the substrate at the time of formation, and the film surface is smoother than the ITO electrode.

図8に示される如き有機EL素子を表示装置に応用を行う上で、RGB三原色の安定した発光は必要不可欠な条件である。しかしながら、有機EL素子においては、長時間駆動によりダークスポットと呼ばれる非発光点が発生し、このダークスポットの成長が有機EL素子の寿命を短くしている原因の一つとなっている。ダークスポットは一般的に駆動直後は肉眼では見えない程度の大きさで発生し、これを核として連続駆動により成長していくことが知られている。又、ダークスポットは駆動を行わない保存状態でも発生し、経時的に成長することが知られている。   In applying the organic EL element as shown in FIG. 8 to a display device, stable light emission of the three primary colors of RGB is an indispensable condition. However, in an organic EL element, a non-emission point called a dark spot is generated by long-time driving, and the growth of the dark spot is one of the causes for shortening the lifetime of the organic EL element. It is known that a dark spot is generally generated in a size that cannot be seen with the naked eye immediately after driving, and grows by continuous driving using this as a core. Further, it is known that dark spots are generated even in a storage state where driving is not performed and grows with time.

ダ−クスポットの原因は色々考えられるが、外的要因としては、水分や酸素のデバイス内への浸入による有機層の結晶化、第2電極の剥離等が考えられる。内的要因としては、第2電極を構成している金属の結晶成長によるショート、発光に伴う発熱による有機層の結晶化、劣化等がダークスポットの要因として考えられている。   There are various causes of the dark spot, but external factors include crystallization of the organic layer due to the penetration of moisture and oxygen into the device, peeling of the second electrode, and the like. As internal factors, short spots due to crystal growth of the metal constituting the second electrode, crystallization and deterioration of the organic layer due to heat generation due to light emission, and the like are considered as factors of dark spots.

これら、ダ−クスポットの発生を防止するために対策として、例えば特開平5−182759、同5−36475には金属製やガラス製の封止缶により乾燥窒素雰囲気下でEL素子を被覆封止する方法が記載されている。しかし、ガラスや金属製の封止缶を用いるため、有機EL素子を薄型・軽量化するのに限界があった。又、製造工程においては、気密ケース内部に乾燥剤を封入する工程、気密ケースに光硬化性樹脂を塗布する工程、透光性基板と気密ケースを貼り合せる工程、光硬化性樹脂を硬化させる工程があるため、生産性・製造コストの面で問題があった。   As a countermeasure for preventing the occurrence of these dark spots, for example, JP-A-5-182759 and JP-A-5-36475 cover and seal an EL element in a dry nitrogen atmosphere with a metal or glass sealing can. How to do is described. However, since a glass or metal sealing can is used, there is a limit to reducing the thickness and weight of the organic EL element. In addition, in the manufacturing process, a step of encapsulating a desiccant inside the airtight case, a step of applying a photocurable resin to the airtight case, a step of bonding the light transmissive substrate and the airtight case, a step of curing the photocurable resin Therefore, there was a problem in terms of productivity and manufacturing cost.

更に、ダ−クスポットの発生を防止し、且つ薄型・軽量化対策として、例えば、特開2001−307871、同2002−50470には金属箔などのバリア性の高いフィルムを用いて封止することにより、耐湿性に優れた薄型・軽量な有機EL素子を得る方法が記載されている。   Further, as a countermeasure for reducing the occurrence of dark spots and reducing the thickness and weight, for example, in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2001-307871 and 2002-50470, sealing is performed using a film having a high barrier property such as a metal foil. Describes a method for obtaining a thin and lightweight organic EL device excellent in moisture resistance.

しかし、金属箔を撓ませずに保持し、接着層中に気泡が残留しないように、接着層の膜厚が全面均一になるように金属箔を貼り合せることが困難であるといった問題があった。特に、厚みが50μm以下である金属箔を用いて、しわ等の発生を起こさずに封止することは困難であった。更に、金属箔の可撓性ゆえに、封止後の有機EL素子の封止面を平滑に保つことが難しく、従って封止したEL素子側面から侵入する水分の量も側面毎に異なり、安定した耐湿性能を有する有機EL素子の生産は難しかった。   However, there is a problem that it is difficult to bond the metal foil so that the entire thickness of the adhesive layer is uniform so that the metal foil is held without bending and no bubbles remain in the adhesive layer. . In particular, it was difficult to seal a metal foil having a thickness of 50 μm or less without causing wrinkles or the like. Furthermore, due to the flexibility of the metal foil, it is difficult to keep the sealing surface of the organic EL element after sealing smooth, and therefore the amount of moisture entering from the side surface of the sealed EL element varies from side to side and is stable. It was difficult to produce an organic EL device having moisture resistance.

更に、この様なバリア性の高いフィルムを封止部材として使用し、しわ等の発生を起こさずに封止する方法が検討されてきた。例えば、基材上に形成された表示領域と封止部材との間に樹脂部材を挟み込み、押圧することで封止部材を一体化させる方法が知られている(例えば、特許文献1を参照。)。   Furthermore, a method of using such a film having a high barrier property as a sealing member and sealing without causing wrinkles or the like has been studied. For example, a method of integrating a sealing member by sandwiching and pressing a resin member between a display region formed on a substrate and the sealing member is known (see, for example, Patent Document 1). ).

しかしながら、特許文献1に記載の方法では押圧した際に樹脂部材がはみ出し、外部電極に付着することで2次故障を引き起こすことが懸念される。又、基材上に形成された発光領域(表示領域)と電極領域のまわりに防護壁を設け、発光領域(表示領域)と封止部材との間に封止樹脂を挟み込み、押圧することで封止部材を固定化させる方法が知られている(例えば、特許文献2を参照。)。   However, in the method described in Patent Document 1, there is a concern that the resin member protrudes when pressed and adheres to the external electrode, thereby causing a secondary failure. In addition, a protective wall is provided around the light emitting area (display area) and electrode area formed on the substrate, and a sealing resin is sandwiched between the light emitting area (display area) and the sealing member and pressed. A method for fixing a sealing member is known (for example, see Patent Document 2).

しかしながら、特許文献2に記載の方法では封止樹脂のはみ出しに伴う2次故障はなくなるが、防護壁を設ける工程が増加するためのコストアップ対策、生産能力対策等が新たに必要とされることが懸念される。   However, the method described in Patent Document 2 eliminates the secondary failure caused by the protrusion of the sealing resin, but requires additional measures for cost increase and production capacity to increase the number of steps for providing a protective wall. Is concerned.

この様な状況から、ダークスポットの発生を抑えるための可撓性封止部材を設けることによる2次故障の発生を防止し、コストアップ対策、生産能力対策を必要とせず、発光層の長寿命化が取れ、薄型・軽量な有機EL素子を得る有機EL素子の製造方法の開発が望まれている。
特開2002−216950号公報 特開2004−311226号公報
In such a situation, the occurrence of secondary failure due to the provision of a flexible sealing member to suppress the occurrence of dark spots is prevented, and no cost increase measures or production capacity measures are required, and the long life of the light emitting layer Therefore, development of a method for manufacturing an organic EL element that obtains a thin and lightweight organic EL element is desired.
JP 2002-216950 A JP 2004-31226 A

本発明は上記状況に鑑み成されたものであり、その目的はダークスポットの発生を抑えるための可撓性封止部材を設けることによる2次故障の発生を防止し、コストアップ対策、生産能力対策を必要とせず、発光層の長寿命化が取れ、薄型・軽量な有機EL素子の製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above situation, and its purpose is to prevent the occurrence of secondary failure due to the provision of a flexible sealing member for suppressing the occurrence of dark spots, to prevent cost increase, and to increase production capacity. It is an object of the present invention to provide a method for producing a thin and lightweight organic EL element that requires no measures and can extend the life of the light emitting layer.

本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。   The above object of the present invention has been achieved by the following constitution.

(1)基板上に、少なくとも第1電極層と、発光層を含む有機化合物層と、第2電極を含む陰極層と、封止層とを順次形成する工程を有し、封止層の形成は可撓性封止部材を発光領域及び周辺に液状シール剤を介して貼合配置することで有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、前記液状シール剤を少なくとも前記可撓性封止部材、前記基板上に形成された前記発光領域又は、前記発光領域の周辺の何れかに塗設した後、前記可撓性封止部材を前記基板上に形成された前記発光領域上に載置し、前記液状シール剤の拡散禁止領域を前記可撓性封止部材の上から第1圧着部材で圧着保持し、前記液状シール剤の配置位置を第2圧着部材で圧着することで前記可撓性封止部材を一次貼合した後、前記液状シール剤を硬化処理し、前記可撓性封止部材を貼合することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   (1) A step of sequentially forming at least a first electrode layer, an organic compound layer including a light emitting layer, a cathode layer including a second electrode, and a sealing layer on a substrate, and forming a sealing layer Is a method of manufacturing an organic electroluminescent element in which a flexible sealing member is bonded and disposed around a light emitting region and a periphery via a liquid sealant, wherein the liquid sealant is at least flexible. On the light emitting region formed on the substrate, after coating the flexible sealing member on the light emitting region formed on the substrate or on the periphery of the light emitting region. The liquid sealing agent diffusion prohibition region is pressure-bonded and held by the first pressure-bonding member from above the flexible sealing member, and the liquid sealing agent is disposed by pressure-bonding by the second pressure-bonding member. Primary attachment of the flexible sealing member After, the liquid sealing agent was cured, method of manufacturing an organic electroluminescent device, which comprises laminating the flexible sealing member.

(2)前記可撓性封止部材と接触する第1圧着部材のヤング率が1×10-3GPa〜80GPaであることを特徴とする前記(1)に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 (2) The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to (1), wherein the Young's modulus of the first pressure-bonding member that contacts the flexible sealing member is 1 × 10 −3 GPa to 80 GPa. .

(3)前記可撓性封止部材と接触する第2圧着部材の面のヤング率が1×10-3GPa〜80GPaであることを特徴とする前記(1)又は(2)に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 (3) The organic according to (1) or (2) above, wherein the Young's modulus of the surface of the second pressure-bonding member in contact with the flexible sealing member is 1 × 10 −3 GPa to 80 GPa. Manufacturing method of electroluminescent element.

(4)前記第1圧着部材による液状シール剤の拡散禁止領域を圧着するときの面圧が1×10-2MPa〜10MPaであることを特徴とする前記(1)〜(3)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 (4) Any of the above (1) to (3), wherein the surface pressure when the liquid sealant diffusion prohibited region by the first pressure bonding member is pressure bonded is 1 × 10 −2 MPa to 10 MPa. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of 1 item | term.

(5)前記第2圧着部材による液状シール剤の配置位置を圧着するときの面圧が1×10-2MPa〜10MPaであることを特徴とする前記(1)〜(4)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 (5) Any one of the above (1) to (4), wherein the surface pressure when the liquid sealant is disposed by the second pressure bonding member is 1 × 10 −2 MPa to 10 MPa. The manufacturing method of the organic electroluminescent element of description.

(6)前記拡散禁止領域が発光領域であることを特徴とする前記(1)〜(5)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   (6) The method for manufacturing an organic electroluminescence element according to any one of (1) to (5), wherein the diffusion prohibition region is a light emitting region.

(7)前記拡散禁止領域が外部電極取り出し領域であることを特徴とする前記(1)〜(6)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。   (7) The method for producing an organic electroluminescent element according to any one of (1) to (6), wherein the diffusion prohibition region is an external electrode extraction region.

(8)前記可撓性封止部材のヤング率が1×10-3GPa〜80GPaであり、厚みが10μm〜500μmであることを特徴とする前記(1)〜(7)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 (8) The Young's modulus of the flexible sealing member is 1 × 10 −3 GPa to 80 GPa, and the thickness is 10 μm to 500 μm. Any one of (1) to (7), The manufacturing method of the organic electroluminescent element of description.

(9)前記可撓性封止部材の貼合は、10Pa〜1×10-4Paの減圧条件で行われることを特徴とする前記(1)〜(8)の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 (9) The bonding of the flexible sealing member is performed under a reduced pressure condition of 10 Pa to 1 × 10 −4 Pa, according to any one of (1) to (8), Manufacturing method of organic electroluminescent element.

ダークスポットの発生を抑えるための可撓性封止部材を設けることによる2次故障の発生を防止し、コストアップ対策、生産能力対策を必要とせず、発光層の長寿命化が取れ、薄型・軽量な有機EL素子の製造方法を提供することが出来、高品質の有機EL素子の生産が可能となった。   By providing a flexible sealing member to suppress the occurrence of dark spots, secondary failures can be prevented, cost saving measures and production capacity measures are not required, the life of the light emitting layer can be extended, A manufacturing method of a light-weight organic EL element can be provided, and a high-quality organic EL element can be produced.

本発明の実施の形態を図1〜図7を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Embodiments of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7, but the present invention is not limited thereto.

図1は基材に帯状フィルムを使用した場合の有機EL素子を作製する工程の一例を示す模式図である。   FIG. 1 is a schematic diagram showing an example of a process for producing an organic EL element when a belt-like film is used as a substrate.

図中、2は有機EL素子を作製する製造装置を示す。製造装置2は、有機化合物層形成工程3と、陰極層形成工程4と、断裁工程5と、可撓性封止部材貼合工程6と、回収工程7とを有している。   In the figure, reference numeral 2 denotes a manufacturing apparatus for producing an organic EL element. The manufacturing apparatus 2 includes an organic compound layer forming step 3, a cathode layer forming step 4, a cutting step 5, a flexible sealing member bonding step 6, and a recovery step 7.

有機化合物層形成工程3は、帯状可撓性支持体の供給部301と、帯状可撓性支持体の洗浄表面改質処理部302と、第1塗布・乾燥部303と、第1加熱処理部304と、第2除電処理部305と、第2塗布・乾燥部306と、第2加熱処理部307と、第3除電処理部308と、第1回収部309とを有している。   The organic compound layer forming step 3 includes a strip-shaped flexible support supply section 301, a strip-shaped flexible support cleaning surface modification processing section 302, a first coating / drying section 303, and a first heat processing section. 304, a second charge removal processing unit 305, a second application / drying unit 306, a second heat treatment unit 307, a third charge removal processing unit 308, and a first recovery unit 309.

供給部301では、ガスバリア膜と第1電極を含む陽極層とがこの順番で既に形成された帯状可撓性支持体A301aが巻き芯に巻取られロール状態で供給される様になっている。   In the supply unit 301, the strip-shaped flexible support A301a in which the gas barrier film and the anode layer including the first electrode are already formed in this order is wound around the winding core and supplied in a roll state.

洗浄表面改質処理部302は、有機化合物層形成用塗布液を塗布する前に供給部301から送られてきた帯状可撓性支持体A301bの陽極層(不図示)表面を洗浄改質する洗浄表面改質処理手段302aと、第1除電処理手段302bとを有している。   The cleaning surface modification processing unit 302 performs cleaning to modify the surface of the anode layer (not shown) of the strip-shaped flexible support A301b sent from the supply unit 301 before applying the organic compound layer forming coating solution. It has surface modification processing means 302a and first charge removal processing means 302b.

第1塗布・乾燥部303は、帯状可撓性支持体A301bを保持するバックアップロール303aと、バックアップロール303aに保持された帯状可撓性支持体A301bに第1有機化合物層形成用塗布液を塗布する第1湿式塗布機303bと、帯状可撓性支持体A301b上の陽極層(不図示)上に形成された第1有機化合物層301cの溶媒を除去する第1乾燥装置303cとを有している。304は第1加熱処理部を示す。   The first coating / drying unit 303 applies the first organic compound layer forming coating solution to the backup roll 303a holding the strip-shaped flexible support A301b and the strip-shaped flexible support A301b held by the backup roll 303a. And a first drying device 303c for removing the solvent of the first organic compound layer 301c formed on the anode layer (not shown) on the belt-like flexible support A301b. Yes. Reference numeral 304 denotes a first heat treatment unit.

305は、形成された第1有機化合物層301cの除電を行う第2除電処理手段を示す。尚、本図では第1有機化合物層形成用塗布液とは正孔輸送層形成用塗布液を指し、第1有機化合物層301cとは正孔輸送層を指す。   Reference numeral 305 denotes a second charge removal processing means for removing charge from the formed first organic compound layer 301c. In this figure, the first organic compound layer forming coating liquid refers to a hole transport layer forming coating liquid, and the first organic compound layer 301c refers to a hole transport layer.

第2塗布・乾燥部306は、バックアップロール306aに保持された第1有機化合物層(正孔輸送層)301cを有する帯状可撓性支持体に第2有機化合物層形成用塗布液を塗布する第2湿式塗布機306bと、第1有機化合物層(正孔輸送層)301c上に形成された第2有機化合物層301dを乾燥する第2乾燥装置306cとを有している。尚、本図では第2有機化合物層形成用塗布液とは発光層形成用塗布液を指し、第2有機化合物層301dとは発光層を指す。   The second application / drying unit 306 applies a second organic compound layer forming coating solution to a strip-shaped flexible support having a first organic compound layer (hole transport layer) 301c held by a backup roll 306a. And a second wet coater 306b and a second drying device 306c for drying the second organic compound layer 301d formed on the first organic compound layer (hole transport layer) 301c. In the drawing, the second organic compound layer forming coating liquid refers to the light emitting layer forming coating liquid, and the second organic compound layer 301 d refers to the light emitting layer.

