JP2007054754A - 塗布膜の平坦化方法及び平坦化装置 - Google Patents
塗布膜の平坦化方法及び平坦化装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007054754A JP2007054754A JP2005244069A JP2005244069A JP2007054754A JP 2007054754 A JP2007054754 A JP 2007054754A JP 2005244069 A JP2005244069 A JP 2005244069A JP 2005244069 A JP2005244069 A JP 2005244069A JP 2007054754 A JP2007054754 A JP 2007054754A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- coating film
- substrate
- flattening
- area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 平坦化装置65の処理容器120内に,ウェハWの保持台121と,その保持台121を移動させるX−Yステージ122が設けられる。ウェハW上に塗布膜が形成された後,ウェハWが保持台121に保持され,X―Yステージ122によりX方向とY方向にウェハWが往復移動される。この往復移動は,塗布膜の下地のパターンに応じて行われる。例えば下地のパターンにX方向とY方向の溝が形成され,X方向の溝がY方向の溝よりも多く形成されている場合には,Y方向の往復移動がX方向の往復移動よりも多く行われる。
【選択図】 図4
Description
65 平坦化装置
120 処理容器
121 保持台
122 X―Yステージ
123 制御部
W ウェハ
Claims (10)
- 基板上の塗布膜を平坦化する方法であって,
塗布膜の下地のパターンに応じて,基板を水平方向に直交するX方向とY方向に往復移動することを特徴とする,塗布膜の平坦化方法。 - 凹み部分の寸法が比較的大きいパターンに対して,基板を比較的長い周期で往復移動させる長周期移動工程と,
凹み部分の寸法が比較的小さいパターンに対して,基板を比較的短い周期で往復移動させる短周期移動工程と,を有することを特徴とする,請求項1に記載の塗布膜の平坦化方法。 - 前記長周期移動工程を行った後に,前記短周期移動工程を行うことを特徴とする,請求項2に記載の塗布膜の平坦化方法。
- 前記長周期移動工程における基板の往復移動の回数と前記短周期移動工程における基板の往復移動の回数は,その比が前記比較的大きいパターンと前記比較的小さいパターンの領域面積の比になるように設定されることを特徴とする,請求項2又は3のいずれかに記載の塗布膜の平坦化方法。
- 前記下地のパターンに,X方向とY方向に向けて延びる複数の溝が形成されており,
X方向に延びる溝のある領域面積がY方向に延びる溝のある領域面積よりも大きい場合には,Y方向の往復移動の回数がX方向の往復移動の回数よりも多く設定され,
Y方向に延びる溝のある領域面積がX方向に延びる溝のある領域面積よりも大きい場合には,X方向の往復移動の回数がY方向の往復移動の回数よりも多く設定されることを特徴とする,請求項1〜3のいずれかに記載の塗布膜の平坦化方法。 - X方向の往復移動の回数とY方向の往復移動の回数は,その比が前記Y方向に延びる溝の領域面積と前記X方向に延びる溝の領域面積の比になるように設定されることを特徴とする,請求項5に記載の塗布膜の平坦化方法。
- 前記下地のパターンに,X方向とY方向に対称性のある凹凸が均等に配置されている場合には,基板のX方向の往復移動とY方向の往復移動を同様に行うことを特徴とする,請求項1〜6のいずれかに記載の塗布膜の平坦化方法。
- 基板上の塗布膜を平坦化させるための平坦化装置であって,
塗布膜の下地のパターンに応じて,基板を水平方向に直交するX方向とY方向に往復移動させる往復移動機構を備えたことを特徴とする,平坦化装置。 - 基板を加熱する加熱部材を備えたことを特徴とする,請求項8に記載の平坦化装置。
- 基板の周辺に塗布膜の溶剤蒸気を供給する溶剤蒸気供給部を備えたことを特徴とする,請求項8又は9のいずれかに記載の平坦化装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005244069A JP4531659B2 (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | 塗布膜の平坦化方法及び平坦化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005244069A JP4531659B2 (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | 塗布膜の平坦化方法及び平坦化装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007054754A true JP2007054754A (ja) | 2007-03-08 |
JP4531659B2 JP4531659B2 (ja) | 2010-08-25 |
Family
ID=37918690
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005244069A Expired - Fee Related JP4531659B2 (ja) | 2005-08-25 | 2005-08-25 | 塗布膜の平坦化方法及び平坦化装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4531659B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012006380A (ja) * | 2010-05-21 | 2012-01-12 | Tokyo Electron Ltd | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2013249430A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Tokyo Electron Ltd | パターン形成方法及び加熱装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06224189A (ja) * | 1993-01-21 | 1994-08-12 | Handotai Process Kenkyusho:Kk | 平坦化膜の形成方法及び平坦化膜の形成装置 |
JPH1034055A (ja) * | 1996-07-25 | 1998-02-10 | Seiko Epson Corp | 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 |
JPH1140556A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2003260389A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-16 | Seiko Epson Corp | 薄膜形成装置と薄膜形成方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイス |
JP2004089762A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 液材塗布装置及び液材塗布方法 |
JP2005131497A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Seiko Epson Corp | 製膜方法、製膜装置、デバイス製造方法、デバイス製造装置及びデバイス並びに電子機器 |
-
2005
- 2005-08-25 JP JP2005244069A patent/JP4531659B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06224189A (ja) * | 1993-01-21 | 1994-08-12 | Handotai Process Kenkyusho:Kk | 平坦化膜の形成方法及び平坦化膜の形成装置 |
JPH1034055A (ja) * | 1996-07-25 | 1998-02-10 | Seiko Epson Corp | 塗布膜形成装置及び塗布膜形成方法 |
JPH1140556A (ja) * | 1997-07-16 | 1999-02-12 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子の製造方法 |
JP2003260389A (ja) * | 2002-03-12 | 2003-09-16 | Seiko Epson Corp | 薄膜形成装置と薄膜形成方法、およびデバイス製造装置とデバイス製造方法並びにデバイス |
JP2004089762A (ja) * | 2002-08-29 | 2004-03-25 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 液材塗布装置及び液材塗布方法 |
JP2005131497A (ja) * | 2003-10-29 | 2005-05-26 | Seiko Epson Corp | 製膜方法、製膜装置、デバイス製造方法、デバイス製造装置及びデバイス並びに電子機器 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012006380A (ja) * | 2010-05-21 | 2012-01-12 | Tokyo Electron Ltd | インプリントシステム、インプリント方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP2013249430A (ja) * | 2012-06-01 | 2013-12-12 | Tokyo Electron Ltd | パターン形成方法及び加熱装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4531659B2 (ja) | 2010-08-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101332138B1 (ko) | 도포 처리 방법, 도포 처리 장치 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 | |
US7343698B2 (en) | Reduced pressure drying apparatus and reduced pressure drying method | |
TWI657318B (zh) | 顯影處理方法 | |
KR101207046B1 (ko) | 기판 처리 방법, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 및 기판 처리 시스템 | |
JP4570164B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、基板処理プログラム、及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
US20200147637A1 (en) | Coating treatment method, computer storage medium and coating treatment apparatus | |
JP2007054798A (ja) | 基板の処理方法及び基板の処理装置 | |
JP4666380B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、基板処理プログラム、及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2008307488A (ja) | 塗布処理方法、塗布処理装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP4636555B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法、基板処理プログラム及びそのプログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 | |
JP2008098598A (ja) | 露光・現像処理方法 | |
TWI660251B (zh) | 顯影處理方法及電腦記錄媒體 | |
JP4531659B2 (ja) | 塗布膜の平坦化方法及び平坦化装置 | |
KR101300892B1 (ko) | 기판의 처리 방법 및 컴퓨터 독취 가능한 기억 매체 | |
JP2001284206A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR102573014B1 (ko) | 성막 방법, 저장 매체, 및 성막 시스템 | |
JP2010272802A (ja) | レジスト塗布処理方法及びレジストパターンの形成方法。 | |
JP2010141162A (ja) | 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び基板処理システム | |
JP4319201B2 (ja) | 基板の処理方法、プログラム及び基板処理システム | |
JP5638477B2 (ja) | 現像処理方法、現像処理装置、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
JP3588277B2 (ja) | 基板の現像処理方法 | |
JP2018046206A (ja) | エッチング装置、基板処理装置、エッチング方法および基板処理方法 | |
JP2010177504A (ja) | 塗布処理方法及び塗布処理装置 | |
JP4920317B2 (ja) | 基板の処理方法、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体及び基板の処理システム | |
JP3793063B2 (ja) | 処理方法及び処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070626 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100608 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4531659 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130618 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |