JP2003222563A - 差圧伝送器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 過大圧保護ダイアフラムを利用して過大圧を
検出する構造の差圧伝送器において、ボディを加工し易
くした構造の受圧部を提供する。 【解決手段】 背面側を低圧側過大圧液路４４を有する
高圧側接液面に接合させるようにして配設した高圧側過
大圧保護ダイアフラム３２を備えた高圧側ダイアフラム
部２４と、背面側を高圧側過大圧液路４１を有する低圧
側接液面に接合させるようにして配設した低圧側過大圧
保護ダイアフラム３６を備えた低圧側ダイアフラム部２
５と、圧力の差を検出する差圧センサ部２９と、を備え
てなる差圧伝送器であって、高圧側ダイアフラム部２４
と低圧側ダイアフラム部２５とは、互いに偏心した位置
関係で配設すると共に、高圧側過大圧液路４１と低圧側
過大圧液路４４とは、高圧側及び低圧側ダイアフラム部
と直交する方向であって、互いに平行でストレートに穿
設した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、差圧伝送器に関
し、特に工業計測に用いられる圧力計に関し、圧力セン
サに対し過大な圧力が印加されてもセンサに圧力が伝達
されない構造とし、センサ破損を防止する差圧伝送器に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術における差圧伝送器は、高圧側
及び低圧側のダイアフラム部に過大圧が印加されたとき
に、その過大圧を検出する過大圧保護ダイアフラムを備
えた構造となっており、その差圧伝送器１０の構成は、
図６に示すように、プロセスからの高圧及び低圧の圧力
差からの圧力を電気信号に変換する圧力検出部１１と、
この圧力検出部１１で生成された信号を増幅する電気回
路からなる増幅部１２とからなる。

【０００３】圧力検出部１１は、プロセスからの高圧の
圧力を導入する高圧力導入部を形成する高圧側フランジ
１３と、プロセスからの低圧の圧力を導入する低圧力導
入部を形成する低圧側フランジ１４と、この高圧側フラ
ンジ１３及び低圧側フランジ１４からの高低圧をダイア
フラムで検出する受圧部１５とからなり、高圧側及び低
圧側フランジ１３、１４はナット１６とボルト１７で係
止された構造となっている。

【０００４】受圧部１５は、図７に示すように、上部中
間位置を細首形状に形成したボデイ２１と、このボディ
２１の上部中央位置にリング２２で係止されているセン
サ部２３と、ボディ２１の下部位置であって互いに背を
向き合って外側方向に臨ませて配設した高圧側ダイアフ
ラム部２４及び低圧側ダイアフラム部２５と、ボデイ２
１内部において、この高圧側ダイアフラム部２４からの
封入液をセンサ部２３に伝達させるための高圧側封入液
伝達穴部２６と、低圧側ダイアフラム部２５からの封入
液をセンサ部２３に伝達させるための低圧側封入液伝達
穴部２７とから構成されている。以下、各構成の細部に
ついて説明する。

【０００５】センサ部２３は、ターミナル２８にセンサ
を取り付けたものであり、上部から高圧側の圧力を、下
部から低圧側の圧力を加えて差圧を検出する差圧センサ
２９と、この差圧センサ２９にワイヤボンデイングして
電気的に接続した一対のハーメチック端子３０ａ、３０
ｂとからなる。この一対のハーメチック端子３０ａ、３
０ｂが図６に示す増幅部１２に通じている。

【０００６】高圧側ダイアフラム部２４は、ボデイ２１
の側壁面を凹曲面形状に形成した高圧側接液部３１と、
その凹曲面に沿って接触した状態で配置してなる曲面形
状の高圧側過大圧保護ダイアフラム３２と、この高圧側
過大圧保護ダイアフラム３２と所定の空間を持ち且つ高
圧側過大圧保護ダイアフラム３２を覆う大きさであっ
て、外周端部の外側に高圧側封入液３３を伝達する穴
（高圧側伝導穴）の入口を設ける共に凹曲面形状の高圧
側接液部３１を外部から遮蔽するように外側に臨ませて
配設した平面形状の高圧側プロセスダイアフラム３４
と、高圧側過大圧保護ダイアフラム３２と高圧側プロセ
スダイアフラム３４との間の空間に充填した伝達用の高
圧側封入液３３とからなる。