307は第2加熱処理部を示し、第2加熱処理部307は第1加熱処理部304と同じ構成をしており、第1有機化合物層(正孔輸送層)301c上に形成された、第2有機化合物層(発光層)301dを帯状可撓性支持体の裏面側から裏面伝熱方式で加熱する様になっている。   Reference numeral 307 denotes a second heat treatment unit. The second heat treatment unit 307 has the same configuration as the first heat treatment unit 304, and is formed on the first organic compound layer (hole transport layer) 301c. Two organic compound layers (light emitting layers) 301d are heated from the back side of the belt-like flexible support by the back side heat transfer method.

308は、形成された第2有機化合物層(発光層)301eの除電を行う第3除電処理手段を示す。第2乾燥装置306cは第1乾燥装置303cと同じ構造を有している。第1除電処理手段302bと、第2除電処理手段305と、第3除電処理手段308とは同じであってもよい。   Reference numeral 308 denotes third neutralization processing means for performing neutralization of the formed second organic compound layer (light emitting layer) 301e. The second drying device 306c has the same structure as the first drying device 303c. The first static elimination processing unit 302b, the second static elimination processing unit 305, and the third static elimination processing unit 308 may be the same.

本図では、塗布・乾燥部として第1塗布・乾燥部303と、第2塗布・乾燥部304との2ユニットを有する場合を示しているが、必要に応じて増加することが可能となっている。   This figure shows a case where there are two units of the first application / drying unit 303 and the second application / drying unit 304 as the application / drying unit, but it can be increased as necessary. Yes.

陰極層形成工程4は、材料の供給部401と、第1陰極層形成部402と、第2陰極層形成部403と、第2巻取り部404とを有しており、供給部401から回収部404迄が減圧条件下で連続的に行われる様になっている。   The cathode layer formation step 4 includes a material supply unit 401, a first cathode layer formation unit 402, a second cathode layer formation unit 403, and a second winding unit 404, and is collected from the supply unit 401. Up to the portion 404 is continuously performed under reduced pressure conditions.

供給部401では、製造装置3で作製された、帯状可撓性支持体上に、陽極と、正孔輸送層と、有機化合物層(発光層)とが形成され、巻き芯に巻取られたロール状の帯状可撓性支持体B301fが供給される。   In the supply unit 401, an anode, a hole transport layer, and an organic compound layer (light emitting layer) were formed on the belt-shaped flexible support manufactured by the manufacturing apparatus 3, and wound around a winding core. A roll-shaped belt-like flexible support B301f is supplied.

供給部401から巻き出された有機化合物層(発光層)を有する帯状可撓性支持体B301fの有機化合物層(発光層)上に第1陰極層形成部402で電子注入層301gが形成される。402aは蒸着装置を示し、402bは蒸発源容器を示す。   The electron injection layer 301g is formed by the first cathode layer forming unit 402 on the organic compound layer (light emitting layer) of the strip-shaped flexible support B301f having the organic compound layer (light emitting layer) unwound from the supply unit 401. . Reference numeral 402a denotes a vapor deposition apparatus, and 402b denotes an evaporation source container.

第2陰極層形成部403では、第1陰極層形成部402で形成された電子注入層301g上に第2電極の陰極層301hが形成される。403aは蒸着装置を示し、403bは蒸発源容器を示す。第2陰極層形成部403で第2電極の陰極層301hが形成さた帯状可撓性支持体C301iは回収部404で巻き芯に巻取られロール状の帯状可撓性支持体C301jとなる。   In the second cathode layer forming unit 403, the cathode layer 301h of the second electrode is formed on the electron injection layer 301g formed in the first cathode layer forming unit 402. Reference numeral 403a denotes a vapor deposition apparatus, and reference numeral 403b denotes an evaporation source container. The strip-shaped flexible support C301i in which the cathode layer 301h of the second electrode is formed by the second cathode layer forming unit 403 is wound around the winding core by the collecting unit 404 to become a roll-shaped strip-shaped flexible support C301j.

断裁工程5はロール状の帯状可撓性支持体C301jの供給部501と、ロール状の帯状可撓性支持体C301jから枚葉に断裁する打ち抜き断裁装置502と、枚葉に断裁された第2電極の陰極層301hが形成された枚葉可撓性支持体D301kを回収部503と、打ち抜き断裁後の帯状可撓性支持体C301jを回収する回収部504とを有している。   The cutting step 5 includes a supply unit 501 for a roll-shaped strip-shaped flexible support C301j, a punching cutting device 502 that cuts the roll-shaped strip-shaped flexible support C301j into sheets, and a second sheet that is cut into sheets. The sheet-like flexible support D301k on which the cathode layer 301h of the electrode is formed includes a recovery unit 503, and a recovery unit 504 that recovers the strip-shaped flexible support C301j after punching and cutting.

可撓性封止部材貼合工程6は、枚葉可撓性支持体D301k上に液状シール剤を塗設する液状シール剤塗設装置601と、陰極層301hが形成された枚葉シート状の可撓性支持体D301k上に枚葉シート状可撓性封止部材602aを積重する積重装置602と、積重した枚葉シート状可撓性封止部材を貼合する封止部材貼合装置603とを有している。可撓性封止部材貼合工程6に関しては図5〜図7で詳細に説明する。尚、可撓性封止部材貼合工程6の前に保護層を形成する保護層形成工程(不図示)を設けても構わない。   The flexible sealing member laminating step 6 is a sheet-like sheet-like sheet formed with a liquid sealant coating device 601 for coating a liquid sealant on a single-wafer flexible support D301k and a cathode layer 301h. A stacking device 602 that stacks the sheet-like flexible sealing members 602a on the flexible support D301k, and a sealing member that bonds the stacked sheet-like flexible sealing members A combination device 603. The flexible sealing member bonding step 6 will be described in detail with reference to FIGS. In addition, you may provide the protective layer formation process (not shown) which forms a protective layer before the flexible sealing member bonding process 6. FIG.

尚、本図では第2電極の陰極層301hが形成されたロール状の帯状可撓性支持体C301jを可撓性封止部材貼合工程の前で枚葉シートに断裁し、第2電極の陰極層301hが形成された枚葉可撓性支持体D301kとした後、枚葉可撓性支持体D301k毎に枚葉シート状の可撓性封止部材を貼合する場合を示しているが、帯状可撓性封止部材を使用し、第2電極の陰極層301hが形成された帯状可撓性支持体D301iに帯状可撓性封止部材を貼合した後、枚葉シート状に断裁する方法であっても構わない。   In this figure, the roll-like strip-shaped flexible support C301j on which the cathode layer 301h of the second electrode is formed is cut into a single sheet before the flexible sealing member bonding step, and the second electrode Although the single-wafer flexible support D301k having the cathode layer 301h is formed, a single-wafer sheet-like flexible sealing member is bonded to each single-wafer flexible support D301k. The strip-shaped flexible sealing member is used, and the strip-shaped flexible sealing member is bonded to the strip-shaped flexible support D301i on which the cathode layer 301h of the second electrode is formed, and then cut into a single sheet. You may be the method to do.

図2は枚葉シート状基板を使用した有機EL素子の製造方法の模式図である。   FIG. 2 is a schematic view of a method for producing an organic EL element using a single-wafer sheet-like substrate.

図中、8は製造装置を示す。801は枚葉シート状基板801aを工程に供給する供給部を示す。802は供給部801から供給された枚葉シート状基板801aの表面に第1電極が蒸着される前に、蒸着性をよくするために枚葉シート状基板801aの表面を清掃するための基板洗浄処理装置を示す。   In the figure, 8 indicates a manufacturing apparatus. Reference numeral 801 denotes a supply unit that supplies the sheet-like substrate 801a to the process. Reference numeral 802 denotes a substrate cleaning for cleaning the surface of the single-wafer sheet-like substrate 801a before the first electrode is vapor-deposited on the surface of the single-wafer sheet-like substrate 801a supplied from the supply unit 801. A processing device is shown.

803は洗浄処理が終了した枚葉シート状基板801a上に第1電極を形成する第1陽極層形成部を示し、803aは蒸着装置を示し、803bは蒸発源容器を示す。   Reference numeral 803 denotes a first anode layer forming unit for forming the first electrode on the single-wafer sheet-like substrate 801a after the cleaning process, 803a denotes a vapor deposition apparatus, and 803b denotes an evaporation source container.

804は第1電極が形成された枚葉シート状基板801bの第1電極の外部取り出し電極となる一部を除いて第1電極上に正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成部を示し、804aは蒸着装置を示し、804bは蒸発源容器を示す。   Reference numeral 804 denotes a hole transport layer forming portion that forms a hole transport layer on the first electrode except for a part of the single-wafer sheet-like substrate 801b on which the first electrode is formed that serves as an external extraction electrode of the first electrode. 804a indicates a vapor deposition apparatus, and 804b indicates an evaporation source container.

805は正孔輸送層が形成された枚葉シート状基板801cの正孔輸送層上に発光層を形成する発光層形成部示し、805aは蒸着装置を示し、805bは蒸発源容器を示す。   Reference numeral 805 denotes a light emitting layer forming portion for forming a light emitting layer on the hole transport layer of the single wafer sheet substrate 801c on which the hole transport layer is formed, 805a denotes a vapor deposition device, and 805b denotes an evaporation source container.

806は発光層が形成された枚葉シート状基板801dの発光層上に電子注入層を形成する電子注入層形成部を示し、406aは蒸着装置を示し、806bは蒸発源容器を示す。   Reference numeral 806 denotes an electron injection layer forming portion for forming an electron injection layer on the light emitting layer of the single wafer sheet substrate 801d on which the light emitting layer is formed, 406a denotes a vapor deposition apparatus, and 806b denotes an evaporation source container.

807は電子注入層が形成された枚葉シート状基板801eの電子注入層上に第1電極と直交する状態に第2電極を形成する第2電極形成部を示し、807aは蒸着装置を示し、807bは蒸発源容器を示す。尚、第2電極形成部807の後に、保護層を形成する保護層形成工程(不図示)を設けても構わない。   Reference numeral 807 denotes a second electrode forming portion that forms the second electrode in a state orthogonal to the first electrode on the electron injection layer of the single-wafer sheet-like substrate 801e on which the electron injection layer is formed, and 807a denotes a vapor deposition apparatus. Reference numeral 807b denotes an evaporation source container. Note that a protective layer forming step (not shown) for forming a protective layer may be provided after the second electrode forming portion 807.

808は第2電極が形成された枚葉シート状基板801fの上に可撓性封止部材を貼合する可撓性封止部材貼合工程を示す。可撓性封止部材を貼合することで有機EL素子9が出来上がる。可撓性封止部材貼合工程808は第2電極が形成された枚葉シート状基板801fに液状シール剤を塗設する液状シール剤塗設装置808aと、液状シール剤が塗設された枚葉シート状基板801f上に枚葉シート状可撓性封止部材を積重する枚葉シート状可撓性封止部材積重装置808bと、積重した枚葉シート状可撓性封止部材を枚葉シート状基板801fの第2電極上に貼合する封止部材貼合装置808cとを有している。809は有機EL素子9を回収する回収部を示す。貼合装置808cは図1に示した封止部材貼合装置603と同じものの使用が可能である。   Reference numeral 808 denotes a flexible sealing member bonding step in which a flexible sealing member is bonded onto the single-wafer sheet-like substrate 801f on which the second electrode is formed. The organic EL element 9 is completed by bonding a flexible sealing member. The flexible sealing member bonding step 808 includes a liquid sealing agent coating device 808a for applying a liquid sealing agent to the sheet-like substrate 801f on which the second electrode is formed, and a sheet on which the liquid sealing agent is applied. Sheet-sheet flexible sealing member stacking device 808b for stacking sheet-sheet flexible sealing members on leaf-sheet-like substrate 801f, and stacked sheet-sheet flexible sealing members stacked And a sealing member laminating apparatus 808c for laminating the film on the second electrode of the sheet-like substrate 801f. Reference numeral 809 denotes a collection unit for collecting the organic EL element 9. The bonding apparatus 808c can use the same thing as the sealing member bonding apparatus 603 shown in FIG.

尚、本図では液状シール剤を枚葉シート状基板801fに塗設した場合を示しているが、液状シール剤の塗設は枚葉シート状可撓性封止部材808b1側であってもよく、又、枚葉シート状基板801fと枚葉シート状可撓性封止部材808b1の両方であってもよく、必要に応じて選択が可能である。   In addition, although this figure shows the case where the liquid sealing agent is applied to the single-wafer sheet-like substrate 801f, the liquid sealing agent may be applied on the single-wafer sheet-like flexible sealing member 808b1 side. Moreover, both the sheet-fed sheet-like substrate 801f and the sheet-fed sheet-like flexible sealing member 808b1 may be used, and selection is possible as necessary.

図1、図2に示される封止部材貼合工程の後に、液状シール剤の硬化処理工程を別に設けてもよいし、封止部材貼合装置603に組み込んでもよい。硬化処理工程は使用する液状シール剤の種類(例えば熱硬化型シール剤、紫外線硬化型シール剤等)に合わせ適宜選択することが可能である。   After the sealing member bonding step shown in FIGS. 1 and 2, a liquid sealing agent curing treatment step may be provided separately, or may be incorporated into the sealing member bonding device 603. The curing treatment step can be appropriately selected according to the type of liquid sealant used (for example, a thermosetting sealant, an ultraviolet curable sealant, etc.).

図1、図2に示される有機EL素子を作製する工程で有機化合物層形成用塗布液を塗布する前に行われる洗浄表面改質処理としては、低圧水銀ランプ、エキシマランプ、プラズマ洗浄装置等が挙げられる。低圧水銀ランプによる洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、波長184.2nmの低圧水銀ランプを、照射強度5〜20mW/cm2で、距離5〜15mmで照射し洗浄表面改質処理を行う条件が挙げられる。プラズマ洗浄装置による洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、大気圧プラズマが好適に使用される。洗浄条件としてはアルゴンガスに酸素1〜5体積%含有ガスを用い、周波数100KHz〜150MHz、電圧10V〜10KV、照射距離5〜20mmで洗浄表面改質処理を行う条件が挙げられる。 The cleaning surface modification process performed before applying the organic compound layer forming coating liquid in the step of manufacturing the organic EL element shown in FIGS. 1 and 2 includes a low-pressure mercury lamp, an excimer lamp, a plasma cleaning apparatus, and the like. Can be mentioned. As conditions for the cleaning surface modification treatment using a low-pressure mercury lamp, for example, a cleaning surface modification treatment is performed by irradiating a low-pressure mercury lamp with a wavelength of 184.2 nm at an irradiation intensity of 5 to 20 mW / cm 2 and a distance of 5 to 15 mm. Conditions are mentioned. For example, atmospheric pressure plasma is preferably used as the condition for the cleaning surface modification treatment by the plasma cleaning apparatus. Examples of the cleaning conditions include conditions in which a gas containing oxygen of 1 to 5% by volume is used for argon gas, and the cleaning surface modification treatment is performed at a frequency of 100 KHz to 150 MHz, a voltage of 10 V to 10 KV, and an irradiation distance of 5 to 20 mm.

図1に示される有機EL素子を作製する工程で行われる除電処理手段としては、光照射方式とコロナ放電式等が挙げられ、これらの中から必要に応じて適宜選択使用することが可能である。光照射式は微弱X線、コロナ放電式はコロナ放電により空気イオンを生成する。この空気イオンは、帯電物体に引き寄せられて反対極性の電荷を補い、静電気を中和する。コロナ放電による除電器、軟X線による除電器が利用可能である。第1除電処理手段により、基材の帯電除去が図られるため、ゴミの付着や絶縁破壊が防止されるため、素子の歩留まりの向上が図られる。   Examples of the charge removal processing means performed in the step of manufacturing the organic EL element shown in FIG. 1 include a light irradiation method and a corona discharge method, and these can be appropriately selected and used as necessary. . The light irradiation type generates weak ions, and the corona discharge type generates air ions by corona discharge. The air ions are attracted to the charged object to compensate for the opposite polarity charge and neutralize static electricity. A static eliminator using corona discharge or a static eliminator using soft X-rays can be used. Since the first charge removal processing means removes the charge of the base material, adhesion of dust and dielectric breakdown are prevented, so that the yield of the elements can be improved.

図1、図2に示される蒸着装置としては、特に限定はなく、例えばスパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法などを用いることが出来、必要に応じて選択して使用することが可能である。   The vapor deposition apparatus shown in FIGS. 1 and 2 is not particularly limited, and for example, sputtering, reactive sputtering, molecular beam epitaxy, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma A polymerization method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used, and can be selected and used as necessary.

図3は図2に示される第2電極までが形成された基板に液状シール剤を塗設した状態を示す概略平面図である。図3の(a)は図2に示される第2電極までが形成された基板の概略平面図である。図3の(b)は図3の(a)に示される第2電極までが形成された基板の発光領域に液状シール剤を塗設した状態を示す概略平面図である。図3の(c)は図3の(a)に示される第2電極までが形成された基板の発光領域の周囲に液状シール剤を塗設した状態を示す概略平面図である。   FIG. 3 is a schematic plan view showing a state in which a liquid sealing agent is applied to the substrate on which up to the second electrode shown in FIG. 2 is formed. FIG. 3A is a schematic plan view of the substrate on which up to the second electrode shown in FIG. 2 is formed. FIG. 3B is a schematic plan view showing a state in which a liquid sealing agent is applied to the light emitting region of the substrate on which the second electrode shown in FIG. 3A is formed. FIG. 3C is a schematic plan view showing a state in which a liquid sealing agent is applied around the light emitting region of the substrate on which the second electrodes shown in FIG. 3A are formed.

図中、801fは第2電極までが形成された枚葉シート状基板を示す。801f1は枚葉シート状基板上に形成された第1電極を示し、801f2は発光層を含む有機化合物層(不図示)上に形成された第2電極を示す。801f3は発光層を含む有機化合物層等を有する発光領域(図中の太線で囲まれた範囲)を示す。801f4は発光領域801f3のに塗設された液状シール剤を示す。801f5は発光領域の周囲に塗設された液状シール剤を示す。   In the figure, reference numeral 801f denotes a single-wafer sheet-like substrate on which up to the second electrode is formed. Reference numeral 801f1 denotes a first electrode formed on a single sheet substrate, and 801f2 denotes a second electrode formed on an organic compound layer (not shown) including a light emitting layer. Reference numeral 801f3 denotes a light emitting region (a range surrounded by a thick line in the drawing) having an organic compound layer including a light emitting layer. Reference numeral 801f4 denotes a liquid sealing agent applied to the light emitting region 801f3. Reference numeral 801f5 denotes a liquid sealant coated around the light emitting region.

本発明で拡散禁止領域とは可撓性封止部材を貼合するとき、塗設された液状シール剤の広がり(拡散)により液状シール剤が付着することで故障の原因になる領域を言う。例えば、図3の(b)の場合、可撓性封止部材が液状シール剤を塗設された発光領域上に貼合されるのであるが、そのときの拡散禁止領域としては、外部取り出し電極である第1電極801f1と、第2電極801f2とが挙げられる。図3の(c)の場合、可撓性封止部材が発光領域を含め、液状シール剤を塗設された発光領域の周囲上に貼合されるのであるが、そのときの拡散禁止領域としては、外部取り出し電極である第1電極801f1と、第2電極801f2と、発光領域801f3とが挙げられる。   In the present invention, the diffusion-prohibited region refers to a region that causes a failure due to adhesion of the liquid sealing agent due to the spread (diffusion) of the applied liquid sealing agent when the flexible sealing member is bonded. For example, in the case of FIG. 3B, the flexible sealing member is bonded onto the light emitting area coated with the liquid sealing agent. A first electrode 801f1 and a second electrode 801f2. In the case of (c) in FIG. 3, the flexible sealing member is pasted on the periphery of the light emitting region coated with the liquid sealant, including the light emitting region. Includes a first electrode 801f1, a second electrode 801f2, and a light emitting region 801f3, which are external extraction electrodes.

液状シール剤を塗設する方法は特に限定はなく、例えばスプレー方式、押し出しノズル方式、スクリーン印刷方式等通常のシール剤の塗設に使用されている方法が挙げられる。使用する液状シール剤の粘度は、塗設均一性、貼合圧着時のシール剤塗れ広がり性等を考慮し、40Pa・s〜400Pa・sであることが好ましい。   The method for applying the liquid sealant is not particularly limited, and examples thereof include a method used for applying a normal sealant such as a spray method, an extrusion nozzle method, and a screen printing method. The viscosity of the liquid sealant to be used is preferably 40 Pa · s to 400 Pa · s in consideration of coating uniformity, spreadability of the sealant at the time of bonding and pressing, and the like.

本発明に係わる液状シール剤としては、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型シール剤剤、2−シアノアクリル酸エステルなどの湿気硬化型等のシール剤剤、エポキシ系などの熱及び化学硬化型(二液混合)等のシール剤剤、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂シール剤剤を挙げることが出来る。尚、有機EL素子が熱処理により劣化する場合があるので、室温から80℃までに接着硬化出来るものが好ましい。又、前記接着剤中に乾燥剤を分散させておいてもよい。液状シール剤には必要に応じてフィラーを添加することが好ましい。フィラーの添加量としては、接着力を考慮し、5〜70体積%が好ましい。又、添加するフィラーの大きさは、接着力、貼合圧着後のシール剤厚み等を考慮し、1μm〜100μmが好ましい。添加するフィラーの種類としては特に限定はなく、例えばソーダガラス、無アルカリガラス或いはシリカ、二酸化チタン、酸化アンチモン、チタニア、アルミナ、ジルコニアや酸化タングステン等の金属酸化物等が挙げられる。可撓性封止部材の貼合に関しては図6、図7で説明する。   Examples of the liquid sealing agent according to the present invention include photocuring and thermosetting sealing agents having reactive vinyl groups of acrylic acid oligomers and methacrylic acid oligomers, and moisture curing type seals such as 2-cyanoacrylic acid esters. Examples thereof include a sealing agent such as an agent, an epoxy-based heat and chemical curing type (two-component mixture), and a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin sealing agent. In addition, since an organic EL element may deteriorate by heat processing, what can be adhesively cured from room temperature to 80 ° C. is preferable. A desiccant may be dispersed in the adhesive. It is preferable to add a filler to the liquid sealant as necessary. The addition amount of the filler is preferably 5 to 70% by volume in consideration of adhesive strength. In addition, the size of the filler to be added is preferably 1 μm to 100 μm in consideration of the adhesive strength, the thickness of the sealant after bonding and bonding, and the like. The kind of filler to be added is not particularly limited, and examples thereof include soda glass, non-alkali glass, or silica, titanium dioxide, antimony oxide, titania, alumina, zirconia, tungsten oxide, and other metal oxides. The bonding of the flexible sealing member will be described with reference to FIGS.

尚、図3の(b)で示される様に発光領域に液状シール剤を塗設する場合、予め発光領域内の第2電極上に保護層(不図示)を形成しておいても構わない。   When a liquid sealing agent is applied to the light emitting region as shown in FIG. 3B, a protective layer (not shown) may be formed on the second electrode in the light emitting region in advance. .

保護層とは、第2電極と有機層を被覆し、支持基盤と接する形で無機物、有機物の層を形成し第2電極と有機層を保護する層を指す。この場合、保護層を形成する材料としては、水分や酸素など素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素などを用いることが出来る。更に保護層の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることが好ましい。保護層の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法などを用いることが出来る。   The protective layer refers to a layer that covers the second electrode and the organic layer, forms an inorganic or organic layer in contact with the support base, and protects the second electrode and the organic layer. In this case, the material for forming the protective layer may be any material as long as it has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of the element such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like may be used. I can do it. Further, in order to improve the brittleness of the protective layer, it is preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. The method for forming the protective layer is not particularly limited. For example, the vacuum deposition method, the sputtering method, the reactive sputtering method, the molecular beam epitaxy method, the cluster ion beam method, the ion plating method, the plasma polymerization method, the atmospheric pressure plasma weighting. A combination method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, or the like can be used.

図4は図2に示す製造装置に使用されている封止部材貼合装置の概略図である。図4の(a)は図2に示す製造装置に使用されている封止部材貼合装置の概略斜視図である。図4の(b)は図4の(a)のA−A′に沿った概略断面図である。   FIG. 4 is a schematic view of a sealing member bonding apparatus used in the manufacturing apparatus shown in FIG. (A) of FIG. 4 is a schematic perspective view of the sealing member bonding apparatus used for the manufacturing apparatus shown in FIG. FIG. 4B is a schematic cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.

図中、808cは封止部材貼合装置を示す。封止部材貼合装置808cは第2電極が形成された枚葉シート状基板801f(図2を参照)の発光領域に塗設された液状シール剤上に可撓性封止部材を貼合するための第1圧着部材808c1と、第2圧着部材808c2と、第1圧着部材808c1と第2圧着部材808c2とを取り付けた上型808c3と、上型808c3を上下方向(図中の矢印方向)への作動を可能にする4本のガイドポスト808c4を有する下型808c5とを有している。   In the figure, 808c shows a sealing member bonding apparatus. The sealing member bonding apparatus 808c bonds a flexible sealing member on the liquid sealing agent coated on the light emitting region of the single-wafer sheet-like substrate 801f (see FIG. 2) on which the second electrode is formed. The first press member 808c1, the second press member 808c2, the upper die 808c3 to which the first press member 808c1 and the second press member 808c2 are attached, and the upper die 808c3 in the vertical direction (the arrow direction in the figure). And a lower mold 808c5 having four guide posts 808c4 that enable the above-described operation.

第1圧着部材808c1は、上型808c3に取り付けられた4本のリニヤーガイド808c6に取り付けられている。808c61は封止部材を貼合する際、第1圧着部材808c1で液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するための弾性部材のバネを示す。
下型808c5は封止部材を貼合する際、第2電極までが形成された枚葉シート状基板を吸引固定するための複数の吸引孔(不図示)と、吸引ポンプ(不図示)に繋がった吸引管(不図示)とを有していることが好ましい。
The first crimping member 808c1 is attached to four linear guides 808c6 attached to the upper mold 808c3. Reference numeral 808c61 denotes a spring of an elastic member for pressure-bonding and holding the diffusion prohibition region of the liquid sealant with the first pressure-bonding member 808c1 when the sealing member is bonded.
The lower mold 808c5 is connected to a plurality of suction holes (not shown) for sucking and fixing the single-wafer sheet-like substrate on which the second electrodes are formed and a suction pump (not shown) when the sealing member is bonded. And a suction pipe (not shown).

808c8は上型808c3をガイドポスト808c4に沿って上下方向(図中の矢印方向)へ作動させるための駆動源を示す。808c9は上型808c3の上面808c31に配設された取り付け部材を示し、駆動軸808c7が取り付けられている。   Reference numeral 808c8 denotes a drive source for operating the upper mold 808c3 in the vertical direction (arrow direction in the drawing) along the guide post 808c4. Reference numeral 808c9 denotes an attachment member disposed on the upper surface 808c31 of the upper mold 808c3, and a drive shaft 808c7 is attached thereto.

本図に示される封止部材貼合装置808cは図3の(b)に示される様に液状シール剤が塗設されている場合に使用される。第1圧着部材808c1で液状シール剤の拡散禁止領域である発光領域周囲を圧着保持し、第2圧着部材808c2で液状シール剤が塗設された発光領域を圧着する様になっている。尚、第2電極が形成された枚葉シート状基板801f(図2を参照)の発光領域には、予め保護層(不図示)が形成されていても構わない。   The sealing member bonding apparatus 808c shown in this figure is used when a liquid sealing agent is applied as shown in FIG. 3 (b). The first pressure-bonding member 808c1 presses and holds the periphery of the light-emitting region, which is the diffusion-inhibiting region of the liquid sealant, and the second pressure-bonding member 808c2 pressure-bonds the light-emitting region coated with the liquid sealant. Note that a protective layer (not shown) may be formed in advance in the light emitting region of the single-wafer sheet substrate 801f (see FIG. 2) on which the second electrode is formed.

図5は図2に示す製造装置に使用されている他の方式の封止部材貼合装置の概略図である。図4の(a)は図2に示す製造装置に使用されている他の方式の封止部材貼合装置の概略斜視図である。図4の(b)は図4の(a)のA−A′に沿った概略断面図である。   FIG. 5 is a schematic view of another type of sealing member bonding apparatus used in the manufacturing apparatus shown in FIG. (A) of FIG. 4 is a schematic perspective view of the sealing member bonding apparatus of the other system currently used for the manufacturing apparatus shown in FIG. FIG. 4B is a schematic cross-sectional view taken along line AA ′ of FIG.

図中、808′cは封止部材貼合装置を示す。封止部材貼合装置808′cは第2電極が形成された枚葉シート状基板801f(図2を参照)の発光領域の周囲に塗設された液状シール剤上に可撓性封止部材を貼合するための第1圧着部材808′c1と、第2圧着部材808′c2と、第1圧着部材808′c1と第2圧着部材808′c2とを取り付けた上型808′c3と、上型808′c3を上下方向(図中の矢印方向)への作動を可能にする4本のガイドポスト808′c4を有する下型808′c5とを有している。   In the figure, 808'c represents a sealing member bonding apparatus. The sealing member laminating apparatus 808'c is a flexible sealing member on the liquid sealing agent coated around the light emitting region of the sheet-like substrate 801f (see FIG. 2) on which the second electrode is formed. An upper die 808'c3 to which a first crimping member 808'c1, a second crimping member 808'c2, a first crimping member 808'c1 and a second crimping member 808'c2 are attached, The upper die 808'c3 has a lower die 808'c5 having four guide posts 808'c4 that allow the upper die 808'c3 to be operated in the vertical direction (the arrow direction in the figure).

第1圧着部材808′c1は、上型808′c3に取り付けられた4本のリニヤーガイド808′c6に取り付けられている。808′c61は封止部材を貼合する際、第1圧着部材808′c1で液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するための弾性部材のバネを示す。
下型808′c5は封止部材を貼合する際、第2電極までが形成された枚葉シート状基板を吸引固定するための複数の吸引孔(不図示)と、吸引ポンプ(不図示)に繋がった吸引管(不図示)とを有していることが好ましい。
808′c8は上型808′c3をガイドポスト808′c4に沿って上下方向(図中の矢印方向)へ作動させるための駆動源を示す。808′c9は上型808′c3の上面808′c31に配設された取り付け部材を示し、駆動軸808′c7が取り付けられている。
The first crimping member 808'c1 is attached to four linear guides 808'c6 attached to the upper mold 808'c3. Reference numeral 808′c61 denotes a spring of an elastic member for pressure-bonding and holding the diffusion prohibition region of the liquid sealant with the first pressure-bonding member 808′c1 when the sealing member is bonded.
The lower mold 808'c5 has a plurality of suction holes (not shown) for sucking and fixing the single-wafer sheet-like substrate on which the second electrodes are formed when a sealing member is bonded, and a suction pump (not shown) It is preferable to have a suction pipe (not shown) connected to.
Reference numeral 808'c8 denotes a drive source for operating the upper mold 808'c3 in the vertical direction (arrow direction in the drawing) along the guide post 808'c4. Reference numeral 808'c9 denotes an attachment member disposed on the upper surface 808'c31 of the upper mold 808'c3, and a drive shaft 808'c7 is attached thereto.

本図に示される封止部材貼合装置808′cは図3の(c)に示される様に液状シール剤が塗設されている場合に使用される。第1圧着部材808′c1で液状シール剤の拡散禁止領域である発光領域を圧着保持し、第2圧着部材808′c2で液状シール剤が塗設された発光領域の周囲を圧着する様になっている。   Sealing member bonding apparatus 808'c shown in this figure is used when a liquid sealing agent is applied as shown in (c) of FIG. The first pressure-bonding member 808'c1 presses and holds the light-emitting region, which is the diffusion-inhibiting region of the liquid sealant, and the second pressure-bonding member 808'c2 pressure-bonds the periphery of the light-emitting region coated with the liquid sealant. ing.

図6は図4に示す封止部材貼合装置を使用し、図3に示される第2電極が形成された枚葉シート状基板の発光領域に塗設された液状シール剤上に可撓性封止部材を貼合する状態を示す概略部分断面図である。   6 uses the sealing member bonding apparatus shown in FIG. 4 and is flexible on the liquid sealing agent applied to the light emitting region of the single-wafer sheet-like substrate on which the second electrode shown in FIG. 3 is formed. It is a schematic fragmentary sectional view which shows the state which bonds a sealing member.

図中、11は発光領域に塗設された液状シール剤の上に積重された可撓性封止部材を示す。可撓性封止部材を貼合するとき、第1圧着部材808c1は液状シール剤の拡散禁止領域(発光領域の周囲)を圧着保持し、第2圧着部材808c2で発光領域に塗設された液状シール剤の上の可撓性封止部材を圧着する状態となっている。この状態は、図5に示す封止部材貼合装置を使用しても同じである。すなわち、可撓性封止部材を貼合するとき、第1圧着部材808′c1は液状シール剤の拡散禁止領域(発光領域)を圧着保持し、第2圧着部材808′c2で発光領域の周囲に塗設された液状シール剤の上の可撓性封止部材を圧着する状態となっている。   In the figure, reference numeral 11 denotes a flexible sealing member stacked on a liquid sealing agent applied to the light emitting region. When the flexible sealing member is bonded, the first pressure-bonding member 808c1 holds the liquid sealant diffusion-inhibited area (around the light-emitting area) by pressure, and the second pressure-bonding member 808c2 is applied to the light-emitting area. The flexible sealing member on the sealing agent is pressed. This state is the same even if the sealing member bonding apparatus shown in FIG. 5 is used. That is, when the flexible sealing member is bonded, the first pressure-bonding member 808'c1 holds the liquid sealant diffusion-inhibited region (light-emitting region) by pressure, and the second pressure-bonding member 808'c2 The flexible sealing member on the liquid sealant coated on the surface is pressed.

液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持する第1圧着部材のヤング率は、密着性やシール剤の塗れ広がり防止、可撓性封止部材への傷付き防止等を考慮し、1×10-3GPa〜80GPaであることが好ましい。 Young's modulus of the first pressure-bonding member for bonding holds the diffusion inhibition region of the liquid sealant, considering adhesion and spreading prevention wetting of the sealant, preventing damage and the like to the flexible sealing member, 1 × 10 - It is preferably 3 GPa to 80 GPa.

液状シール剤の上の可撓性封止部材を圧着する第2圧着部材のヤング率は、密着性や均一圧着性、可撓性封止部材への傷付き防止等を考慮し、1×10-3GPa〜80GPaであることが好ましい。 The Young's modulus of the second pressure-bonding member for pressure-bonding the flexible sealing member on the liquid sealant is 1 × 10 in consideration of adhesion, uniform pressure-bonding, prevention of damage to the flexible sealing member, and the like. -3 GPa to 80 GPa is preferable.

