JP2007064703A - 差圧・圧力検出器 - Google Patents
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Abstract
接合強度の大幅な増大を図り、信頼性の高い差圧・圧力検出器を提供する。
【解決手段】
受圧体100L,100Rと、キャピラリーチューブ200L,200Rと、検出器300と、を備えるリモートシール形の差圧・圧力検出器1であって、特にステンレス製の受圧体本体101L,101Rにタンタル製の受圧体側リング104L,104Rを溶接し、その上にジルコニウム製のダイアフラム側リング103L,103Rとを溶接した上で、シールダイヤフラム102L,102Rを溶接してなる受圧体100L,100Rとした。
【選択図】 図1
Description
差圧・圧力検出器は、図4で示すように、受圧体10L,10R、キャピラリーチューブ20L,20R、検出器30を備えるリモートシール形の検出器である。この受圧体10L,10Rはステンレスで製作された受圧体本体11に対してジルコニウムで製作されたリング12L,12Rを溶接にて接合し、さらにこのリング12L,12Rに対して、ジルコニウムで製作されたシールダイアフラム13L,13Rを同じく溶接にて接合させている。
なお、差圧・圧力検出器の他の従来技術が、例えば、特許文献1で開示されている。
圧力または圧力差を検出するためのセンサを内蔵する検出器と、
測定圧を受けるためのシールダイヤフラムを受圧体本体に張り渡してなる受圧体と、
受圧体が受けた圧力を検出器へ伝達するためのキャピラリーチューブと、
を備えるリモートシール形の差圧・圧力検出器であって、
ステンレス製の受圧体本体とジルコニウム製のシールダイヤフラムとは接続部を介して接続され、この接続部は、
ジルコニウム製のダイアフラム側リングと、
タンタル製の受圧体側リングと、
による二層構造を備えることを特徴とする。
圧力または圧力差を検出するためのセンサを内蔵する検出器と、
測定圧を受けるためのシールダイヤフラムを受圧体本体に張り渡してなる受圧体と、
受圧体が受けた圧力を検出器へ伝達するためのキャピラリーチューブと、
を備えるリモートシール形の差圧・圧力検出器であって、
ステンレス製の受圧体本体とジルコニウム製のシールダイヤフラムとは接続部を介して接続され、この接続部は、
ジルコニウム製のダイアフラム側リングと、
チタン製の受圧体側リングと、
による二層構造を備えることを特徴とする。
本形態のようなリモートシール形の差圧・圧力検出器について図を参照しつつ説明する。リモートシール形の差圧・圧力検出器1は、図1で示すように受圧体100L、受圧体100R、キャピラリーチューブ200L、キャピラリーチューブ200R、検出器300を備えている。なお、符号中LとRは同等の構成が二つあることを示すものであり、以下、例えばキャピラリーチューブ200Lおよびキャピラリーチューブ200Rならば、キャピラリーチューブ200L(R)と簡略な記載にするとともに重複する説明を省略して一括して説明する。
受圧体本体101L(R)は、ステンレス製の部材であって、受圧体本体101L(R)には正面と側壁とで連通する流路105L(R)が形成されている。
シールダイアフラム102L(R)は、ジルコニウムにて形成された断面波状の板である。
ダイアフラム側リング103L(R)は、ジルコニウムにより形成されたリング体である。
受圧体側リング104L(R)は、タンタルにて形成されたリング体である。
また、ダイヤフラム室303L(R)は検出器本体301L(R)、パイプ331L(R)およびセンサケース341の流路332L(R)を介してセンサ342と連通する。
また、検出器300の流路302L(R)、ダイヤフラム室303L(R)や流路332L(R)からなる一連の圧力伝達経路にも、シリコーンオイル等の封入液が封入されている。
リモート・シール型の差圧・圧力検出器1において、受圧体100Lのシールダイヤフラム102Lに低圧側の被測定圧力P1が、また、受圧体100Rのシールダイヤフラム102Rに高圧側の被測定圧力P2が、それぞれ加わると、シールダイヤフラム102L(R)が変位し、この変位により封入液が移動することで圧力伝達され、図2で示す検出器300のセンターダイヤフラム322が差圧(P1 −P2)に応じて移動し、この変位とバランスがとれた圧力でダイヤフラム室303L(R)内の封入液を移動させる。そして封入液を介してセンサ342に圧力が加えられる。
なお、以上の説明は、差圧検出について述べたが、受圧体100L(R)の一方に基準圧力を加えたならば圧力検出器として機能する。
まず、タンタル−ステンレス間であるが、タンタルとステンレスの溶接は、数十年来の実績があり、接合強度は十分確保されることが確認されている。
また、タンタル−ジルコニウム間であるが、タンタルとジルコニウムとは溶接性の良い材料であることが確認されている。
また、同一材料であるジルコニウム同士の溶接性は良好であることはいうまでもない。