【０００７】低圧側ダイアフラム部２５は、高圧側ダイ
アフラム部２４と反対側に形成され、ボデイ２１の側壁
面を凹曲面形状に形成した低圧側接液部３５と、その凹
曲面に沿って接触した状態で配置してなる曲面形状の低
圧側過大圧保護ダイアフラム３６と、この低圧側過大圧
保護ダイアフラム３６と所定の空間を持ち且つ低圧側過
大圧保護ダイアフラム３６を覆う大きさであって、外周
端部の外側に低圧側封入液３７を伝達する穴（低圧側伝
導穴）の入口を設けると共に凹曲面形状の低圧側接液部
３５を外部から遮蔽するように外側に臨ませて配設した
平面形状の低圧側プロセスダイアフラム３８と、低圧側
過大圧保護ダイアフラム３６と低圧側プロセスダイアフ
ラム３８との間の空間に充填した伝達用の低圧側封入液
３７とからなる。

【０００８】高圧側封入液伝達穴部２６は、高圧側過大
圧保護ダイアフラム３２の外周端部の外側位置に高圧側
接液部３１と連通してなる高圧側伝導穴３９と、この高
圧側伝導穴３９に連通し、センサ部２３に高圧側封入液
３３を伝達する高圧側センサ伝導穴４０と、同じく高圧
側伝導穴３９に連通し、低圧側過大圧保護ダイアフラム
３６の略中央位置を背後から押すように配設してなる高
圧側過大圧伝導穴４１とからなる。

【０００９】低圧側封入液伝達穴部２７は、低圧側過大
圧保護ダイアフラム３６の外周端部の外側位置に低圧側
接液部３５と連通してなる低圧側伝導穴４２と、この低
圧側伝導穴４２に連通し、センサ部２３に低圧側封入液
３７を伝達する低圧側センサ伝導穴４３と、同じく低圧
側伝導穴４２に連通し、高圧側過大圧保護ダイアフラム
３２の略中央位置を背後から押すように配設してなる低
圧側過大圧液路４４とからなる。

【００１０】このような構造からなる差圧伝送器１０に
おいて、特に受圧部１５においては、例えば、高圧側の
プロセスから圧力を高圧側プロセスダイアフラム３４が
受けると、その圧力は高圧側封入液３３に伝達され、そ
の伝達した高圧側封入液３３の圧力は高圧側伝導穴３９
を通過し、高圧側センサ伝導穴４０を介してセンサ部２
３の差圧センサ２９に供給される。

【００１１】同時に、低圧側のプロセスから圧力を低圧
側プロセスダイアフラム３８が受けると、その圧力は低
圧側封入液３７に伝達され、その伝達された圧力が低圧
側伝導穴４２を通過し、低圧側センサ伝導穴４３を介し
てセンサ部２３の差圧センサ２９に供給される。このよ
うにして、高圧側及び低圧側からの圧力を封入液３３、
３７により伝達し、その差を差圧センサ２９で検出でき
るのである。

【００１２】ここで、高圧側及び低圧側のプロセスから
の圧力は測定許容範囲の圧力であるから、高圧側の高圧
側過大圧液路４１に伝達される高圧側封入液３３の伝達
は無視するか又は低圧側過大圧保護ダイアフラム３６の
背後を押しても変化しない程度の圧力である。低圧側に
おいても低圧側過大圧液路４４に伝達される低圧側封入
液３７の伝達は無視するか又は高圧側過大圧保護ダイア
フラム３２の背後を押しても変化しない程度の圧力であ
る。

【００１３】このように、予めプロセスからの圧力によ
り伝達される封入液の伝達圧力を設定しておくことによ
り、高圧側及び低圧側過大圧保護ダイアフラム３２、３
６に変形をきたすことがないから、プロセスからの高圧
及び低圧の差圧を検出することができるのである。

