JP2007064658A - 基板検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板を移動するローラ及び超音波センサを支持する部材が必要となるために、構成が複雑になり、ローラや部材で反射された超音波によって誤動作を生じる。
【解決手段】 側壁７に第１、第２のコア８、９が固定され、第１の回転部１０は第１のコア８に回転自在に装着され、中心部分にコイル１０ｂを装着し、コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子１０ａに接続し、第１のコイル部１１は第１のコアによって第１の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイル１１ｂを装着し、第２の回転部１３は本体の第２のコア９に回転自在に装着され、中心部分にコイル１３ｂを装着し、コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子１３ａに接続し、第２のコイル部１４は第２のコア９によって第２の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイル１４ａを装着している。
【選択図】図１

Description

本発明は、第１の回転部の超音波振動子から発生する超音波を第２の回転部の超音波振動子で受信して、第１、第２の回転部上を通過する基板を検出するようにした基板検出装置に関するものである。

従来、図３に示すように、圧電素子１が音響整合層２に固定され、圧電素子１を囲むように筒状ケース３が音響整合層２に固定され、圧電素子１を埋めるように筒状ケース３に弾性樹脂４が充填され、圧電素子１にコード５を介してコネクタ６が接続された超音波センサが提案されている。

このように構成された従来の超音波センサは、基板が音響整合層２上を通過するとき、圧電振動子１から発生した超音波が基板で反射し、この反射した超音波を圧電振動子１で検出することによって、基板が超音波センサ上を通過することが検出される。

しかしながら、このように構成した従来の超音波センサでは、基板が超音波センサの上を通過させるために、基板を移動して支持するローラが必要となり、又、超音波センサと基板との間隔を保持するために、ローラを支持する部材に超音波センサを支持する部材を装着する必要があり、構成が複雑になるという問題があり、又、基板を搬送するローラ等で反射した超音波を受信して誤動作を生じるという問題がある。
特開平１０−２２４８９５号公報

解決しようとする問題点は、従来の超音波センサでは、基板を移動するローラ及び超音波センサを支持する部材が必要となるために、構成が複雑になり、又、ローラや部材で反射された超音波によって誤動作を生じるという問題がある。

本発明では、本体は側壁にそれぞれ端部が固着された第１、第２のコアを設け、第１の回転部は本体の第１のコアに回転自在に装着され、中心部分にコイルを装着し、コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子に接続し、第１のコイル部は第１のコアによって第１の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイルを装着し、第２の回転部は本体の第２のコアに回転自在に装着され、中心部分にコイルを装着し、コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子に接続し、第２のコイル部は第２のコアによって第２の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイルを装着し、発振器は第１のコイル部のコイルに接続され、受信器は第２のコイル部のコイルに接続され、発振器からの発振出力を前記第１のコイル部のコイルに出力することによって、第１の回転部のコイルに誘導された電圧を超音波振動子に入力して超音波を照射し、超音波を第２の回転部の超音波振動子で受信して電圧に変換してコイルに入力し、第２のコイル部のコイルに誘起した電圧を受信器に入力し、第１の回転部から照射された超音波が第１の回転部の上から前記第２の回転部の上を通過する基板を介して伝達することにより、第１の回転部上から第２の回転部上を通過する基板を検出するものである。

本発明の基板検出装置では、第１の回転部の超音波振動子から照射された超音波は、基板が通過しない時は、第１の回転部と第２の回転部の間の遮音板により遮断され、基板が第１の回転部上から第２の回転部上へ移動する場合は、第１の超音波振動子から照射された超音波は基板を介して伝達されることにより、第１の回転部の超音波振動子から照射された超音波を確実に第２の回転部の超音波振動子に伝達することができるので、基板を確実に検知することができ、又、基板の移動を第１の回転部及び第２の回転部で行うことができるので、構成が簡単になるという利点がある。

本発明では、基板の移動を第１、第２の回転部で行い、又、基板の検出を第１、第２の回転部に設けた超音波振動子で行うようにしたので、構成が簡単になり、さらに、基板の検出を第１の回転部の超音波振動子から照射した超音波が基板を介して第２の回転部の超音波振動子に伝達することによって行うようにしたので、基板の検出が確実になった。

図１は本発明の実施例の基板検出装置の正面図で、本体７の側壁７ａ、７ｂに第１、第２のコア８、９が固着され、第１のコア８に第１の回転部１０が回転自在に装着され、第１の回転部１０の内部の外周に超音波振動子１０ａが装着され、中心部分にコイル１０ｂが装着され、第１の回転部１０と同心状に第１のコイル部１１が固着され、第１のコイル部１１にコイル１１ａが装着され、コイル１１ａは発振器１２に接続され、第２のコア９に第２の回転部１３が回転自在に装着され、第２の回転部１３の内部の外周に超音波振動子１３ａが装着され、中心部分にコイル１３ｂが装着され、第２の回転部１３と同心状に第２のコイル部１４が固着され、第２のコイル部１４の中心部にコイル１４ａが装着され、このコイル１４ａに受信器１５が接続され、受信器１５に表示部１６が接続され、第１の回転部１０と第１のコイル部１１及び第２の回転部１３と第２のコイル部１４との間に遮蔽板１７が装着されている。