可撓性封止部材を貼合するとき、液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持する第1圧着部材の面圧は、密着性やシール剤の塗れ広がり防止、可撓性封止部材への傷付き防止等を考慮し、1×10-2MPa〜10MPaであることが好ましい。 When the flexible sealing member is bonded, the surface pressure of the first pressure-bonding member that presses and holds the diffusion-prohibited region of the liquid sealant is reduced in adhesion and prevention of spreading of the sealant, Considering prevention of scratches and the like, the pressure is preferably 1 × 10 −2 MPa to 10 MPa.

有機EL素子を表示装置として製品化する際に必要とするガスバリア性を確保するために、
可撓性封止部材の水蒸気透過度は、0.01g/m2・day以下であることが好ましく、且つ酸素透過度は、0.01ml/m2・day・atm以下であることが好ましい。水分透過度はJIS K7129B法(1992年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した値であり、酸素透過度はJIS K7126B法(1987年)に準拠した方法で主としてMOCON法により測定した値である。
In order to ensure the gas barrier properties required when commercializing organic EL elements as display devices,
The water vapor permeability of the flexible sealing member is preferably 0.01 g / m 2 · day or less, and the oxygen permeability is preferably 0.01 ml / m 2 · day · atm or less. The moisture permeability is a value measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K7129B method (1992), and the oxygen permeability is a value measured mainly by the MOCON method by a method based on the JIS K7126B method (1987). is there.

可撓性封止部材のヤング率は、可撓性封止部材と第1圧着部材、第2圧着部材との密着性やシール剤の塗れ広がり防止等を考慮し、1×10-3GPa〜80GPaであり、厚みが10μm〜500μmであることが好ましい。 The Young's modulus of the flexible sealing member is 1 × 10 −3 GPa in consideration of adhesion between the flexible sealing member, the first pressure-bonding member, and the second pressure-bonding member and prevention of spreading of the sealing agent. It is 80 GPa and the thickness is preferably 10 μm to 500 μm.

可撓性封止部材の貼合は、封止工程環境内に存在する酸素や水分による影響、貼合部内への気泡混入防止、気泡混入によるシールの剤拡散、貼合後大気圧に戻した際の外圧によるシール剤の拡散等を考慮し、10Pa〜1×10-4Paの減圧条件で行われることが好ましい。 The bonding of the flexible sealing member was returned to atmospheric pressure after bonding, the influence of oxygen and moisture present in the sealing process environment, the prevention of air bubbles mixing into the bonding portion, the diffusion of the seal due to air bubbles mixing, and the bonding. In consideration of the diffusion of the sealing agent due to the external pressure at the time, it is preferably performed under reduced pressure conditions of 10 Pa to 1 × 10 −4 Pa.

本発明に使用する可撓性封止部材としてはポリエチレンテレフタレート、ナイロン、ポリカーボネート、アクリル、ポリエーテルサルファイド、ポリサルフォン等の可撓性のある樹脂フィルムからなる支持体へ蒸着法やコーティング法でバリア層を形成した材料又はバリア層として金属箔を用いた材料が挙げられる。バリア層としては、例えばIn、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni等の金属、MgO、SiO、SiO2、Al23、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe23、Y23、TiO2等の金属酸化物を蒸着した材料が挙げられる。又、金属箔の材料としては、例えばアルミニウム、銅、ニッケルなどの金属材料や、ステンレス、アルミニウム合金などの合金材料を用いることが出来るが、加工性やコストの面でアルミニウムが好ましい。膜厚は、1〜100μm程度、好ましくは10μm〜50μm程度が望ましい。又、製造時の取り扱いを容易にするために、ポリエチレンテレフタレート、ナイロンなどのフィルムを予めラミネートしておいてもよい。又、樹脂フィルムの他にステンレス、鉄、銅、アルミニウム、マグネシウム、ニッケル、亜鉛、クロム、チタン、モリブテン、シリコン、ゲルマニウム及びタンタルからなる群から選ばれる1種以上の金属又は合金からなる金属フィルムも使用することが可能である。 As a flexible sealing member used in the present invention, a barrier layer is formed by vapor deposition or coating on a support made of a flexible resin film such as polyethylene terephthalate, nylon, polycarbonate, acrylic, polyether sulfide, polysulfone or the like. Examples thereof include a formed material or a material using a metal foil as a barrier layer. Examples of the barrier layer include metals such as In, Sn, Pb, Au, Cu, Ag, Al, Ti, and Ni, MgO, SiO, SiO 2 , Al 2 O 3 , GeO, NiO, CaO, BaO, and Fe 2 O. 3 , materials in which metal oxides such as Y 2 O 3 and TiO 2 are vapor-deposited. Moreover, as a material of the metal foil, for example, a metal material such as aluminum, copper, or nickel, or an alloy material such as stainless steel or an aluminum alloy can be used, but aluminum is preferable in terms of workability and cost. The film thickness is about 1 to 100 μm, preferably about 10 to 50 μm. In order to facilitate handling during production, a film such as polyethylene terephthalate or nylon may be laminated in advance. In addition to the resin film, a metal film made of one or more metals or alloys selected from the group consisting of stainless steel, iron, copper, aluminum, magnesium, nickel, zinc, chromium, titanium, molybdenum, silicon, germanium, and tantalum is also available. It is possible to use.

図7は図4に示される封止部材貼合装置を使用して、図3に示される第2電極が形成された枚葉シート状基板の発光領域に塗設された液状シール剤上に可撓性封止部材を貼合するまでの概略フロー図である。   FIG. 7 is possible on the liquid sealant coated on the light emitting region of the single-wafer sheet-like substrate on which the second electrode shown in FIG. 3 is formed using the sealing member bonding apparatus shown in FIG. It is a schematic flowchart until it bonds a flexible sealing member.

S1では、封止部材貼合装置808cと図3の(b)に示される様に発光領域801f3に液状シール剤801f4が塗設された第2電極が形成された枚葉シート状基板801fとが準備される。   In S1, a sealing member laminating apparatus 808c and a single-wafer sheet-like substrate 801f on which a second electrode in which a liquid sealant 801f4 is coated in a light emitting region 801f3 as shown in FIG. 3B is formed. Be prepared.

S2では、枚葉シート状基板801fの液状シール剤801f4が塗設された上に可撓性封止部材11を積重する。このとき、使用する可撓性封止部材11の大きさは枚葉シート状基板801fの大きさと同じであることが好ましい。可撓性封止部材11を積重した状態で、封止部材貼合装置808cの下型808c5の上面808c51の指定の位置に枚葉シート状基板801fを載置する。尚、下型808c5に吸引機構が備えてあれば指定の位置に載置した後、吸引固定することが好ましい。   In S2, the flexible sealing member 11 is stacked on the liquid sealing agent 801f4 of the single-wafer sheet-like substrate 801f. At this time, the size of the flexible sealing member 11 to be used is preferably the same as the size of the single-wafer sheet-like substrate 801f. In a state where the flexible sealing members 11 are stacked, the single-wafer sheet-like substrate 801f is placed at a designated position on the upper surface 808c51 of the lower mold 808c5 of the sealing member bonding apparatus 808c. Note that if the lower mold 808c5 has a suction mechanism, it is preferable that the lower mold 808c5 is suction-fixed after being placed at a specified position.

S3では、上型808c3が駆動機構808c8(図4を参照)により下げられ(図中の矢印方向)、第1圧着部材808c1で液状シール剤の拡散禁止領域である発光領域周囲を圧着保持した状態とする。   In S3, the upper mold 808c3 is lowered by the drive mechanism 808c8 (see FIG. 4) (in the direction of the arrow in the figure), and the first pressure-bonding member 808c1 holds the periphery of the light-emitting area, which is the liquid sealant diffusion-inhibited area, And

S4では、更に上型808c3が駆動機構808c8(図4を参照)により下げられ(図中の矢印方向)、第2圧着部材808c2で液状シール剤が塗設されている発光領域を面圧1×10-2MPa〜10MPaの範囲で圧着する。上型808c3が更に下げられることで、第1圧着部材808c1による液状シール剤の拡散禁止領域である発光領域周囲を圧着保持が完全となり、液状シール剤が塗設されている発光領域を圧着することで広がる(拡散する)液状シール剤の範囲が規制され、第1電極、第2電極及び発光領域周囲への不要の付着が防止することが可能となる。第2圧着部材808c2で圧着することで撓性封止部材は一次貼合した状態となる。この後、硬化処理することで撓性封止部材の貼合が完了する。又、S4は10Pa〜1×10-4Paの減圧条件で行うことが好ましい。 In S4, the upper mold 808c3 is further lowered by the drive mechanism 808c8 (see FIG. 4) (in the direction of the arrow in the drawing), and the light emitting area where the liquid sealant is applied by the second pressure-bonding member 808c2 is applied to the surface pressure 1 ×. Pressure bonding is performed in the range of 10 −2 MPa to 10 MPa. By further lowering the upper die 808c3, the pressure-bonding and holding around the light-emitting region, which is the diffusion-inhibiting region of the liquid sealant by the first pressure-bonding member 808c1, becomes complete, and the light-emitting region coated with the liquid sealant is pressure-bonded. The range of the liquid sealant that spreads (diffuses) is restricted, and unnecessary adhesion around the first electrode, the second electrode, and the light emitting region can be prevented. A flexible sealing member will be in the state bonded primarily by crimping with the 2nd crimping | compression-bonding member 808c2. Thereafter, the bonding of the flexible sealing member is completed by performing a curing process. S4 is preferably performed under a reduced pressure condition of 10 Pa to 1 × 10 −4 Pa.

尚、硬化処理は別工程で行ってもよいし、封止部材貼合装置808cの第2圧着部材808c2に硬化処理機能を持たせる方法で合ってもよい。例えば液状シール剤が熱硬化型の場合は、第2圧着部材808c2に加熱する機構を備え圧着した状態で加熱する方法であってもよい。又、紫外線硬化型の場合は、第2圧着部材808c2を紫外線透過可能材料にし、紫外線を照射する方法であってもよい。   The curing process may be performed in a separate process, or may be performed by a method in which the second crimping member 808c2 of the sealing member bonding apparatus 808c has a curing process function. For example, when the liquid sealing agent is a thermosetting type, a method of heating the second pressure bonding member 808c2 with a heating mechanism may be used. In the case of an ultraviolet curable type, a method in which the second pressure-bonding member 808c2 is made of an ultraviolet transmissive material and irradiated with ultraviolet rays may be used.

図5に示される封止部材貼合装置808′cを使用し、図3の(c)に示される様に液状シール剤801f4が塗設された第2電極が形成された枚葉シート状基板801fの場合も液状シール剤の拡散禁止領域が発光領域となり、圧着する箇所が発光領域周囲になるだけで本図と同じフローで撓性封止部材の貼合は可能となる。   A single-wafer sheet-like substrate on which a second electrode coated with a liquid sealant 801f4 is formed as shown in (c) of FIG. 3, using a sealing member laminating apparatus 808′c shown in FIG. Also in the case of 801f, the flexible sealing member can be bonded by the same flow as this figure only by the diffusion prohibition region of the liquid sealant being the light emitting region and the portion to be crimped around the light emitting region.

図1、図2に示す製造装置を使用し有機EL素子を製造する際、第2電極までが形成された基板の発光領域上に可撓性封止部材を貼合するのに図4〜図7に示す可撓性封止部材貼合装置を使用し貼合することで次の効果が得られる。
1)圧着時に拡散禁止領域内への液状シール剤の広がり(拡散)を防止することで、有機EL素子の品質安定化が可能となった。
2)拡散禁止領域である外部電極へのシール剤拡散が防止され、電極接地不良等の問題が回避可能となった。
3)拡散禁止領域である発光領域へのシール剤拡散が防止され、発光領域を形成する有機層等とシール剤とのコンタミを防止することが出来、発光不良等の問題が回避可能となった。
4)シール剤の塗れ広がり防止を目的とした防護壁等の設置が必要なくなり、有機EL素子の構成が簡素になるためコストダウンが可能となった。
When manufacturing an organic EL element using the manufacturing apparatus shown in FIGS. 1 and 2, FIG. 4 to FIG. 4 are used to bond a flexible sealing member on the light emitting region of the substrate on which up to the second electrode is formed. The following effect is acquired by bonding using the flexible sealing member bonding apparatus shown in 7. FIG.
1) The quality of the organic EL element can be stabilized by preventing the liquid sealant from spreading (diffusion) into the diffusion-prohibited area during pressure bonding.
2) The diffusion of the sealing agent to the external electrode, which is a diffusion prohibited area, is prevented, and problems such as electrode grounding failure can be avoided.
3) The diffusion of the sealing agent to the light emitting region, which is a diffusion prohibited region, is prevented, the contamination between the organic layer and the like forming the light emitting region and the sealing agent can be prevented, and problems such as defective emission can be avoided .
4) Installation of a protective wall or the like for the purpose of preventing the spread of the sealing agent is not necessary, and the configuration of the organic EL element is simplified, thereby reducing the cost.

以下、本発明に係る有機EL素子を構成しているガスバリア層、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極、封止層等に付き説明する。   Hereinafter, the gas barrier layer, the first electrode, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron transport layer, the second electrode, the sealing layer and the like constituting the organic EL device according to the present invention will be described.

本発明に係わる基板としては、枚葉基板、帯状可撓性基板が挙げられる。枚葉基板としては、透明ガラス板、シート状透明樹脂フィルムが挙げられる。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート(TAC)、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)或いはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等が挙げられる。帯状可撓性基板としては、透明樹脂フィルムが挙げられ、枚葉基板と同じ樹脂フィルムが使用可能である。   Examples of the substrate according to the present invention include a single wafer substrate and a strip-shaped flexible substrate. Examples of the single substrate include a transparent glass plate and a sheet-like transparent resin film. Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate (CAP), Cellulose esters such as cellulose acetate phthalate (TAC) and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide , Polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, Cycloolefin resins such as polyether imide, polyether ketone imide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethyl methacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Appel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) Is mentioned. A transparent resin film is mentioned as a strip | belt-shaped flexible board | substrate, The same resin film as a single wafer board | substrate can be used.

基板として透明樹脂フィルムを使用する場合、樹脂フィルムの表面にはガスバリア膜が必要に応じて形成されることが好ましい。ガスバリア膜としては無機物、有機物の被膜又はその両者のハイブリッド被膜が挙げられる。ガスバリア膜の特性としては、水蒸気透過度が0.01g/m2・day・atm以下であることが好ましい。更には、酸素透過度10-3ml/m2/day以下、水蒸気透過度10-5g/m2/day以下の高バリア性フィルムであることが好ましい。 When a transparent resin film is used as the substrate, a gas barrier film is preferably formed on the surface of the resin film as necessary. Examples of the gas barrier film include an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both. As a characteristic of the gas barrier film, the water vapor permeability is preferably 0.01 g / m 2 · day · atm or less. Furthermore, a high barrier film having an oxygen permeability of 10 −3 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 / day or less is preferable.

バリア膜を形成する材料としては、水分や酸素等素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素等を用いることが出来る。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。バリア膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法等を用いることが出来るが、特開2004−68143号に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   As a material for forming the barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of elements that cause deterioration of elements such as moisture and oxygen. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times. The method for forming the barrier film is not particularly limited. For example, the vacuum deposition method, the sputtering method, the reactive sputtering method, the molecular beam epitaxy method, the cluster ion beam method, the ion plating method, the plasma polymerization method, the atmospheric pressure plasma weighting. A combination method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, and the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

第1電極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。この様な電極物質の具体例としてはAu等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。又、IDIXO(In23・ZnO)等非晶質で透明導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により、薄膜を形成させ、フォトリソグラフィー法で所望の形状のパターンを形成してもよく、或いはパターン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパターンを形成してもよい。この陽極より発光を取り出す場合には、透過率を10%より大きくすることが望ましく、又陽極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。更に膜厚は材料にもよるが、通常10〜1000nm、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。 As the first electrode, an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. Specific examples of such an electrode substance include metals such as Au, and conductive transparent materials such as CuI, indium tin oxide (ITO), SnO 2 , and ZnO. Alternatively, an amorphous material such as IDIXO (In 2 O 3 .ZnO) capable of forming a transparent conductive film may be used. For the anode, these electrode materials may be formed into a thin film by a method such as vapor deposition or sputtering, and a pattern having a desired shape may be formed by a photolithography method, or when the pattern accuracy is not required (about 100 μm or more) ), A pattern may be formed through a mask having a desired shape when the electrode material is deposited or sputtered. When light emission is extracted from the anode, the transmittance is desirably greater than 10%, and the sheet resistance as the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually selected in the range of 10 to 1000 nm, preferably 10 to 200 nm.

第1電極と発光層又は正孔輸送層の間、正孔注入層(陽極バッファー層)を存在させてもよい。正孔注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123−166頁)に詳細に記載されている。陽極バッファー層(正孔注入層)に使用する材料の一例としては、特開2000−160328号公報に記載されている材料が挙げられる。   A hole injection layer (anode buffer layer) may be present between the first electrode and the light emitting layer or the hole transport layer. The hole injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer in order to lower the driving voltage and improve the luminance of light emission. “The organic EL element and the forefront of industrialization (November 30, 1998, NTS) The details are described in the second volume, Chapter 2, “Electrode Materials” (pages 123 to 166) of “The Company”. Examples of the material used for the anode buffer layer (hole injection layer) include materials described in JP-A No. 2000-160328.

正孔輸送層とは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層又は複数層設けることが出来る。正孔輸送材料としては、正孔の注入又は輸送、電子の障壁性の何れかを有するものであり、有機物、無機物の何れであってもよい。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、又導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。   The hole transport layer is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, a hole injection layer and an electron blocking layer are also included in the hole transport layer. The hole transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers. The hole transport material has any one of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples include stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.

正孔輸送材料としては上記のものを使用することが出来るが、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、更には米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。   The above-mentioned materials can be used as the hole transport material, but it is preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound. Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl; N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and also two of those described in US Pat. No. 5,061,569. Having a condensed aromatic ring in the molecule, for example, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), JP-A-4-3086 4,4 ', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine in which three triphenylamine units described in Japanese Patent No. 8 are linked in a starburst type ( MTDATA) and the like.

更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。又、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することが出来る。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

又、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)に記載されているような所謂p型正孔輸送材料を用いることも出来る。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。   JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. A so-called p-type hole transport material described in a book (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139) can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.

正孔輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。又、不純物をドープしたp性の高い正孔輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号、特開2000−196140号、特開2001−102175号、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。この様なp性の高い正孔輸送層を用いることが、より低消費電力の有機EL素子を作製することが出来るため好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of a positive hole transport layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. This hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials. A hole transport layer having a high p property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such a hole transport layer having a high p property because an organic EL element with lower power consumption can be produced.

本発明において、発光層とは青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を指す。発光層を積層する場合の積層順としては、特に制限はなく、又各発光層間に非発光性の中間層を有していてもよい。本発明においては、少なくとも一つの青発光層が、全発光層中最も陽極に近い位置に設けられていることが好ましい。又、発光層を4層以上設ける場合には、陽極に近い順から、例えば青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層/赤色発光層のように青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を順に積層することが、輝度安定性を高める上で好ましい。発光層を多層にすることで白色素子の作製が可能である。   In the present invention, the light emitting layer refers to a blue light emitting layer, a green light emitting layer, and a red light emitting layer. There is no restriction | limiting in particular as a lamination order in the case of laminating | stacking a light emitting layer, You may have a nonluminous intermediate | middle layer between each light emitting layer. In the present invention, it is preferable that at least one blue light emitting layer is provided at a position closest to the anode in all the light emitting layers. Also, when four or more light emitting layers are provided, for example, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting from the order close to the anode. Layered / green light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer, etc. It is preferable for improving luminance stability. A white element can be manufactured by forming a light emitting layer in multiple layers.

発光層の膜厚の総和は特に制限はないが、膜の均質性、発光に必要な電圧等を考慮し、通常2nm〜5μm、好ましくは2〜200nmの範囲で選ばれる。更に10〜20nmの範囲にあるのが好ましい。膜厚を20nm以下にすると電圧面のみならず、駆動電流に対する発光色の安定性が向上する効果があり好ましい。個々の発光層の膜厚は、好ましくは2〜100nmの範囲で選ばれ、2〜20nmの範囲にあるのが更に好ましい。青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はないが、3発光層中、青発光層(複数層ある場合はその総和)が最も厚いことが好ましい。   The total thickness of the light emitting layer is not particularly limited, but is usually selected in the range of 2 nm to 5 μm, preferably 2 to 200 nm in consideration of the uniformity of the film and the voltage required for light emission. Furthermore, it is preferable that it exists in the range of 10-20 nm. A film thickness of 20 nm or less is preferable because it has the effect of improving the stability of the emission color with respect to the driving current as well as the voltage surface. The film thickness of each light emitting layer is preferably selected in the range of 2 to 100 nm, and more preferably in the range of 2 to 20 nm. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness relationship of each light emitting layer of blue, green, and red, It is preferable that the blue light emitting layer (the sum total when there are two or more layers) is the thickest among three light emitting layers.

発光層は発光極大波長が各々430〜480nm、510〜550nm、600〜640nmの範囲にある発光スペクトルの異なる少なくとも3層以上の層を含む。3層以上であれば、特に制限はない。4層より多い場合には、同一の発光スペクトルを有する層が複数層あってもよい。発光極大波長が430〜480nmにある層を青発光層、510〜550nmにある層を緑発光層、600〜640nmの範囲にある層を赤発光層と言う。又、前記の極大波長を維持する範囲において、各発光層には複数の発光性化合物を混合してもよい。例えば、青発光層に、極大波長430〜480nmの青発光性化合物と、同510〜550nmの緑発光性化合物を混合して用いてもよい。   The light emitting layer includes at least three layers having different emission spectra, each having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm, 510 to 550 nm, and 600 to 640 nm. If it is three or more layers, there will be no restriction | limiting in particular. When there are more than four layers, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum. A layer having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm is referred to as a blue light emitting layer, a layer in the range of 510 to 550 nm is referred to as a green light emitting layer, and a layer in the range of 600 to 640 nm is referred to as a red light emitting layer. Moreover, in the range which maintains the said maximum wavelength, you may mix a several luminescent compound in each light emitting layer. For example, the blue light emitting layer may be used by mixing a blue light emitting compound having a maximum wavelength of 430 to 480 nm and a green light emitting compound having the same wavelength of 510 to 550 nm.

発光層の材料として使用する有機発光材料は、(a)電荷の注入機能、すなわち、電界印加時に陽極或いは正孔注入層から正孔を注入することが出来、陰極或いは電子注入層から電子を注入することが出来る機能、(b)輸送機能、すなわち、注入された正孔及び電子を電界の力で移動させる機能、及び(c)発光機能、すなわち、電子と正孔の再結合の場を提供し、これらを発光に繋げる機能、の3つの機能を併せもつものであれば特に限定はない。例えば、ベンゾチアゾール系、ベンゾイミダゾール系、ベンゾオキサゾール系等の蛍光増白剤や、スチリルベンゼン系化合物を用いることが出来る。上記の蛍光増白剤の具体例としては、ベンゾオキサゾール系では、2,5−ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)−1,3,4−チアジアゾール、4,4’−ビス(5,7−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)スチルベン、4,4’−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチル)−2−ベンゾオキサゾオリル]スチルベン、2,5−ビス(5,7−ジ−t−ペンチル−2−ベンゾオキサゾリル)チオフェン、2,5−ビス[5−α,α−ジメチルベンジル−2−ベンゾオキサゾリル]チオフェン、2,5−ビス[5,7−ジ−(2−メチル−2−ブチル)−2−ベンゾオキサゾリル]−3,4−ジフェニルチオフェン、2,5−ビス(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)チオフェン、4,4’−ビス(2−ベンゾオキサゾリル)ビフェニル、5−メチル−2−[2−[4−(5−メチル−2−ベンゾオキサゾリル)フェニル]ビニル]ベンゾオキサゾール、2−[2−(4−クロロフェニル)ビニル]ナフト[1,2−d]オキサゾール等が挙げられる。ベンゾチアゾール系では、2,2’−(p−フェニレンジビニレン)−ビスベンゾチアゾール等が挙げられ、ベンゾイミダゾール系では、2−[2−[4−(2−ベンゾイミダゾリル)フェニル]ビニル]ベンゾイミダゾール、2−[2−(4−カルボキシフェニル)ビニル]ベンゾイミダゾール等が挙げられる。更に、他の有用な化合物は、ケミストリー・オブ・シンセティック・ダイズ(1971),第628〜637頁及び第640頁に列挙されている。   The organic light emitting material used as the material of the light emitting layer is (a) charge injection function, that is, holes can be injected from the anode or hole injection layer when an electric field is applied, and electrons are injected from the cathode or electron injection layer. (B) a transport function, that is, a function that moves injected holes and electrons by the force of an electric field, and (c) a light emission function, that is, a recombination field of electrons and holes. However, there is no particular limitation as long as it has the three functions of connecting these to light emission. For example, fluorescent whitening agents such as benzothiazole, benzimidazole, and benzoxazole, and styrylbenzene compounds can be used. Specific examples of the above-mentioned optical brightener include 2,5-bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) -1,3,4-thiadiazole in the benzoxazole series, 4 , 4′-bis (5,7-t-pentyl-2-benzoxazolyl) stilbene, 4,4′-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxa Zoolyl] stilbene, 2,5-bis (5,7-di-t-pentyl-2-benzoxazolyl) thiophene, 2,5-bis [5-α, α-dimethylbenzyl-2-benzoxazoli Ru] thiophene, 2,5-bis [5,7-di- (2-methyl-2-butyl) -2-benzoxazolyl] -3,4-diphenylthiophene, 2,5-bis (5-methyl) -2-benzoxazolyl) thiophene, 4,4′-bis (2 -Benzoxazolyl) biphenyl, 5-methyl-2- [2- [4- (5-methyl-2-benzoxazolyl) phenyl] vinyl] benzoxazole, 2- [2- (4-chlorophenyl) vinyl Naphtho [1,2-d] oxazole and the like. Examples of the benzothiazole type include 2,2 ′-(p-phenylenedivinylene) -bisbenzothiazole, and examples of the benzimidazole type include 2- [2- [4- (2-benzimidazolyl) phenyl] vinyl] benzimidazole. 2- [2- (4-carboxyphenyl) vinyl] benzimidazole and the like. In addition, other useful compounds are listed in Chemistry of Synthetic Soybean (1971), pages 628-637 and 640.

又、上記のスチリルベンゼン系化合物の具体例としては、1,4−ビス(2−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(4−メチルスチリル)ベンゼン、ジスチリルベンゼン、1,4−ビス(2−エチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(3−メチルスチリル)ベンゼン、1,4−ビス(2−メチルスチリル)−2−メチルベンゼン、1,4−ビス(2−メチルスチリル)−2−エチルベンゼン等が挙げられる。   Specific examples of the styrylbenzene compound include 1,4-bis (2-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (4-methylstyryl). ) Benzene, distyrylbenzene, 1,4-bis (2-ethylstyryl) benzene, 1,4-bis (3-methylstyryl) benzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-methylbenzene, 1,4-bis (2-methylstyryl) -2-ethylbenzene and the like can be mentioned.

更に、上述した蛍光増白剤及びスチリルベンゼン系化合物以外にも、例えば、12−フタロペリノン、1,4−ジフェニル−1,3−ブタジエン、1,1,4,4−テトラフェニル−1,3−ブタジエン、ナフタルイミド誘導体、ペリレン誘導体、オキサジアゾール誘導体、アルダジン誘導体、ピラジリン誘導体、シクロペンタジエン誘導体、ピロロピロール誘導体、スチリルアミン誘導体、クマリン系化合物、国際公開公報WO90/13148やAppl.Phys.Lett.,vol 58,18,P1982(1991)に記載されているような高分子化合物、芳香族ジメチリディン系化合物が挙げられる。芳香族ジメチリディン系化合物の具体例としては、1,4−フェニレンジメチリディン、4,4’−フェニレンジメチリディン、2,5−キシリレンジメチリディン、2,6−ナフチレンジメチリディン、1,4−ビフェニレンジメチリディン、1,4−p−テレフェニレンジメチリディン、4,4’−ビス(2,2−ジ−t−ブチルフェニルビニル)ビフェニル、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル等、及びこれらの誘導体が挙げられる。又、上記一般式(I)で表される化合物の具体例としては、ビス(2−メチル−8−キノリノラート)(p−フェニルフェノラート)アルミニウム(III)、ビス(2−メチル−8−キノリノラート)(1−ナフトラート)アルミニウム(III)等が挙げられる。   Further, in addition to the above-described optical brightener and styrylbenzene compound, for example, 12-phthaloperinone, 1,4-diphenyl-1,3-butadiene, 1,1,4,4-tetraphenyl-1,3- Butadiene, naphthalimide derivatives, perylene derivatives, oxadiazole derivatives, aldazine derivatives, pyrazirine derivatives, cyclopentadiene derivatives, pyrrolopyrrole derivatives, styrylamine derivatives, coumarin compounds, international publications WO 90/13148 and Appl. Phys. Lett. , Vol 58, 18, P1982 (1991), and aromatic dimethylidin compounds. Specific examples of the aromatic dimethylidin compounds include 1,4-phenylene dimethylidin, 4,4′-phenylene dimethylidin, 2,5-xylylene dimethylidin, 2,6-naphthylene dimethylidin, 1,4-biphenylenedimethylidin, 1,4-p-terephenylenedimethylidin, 4,4′-bis (2,2-di-t-butylphenylvinyl) biphenyl, 4,4′-bis (2 , 2-diphenylvinyl) biphenyl and the like, and derivatives thereof. Specific examples of the compound represented by the general formula (I) include bis (2-methyl-8-quinolinolato) (p-phenylphenolate) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato). ) (1-naphtholate) aluminum (III) and the like.

その他、上述した有機発光材料をホストとし、当該ホストに青色から緑色までの強い蛍光色素、例えばクマリン系或いは前記ホストと同様の蛍光色素をドープした化合物も、有機発光材料として好適である。有機発光材料として前記の化合物を用いた場合には、青色から緑色の発光(発光色はドーパントの種類によって異なる)を高効率で得ることが出来る。前記化合物の材料であるホストの具体例としては、ジスチリルアリーレン骨格の有機発光材料(特に好ましくは、例えば、4,4’−ビス(2,2−ジフェニルビニル)ビフェニル)が挙げられ、前記化合物の材料であるドーパントの具体例としては、ジフェニルアミノビニルアリレーン(特に好ましくは、例えば、N,N−ジフェニルアミノビフェニルベンゼンや4,4’−ビス[2−[4−(N,N−ジ−p−トリル)フェニル]ビニル]ビフェニル)が挙げられる。
発光層には、発光層の発光効率を高くするために公知のホスト化合物と公知のリン光性化合物(リン光発光性化合物とも言う)を含有することが好ましい。
In addition, a compound in which the above-described organic light-emitting material is used as a host and the host is doped with a strong fluorescent dye from blue to green, for example, coumarin-based or the same fluorescent dye as the host, is also suitable as the organic light-emitting material. When the above-described compound is used as the organic light-emitting material, blue to green light emission (the emission color varies depending on the type of dopant) can be obtained with high efficiency. Specific examples of the host that is the material of the compound include organic light-emitting materials having a distyrylarylene skeleton (particularly preferably, 4,4′-bis (2,2-diphenylvinyl) biphenyl). Specific examples of the dopant of the material are diphenylaminovinylarylene (particularly preferably, for example, N, N-diphenylaminobiphenylbenzene and 4,4′-bis [2- [4- (N, N-di- -P-tolyl) phenyl] vinyl] biphenyl).
The light emitting layer preferably contains a known host compound and a known phosphorescent compound (also referred to as a phosphorescent compound) in order to increase the light emission efficiency of the light emitting layer.

ホスト化合物とは、発光層に含有される化合物の内で、その層中での質量比が20%以上であり、且つ室温(25℃)においてリン光発光のリン光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくはリン光量子収率が0.01未満である。ホスト化合物を複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することが出来る。又、リン光性化合物を複数種用いることで、異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることが出来る。リン光性化合物の種類、ドープ量を調整することで白色発光が可能であり、照明、バックライトへの応用も出来る。   The host compound is a compound contained in the light-emitting layer, the mass ratio in the layer is 20% or more, and the phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission is 0.1 at room temperature (25 ° C.). Is defined as less than a compound. The phosphorescence quantum yield is preferably less than 0.01. A plurality of host compounds may be used in combination. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. In addition, by using a plurality of phosphorescent compounds, it is possible to mix different light emission, thereby obtaining an arbitrary emission color. White light emission is possible by adjusting the kind of phosphorescent compound and the amount of doping, and can also be applied to illumination and backlight.

これらのホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、且つ発光の長波長化を防ぎ、尚且つ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。公知のホスト化合物としては、例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等に記載の化合物が挙げられる。   As these host compounds, compounds having a hole transporting ability and an electron transporting ability, preventing emission light from being increased in wavelength, and having a high Tg (glass transition temperature) are preferable. Known host compounds include, for example, JP-A Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, and 2002-334786. Gazette, 2002-8860, 2002-334787, 2002-15871, 2002-334788, 2002-43056, 2002-334789, 2002-75645 2002-338579, 2002-105445, 2002-343568, 2002-141173, 2002-352957, 2002-203683, 2002-363227 2002-231453, 2003-3165, 2002-234888, 2003-27048, 2002-255934, 2002-260861, 2002-280183, Examples thereof include compounds described in 2002-299060, 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837 and the like.

複数の発光層を有する場合、これら各層のホスト化合物の50質量%以上が同一の化合物であることが、有機層全体に渡って均質な膜性状を得やすいことから好ましく、更にはホスト化合物のリン光発光エネルギーが2.9eV以上であることが、ドーパントからのエネルギー移動を効率的に抑制し、高輝度を得る上で有利となることからより好ましい。リン光発光エネルギーとは、ホスト化合物を基板上に100nmの蒸着膜のフォトルミネッセンスを測定し、そのリン光発光の0−0バンドのピークエネルギーを言う。   In the case of having a plurality of light emitting layers, it is preferable that 50% by mass or more of the host compound in each layer is the same compound because it is easy to obtain a uniform film property over the entire organic layer. It is more preferable that the light emission energy is 2.9 eV or more because it is advantageous in efficiently suppressing energy transfer from the dopant and obtaining high luminance. Phosphorescence emission energy means the peak energy of the 0-0 band of phosphorescence emission when the photoluminescence of a deposited film of 100 nm is measured on a substrate with a host compound.

ホスト化合物は、有機EL素子の経時での劣化(輝度低下、膜性状の劣化)、光源としての市場ニーズ等を考慮し、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。すなわち、輝度と耐久性の両方を満足するためには、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。Tgは、更に好ましくは100℃以上である。   The host compound has a phosphorescence emission energy of 2.9 eV or more and a Tg of 90 ° C. or more in consideration of deterioration of the organic EL device over time (decrease in luminance and film properties), market needs as a light source, and the like. Preferably there is. That is, in order to satisfy both luminance and durability, it is preferable that phosphorescence emission energy is 2.9 eV or more and Tg is 90 ° C. or more. Tg is more preferably 100 ° C. or higher.

リン光性化合物(リン光発光性化合物)とは、励起三重項からの発光が観測される化合物であり、室温(25℃)にてリン光発光する化合物であり、リン光量子収率が、25℃において0.01以上の化合物である。先に説明したホスト化合物と合わせ使用することで、より発光効率の高い有機EL素子とすることが出来る。   A phosphorescent compound (phosphorescent compound) is a compound in which light emission from an excited triplet is observed, is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and has a phosphorescence quantum yield of 25. The compound is 0.01 or more at ° C. When used in combination with the host compound described above, an organic EL device with higher luminous efficiency can be obtained.

本発明に係るリン光性化合物は、リン光量子収率は好ましくは0.1以上である。上記リン光量子収率は、第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定出来る。溶液中でのリン光量子収率は種々の溶媒を用いて測定出来るが、本発明に用いられるリン光性化合物は、任意の溶媒の何れかにおいて上記リン光量子収率が達成されればよい。   The phosphorescent compound according to the present invention preferably has a phosphorescence quantum yield of 0.1 or more. The phosphorescent quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 version, Maruzen) of Experimental Chemistry Course 4 of the 4th edition. Although the phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents, the phosphorescence quantum yield used in the present invention only needs to achieve the phosphorescence quantum yield in any solvent.

リン光性化合物の発光は原理としては2種挙げられ、一つはキャリアが輸送されるホスト化合物上でキャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギーをリン光性化合物に移動させることでリン光性化合物からの発光を得るというエネルギー移動型、もう一つはリン光性化合物がキャリアトラップとなり、リン光性化合物上出来ャリアの再結合が起こりリン光性化合物からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、何れの場合においても、リン光性化合物の励起状態のエネルギーはホスト化合物の励起状態のエネルギーよりも低いことが条件である。   There are two types of light emission of the phosphorescent compound in principle. One is the recombination of the carrier on the host compound to which the carrier is transported to generate an excited state of the host compound, and this energy is transferred to the phosphorescent compound. The energy transfer type, in which light emission from the phosphorescent compound is obtained by moving to the phosphorescent compound, and the other is that the phosphorescent compound becomes a carrier trap, resulting in recombination of the carriers on the phosphorescent compound and from the phosphorescent compound. Although it is a carrier trap type in which light emission can be obtained, in any case, it is a condition that the excited state energy of the phosphorescent compound is lower than the excited state energy of the host compound.

リン光性化合物は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることが出来る。リン光性化合物としては、好ましくは元素の周期表で8族−10族の金属を含有する錯体系化合物であり、更に好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、又は白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent compound can be appropriately selected from known compounds used for the light emitting layer of the organic EL device. The phosphorescent compound is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements, more preferably an iridium compound, an osmium compound, or a platinum compound (platinum complex compound), rare earth Of these, iridium compounds are the most preferred.

本発明においては、リン光性化合物のリン光発光極大波長としては特に制限されるものではなく、原理的には中心金属、配位子、配位子の置換基等を選択することで得られる発光波長を変化させることが出来る。   In the present invention, the phosphorescence emission maximum wavelength of the phosphorescent compound is not particularly limited, and can be obtained in principle by selecting a central metal, a ligand, a ligand substituent, and the like. The emission wavelength can be changed.

本発明の有機EL素子や本発明に係る化合物の発光する色は、「新編色彩科学ハンドブック」(日本色彩学会編、東京大学出版会、1985)の108頁の図4.16において、分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタセンシング社製)で測定した結果をCIE色度座標に当て嵌めたときの色で決定される。   The light emission color of the organic EL device of the present invention and the compound according to the present invention is shown in FIG. 4.16 on page 108 of “New Color Science Handbook” (edited by the Japan Color Society, University of Tokyo Press, 1985). It is determined by the color when the result measured with the total CS-1000 (manufactured by Konica Minolta Sensing) is applied to the CIE chromaticity coordinates.

本発明で言うところの白色素子とは、2℃視野角正面輝度を上記方法により測定した際に、1000cd/m2でのCIE1931 表色系における色度がX=0.33±0.07、Y=0.33±0.07の領域内にあることを言う。 The white element referred to in the present invention means that the chromaticity in the CIE1931 color system at 1000 cd / m 2 is X = 0.33 ± 0.07 when the front luminance at 2 ° C. viewing angle is measured by the above method. It is in the region of Y = 0.33 ± 0.07.

電子注入層とは、電子を輸送する機能を有する材料からなり広い意味で電子輸送層に含まれる。電子注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されている。電子注入層(陰極バッファー層)は、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属バッファー層、フッ化リチウムに代表されるアルカリ金属化合物バッファー層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物バッファー層、酸化アルミニウムに代表される酸化物バッファー層等が挙げられる。上記バッファー層(注入層)はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は0.1nm〜5μmの範囲が好ましい。   The electron injection layer is made of a material having a function of transporting electrons and is included in the electron transport layer in a broad sense. The electron injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer for lowering the driving voltage and improving the luminance of the light emission. “Organic EL element and its forefront of industrialization (NST 30, November 30, 1998) Issue) ”, Chapter 2, Chapter 2,“ Electrode Materials ”(pages 123-166). The details of the electron injection layer (cathode buffer layer) are also described in JP-A-6-325871, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, and the like. Specifically, strontium, aluminum, etc. Metal buffer layer typified by lithium, alkali metal compound buffer layer typified by lithium fluoride, alkaline earth metal compound buffer layer typified by magnesium fluoride, oxide buffer layer typified by aluminum oxide, etc. . The buffer layer (injection layer) is preferably a very thin film, and the film thickness is preferably in the range of 0.1 nm to 5 μm although it depends on the material.

他に発光層側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることが出来、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。更に、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来る。更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。   In addition, as an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for the electron transport layer adjacent to the light emitting layer side, it is sufficient if it has a function of transmitting electrons injected from the cathode to the light emitting layer. As a material, any one of conventionally known compounds can be selected and used. For example, nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodisides. Examples include methane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives and the like. Furthermore, in the above oxadiazole derivatives, thiadiazole derivatives in which the oxygen atom of the oxadiazole ring is substituted with a sulfur atom, and quinoxaline derivatives having a quinoxaline ring known as an electron-withdrawing group can also be used as the electron transport material. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

又、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、Ga又はPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることが出来る。その他、メタルフリーもしくはメタルフタロシアニン、又はそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることが出来る。又、ジスチリルピラジン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来るし、正孔注入層、正孔輸送層と同様に、n型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることが出来る。電子輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。   Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) aluminum. Tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), and the like, and the central metals of these metal complexes are In, Mg, Metal complexes replaced with Cu, Ca, Sn, Ga or Pb can also be used as the electron transport material. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transporting material. Distyrylpyrazine derivatives can also be used as electron transport materials, and inorganic semiconductors such as n-type-Si and n-type-SiC are also used as electron transport materials in the same manner as the hole injection layer and hole transport layer. I can do it. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

又、不純物をドープしたn性の高い電子輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号公報、特開平10−270172号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)等に記載されたものが挙げられる。この様なn性の高い電子輸送層を用いることがより低消費電力の素子を作製することが出来るため好ましい。   An electron transport layer having a high n property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Pat. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such an electron transport layer having a high n property because an element with lower power consumption can be manufactured.

第2電極としては、仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。この様な電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することが出来る。又、陰極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。尚、発光した光を透過させるため、有機EL素子の第1電極(陽極)又は第2電極(陰極)の何れか一方が、透明又は半透明であれば発光輝度が向上し好都合である。 As the second electrode, a material having a work function (4 eV or less) metal (referred to as an electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof as an electrode material is used. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like. Among these, from the point of durability against electron injection and oxidation, etc., a mixture of an electron injecting metal and a second metal which is a stable metal having a larger work function than this, for example, a magnesium / silver mixture, Suitable are a magnesium / aluminum mixture, a magnesium / indium mixture, an aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixture, a lithium / aluminum mixture, aluminum and the like. The cathode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The sheet resistance as the cathode is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 to 200 nm. In order to transmit the emitted light, if either one of the first electrode (anode) or the second electrode (cathode) of the organic EL element is transparent or translucent, the emission luminance is advantageously improved.

又、第2電極に上記金属を1〜20nmの膜厚で作製した後に、第1電極の説明で挙げた導電性透明材料をその上に作製することで、透明又は半透明の第2電極(陰極)を作製することが出来、これを応用することで第1電極(陽極)と第2電極(陰極)の両方が透
過性を有する素子を作製することが出来る。
Moreover, after producing the metal with a thickness of 1 to 20 nm on the second electrode, the conductive transparent material mentioned in the description of the first electrode is produced thereon, so that a transparent or translucent second electrode ( A cathode) can be manufactured, and by applying this, an element in which both the first electrode (anode) and the second electrode (cathode) are transmissive can be manufactured.

本発明に係わる有機EL素子の発光の室温における外部取り出し効率は1%以上であることが好ましく、より好ましくは5%以上である。ここに、外部取り出し量子効率(%)=有機EL素子外部に発光した光子数/有機EL素子に流した電子数×100である。   The external extraction efficiency at room temperature of light emission of the organic EL device according to the present invention is preferably 1% or more, more preferably 5% or more. Here, the external extraction quantum efficiency (%) = the number of photons emitted to the outside of the organic EL element / the number of electrons sent to the organic EL element × 100.

又、カラーフィルター等の色相改良フィルター等を併用しても、有機EL素子からの発光色を蛍光体を用いて多色へ変換する色変換フィルターを併用してもよい。色変換フィルターを用いる場合においては、有機EL素子の発光のλmaxは480nm以下が好ましい。   In addition, a hue improvement filter such as a color filter may be used in combination, or a color conversion filter that converts the emission color from the organic EL element into multiple colors using a phosphor may be used in combination. In the case of using a color conversion filter, the λmax of light emission of the organic EL element is preferably 480 nm or less.

本発明に係わる有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために以下に示す方法を併用することが好ましい。有機EL素子は、空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光の内15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的に言われている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことが出来ないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として、光が素子側面方向に逃げるためである。   The organic EL device according to the present invention is preferably used in combination with the following method in order to efficiently extract light generated in the light emitting layer. The organic EL element emits light inside a layer having a refractive index higher than that of air (refractive index is about 1.7 to 2.1), and only about 15% to 20% of the light generated in the light emitting layer can be extracted. It is generally said that there is no. This is because the light incident on the interface (interface between the transparent substrate and air) at an angle θ greater than the critical angle causes total reflection and cannot be taken out of the element, or the transparent electrode or light emitting layer and the transparent substrate This is because the light undergoes total reflection between them, the light is guided through the transparent electrode or the light emitting layer, and as a result, the light escapes in the direction of the side of the device.

この光の取り出しの効率を向上させる手法としては、例えば、透明基板表面に凹凸を形成し、透明基板と空気界面での全反射を防ぐ方法(米国特許第4,774,435)。基板に集光性を持たせることにより効率を向上させる方法(特開昭63−314795号公報)。素子の側面等に反射面を形成する方法(特開平1−220394号公報)。基板と発光体の間に中間の屈折率を持つ平坦層を導入し、反射防止膜を形成する方法(特開昭62−172691号公報)。基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法(特開2001−202827号公報)。基板、透明電極層や発光層の何れかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法(特開平11−283751号公報)等がある。   As a method for improving the light extraction efficiency, for example, a method of forming irregularities on the surface of the transparent substrate to prevent total reflection at the interface between the transparent substrate and the air (US Pat. No. 4,774,435). A method for improving efficiency by providing a substrate with a light condensing property (JP-A-63-314795). A method of forming a reflective surface on the side surface of an element (Japanese Patent Laid-Open No. 1-220394). A method of forming an antireflection film by introducing a flat layer having an intermediate refractive index between a substrate and a light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 62-172691). A method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-202827). There is a method of forming a diffraction grating between any one of the substrate, the transparent electrode layer, and the light emitting layer (including between the substrate and the outside) (Japanese Patent Laid-Open No. 11-283951).

透明電極と透明基板の間に低屈折率の媒質を光の波長よりも長い厚みで形成すると、透明電極から出てきた光は、媒質の屈折率が低いほど、外部への取り出し効率が高くなる。低屈折率層としては、例えば、エアロゲル、多孔質シリカ、フッ化マグネシウム、フッ素系ポリマー等が挙げられる。透明基板の屈折率は一般に1.5〜1.7程度であるので、低屈折率層は、屈折率がおよそ1.5以下であることが好ましい。又、更に1.35以下であることが好ましい。低屈折率媒質の厚みは、媒質中の波長の2倍以上となるのが望ましい。これは、低屈折率媒質の厚みが、光の波長程度になってエバネッセントで染み出した電磁波が基板内に入り込む膜厚になると、低屈折率層の効果が薄れるからである。全反射を起こす界面もしくは何れかの媒質中に回折格子を導入する方法は、光取り出し効率の向上効果が高いという特徴がある。この方法は、回折格子が1次の回折や、2次の回折といった所謂ブラッグ回折により、光の向きを屈折とは異なる特定の向きに変えることが出来る性質を利用して、発光層から発生した光の内、層間での全反射等により外に出ることが出来ない光を、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)に回折格子を導入することで光を回折させ、光を外に取り出そうとするものである。導入する回折格子は、二次元的な周期屈折率を持っていることが望ましい。これは、発光層で発光する光はあらゆる方向にランダムに発生するので、ある方向にのみ周期的な屈折率分布を持っている一般的な1次元回折格子では、特定の方向に進む光しか回折されず、光の取り出し効率がさほど上がらない。しかしながら、屈折率分布を二次元的な分布にすることにより、あらゆる方向に進む光が回折され、光の取り出し効率が上がる。   When a low refractive index medium is formed between the transparent electrode and the transparent substrate with a thickness longer than the wavelength of light, the light extracted from the transparent electrode has a higher extraction efficiency to the outside as the refractive index of the medium is lower. . Examples of the low refractive index layer include aerogel, porous silica, magnesium fluoride, and a fluorine-based polymer. Since the refractive index of the transparent substrate is generally about 1.5 to 1.7, the low refractive index layer preferably has a refractive index of about 1.5 or less. Further, it is preferably 1.35 or less. The thickness of the low refractive index medium is preferably at least twice the wavelength in the medium. This is because the effect of the low refractive index layer is diminished when the thickness of the low refractive index medium is about the wavelength of light and the electromagnetic wave that has exuded by evanescent enters the substrate. The method of introducing a diffraction grating into an interface or any medium that causes total reflection is characterized by a high effect of improving light extraction efficiency. This method is generated from the light emitting layer by utilizing the property that the diffraction grating can change the direction of light to a specific direction different from refraction by so-called Bragg diffraction such as first-order diffraction and second-order diffraction. Of the light, the light that cannot go out due to total reflection between layers, etc. is diffracted by introducing a diffraction grating into any layer or medium (inside a transparent substrate or transparent electrode) , Trying to extract light out. The introduced diffraction grating desirably has a two-dimensional periodic refractive index. This is because light emitted from the light-emitting layer is randomly generated in all directions, so in a general one-dimensional diffraction grating having a periodic refractive index distribution only in a certain direction, only light traveling in a specific direction is diffracted. The light extraction efficiency does not increase so much. However, by making the refractive index distribution a two-dimensional distribution, light traveling in all directions is diffracted, and light extraction efficiency is increased.

回折格子を導入する位置としては前述の通り、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)でもよいが、光が発生する場所である有機発光層の近傍が望ましい。このとき、回折格子の周期は、媒質中の光の波長の約1/2〜3倍程度が好ましい。回折格子の配列は、正方形のラチス状、三角形のラチス状、ハニカムラチス状等、2次元的に配列が繰り返されることが好ましい。   As described above, the position where the diffraction grating is introduced may be in any of the layers or in the medium (in the transparent substrate or the transparent electrode), but is preferably in the vicinity of the organic light emitting layer where light is generated. At this time, the period of the diffraction grating is preferably about 1/2 to 3 times the wavelength of light in the medium. The arrangement of the diffraction grating is preferably two-dimensionally repeated, such as a square lattice, a triangular lattice, or a honeycomb lattice.

更に、本発明に係わる有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために、基板の光取り出し側に、例えばマイクロレンズアレイ上の構造を設けるように加工したり、或いは、所謂集光シートと組合せることにより、特定方向、例えば素子発光面に対し正面方向に集光することにより、特定方向上の輝度を高めることが出来る。マイクロレンズアレイの例としては、基板の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10μm〜100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付く、大き過ぎると厚みが厚くなり好ましくない。   Furthermore, the organic EL device according to the present invention can be processed to provide, for example, a structure on a microlens array on the light extraction side of the substrate in order to efficiently extract the light generated in the light emitting layer, or so-called collection. By combining with the light sheet, the luminance in the specific direction can be increased by condensing light in a specific direction, for example, the front direction with respect to the element light emitting surface. As an example of the microlens array, quadrangular pyramids having a side of 30 μm and an apex angle of 90 degrees are two-dimensionally arranged on the light extraction side of the substrate. One side is preferably 10 μm to 100 μm. If it becomes smaller than this, the effect of diffraction will generate | occur | produce and color, and if too large, thickness will become thick and is not preferable.