【００１４】さて、高圧側若しくは低圧側に過大圧が発
生した場合には、互いの過大圧保護ダイアフラム３２、
３６が変形することにより封入液の部屋自体が縮小さ
れ、そのぶん封入液の伝達力を更に強くして過大圧を検
出する。

【００１５】図８は、高圧側で過大圧が発生したときの
状態を示したものであり、今、高圧側のプロセスから許
容範囲以上の圧力が高圧側プロセスダイアフラム３４に
印加されたとする。そうすると、過大圧により高圧側プ
ロセスダイアフラム３４は高圧側過大圧保護ダイアフラ
ム３２方向に変形をきたし、図に示す如く高圧側プロセ
スダイアフラム３４が高圧側過大圧保護ダイアフラム３
２と接合した状態になり、その空間の部屋に充填されて
いる高圧側封入液３３は、全てが高圧側伝導穴３９を通
り、高圧側センサ伝導穴４０を介してセンサ部２３に供
給される。一方、残りの封入液は高圧側過大圧液路４１
を介して低圧側過大圧保護ダイアフラム３６の背後を押
すことにより、その押圧力に屈して低圧側過大圧保護ダ
イアフラム３６が低圧側プロセスダイアフラム３８側に
変形する。

【００１６】そうすると、低圧側過大圧保護ダイアフラ
ム３６と低圧側プロセスダイアフラム３８との間に充填
されている低圧側封入液３７が圧迫され、低圧側プロセ
スダイアフラム３８で検出したプロセスからの圧力以外
の圧力が低圧側伝導穴４２、低圧側センサ伝導穴４３を
介してセンサ部２３に供給される。

【００１７】このようにして、その差圧の変化状態をセ
ンサ部２３で検出すれば、現在、過大圧状態であるか正
常圧状態であるかを検出することができるのである。

【００１８】又、このときの過大圧圧力は、センサ部２
３の破壊圧力以下になるように設計されている。さら
に、封入されている封入液３３、３７は温度により膨張
収縮をするが、差圧伝送器の使用温度全範囲においてセ
ンサ部２３の破壊圧力以下ではプロセスダイアフラム３
４、３８と過大圧保護ダイアフラム３２、３６間に封入
されている封入液３３、３７が全て過大圧保護ダイアフ
ラム３２、３６とボディ２１の接液部３１、３５間に移
動する設計となっている。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来技
術で説明した従来構造は、２枚の高圧側及び低圧側過大
圧保護ダイフラム機構を有する差圧計構造となってお
り、受圧部内に設けられているプロセス圧力をセンサに
伝達させるための圧力媒体が封入される穴である、高圧
側及び低圧側過大圧液路が複雑な構造になっている。そ
のため液路を配設するボディの加工が複雑になっている
という問題がある。

【００２０】従って、高圧側及び低圧側過大圧保護ダイ
アフラム機構を有する差圧伝送器の構造において、ダイ
アフラム等の組み込まれるボディの加工が容易な液路構
造に解決しなければならない課題を有する。

【００２１】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、本発明に係る差圧伝送器は、次に示す構成にするこ
とである。

【００２２】（１）プロセスからの高圧力を高圧側伝達
用封入液に伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前
記高圧側伝達用封入液に表面を接合させると共に背面側
を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させる
ようにして配設した高圧側過大圧保護ダイアフラムとか
らなる高圧側ダイアフラム部と、プロセスからの低圧力
を低圧側伝達用封入液に伝達する低圧側プロセスダイア
フラムと、前記低圧側伝達用封入液に表面を接合させる
と共に背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面
に接合させるようにして配設した低圧側過大圧保護ダイ
アフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、前記高圧
側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用封入液と前記
低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用封入液と
の圧力の差を検出する差圧センサ部と、を備えてなる差
圧伝送器であって、前記高圧側ダイアフラム部と前記低
圧側ダイアフラム部とは、互いに偏心した位置関係で配
設すると共に、前記高圧側過大圧液路と前記低圧側過大
圧液路とは、前記高圧側ダイアフラム部及び前記低圧側
ダイアフラム部と直交する方向であって、互いに平行で
ストレートに穿設したことを特徴とする差圧伝送器。