ステンレス製の受圧体本体101L(R)にタンタル製の受圧体側リング104L(R)を溶接し、上側にジルコニウム製のダイアフラム側リング103L(R)を溶接し、上側にジルコニウム製のシールダイヤフラム102L(R)を溶接して積層構造としている。
このように本形態では、受圧体100L(R)における接続部の材料を2層化したことにより、その接合強度を従来品の10倍にすることができ、長期にわたり安定した性能を発揮することができる。
本形態のリモートシール形の差圧・圧力検出器1は、図1で示すように受圧体100L’,100R’、キャピラリーチューブ200L,200R、検出器300を備えている。先に説明した形態と比較して、本形態では受圧体100L’,100R’のみが相違するものであり、他のキャピラリーチューブ200L,200R、検出器300および検出原理・検出動作は同じであり、重複説明を省略する。
先に説明した形態の受圧体側リング104L(R)と比較して、本形態では受圧体側リング107L(R)のみが相違するものであり、他の受圧体本体101L(R)、シールダイアフラム102L(R)、ダイアフラム側リング103L(R)は同じであり、重複説明を省略する。
受圧体側リング107L(R)は、チタンにて形成されたリング体である。
まず、チタン−ステンレス間であるが、チタンとステンレスとの溶接は、数十年来の実績があり、接合強度は十分確保されることが確認されている。
また、チタン−ジルコニウム間であるがチタンとジルコニウムとは溶接性の良い材料であることが確認されている。
また、同一材料であるジルコニウム同士の溶接性は良好であることはいうまでもない。
ステンレス製の受圧体本体101L(R)にチタン製の受圧体側リング107L(R)を溶接し、上側にジルコニウム製のダイアフラム側リング103L(R)を溶接し、上側にジルコニウム製のシールダイヤフラム102L(R)と積層構造にする点である。
このように本形態では、受圧体100L’,100R’における接続部の材料を2層化したことにより、その接合強度を従来品の10倍にすることができ、長期にわたり安定した性能を発揮することができる。
100L,100R,100L’,100R’:受圧体
101L,101R:受圧体本体
102L,102R:シールダイアフラム
103L,103R:ダイアフラム側リング
104L,104R,107L,107R:受圧体側リング
105L,105R:流路
106L,106R:ダイアフラム室
200L,200R:キャピラリーチューブ
201L,201R:流路
300:検出器
301L,301R:検出器本体
302L,302R:流路
303L,303R:ダイアフラム室
311L,311R:本体カバー
312L,312R:ダイアフラム室
313L,313R:流路
321L,321R:受圧ダイヤフラム
322:センターダイヤフラム
331L,331R:パイプ
332L,332R:流路
341:センサケース
342:センサ
343:通信線
Claims (2)
- 圧力または圧力差を検出するためのセンサを内蔵する検出器と、
測定圧を受けるためのシールダイヤフラムを受圧体本体に張り渡してなる受圧体と、
受圧体が受けた圧力を検出器へ伝達するためのキャピラリーチューブと、
を備えるリモートシール形の差圧・圧力検出器であって、
ステンレス製の受圧体本体とジルコニウム製のシールダイヤフラムとは接続部を介して接続され、この接続部は、
ジルコニウム製のダイアフラム側リングと、
タンタル製の受圧体側リングと、
による二層構造を備えることを特徴とするリモートシール形の差圧・圧力検出器。 - 圧力または圧力差を検出するためのセンサを内蔵する検出器と、
測定圧を受けるためのシールダイヤフラムを受圧体本体に張り渡してなる受圧体と、
受圧体が受けた圧力を検出器へ伝達するためのキャピラリーチューブと、
を備えるリモートシール形の差圧・圧力検出器であって、
ステンレス製の受圧体本体とジルコニウム製のシールダイヤフラムとは接続部を介して接続され、この接続部は、
ジルコニウム製のダイアフラム側リングと、
チタン製の受圧体側リングと、
による二層構造を備えることを特徴とするリモートシール形の差圧・圧力検出器。
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JP2010521692A (ja) * | 2007-03-16 | 2010-06-24 | ローズマウント インコーポレイテッド | 圧力トランスミッタのためのナノ粒子改質充填流体 |
JP2012503179A (ja) * | 2008-09-17 | 2012-02-02 | ピー・アイ・コンポーネンツ・コーポレーション | ダイヤフラム構造およびダイヤフラム構造を製造する方法 |
-
2005
- 2005-08-30 JP JP2005248623A patent/JP4883386B2/ja active Active
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