集光シートとしては、例えば液晶表示装置のLEDバックライトで実用化されているものを用いることが可能である。この様なシートとして例えば、住友スリーエム社製輝度上昇フィルム(BEF)等を用いることが出来る。プリズムシートの形状としては、例えば基板に頂角90度、ピッチ50μmの△状のストライプが形成されたものであってもよいし、頂角が丸みを帯びた形状、ピッチをランダムに変化させた形状、その他の形状であってもよい。又、発光素子からの光放射角を制御するために光拡散板・フィルムを、集光シートと併用してもよい。例えば、(株)きもと製拡散フィルム(ライトアップ)等を用いることが出来る。   As the condensing sheet, for example, a sheet that is put into practical use in an LED backlight of a liquid crystal display device can be used. As such a sheet, for example, a brightness enhancement film (BEF) manufactured by Sumitomo 3M Limited can be used. As the shape of the prism sheet, for example, the substrate may be formed with a triangle stripe having a vertex angle of 90 degrees and a pitch of 50 μm, or the vertex angle is rounded, and the pitch is randomly changed. The shape may be other shapes. Moreover, in order to control the light emission angle from a light emitting element, you may use a light-diffusion plate and a film together with a condensing sheet. For example, a diffusion film (light-up) manufactured by Kimoto Co., Ltd. can be used.

以下、実施例を挙げて本発明の具体的な効果を示すが、本発明の態様はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, although an example is given and the concrete effect of the present invention is shown, the mode of the present invention is not limited to this.

実施例1
一つのドットの大きさが2mm×2mmで、7ドット×10ドットの合計70ドット(発光領域)で構成される有機EL素子を、図2に示す製造装置で、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、第2電極、封止層を基板上にこの順で形成した有機EL素子を作製した。
(基板の準備)
基板として厚さ1.1mm、幅40mm、長さ60mmのソーダ石灰ガラスを準備した。尚、ソーダ石灰ガラスの全面には、酸やアルカリから保護するためのシリカコートしたものを使用した。
Example 1
An organic EL element having a size of one dot of 2 mm × 2 mm and a total of 70 dots (light emitting region) of 7 dots × 10 dots is manufactured by using the manufacturing apparatus shown in FIG. Then, an organic EL device in which a light emitting layer, an electron transport layer, a second electrode, and a sealing layer were formed in this order on a substrate was produced.
(Preparation of substrate)
A soda-lime glass having a thickness of 1.1 mm, a width of 40 mm, and a length of 60 mm was prepared as a substrate. In addition, the surface of the soda-lime glass used was a silica-coated glass for protection from acid and alkali.

(第1電極の形成)
準備したガラス基板を波長184.2nmの低圧水銀ランプを使用し、照射強度15mW/cm2で、距離12mmで照射し洗浄を行った。この後、図4に示す第1電極形成気相堆積装置を使用し、5×10-4Paの真空下にてインジウムチンオキシド(ITO)を使用し、準備したガラス基板の堆積膜形成領域(第1電極形成領域)に、幅2mm、長さ50mm、間隔2mm、厚さ150nm、7列のパターン化した第1電極を形成した。
(Formation of the first electrode)
The prepared glass substrate was cleaned by irradiation at a distance of 12 mm with an irradiation intensity of 15 mW / cm 2 using a low-pressure mercury lamp having a wavelength of 184.2 nm. Thereafter, using the first electrode forming vapor deposition apparatus shown in FIG. 4 and using indium tin oxide (ITO) under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa, the deposited film forming region ( In the first electrode formation region, a patterned first electrode having a width of 2 mm, a length of 50 mm, an interval of 2 mm, a thickness of 150 nm, and 7 rows was formed.

(正孔輸送層の形成)
第1電極が形成されたガラス基板を使用し、5×10-4Paの真空下にて正孔輸送層形成気相堆積装置で正孔輸送層形成用材料としてN,N′−ジフェニル−N,N′−m−トリル4,4′−ジアミノ−1,1′−ビフェニル(以下、TPD)を使用し、ガラス基板上に形成された第1電極の一方の端部を除き第1電極の上に、蒸着(気相堆積)した。
(Formation of hole transport layer)
N, N′-diphenyl-N is used as a material for forming a hole transport layer in a vapor transport layer forming vapor deposition apparatus under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa using a glass substrate on which a first electrode is formed. , N′-m-tolyl 4,4′-diamino-1,1′-biphenyl (hereinafter referred to as TPD), except for one end of the first electrode formed on the glass substrate. On top of this, vapor deposition (vapor deposition) was performed.

(発光層の形成)
正孔輸送層が形成された各ガラス基板を使用し、正孔輸送層の上に第1電極のパターンに合わせ、発光層形成用材料としてAlq3を使用し、5×10-4Paの真空下にて発光層形成気相堆積装置で蒸着した。
(Formation of light emitting layer)
Using each glass substrate hole transport layer is formed, on the hole transport layers were combined with the pattern of the first electrode, using Alq 3 as a light-emitting layer forming material, 5 × 10 -4 Pa vacuum Below, it vapor-deposited with the light emitting layer formation vapor deposition apparatus.

(電子輸送層の形成)
発光層が形成されたガラス基板を使用し、発光層を含め正孔輸送層が形成された領域に、電子輸送層形成用材料としてLiFを使用し、5×10-4Paの真空下にて電子輸送層形成気相堆積装置でLiFを蒸着した。
(Formation of electron transport layer)
Using a glass substrate on which a light emitting layer is formed, using LiF as a material for forming an electron transport layer in a region where a hole transport layer is formed including the light emitting layer, under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa LiF was deposited using an electron transport layer forming vapor deposition apparatus.

(第2電極の形成)
電子輸送層が形成されたガラス基板を使用し、電子輸送層の上に第1電極と直交する方向で、第2電極形成用材料としてAlを使用し、5×10-4Paの真空下にて第2電極形成気相堆積装置で蒸着し、基板Aとした。尚、形成した第2電極は、幅2mm、長さ35mm、間隔2mm、厚さ150nm、10列のパターンとした。
(Formation of second electrode)
Using a glass substrate on which an electron transport layer is formed, using Al as the second electrode forming material in a direction perpendicular to the first electrode on the electron transport layer, and under a vacuum of 5 × 10 −4 Pa The substrate A was deposited by vapor deposition using a second electrode forming vapor deposition apparatus. The formed second electrode had a width of 2 mm, a length of 35 mm, an interval of 2 mm, a thickness of 150 nm, and a 10-row pattern.

(封止膜の形成)
第2電極が形成されたガラス基板Aを使用し、第2電極の端部を除き第2電極が形成された領域に、封止膜形成用材料として酸化珪素を使用し、5×10-4Paの真空下にて封止膜形成気相堆積装置で酸化珪素を蒸着し基板Bとした。保護層の厚さは300nmとした。
(Formation of sealing film)
A glass substrate A on which the second electrode is formed is used, and silicon oxide is used as a sealing film forming material in a region where the second electrode is formed except for an end portion of the second electrode, and 5 × 10 −4. Substrate B was obtained by depositing silicon oxide with a sealing film forming vapor deposition apparatus under a vacuum of Pa. The thickness of the protective layer was 300 nm.

(液状シール剤の塗設)
準備した基板Aと、基板Bを用い、液状シール剤として紫外線硬化型のThreeBond3124C (株)スリーボンド製を使用し、塗設場所を表1に示す様に変えて塗設を行い、液状シール剤塗設済みガラス基板を作製し、No.1−1〜1−4とした。液状シール剤の粘度は270Pa・sであった。
(Coating with liquid sealant)
Using the prepared substrate A and substrate B, UV curing type ThreeBond 3124C manufactured by ThreeBond Co., Ltd. was used as the liquid sealing agent, and the coating location was changed as shown in Table 1 to apply the liquid sealing agent. A prefabricated glass substrate was prepared. 1-1 to 1-4. The viscosity of the liquid sealant was 270 Pa · s.

であった。   Met.

Figure 2007066538
Figure 2007066538

(可撓性封止部材の準備)
基材/バリア層の構成からなる可撓性封止部材を準備した。
(Preparation of flexible sealing member)
A flexible sealing member having a substrate / barrier layer configuration was prepared.

基材:厚さ100μmのPETフィルムを使用した。   Substrate: A PET film having a thickness of 100 μm was used.

バリア層:バリア材として酸化珪素を使用し、蒸着で厚さ500nmとした。   Barrier layer: Silicon oxide was used as a barrier material, and the thickness was set to 500 nm by vapor deposition.

尚、JIS−Z−0208に準じて測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・24hrs・90%RHであった。又、ヤング率は6GPaであった。
(可撓性封止部材の貼合)
準備した可撓性封止部材を準備した液状シール剤塗設済みガラス基板No.1−1〜1−4に図4、図5に示す可撓性封止部材貼合装置を用い、図7に示すフロー図に従って可撓性封止部材の貼合を行い有機EL素子とし、試料No.101〜104とした。
可撓性封止部材貼合装置の第1圧着部材のヤング率は1×10-2GPa、第2圧着部材のヤング率は70GPaとした。
又、貼合時、図4に示す可撓性封止部材貼合装置を用い、液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するときの第1圧着部材の面圧は0.1MPa、液状シール剤の塗設領域を圧着するときの第2圧着部材の面圧は0.05MPaとした。図5に示す可撓性封止部材貼合装置を用い液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するときの第1圧着部材の面圧は0.1MPa、液状シール剤の塗設領域を圧着するときの第2圧着部材の面圧は0.05MPaとした。貼合するときの環境は1×10-2Paの減圧条件に設定された真空チャンバー内で行った。
The water vapor permeability measured according to JIS-Z-0208 was 0.01 g / m 2 · 24 hrs · 90% RH. The Young's modulus was 6 GPa.
(Lamination of flexible sealing member)
A glass substrate No. prepared with a liquid sealant prepared with the prepared flexible sealing member. Using the flexible sealing member bonding apparatus shown in FIGS. 4 and 5 in 1-1 to 1-4, the flexible sealing member is bonded according to the flowchart shown in FIG. Sample No. 101-104.
The Young's modulus of the first pressure-bonding member of the flexible sealing member bonding apparatus was 1 × 10 −2 GPa, and the Young's modulus of the second pressure-bonding member was 70 GPa.
Moreover, the surface pressure of the 1st crimping | compression-bonding member at the time of pressure-bonding holding | maintenance of the diffusion prohibition area | region of a liquid sealing agent is 0.1 MPa, liquid sealing agent at the time of pasting using the flexible sealing member bonding apparatus shown in FIG. The surface pressure of the second crimping member when crimping the coated area was 0.05 MPa. When the flexible sealing member bonding apparatus shown in FIG. 5 is used to press and hold the diffusion prohibition region of the liquid sealing agent, the surface pressure of the first pressing member is 0.1 MPa, and the coating region of the liquid sealing agent is pressed. The surface pressure of the second crimping member was 0.05 MPa. The environment for pasting was performed in a vacuum chamber set to a reduced pressure condition of 1 × 10 −2 Pa.

(評価)
作製した各試料No.101〜104に付き、発光割合を以下に示す試験方法により実施した。以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表2に示す。
(Evaluation)
Each prepared sample No. The test was carried out according to the test methods shown below for the light emission ratios of 101 to 104. The results of evaluation according to the evaluation rank shown below are shown in Table 2.

発光割合の試験方法
定電圧電源を用いて、有機EL素子の1ドットに直流5Vを印加し、発光の有無を目視にて観察した。70ドット(発光領域)全てにおいて測定を行い、発光したドットの数から発光割合を算出した。
Test Method of Luminescence Ratio Using a constant voltage power source, DC 5V was applied to one dot of the organic EL element, and the presence or absence of light emission was visually observed. Measurement was performed for all 70 dots (light emitting area), and the light emission ratio was calculated from the number of dots emitted.

発光割合の評価ランク
◎:9割以上が均一に発光している
○:8割以上が均一に発光している
△:7割以上が均一に発光している
×:7割未満しか均一に発光していない
Evaluation rank of light emission ratio ◎: 90% or more emits uniformly ○: 80% or more emits uniformly △: 70% or more emits uniformly ×: less than 70% emits uniformly Not

Figure 2007066538
Figure 2007066538

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例2
実施例1と同じ材料を使用し、同じ構成の有機EL素子を作製した。
Example 2
Using the same material as in Example 1, an organic EL device having the same configuration was produced.

(第2電極までを形成したガラス基板の作製)
実施例1と同じ材料を使用し、同じ方法条件で第2電極までを形成したガラス基板を作製した。
(Production of glass substrate on which up to the second electrode is formed)
Using the same material as in Example 1, a glass substrate on which up to the second electrode was formed under the same method conditions was produced.

(液状シール剤の塗設)
準備した第2電極までを形成したガラス基板に、紫外線硬化型の液状シール剤(ThreeBond3124C (株)スリーボンド製)を図3の(c)に示す様に発光領域の周囲に塗設し液状シール剤塗設済みガラス基板を作製した。液状シール剤の粘度は、270Pa・sであった。尚、液状シール剤は発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。
(Coating with liquid sealant)
An ultraviolet curable liquid sealant (ThreeBond 3124C, manufactured by ThreeBond Co., Ltd.) is applied to the periphery of the light emitting region as shown in FIG. A coated glass substrate was prepared. The viscosity of the liquid sealant was 270 Pa · s. The liquid sealing agent was applied around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm.

(可撓性封止部材の準備)
基材/バリア層の構成からなる可撓性封止部材を準備した。
(Preparation of flexible sealing member)
A flexible sealing member having a substrate / barrier layer configuration was prepared.

基材:厚さ100μmのPETフィルムを使用した。   Substrate: A PET film having a thickness of 100 μm was used.

バリア層:バリア材として酸化珪素を使用し、蒸着で厚さ500nmとした。   Barrier layer: Silicon oxide was used as a barrier material, and the thickness was set to 500 nm by vapor deposition.

尚、JIS−Z−0208に準じて測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・24hrs・90%RHであった。又、ヤング率は6GPaであった。 The water vapor permeability measured according to JIS-Z-0208 was 0.01 g / m 2 · 24 hrs · 90% RH. The Young's modulus was 6 GPa.

(可撓性封止部材の貼合)
準備した可撓性封止部材を準備した液状シール剤塗設済みガラス基板に図4に示す可撓性封止部材貼合装置の、第1圧着部材のヤング率と、第2圧着部材のヤング率を表3に示すように変え、図7に示すフロー図に従って可撓性封止部材の貼合を行い有機EL素子とし、試料No.201〜210とした。又、貼合時、液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するときの第1圧着部材の面圧は0.1MPa、液状シール剤の塗設領域を圧着するときの第2圧着部材の面圧は0.05MPaとした。貼合するときの環境は1×10-2Paの減圧条件に設定された真空チャンバー内で行った。
(Lamination of flexible sealing member)
The Young's modulus of the first pressure-bonding member and the Young's of the second pressure-bonding member of the flexible sealing-member bonding apparatus shown in FIG. 4 on the glass substrate on which the prepared flexible sealing member is prepared. The rate was changed as shown in Table 3, and the flexible sealing member was bonded according to the flowchart shown in FIG. 201-210. Further, the surface pressure of the first pressure-bonding member when pressure-holding the diffusion-prohibited region of the liquid sealant during bonding is 0.1 MPa, and the surface pressure of the second pressure-bonding member when pressure-bonding the coating region of the liquid sealant Was 0.05 MPa. The environment for pasting was performed in a vacuum chamber set to a reduced pressure condition of 1 × 10 −2 Pa.

(評価)
作製した各試料No.201〜210に付き、発光割合を実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表3に示す。
(Evaluation)
Each prepared sample No. Table 3 shows the results of evaluations according to the same evaluation rank as in Example 1, in which the light emission ratio was tested by the same test method as in Example 1.

Figure 2007066538
Figure 2007066538

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例3
実施例1と同じ材料を使用し、同じ構成の有機EL素子を作製した。
Example 3
Using the same material as in Example 1, an organic EL device having the same configuration was produced.

(第2電極までを形成したガラス基板の作製)
実施例1と同じ材料を使用し、同じ方法条件で第2電極までを形成したガラス基板を作製した。
(Production of glass substrate on which up to the second electrode is formed)
Using the same material as in Example 1, a glass substrate on which up to the second electrode was formed under the same method conditions was produced.

(液状シール剤の塗設)
準備した第2電極までを形成したガラス基板に、紫外線硬化型の液状シール剤(ThreeBond3124C (株)スリーボンド製)を図3の(c)に示す様に発光領域の周囲に塗設し液状シール剤塗設済みガラス基板を作製した。液状シール剤の粘度は、270Pa・sであった。尚、液状シール剤は発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。
(Coating with liquid sealant)
An ultraviolet curable liquid sealant (ThreeBond 3124C, manufactured by ThreeBond Co., Ltd.) is applied to the periphery of the light emitting region as shown in FIG. A coated glass substrate was prepared. The viscosity of the liquid sealant was 270 Pa · s. The liquid sealing agent was applied around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm.

(可撓性封止部材の準備)
基材/バリア層の構成からなる可撓性封止部材を準備した。
(Preparation of flexible sealing member)
A flexible sealing member having a substrate / barrier layer configuration was prepared.

基材:厚さ100μmのPETフィルムを使用した。   Substrate: A PET film having a thickness of 100 μm was used.

バリア層:バリア材として酸化珪素を使用し、蒸着で厚さ500nmとした。   Barrier layer: Silicon oxide was used as a barrier material, and the thickness was set to 500 nm by vapor deposition.