【００２３】（２）プロセスからの高圧力を高圧側伝達
用封入液に伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前
記高圧側伝達用封入液に表面を接合させると共に背面側
を低圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させる
ようにして配設した高圧側過大圧保護ダイアフラムとか
らなる高圧側ダイアフラム部と、プロセスからの低圧力
を低圧側伝達用封入液に伝達する低圧側プロセスダイア
フラムと、前記低圧側伝達用封入液に表面を接合させる
と共に背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面
に接合させるようにして配設した低圧側過大圧保護ダイ
アフラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、前記高圧
側ダイアフラム部からの前記高圧側伝達用封入液と前記
低圧側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用封入液と
の圧力の差を検出する差圧センサ部と、を備えてなる差
圧伝送器であって、前記高圧側ダイアフラム部と前記低
圧側ダイアフラム部とは、互いに中心位置を同じくした
位置関係で配設すると共に、前記高圧側過大圧液路と前
記低圧側過大圧液路とは、前記高圧側ダイアフラム部及
び前記低圧側ダイアフラム部と斜め方向であって、互い
に平行でストレートに穿設したことを特徴とする差圧伝
送器。

【００２４】このように、高圧側並びに低圧側過大圧保
護ダイアフラムを背面から押圧する過大圧液路をダイア
フラムと直交或いは斜め方向に平行の状態でストレート
に穿設した構造にしたことにより、この過大圧液路を形
成するボディの加工がし易くなる。

【００２５】

【発明の実施の形態】次に、本発明に係る差圧伝送器の
実施形態について、図面を参照して説明する。尚、従来
技術と同じものには同一符号を付与して説明する。

【００２６】本願発明の差圧伝送器は、従来技術で説明
した図６に示す差圧伝送器１０と同じ構造になってお
り、それは高圧側及び低圧側ダイアフラム部に過大圧が
印加されたときに、その過大圧を検出する過大圧保護ダ
イアフラムを備えた構造となっており、プロセスからの
高圧及び低圧の圧力差からの圧力を電気信号に変換する
圧力検出部１１と、この圧力検出部１１で生成された信
号を増幅する電気回路からなる増幅部１２とからなる。

【００２７】圧力検出部１１は、プロセスからの高圧の
圧力を導入する高圧力導入部を形成する高圧側フランジ
１３と、プロセスからの低圧の圧力を導入する低圧力導
入部を形成する低圧側フランジ１４と、この高圧側フラ
ンジ１３及び低圧側フランジ１４からの高低圧をダイア
フラムで検出する受圧部１５とからなり、高圧側及び低
圧側フランジ１３、１４はナット１６とボルト１７で係
止された構造となっている。

【００２８】受圧部１５は、図１に示すように、センサ
を備えたボデイ２１と、このボディ２１の上部中央位置
にリング２２で係止されているセンサ部２３とからな
る。

【００２９】このボディ２１には、その下部位置であっ
て互いに背を向き合って外側方向に臨ませて配設した高
圧側ダイアフラム部２４及び低圧側ダイアフラム部２５
と、ボデイ２１内部において、この高圧側ダイアフラム
部２４からの封入液をセンサ部２３に伝達させるための
高圧側封入液伝達穴部２６と、低圧側ダイアフラム部２
５からの封入液をセンサ部２３に伝達させるための低圧
側封入液伝達穴部２７とから構成されている。

【００３０】この高圧側ダイアフラム部２４と低圧側ダ
イアフラム部２５との位置関係は、互いに中心がずれた
偏心した位置関係になっている。以下、各構成の細部に
ついて説明する。

【００３１】センサ部２３は、ターミナル２８にセンサ
を取り付けたものであり、上部から高圧側の圧力を、下
部から低圧側の圧力を加えて差圧を検出する差圧センサ
２９と、この差圧センサ２９にワイヤボンデイングして
電気的に接続した一対のハーメチック端子３０ａ、３０
ｂと、高圧側及び低圧側の圧力を逃がす安全弁２３ａ、
２３ｂとからなる。この一対のハーメチック端子３０
ａ、３０ｂが図６に示す増幅部１２に通じている。