図２は図１の実施例の基板検出装置の側面断面図で、本体７に固着された第１、第２のコア８、９はコア１８で示され、第１の回転部１０と第２の回転部１３は回転部１９で示され、超音波振動子１０ａ、１３ａは超音波振動子２０で示され、コイル１０ｂ、１３ｂはコイル２１で示され、第１のコイル部１１と第２のコイル部１４はコイル部２２で示され、コイル１１ａ、１４ａはコイル２３で示され、本体７と回転部１９の間にスラスタ２４が装着され、回転部１９と固定２３の間にスラスタ２５が装着されている。

このように構成された本実施例の基板検出装置では、発振器１２からの発振出力が第１のコイル部１１のコイル１１ａに印加されると、第１の回転部１０のコイル１０ｂに誘起電圧が発生し、この誘起電圧は第１の回転部１０の超音波振動子１０ａに印加され、超音波振動子１０ａから超音波が発生するが、第１の回転部１０の上に基板２４が無い場合は、この超音波振動子１０ａから発生した超音波は遮音板１７によって殆ど遮断され、第２の回転部１３の超音波振動子１３ａで殆ど検出されない。

ここで、第１の回転部１０の上に基板２６が移動されてきた時に、第１の回転部１０の超音波振動子１０ａから超音波が発生すると、この超音波は基板２６によって反射及び伝達され、第２の回転部１３の超音波振動子１３ａで電気出力に変換されてコイル１３ｂに印加されるので、コイル１３ｂで誘起電圧が発生し、この誘起電圧で第２のコイル部１４のコイル１４ａで電圧が発生し、この電圧は受信器１５に印加され、基板２６が検出されたことを表示部１６で表示する。

本実施例は、このように、発振器１２から第１のコイル部１１のコイル１１ａに印加された電圧は第１の回転部１０のコイル１０ｂに誘起電圧を発生し、この誘起電圧で超音波振動子１０ａを駆動するので、第１の回転部１０が回転は、固定された第１のコイル部１１に影響されることが無く、又、第２の回転部１３の超音波振動子１３ａで検出した電気出力はコイル１３ｂで誘起電圧を発生し、本体７の第２のコア９に固定された第２のコイル部１４のコイル１４ａで検出されるので、第２の回転部１３の回転は第２のコイル部１４に影響されないという利点がある。

なお、上記実施例において、第１、第２の回転部１０、１３を逆の位置にしても何ら差し支えが無く、又、第１、第２の回転部１０、１３及び第１、第２のコイル部１１、１４を機密に構成すれば、第１、第２の回転部１０、１３及び第１、第２のコイル部１１、１４を水中で使用することができる。

図１は本発明の実施例の基板検出装置の正面図である。 図２は図１の基板検出装置の側面断面図である。 図３は従来の超音波センサの側面断面図である。

符号の説明

７ 本体
８ 第１のコア
９ 第２のコア
１０ 第１の回転部
１１ 第１のコイル部
１２ 発振器
１３ 第２の回転部
１４ 第２のコイル部
１５ 受信器
１６ 表示部
１７ 遮蔽板
２６ 基板

Claims (4)

1. 側壁にそれぞれ端部が固着された第１、第２のコアを設けた本体と、該本体の前記第１のコアに回転自在に装着され、中心部分にコイルを装着し、該コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子に接続した第１の回転部と、前記第１のコアによって前記第１の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイルを装着した第１のコイル部と、前記本体の前記第２のコアに回転自在に装着され、中心部分にコイルを装着し、該コイルのリード線を外周に装着した超音波振動子に接続した第２の回転部と、前記第２のコアによって前記第２の回転部と同心状に固着され、中心部分にコイルを装着した第２のコイル部と、前記第１のコイル部のコイルに接続された発振器と、前記第２のコイル部のコイルに接続された受信器とからなり、前記発振器からの発振出力を前記第１のコイル部のコイルに出力することによって、前記第１の回転部のコイルに誘導した電圧を前記超音波振動子に入力して超音波を照射し、該超音波を前記第２の回転部の超音波振動子で受信して電圧に変換してコイルに入力し、前記第２のコイル部のコイルに誘起した電圧を前記受信器に入力し、前記第１の回転部から照射された超音波が前記第１の回転部の上から前記第２の回転部の上を通過する基板を介して伝達することにより、前記第１の回転部上から第２の回転部上を通過する基板を検出することを特徴とする基板検出装置。
2. 前記第１、第２の回転部と前記本体の側壁の間及び前記第１、第２の回転部と前記第１、第２のコイル部の間にスラスタを装着することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
3. 前記第１、第２の回転部の間及び第１、第２のコイル部の間に装着された遮蔽板とからなることを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。
4. 前記第１、第２の回転部及び第１、第２のコイル部を水中で使用することを特徴とする請求項１記載の基板検出装置。

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