尚、JIS−Z−0208に準じて測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・24hrs・90%RHであった。又、ヤング率は6GPaであった。 The water vapor permeability measured according to JIS-Z-0208 was 0.01 g / m 2 · 24 hrs · 90% RH. The Young's modulus was 6 GPa.

(可撓性封止部材の貼合)
準備した可撓性封止部材を準備した液状シール剤塗設済みガラス基板に図4に示す可撓性封止部材貼合装置を使用し、可撓性封止部材を貼合するときの液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するときの第1圧着部材の面圧と、液状シール剤の塗設領域を圧着するときの第2圧着部材の面圧を表4に示すように変え、図7に示すフロー図に従って可撓性封止部材の貼合を行い有機EL素子とし、試料No.301〜310とした。
尚、第1圧着部材のヤング率を1×10-2GPa、第2圧着部材のヤング率を70GPaとした。貼合するときの環境は1×10-2Paの減圧条件に設定された真空チャンバー内で行った。
(Lamination of flexible sealing member)
When the prepared flexible sealing member is used, the liquid sealing agent-coated glass substrate is used to apply the flexible sealing member, and the liquid when the flexible sealing member is bonded. As shown in Table 4, the surface pressure of the first pressure-bonding member when pressure-holding the diffusion-prohibited region of the sealing agent and the surface pressure of the second pressure-bonding member when pressure-bonding the coating region of the liquid sealant are changed as shown in Table 4 A flexible sealing member is bonded according to the flowchart shown in FIG. 301 to 310.
The Young's modulus of the first pressure-bonding member was 1 × 10 −2 GPa, and the Young's modulus of the second pressure-bonding member was 70 GPa. The environment for pasting was performed in a vacuum chamber set to a reduced pressure condition of 1 × 10 −2 Pa.

(評価)
作製した各試料No.301〜310に付き、発光ムラを実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表4に示す。
(Evaluation)
Each prepared sample No. Table 4 shows the results of the evaluation of non-uniform light emission according to the same test method as in Example 1 and evaluation according to the same evaluation rank as in Example 1.

Figure 2007066538
Figure 2007066538

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例4
実施例1と同じ材料を使用し、同じ構成の有機EL素子を作製した。
Example 4
Using the same material as in Example 1, an organic EL device having the same configuration was produced.

(第2電極までを形成したガラス基板の作製)
実施例1と同じ材料を使用し、同じ方法条件で第2電極までを形成したガラス基板を作製した。
(Production of glass substrate on which up to the second electrode is formed)
Using the same material as in Example 1, a glass substrate on which up to the second electrode was formed under the same method conditions was produced.

(液状シール剤の塗設)
準備した第2電極までを形成したガラス基板に、紫外線硬化型の液状シール剤(ThreeBond3124C (株)スリーボンド製)を図3の(c)に示す様に発光領域の周囲に塗設し液状シール剤塗設済みガラス基板を作製した。液状シール剤の粘度は、270Pa・sであった。尚、液状シール剤は発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。
(Coating with liquid sealant)
An ultraviolet curable liquid sealant (ThreeBond 3124C, manufactured by ThreeBond Co., Ltd.) is applied to the periphery of the light emitting region as shown in FIG. A coated glass substrate was prepared. The viscosity of the liquid sealant was 270 Pa · s. The liquid sealing agent was applied around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm.

(可撓性封止部材の準備)
基材/バリア層の構成からなり、表5に示す様にヤング率と厚みを変えた可撓性封止部材を準備し、No.4−1〜4−10とした。又、JIS−Z−0208に準じて測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・24hrs・90%RHであった。
(Preparation of flexible sealing member)
As shown in Table 5, a flexible sealing member having a Young's modulus and a thickness was prepared. 4-1 to 4-10. The water vapor permeability measured according to JIS-Z-0208 was 0.01 g / m 2 · 24 hrs · 90% RH.

基材:厚さ100μmのPETフィルムを使用した。   Substrate: A PET film having a thickness of 100 μm was used.

バリア層:バリア材として酸化珪素使用し蒸着で厚さ500nmで形成した。   Barrier layer: Silicon oxide was used as a barrier material and was formed by vapor deposition to a thickness of 500 nm.

(可撓性封止部材の貼合)
準備した可撓性封止部材No.4−1〜4−10を準備した液状シール剤塗設済みガラス基板に図4に示す可撓性封止部材貼合装置を使用し、図7に示すフロー図に従って可撓性封止部材の貼合を行い有機EL素子とし、試料No.401〜410とした。尚、第1圧着部材のヤング率を1×10-2GPa、第2圧着部材のヤング率を70GPaとした。可撓性封止部材を貼合するときの液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するときの第1圧着部材の面圧を、0.1MPa、液状シール剤の塗設領域を圧着するときの第2圧着部材の面圧を0.05MPaとした。貼合するときの環境は1×10-2Paの減圧条件に設定された真空チャンバー内で行った。
(評価)
作製した各試料No.401〜410に付き、発光割合を実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表5に示す。
(Lamination of flexible sealing member)
The prepared flexible sealing member No. The flexible sealing member bonding apparatus shown in FIG. 4 is used for the liquid sealing agent-coated glass substrate prepared in 4-1 to 4-10, and the flexible sealing member is formed according to the flow chart shown in FIG. Bonding is performed to obtain an organic EL element. 401-410. The Young's modulus of the first pressure-bonding member was 1 × 10 −2 GPa, and the Young's modulus of the second pressure-bonding member was 70 GPa. The surface pressure of the first pressure-bonding member when pressure-holding the diffusion-prohibited region of the liquid sealing agent when the flexible sealing member is bonded is 0.1 MPa, and when the liquid-sealing agent coating region is pressure-bonded The surface pressure of the second pressure-bonding member was set to 0.05 MPa. The environment for pasting was performed in a vacuum chamber set to a reduced pressure condition of 1 × 10 −2 Pa.
(Evaluation)
Each prepared sample No. Table 5 shows the results of the evaluation of the light emission ratio by the same test method as in Example 1 and evaluation according to the same evaluation rank as in Example 1.

Figure 2007066538
Figure 2007066538

本発明の有効性が確認された。 The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例5
実施例1と同じ材料を使用し、同じ構成の有機EL素子を作製した。
Example 5
Using the same material as in Example 1, an organic EL device having the same configuration was produced.

(第2電極までを形成したガラス基板の作製)
実施例1と同じ材料を使用し、同じ方法条件で第2電極までを形成したガラス基板を作製した。
(Production of glass substrate on which up to the second electrode is formed)
Using the same material as in Example 1, a glass substrate on which up to the second electrode was formed under the same method conditions was produced.

(液状シール剤の塗設)
準備した第2電極までを形成したガラス基板に、紫外線硬化型の液状シール剤(ThreeBond3124C (株)スリーボンド製)を図3の(c)に示す様に発光領域の周囲に塗設し液状シール剤塗設済みガラス基板を作製した。液状シール剤の粘度は、270Pa・sであった。尚、液状シール剤は発光領域の周囲に厚さ300μm、幅500μmになるように塗設した。
(Coating with liquid sealant)
An ultraviolet curable liquid sealant (ThreeBond 3124C, manufactured by ThreeBond Co., Ltd.) is applied to the periphery of the light emitting region as shown in FIG. A coated glass substrate was prepared. The viscosity of the liquid sealant was 270 Pa · s. The liquid sealing agent was applied around the light emitting region so as to have a thickness of 300 μm and a width of 500 μm.

(可撓性封止部材の準備)
基材/バリア層の構成からなる可撓性封止部材を準備した。
(Preparation of flexible sealing member)
A flexible sealing member having a substrate / barrier layer configuration was prepared.

基材:100μmのPETフィルムを使用した。   Substrate: A 100 μm PET film was used.

バリア層:バリア材として酸化珪素を使用し蒸着で厚さ500nmとした。
尚、JIS−Z−0208に準じて測定した水蒸気透過度は0.01g/m2・24hrs・90%RHであった。又、ヤング率は6GPaであった。
Barrier layer: Silicon oxide was used as a barrier material, and the thickness was set to 500 nm by vapor deposition.
Incidentally, the water vapor permeability measured according to JIS-Z-0208 was 0.01g / m 2 · 24hrs · 90 % RH. The Young's modulus was 6 GPa.

(可撓性封止部材の貼合)
準備した可撓性封止部材を準備した液状シール剤塗設済みガラス基板に図4に示す可撓性封止部材貼合装置を使用し、表6に示す様に減圧条件下で、図7に示すフロー図に従って可撓性封止部材の貼合を行い有機EL素子とし、試料No.501〜510とした。尚、第1圧着部材のヤング率を1×10-2GPa、第2圧着部材のヤング率を70GPaとした。可撓性封止部材を貼合するときの液状シール剤の拡散禁止領域を圧着保持するときの第1圧着部材の面圧を、0.1MPa、液状シール剤の塗設領域を圧着するときの第2圧着部材の面圧を0.05MPaとした。
(評価)
作製した各試料No.501〜510に付き、発光割合を実施例1と同じ試験方法により試験し、実施例1と同じ評価ランクに従って評価した結果を表6に示す。
(Lamination of flexible sealing member)
A flexible sealing member bonding apparatus shown in FIG. 4 is used for the liquid sealing agent-coated glass substrate prepared with the prepared flexible sealing member, and under reduced pressure conditions as shown in Table 6, FIG. In accordance with the flowchart shown in FIG. 501-510. The Young's modulus of the first pressure-bonding member was 1 × 10 −2 GPa, and the Young's modulus of the second pressure-bonding member was 70 GPa. The surface pressure of the first pressure-bonding member when pressure-holding the diffusion-prohibited region of the liquid sealing agent when the flexible sealing member is bonded is 0.1 MPa, and when the liquid-sealing agent coating region is pressure-bonded The surface pressure of the second pressure-bonding member was set to 0.05 MPa.
(Evaluation)
Each prepared sample No. Table 6 shows the results of 501 to 510, in which the emission ratio was tested by the same test method as in Example 1 and evaluated according to the same evaluation rank as in Example 1.

Figure 2007066538
Figure 2007066538

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

基材に帯状フィルムを使用した場合の有機EL素子を作製する工程の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the process of producing the organic EL element at the time of using a strip | belt-shaped film for a base material. 枚葉シート状基板を使用した有機EL素子の製造方法の模式図である。It is a schematic diagram of the manufacturing method of the organic EL element which uses a single-wafer sheet-like board | substrate. 図2に示される第2電極までが形成された基板に液状シール剤を塗設した状態を示す概略平面図である。It is a schematic plan view which shows the state which coated the liquid sealing agent on the board | substrate in which even the 2nd electrode shown by FIG. 2 was formed. 図2に示す製造装置に使用されている封止部材貼合装置の概略図である。It is the schematic of the sealing member bonding apparatus used for the manufacturing apparatus shown in FIG. 図2に示す製造装置に使用されている他の方式の封止部材貼合装置の概略図である。It is the schematic of the sealing member bonding apparatus of the other system currently used for the manufacturing apparatus shown in FIG. 図4に示す封止部材貼合装置を使用し、図3に示される第2電極が形成された枚葉シート状基板の発光領域に塗設された液状シール剤上に可撓性封止部材を貼合する状態を示す概略部分断面図である。Using the sealing member bonding apparatus shown in FIG. 4, a flexible sealing member on the liquid sealing agent coated on the light emitting region of the single-wafer sheet-like substrate on which the second electrode shown in FIG. 3 is formed It is a general | schematic fragmentary sectional view which shows the state which bonds. 図4に示される封止部材貼合装置を使用して、図3に示される第2電極が形成された枚葉シート状基板の発光領域に塗設された液状シール剤上に可撓性封止部材を貼合するまでの概略フロー図である。Using the sealing member bonding apparatus shown in FIG. 4, a flexible seal is applied on the liquid sealing agent applied to the light emitting region of the single-wafer sheet-like substrate on which the second electrode shown in FIG. 3 is formed. It is a schematic flowchart until it bonds a stop member. 有機EL素子の層構成の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the laminated constitution of an organic EL element.

符号の説明Explanation of symbols

1 有機EL素子
101 基材
102 陽極
103 正孔輸送層(正孔注入層)
104 有機化合物層(発光層)
105 電子注入層
106 陰極
107 接着剤層
108、11 可撓性封止部材
2、8 製造装置
6、808 可撓性封止部材貼合工程
601、808a 液状シール剤塗設装置
602 積重装置
602a、808b1 枚葉シート状可撓性封止部材
603、808c、808′c 封止部材貼合装置
808c1、808′c1 第1圧着部材
808c2、808′c2 第2圧着部材
808c3、808′c3 上型
808c4、808′c4 ガイドポスト
808c5、808′c5 下型
801f 枚葉シート状基板
801f1 第1電極
801f2 第2電極
801f3 発光領域
801f4、801f5 液状シール剤
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Organic EL element 101 Base material 102 Anode 103 Hole transport layer (hole injection layer)
104 Organic compound layer (light emitting layer)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 105 Electron injection layer 106 Cathode 107 Adhesive layer 108,11 Flexible sealing member 2,8 Manufacturing apparatus 6,808 Flexible sealing member bonding process 601,808a Liquid sealing agent coating apparatus 602 Stacking apparatus 602a , 808b1 Single sheet flexible sealing member 603, 808c, 808'c Sealing member laminating device 808c1, 808'c1 First crimping member 808c2, 808'c2 Second crimping member 808c3, 808'c3 Upper mold 808c4, 808'c4 Guide post 808c5, 808'c5 Lower die 801f Single wafer sheet 801f1 First electrode 801f2 Second electrode 801f3 Light emitting region 801f4, 801f5 Liquid sealant

Claims (9)

基板上に、少なくとも第1電極層と、発光層を含む有機化合物層と、第2電極を含む陰極層と、封止層とを順次形成する工程を有し、封止層の形成は可撓性封止部材を発光領域及び周辺に液状シール剤を介して貼合配置することで有機エレクトロルミネッセンス素子を製造する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、
前記液状シール剤を少なくとも前記可撓性封止部材、前記基板上に形成された前記発光領域又は、前記発光領域の周辺の何れかに塗設した後、
前記可撓性封止部材を前記基板上に形成された前記発光領域上に載置し、
前記液状シール剤の拡散禁止領域を前記可撓性封止部材の上から第1圧着部材で圧着保持し、
前記液状シール剤の配置位置を第2圧着部材で圧着することで前記可撓性封止部材を一次貼合した後、
前記液状シール剤を硬化処理し、前記可撓性封止部材を貼合することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
A step of sequentially forming at least a first electrode layer, an organic compound layer including a light emitting layer, a cathode layer including a second electrode, and a sealing layer on a substrate is formed. In the manufacturing method of the organic electroluminescent element which manufactures an organic electroluminescent element by laminating and arrange | positioning a sealing property member around a light emission area | region through a liquid sealing agent,
After coating the liquid sealant on at least the flexible sealing member, the light emitting region formed on the substrate, or the periphery of the light emitting region,
Placing the flexible sealing member on the light emitting region formed on the substrate;
The liquid sealing agent diffusion prohibition region is pressure-bonded and retained by the first pressure-bonding member from above the flexible sealing member,
After primarily laminating the flexible sealing member by crimping the placement position of the liquid sealing agent with a second crimping member,
A method for producing an organic electroluminescent element, wherein the liquid sealing agent is cured, and the flexible sealing member is bonded.
前記可撓性封止部材と接触する第1圧着部材のヤング率が1×10-3GPa〜80GPaであることを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 2. The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 1, wherein a Young's modulus of the first pressure-bonding member in contact with the flexible sealing member is 1 × 10 −3 GPa to 80 GPa. 前記可撓性封止部材と接触する第2圧着部材の面のヤング率が1×10-3GPa〜80GPaであることを特徴とする請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 3. The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 1, wherein a Young's modulus of a surface of the second pressure-bonding member that contacts the flexible sealing member is 1 × 10 −3 GPa to 80 GPa. . 前記第1圧着部材による液状シール剤の拡散禁止領域を圧着するときの面圧が1×10-2MPa〜10MPaであることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The organic pressure according to any one of claims 1 to 3, wherein a surface pressure when pressure-bonding the diffusion prohibition region of the liquid sealant by the first pressure-bonding member is 1 × 10 -2 MPa to 10 MPa. Manufacturing method of electroluminescent element. 前記第2圧着部材による液状シール剤の配置位置を圧着するときの面圧が1×10-2MPa〜10MPaであることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 5. The organic electro according to claim 1, wherein a surface pressure when the liquid sealant is disposed by the second pressure-bonding member is 1 × 10 −2 MPa to 10 MPa. Manufacturing method of luminescence element. 前記拡散禁止領域が発光領域であることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The method for manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the diffusion prohibited region is a light emitting region. 前記拡散禁止領域が外部電極取り出し領域であることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The method of manufacturing an organic electroluminescence element according to claim 1, wherein the diffusion prohibition region is an external electrode extraction region. 前記可撓性封止部材のヤング率が1×10-3GPa〜80GPaであり、厚みが10μm〜500μmであることを特徴とする請求項1〜7の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 8. The organic electroluminescence according to claim 1, wherein the flexible sealing member has a Young's modulus of 1 × 10 −3 GPa to 80 GPa and a thickness of 10 μm to 500 μm. Device manufacturing method. 前記可撓性封止部材の貼合は、10Pa〜1×10-4Paの減圧条件で行われることを特徴とする請求項1〜8の何れか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 The organic electroluminescent element production according to any one of claims 1 to 8, wherein the bonding of the flexible sealing member is performed under a reduced pressure condition of 10 Pa to 1 x 10 -4 Pa. Method.
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