【００３２】高圧側ダイアフラム部２４は、図１及び図
２に示すように、ボデイ２１の側壁面を凹曲面形状に形
成した高圧側接液部３１と、その凹曲面に沿って接触し
た状態で配置してなる曲面形状であって蛇腹形状の波形
状の高圧側過大圧保護ダイアフラム３２と、この高圧側
過大圧保護ダイアフラム３２と所定の空間を持ち且つ高
圧側過大圧保護ダイアフラム３２を覆う大きさであっ
て、外周端部の外側に高圧側封入液３３を伝達する穴
（高圧側伝導穴）の入口に高圧側過大圧液路４１を設け
る共に凹曲面形状の高圧側接液部３１を外部から遮蔽す
るように外側に臨ませて配設した蛇腹形状の高圧側プロ
セスダイアフラム３４と、高圧側過大圧保護ダイアフラ
ム３２と高圧側プロセスダイアフラム３４との間の空間
に充填した伝達用の高圧側封入液３３とからなる。

【００３３】高圧側過大圧液路４１は、ボディ２１に対
して内側方向であって低圧側ダイアフラム部２５の低圧
側過大圧保護ダイアフラム３６の背面に到達する穴であ
って、低圧側ダイアフラム部２５と直交する方向からス
トレートに穿設した構造になっている。又、この高圧側
過大圧液路４１の位置関係は、一方端部の穴入口を高圧
側プロセスダイアフラム３４と高圧側過大圧保護ダイア
フラム３２との間に臨ませ、他方端部の穴入口は低圧側
過大圧保護ダイアフラム３６の背面に臨ませている。

【００３４】低圧側ダイアフラム部２５は、高圧側ダイ
アフラム部２４の反対側に形成され、ボディ２１の側壁
面を凹曲面形状に形成した低圧側接液部３５と、その凹
曲面に沿って接触した状態で配置してなる蛇腹形状の波
状の低圧側過大圧保護ダイアフラム３６と、この低圧側
過大圧保護ダイアフラム３６と所定の空間を持ち且つ低
圧側過大圧保護ダイアフラム３６を覆う大きさであっ
て、外周端部の外側に低圧側封入液３７を伝達する穴
（低圧側伝導穴）の入口に低圧側過大圧液路４４を設け
ると共に凹曲面形状の低圧側接液部３５を外部から遮蔽
するように外側に臨ませて配設した蛇腹形状の波状の低
圧側プロセスダイアフラム３８と、低圧側過大圧保護ダ
イアフラム３６と低圧側プロセスダイアフラム３８との
間の空間に充填した伝達用の低圧側封入液３７とからな
る。

【００３５】低圧側過大圧液路４４は、ボディ２１に対
して内側方向であって高圧側ダイアフラム部２４の高圧
側過大圧保護ダイアフラム３２の背面に到達する穴であ
って、高圧側ダイアフラム部２４と直交する方向であっ
て、且つ上記の高圧側過大圧液路４１と平行になるよう
にストレートに穿設した構造になっている。又、この低
圧側過大圧液路４４の位置関係は、高圧側過大圧液路４
１と平行を維持させた状態で、一方の穴入口を低圧側プ
ロセスダイアフラム３８と低圧側過大圧保護ダイアフラ
ム３６との間に臨ませ、他方の穴入口を高圧側過大圧保
護ダイアフラム３２の背面に望ませている。

【００３６】このような構造からなる差圧伝送器１０に
おいて、特に受圧部１５においては、低圧側ダイアフラ
ム部２５からの低圧側過大圧液路４４と高圧側ダイアフ
ラム部２４からの高圧側過大圧液路４１が、平行で且つ
高圧側及び低圧側ダイアフラム部２４、２５と直交する
ように穿設した構造にしたことにより、ボディ２１に加
工する際に一度に直線的な穿設のみで製作可能になり、
加工がし易くなり、そのぶん製造工程を簡略化し且つ製
造コストを引き下げることができる。

