JP2007057392A - 半導体ガスセンサ及びガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ - Google Patents
半導体ガスセンサ及びガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】酸化タングステンを含む粉体材料の焼結体にて構成される感ガス体1と、一対の検知用電極2,2とを具備する。前記感ガス体1が前記一対の検知用電極2,2の互いに対向し合う対向面に接触すると共に前記対向面間に挟まれた空間に配置されるコア部3を含む。前記コア部3は平均粒径10μm以上20μm以下の酸化タングステン粉末を含む粉体材料の焼結体にて形成されたものであることを特徴とするものである。このような半導体ガスセンサAでは、多種のガスに対して良好な感応性を示すと共に、水素ガスに対しても安定した高い感応性を示すものである。
【選択図】図1
Description
(実施例1)
半導体ガスセンサAとして、図1,2に示すものを作製した。
上記実施例1について、素子温度400℃での種々のガスに対するシリコン被毒前後のガス感度を調査した。
(組成物(a)の調製)
実施例1と同様の手法により得られた平均粒径12μmの粉体状の酸化タングステンに、この酸化タングステンに対して50重量%のα−アルミナ粉末を加えて混合し、これに更にテルピオネールを加えてペースト状として調製した。
酸化タングステン粉末の平均粒径を9μmとした以外は上記組成物(a)と同様にして調製した。
半導体ガスセンサAとして、図1,2に示すものを作製した。
実施例2において、組成物の塗布を、組成物(a)、組成物(a)の順番で行った。それ以外は実施例2と同様にして半導体ガスセンサAを作製した。
実施例2において、組成物の塗布を、組成物(b)、組成物(b)の順番で行った。それ以外は実施例2と同様にして半導体ガスセンサAを作製した。
実施例2において、組成物の塗布を、組成物(b)、組成物(a)の順番で行った。それ以外は実施例2と同様にして半導体ガスセンサAを作製した。
上記実施例2,3及び比較例1,2について、素子温度400℃でのエタノールと水素の各ガス感度を調査した。
1 感ガス体
2 検知用電極
3 コア部
Claims (4)
- 酸化タングステンを含む粉体材料の焼結体にて構成される感ガス体と、一対の検知用電極とを具備し、前記感ガス体が前記一対の検知用電極の互いに対向し合う対向面に接触すると共に前記対向面間に挟まれた空間に配置されるコア部を含み、前記コア部は平均粒径10μm以上20μm以下の酸化タングステン粉末を含む粉体材料の焼結体にて形成されたものであることを特徴とする半導体ガスセンサ。
- 上記感ガス体のコア部に、コア部中の酸化タングステンの含有量に対して20〜100重量%の範囲のアルミナが含有されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体ガスセンサ。
- 上記感ガス体にシリカが添加されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体ガスセンサ。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体ガスセンサにて構成されることを特徴とするガスクロマトグラフ用半導体ガスセンサ。
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