【００３７】このような構造からなる受圧部の組み立て
は、図３に示すように、ボディ２１に高圧側及び低圧側
ダイアフラム部２４、２５のプロセスダイアフラム３
４、３８及び過大圧保護ダイアフラム３２、３６を組み
付けた後に、受圧部の端部に設けたガスケット１５ａを
プロセスの圧力導入接続口１３ａ、１４ａを有する２個
のフランジ１３、１４で挟み込んで位置決めしてナット
１６とボルト１７で締め付けて組み立ては完了する。使
用される２個のフランジ１３、１４は、両者共に同じ形
状のフランジであり、その共通化が図れることにより、
そのぶんコストダウンを図ることができる。

【００３８】次に、受圧部の変形例を、図４及び図５を
参照して説明する。

【００３９】受圧部に設けた高圧側及び低圧側ダイアフ
ラム部２４、２５は、互いに対向する位置関係であって
中心位置を同じく形成されている。そして高圧側及び低
圧側過大圧液路４１、４４は、互いに平行で且つ高圧側
及び低圧側ダイアフラム部２４、２５に対して斜め方向
のストレートに穿設した構造となっている、その他の構
造は上記図１及び図２で説明したものと同じであるので
同一符号を付与して、その説明は省略する。

【００４０】高圧側過大圧液路４１は、ボディ２１に対
して内側方向であって低圧側ダイアフラム部２５の低圧
側過大圧保護ダイアフラム３６の背面に到達する穴であ
って、低圧側過大圧保護ダイアフラム３６と斜め方向か
ら穿設した構造になっている。又、この高圧側過大圧液
路４１の位置関係は、一方端部の穴入口を高圧側プロセ
スダイアフラム３４と低圧側過大圧保護ダイアフラム３
６との間に臨ませ、他方端部の穴入口は低圧側過大圧保
護ダイアフラム３６の背面に臨ませている。

【００４１】低圧側過大圧液路４４は、ボディ２１に対
して内側方向であって高圧側ダイアフラム部２４の高圧
側過大圧保護ダイアフラム３２の背面に到達する穴であ
って、高圧側過大圧保護ダイアフラム３２と斜め方向で
あって、且つ上記の高圧側過大圧液路４１と平行でスト
レートになるように穿設した構造になっている。又、こ
の低圧側過大圧液路４４の位置関係は、高圧側過大圧液
路４１と平行を維持させた状態で、一方の穴入口を低圧
側プロセスダイアフラム３８と低圧側過大圧保護ダイア
フラム３６との間に臨ませ、他方の穴入口を高圧側過大
圧保護ダイアフラム３２の背面に望ませている。

【００４２】このように高圧側及び低圧側過大圧液路４
１、４４を平行に斜め方向に穿設した構造にすると、高
圧側及び低圧側ダイアフラム部２４、２５を偏心加工す
る必要がなくなるから、シンプルな加工でボディ２１を
製作することができる。更に、高圧側及び低圧側ダイア
フラム部２４、２５の偏心が無いことからボディ自身の
大きさを小さくすることが可能になる。

【００４３】

【発明の効果】上記説明したように、本発明に係る差圧
伝送器は、高圧側及び低圧側過大圧保護ダイアフラムの
背面を押圧するための高圧側及び低圧側過大圧液路を、
平行にして且つ過大圧保護ダイアフラムと直交する方向
或いは斜め方向のストレートに形成したことにより、過
大圧液路を形成するボディの加工がし易くなり、そのぶ
ん製造工程を簡約でき、製造コストのコストダウンを図
ることができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る差圧伝送器の受圧部を拡大して示
した説明図である。

【図２】同図１におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図３】同受圧部を組み立てた様子を示した説明図であ
る。

【図４】同受圧部の変形例である。

【図５】同図３におけるＢ−Ｂ線断面図である。

【図６】差圧伝送器の全体構成図である。

【図７】従来技術における受圧部を拡大して示した説明
図である。

【図８】従来技術における受圧部に過大圧が発生したと
きの様子を示した説明図である。

【符号の説明】

１０ 差圧伝送器 １１ 圧力検出部 １２ 増幅部 １３ 高圧側フランジ １３ａ 圧力導入接続口 １４ 低圧側フランジ １４ａ 圧力導入接続口 １５ 受圧部 １５ａ ガスケット １６ ナット １７ ボルト ２１ ボディ ２２ リング ２３ センサ部 ２３ａ 安全弁 ２３ｂ 安全弁 ２４ 高圧側ダイアフラム部 ２５ 低圧側ダイアフラム部 ２６ 高圧側封入液伝達穴部 ２７ 低圧側封入液伝達穴部 ２８ ターミナル ２９ 差圧センサ ３０ａ ハーメチック端子 ３０ｂ ハーメチック端子 ３１ 高圧側接液部 ３２ 高圧側過大圧保護ダイアフラム ３３ 高圧側封入液 ３４ 高圧側プロセスダイアフラム ３５ 低圧側接液部 ３６ 低圧側過大圧保護ダイアフラム ３７ 低圧側封入液 ３８ 低圧側プロセスダイアフラム ３９ 高圧側伝導穴 ４０ 高圧側センサ伝導穴 ４１ 高圧側過大圧液路 ４２ 低圧側伝導穴 ４３ 低圧側センサ伝導穴 ４４ 低圧側過大圧液路 ５１ 高圧側空隙部 ５２ スリット ５３ スリット ５４ スパイラルスリット ５５ スリット ５６ 突起部 ５７ 低圧側空隙部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 津曲 哲郎 東京都武蔵野市中町２丁目９番32号 横河 電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2F055 AA40 BB05 CC02 DD20 EE40 FF43 GG11

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プロセスからの高圧力を高圧側伝達用封
   入液に伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高
   圧側伝達用封入液に表面を接合させると共に背面側を低
   圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるよう
   にして配設した高圧側過大圧保護ダイアフラムとからな
   る高圧側ダイアフラム部と、プロセスからの低圧力を低
   圧側伝達用封入液に伝達する低圧側プロセスダイアフラ
   ムと、前記低圧側伝達用封入液に表面を接合させると共
   に背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接
   合させるようにして配設した低圧側過大圧保護ダイアフ
   ラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、前記高圧側ダ
   イアフラム部からの前記高圧側伝達用封入液と前記低圧
   側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用封入液との圧
   力の差を検出する差圧センサ部と、を備えてなる差圧伝
   送器であって、前記高圧側ダイアフラム部と前記低圧側
   ダイアフラム部とは、互いに偏心した位置関係で配設す
   ると共に、前記高圧側過大圧液路と前記低圧側過大圧液
   路とは、前記高圧側ダイアフラム部及び前記低圧側ダイ
   アフラム部と直交する方向であって、互いに平行でスト
   レートに穿設したことを特徴とする差圧伝送器。
2. 【請求項２】 プロセスからの高圧力を高圧側伝達用封
   入液に伝達する高圧側プロセスダイアフラムと、前記高
   圧側伝達用封入液に表面を接合させると共に背面側を低
   圧側過大圧液路を有する高圧側接液面に接合させるよう
   にして配設した高圧側過大圧保護ダイアフラムとからな
   る高圧側ダイアフラム部と、プロセスからの低圧力を低
   圧側伝達用封入液に伝達する低圧側プロセスダイアフラ
   ムと、前記低圧側伝達用封入液に表面を接合させると共
   に背面側を高圧側過大圧液路を有する低圧側接液面に接
   合させるようにして配設した低圧側過大圧保護ダイアフ
   ラムとからなる低圧側ダイアフラム部と、前記高圧側ダ
   イアフラム部からの前記高圧側伝達用封入液と前記低圧
   側ダイアフラム部からの前記低圧側伝達用封入液との圧
   力の差を検出する差圧センサ部と、を備えてなる差圧伝
   送器であって、前記高圧側ダイアフラム部と前記低圧側
   ダイアフラム部とは、互いに中心位置を同じくした位置
   関係で配設すると共に、前記高圧側過大圧液路と前記低
   圧側過大圧液路とは、前記高圧側ダイアフラム部及び前
   記低圧側ダイアフラム部と斜め方向であって、互いに平
   行でストレートに穿設したことを特徴とする差圧伝送
   器。